CN1993210A - 吸引式载置台的密封装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于提供即使对于在层叠状态因吸引而导致的体积变化较大的片材,也可以顺利进行搬入搬出,且可保持高切断精度的吸引式载置台的密封装置。在如图1C所示的结构中,特别是在切断压缩性高的片材等场合,欲充分保证间隔Hc而使被切断材(25)的搬入或搬出变得容易时,距离Dc增大,切断精度下降。根据密封装置(21),在图1A所示的按压状态下,容易使间隔Ha<间隔Hc,使距离Da<距离Dc,可由密闭片(27a)充分覆盖被切断材(25),提高切断精度。在图1B所示的非按压状态下,可以使间隔Hb>间隔Hc,即使是体积大的被切断材(25),也可以容易地进行搬入或搬出。
Description
技术领域
本发明涉及用切断机将被切断材切断时,用于吸引和保持的吸引式载置台的密封装置。
背景技术
一直以来,在如图6所示的切断机1中,在吸引式载置台2的上面的矩形区域形成切断台3。在切断台3的宽度方向,具有切断刀4的切断头5沿导桥6往复移动。另外,导桥6在切断台3的纵长方向往复移动。切断台3将纵长方向作为X轴方向,将宽度方向作为Y轴方向,使导桥6通过X轴方向移动部7沿X轴方向移动。切断头5可以组合通过X轴方向移动部7在X轴方向的移动和沿导桥6的Y轴方向的移动而相对于切断台3的表面进行二维位移。切断刀4从切断头5向切断台3侧突出,以突出量增减的方式高速往复运动。
在X轴方向移动部7的一方设置例如控制器8,操作者可以进行指示切断机1动作的操作。在切断台3的X轴方向的一方及另一方分别设有搬入部9和搬出部10。在搬入部9和搬出部10之间的切断台3发挥在搬运方向3a进行搬运的皮带输送机的功能,能够从搬入部9侧搬入层积状态的片材11,搬运到搬出部10侧。在该皮带输送机上,排列以合成树脂等作为材料的硬毛刷的块,切断台3的上面由硬毛刷的硬毛前端形成。若切断刀4贯通片材11进行往复运动,同时,沿部件12的轮廓线在X轴方向和Y轴方向二维移动切断头5,则可以从片材11上切断出部件12。在用切断刀4进行切断时,必须使皮带输送机停止,保持片材11在切断台3上不动。在吸引式载置台2中,在内部设置吸引机构,把片材11吸引并保持在切断台3上。形成切断台3的上面的硬毛,能够带来用于使吸引力起作用的透气性,而且可以弹性变形,以便从贯通片材并穿入切断台3的表面的切断刀4脱开。
片材11例如是布绸等原料,柔软且具有透气性。片材11以把具有这样的透气性的原料层积多层的状态从搬入部9侧搬到切断台3上。在搬入部9的宽度方向两侧立设有支架13,在顶部支承覆盖片辊14。在片材11从搬入部9搬入时,片材11的上面由从覆盖片辊14拉出的覆盖片14a覆盖。覆盖片14a是合成树脂膜等,呈不透气性。在吸引式载置台2产生的吸引力经由片材11作用在覆盖片14a上,在由切断刀4进行切断的过程中,可把片材11保持在切断台3上。切断头5对应于部件12的轮廓等应由切断刀4切断的形状的数据在X轴方向和Y轴方向移动,切断刀4的朝向也控制为使刀尖向着移动方向。用于切断的数据预先由CAD装置等做成。作为切断刀4不仅是在直线上往复移动的形式,也可采用旋转地在外周进行切断的圆刀等形式。
按照切断数据,从片材11完成全部部件12的切断后,起动切断台3的皮带输送机,将切断出部件12的片材11搬到搬出部10侧。当邻接搬出部10地配置操作台15等时,可以载置完成切断部件12的片材11,进行分离部件12的作业等。在这样的作业期间,可在切断台3上载置下一个片材11,在切断机1上进行切断。
在切断片材11的同时,覆盖片14a也被切断,被切断的部分具有透气性。即使在搬入片材11时由覆盖片14a覆盖而呈不透气性,若进行切断的话,则空气还是会从切断部分流入,使吸引力下降。作为其对策,开发了在完成部件12的切断的片材11的部分上再覆盖以不透气性的片而呈不透气性的吸引式载置台的密封装置(例如参照日本专利第2654491号公报)。
图7示出了在日本专利第2654491号公报中公开的吸引式载置台的密封装置的示意性构成。与图6的构成对应的部分采用相同的附图标记而省略重复说明。对于从切断台3的搬入部9侧搬入的片材11,在X轴方向从搬出部10侧向搬入部9侧移动切断头5,同时顺次切断部件12。从X轴方向移动部7设置向搬出部10侧突出的托架16。在托架16的前端以可旋转的方式支承密闭片辊17。在密闭片辊17上卷绕有合成树脂膜等不透气性的密闭片17a。密闭片17a的前端固定在立设于搬出部10侧的保持臂18的上部。在托架16内设置有如下机构,即,该机构与由X轴方向移动部7形成的X轴方向的往复移动连动,在输出密闭片17a的方向或对其进行卷绕的方向驱动密闭片辊17旋转。即,密闭片辊17配设成,对于覆盖作为被切断材的片材11及覆盖片14a的已切断部分的密闭片17a,将其一端侧在已切断侧固定在吸引式载置台2的端部,将其另一端侧与切断刀4在切断台3的纵长方向移动连动地输出或卷绕。
另外,还提出了以下构成,即,将相当于图7的保持臂18的部分设置成能够升降位移,即使在切断中途也可停止吸引式载置台2的吸引,使密闭片17a的前端侧上升,从被切断材的上面剥离密闭片17a,从而可实现被切断的部件12的检修等(例如参照日本特公昭63-31355号公报和日本特开平6-8192号公报)。另外,相当于日本特公昭63-31355号公报的密闭片辊17的部分由弹簧向卷绕侧施力。另外,在日本特开平6-8192号公报中,具有以下构成,即,在密闭片辊17侧,在相当于X轴方向移动部7的部分达到相当于搬出部10侧的部分时,由斜面引导而上升,解除由相当于密闭片17a的不透气性片形成的密闭。
存在片材11的层积厚度在由吸引式载置台2进行吸引前和吸引后差异较大的情况。在层积具有弹性的片材11并由覆盖片14a覆盖而制成被切断材时,由吸引引起的层积厚度的变化很大,该片材11例如是海绵材料、棉、在里面加设海绵的汽车片材、内充棉的原料等。即,由于在把被切断材搬入或搬出吸引式载置台2时不使吸引力作用,所以,被切断材的体积变大。如果把被切断材搬入到切断台3上作用吸引力的话,则片材11在覆盖片14a和切断台3之间被压缩,体积变小。如图6所示那样,在不使用图7所示的密闭片17a的情况下,由于从完成切断后的部件12的轮廓等漏泄空气,使部件12的吸附力减弱,该部件12的部分的片材11的体积增大,部件12浮起。
如图7所示那样,在使用密闭片17a时,为了从搬入部9顺利地把体积大的被切断材搬入到切断台3上,必须使密闭片辊17在切断台3上的高度充分高。当被切断材的层积厚度大于等于密闭片辊17下端与切断台3上面之间的间隔时,密闭片辊17会成为障碍,使被切断材的搬入或搬出的操作性变差。因而,密闭片辊17距切断台3上面的高度需要充分高。
但是,提高密闭片辊17的高度后,例如保持臂18侧那样,从被切断材的表面倾斜上升,覆盖被切断材的端部的位置由密闭片辊17的正下方向搬出部10侧错开。密闭片辊17的位置虽然优选关于X轴方向尽量接近由切断头5进行切断的位置,但是,在托架16必须要离开切断位置某种程度。如果提高密闭片辊17的高度的话,则能够由密闭片17a覆盖的已切断区域的范围减小。
图8示意性表示应从被放置在切断台3上的片材11切断的多个部件12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g...的配置。实际切断的部件12的尺寸或形状不同的情况较多,但为了便于说明,全部采用相同的形状。切断台3例如以在搬出部10的图中下端位置为原点,从邻近原点的位置的部件12a顺次切断在Y轴方向邻接的部件12b、12c,接着移向在X轴方向邻接的部件12d,进而切断在Y轴方向邻接的部件12e、12f。图中所示的是由切断头5进一步切断在X轴方向邻接的部件12g的状态。密闭片辊17的位置从X轴方向移动部7向原点侧离开相当于托架16长度的程度。从密闭片辊17距切断台3上面的高度与保持臂18同高时,实际覆盖被切断材的密闭片17a的范围,如画出的斜线所示那样,比密闭片辊17的位置更靠搬出部10侧。为此,不能密封完成切断的部件12d、12e、12f,吸引力下降,只要是具有在非压缩状态下体积变大的弹性的片材11,就存在浮起的危险。
当完成切断的部件12浮起时,在其周边产生倾斜。由切断刀4切断倾斜的部分时,在层积的片材11的上下,切断位置错开,给切断精度带来不良影响。
发明内容
本发明的目的在于提供一种吸引式载置台的密封装置,其即使对于在层叠状态下因吸引而导致的体积变化较大的片材,也可以顺利进行搬入搬出,且可保持良好的切断精度。
本发明是一种吸引式载置台的密封装置,其将柔软的片材层积并保持在吸引式载置台上,同时用沿吸引式载置台表面移动的切断刀进行切断,此时,与切断刀从吸引式载置台一端侧起的移动量吻合,从设在切断刀侧的供给部向与该一端侧之间供给不透气性片,在片材表面覆盖该不透气性片进行密封;其特征在于,在从吸引式载置台表面隔开间隔的上方位置,从供给部将不透气性片供给到该吸引式载置台的表面侧;包括设置在该供给部附近的按压机构,该按压机构能够在将被供给到该吸引式载置台侧的该不透气性片的表面向下方按压的按压状态、和不按压该不透气性片的表面的非按压状态之间进行切换;该按压机构的该按压状态与该非按压状态相比,该不透气性片覆盖在载置于该吸引式载置台的片材的表面上的位置更靠近该切断刀侧。
另外,在本发明中,所述按压机构能够将在所述按压状态下向下方按压所述不透气性片的表面的位置作为距所述吸引式载置台的表面的高度进行改变。
另外,在本发明中,所述按压机构包括按压部件和摆动部件;该按压部件在所述按压状态下接触于所述不透气性片的表面;该摆动部件在移动端侧支承所述按压部件,能够摆动位移,以便在所述非按压状态下使该按压部件离开该不透气性片的表面。
另外,在本发明中,在所述摆动部件中成为所述摆动位移的支点的基端侧的位置,是比与所述非按压状态下的所述移动端侧的位置更从所述供给部向所述切断刀侧离开的位置。
另外,在本发明中,所述按压部件是以外周面与所述不透气性片的表面接触且旋转自由的辊。
附图说明
本发明的目的、特点和优点由以下的详细说明和附图会更加明确。
图1A到图1C是简化本发明一实施方式的密封装置21的主要部分的构成、并与现有技术的构成进行比较的示意性侧视剖面图;
图2是更详细地表示图1A到图1C的密封装置21的构成的侧视剖面图;
图3是表示从上方观看大致与图2对应部分的构成的俯视图;
图4A和图4B是图3的右侧的托架26的左侧视图;
图5A和图5B是图3的左侧的托架26的右侧视图;
图6是表示现有技术的切断机的构成的立体图;
图7是表示现有技术的吸引式载置台的密封装置的概略构成的侧视图;
图8是示意性表示应从被放置在图7中切断台3上的片材11切断的多个部件12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g...的配置的俯视图。
具体实施方式
下面,参照附图详细说明本发明的优选实施例。
从图1A到图1C简要表示本发明一实施例的密封装置21主要部分的构成,以及与现有技术构成的比较。即,图1A表示按压状态,图1B表示非按压状态,图1C表示现有技术。使用密封装置21的切断机的其它构成与图7所示的切断机1基本相同。
图1A和图1B所示的密封装置21,在与图7所示的切断机1的吸引式载置台2基本相同的吸引式载置台22上形成的切断台23中,在用切断刀24切断被切断材25时被使用。被切断材25与图7所示的层积的片材11上覆盖有覆盖片14a的材料基本相同。托架26从与图7的X轴方向移动部7相同的构成部分向X轴方向原点侧突出,该托架26从保持在其前端的密闭片辊27将由不透气性合成树脂膜等形成的密闭片27a供给到被切断材25的表面。密封装置21把按压辊28作为按压部件配置在密闭片辊27附近。按压辊28可自由转动地支承在摆动臂29的前端部,该摆动臂29以设在托架26中间部分的基端轴为支点摆动位移。图1A表示这样的按压状态,即,使摆动臂29的前端部下降,按压辊28与密闭片27a接触,使密闭片27a接近切断刀24附近的位置以后,覆盖被切断材25。图1B表示通过摆动臂29的摆动位移使摆动臂29的前端部上升到托架26的位置的非按压状态。图1C作为现有技术的构成示出了没有使用按压辊28及摆动臂29的构成。
在图1A中,把密闭片27a覆盖被切断材25上面的位置与切断刀24之间的距离设定为Da,把按压辊28的下端与切断台23的上面之间的间隔设定为Ha。在图1B中,把按压辊28的下端与切断台23的上面之间的间隔设定为Hb。在非按压状态下,按压辊28的下端也可以作成从密闭片辊27的下端上升。此时,间隔Hb取位于密闭片辊27下端与切断台23上面之间的间隔。在图1C中,把密闭片27a覆盖被切断材25上面的位置与切断刀24之间的距离设定为Dc,把密闭片辊27的下端与切断台23的上面之间的间隔设定为Hc。
在图1C的构成中,特别在切断压缩性强的片材时等,要想充分保证间隔Hc并使被切断材25的搬入或搬出变得容易,则距离Dc会增大,切断精度降低。根据密封装置21,在图1A所示的按压状态下,容易设定成间隔Ha<Hc,使距离Da<Dc,可以由密闭片27a充分覆盖被切断材25,还可提高切断精度。在图1B所示的非按压状态下,可以使间隔Hb>Hc,即使是体积大的被切断材25,也可以容易地进行搬入或搬出。
图2更详细地表示图1A到图1C的密封装置21的构成。基本上表示出非按压状态,按压状态用细线表示。按压辊28和摆动臂29包含在按压机构30中。按压机构30还包括缸31或后述的弹簧等。摆动臂29的基端侧由摆动轴29a轴支承,可在托架26的中间部分自由摆动位移。在摆动臂29的前端侧可自由转动地轴支承有按压辊28。在摆动臂29的基端侧延伸形成有长度比摆动轴29a与按压辊28之间距离短的驱动臂。在驱动臂的前端连接着缸31的杆的前端。缸31的基端在密闭片辊27附近可自由摆动位移地轴支承在托架26上。缸31例如通过空气压力等的流体压力伸缩,在伸长状态下把摆动臂29的驱动臂向托架26的基端侧按压,向摆动臂29给予转矩,使前端侧的按压辊28围绕摆动轴29a上升。
这样的按压机构30可以有种种构成。例如可不采用利用流体压力的缸31,而是采用滚珠丝杠等机构。另外,也可以在摆动轴29a上直接采用给予转矩的角位移促动器。其中,采用图示的机构时,按压机构30的结构紧凑,在图示的非按压状态下,在侧面观看时,可以把摆动臂29隐藏在托架26的里侧。缸31的杆收缩时,在摆动臂29施加使按压辊28下降的转矩,成为图中细线所示的按压状态。
在切断中,用原料压件32按压由切断刀24贯穿被切断材25进行切断位置的周围,防止因切断刀24的上下方向的往复运动使被切断材25上浮。按压状态的按压辊28能够在与原料压件32不干涉的范围内靠近切断刀24。另外,按压辊28的下端形成在稍靠上方的位置,以便不与被切断材25的上面接触。
如专利第2654491号公报所示,密闭片辊27与切断刀24在X轴方向的往复移动连动地被驱动转动,以便能够输出密闭片27a供给到切断台23侧,或卷绕密闭片27a而从切断台23侧回收。该驱动力在切断台23的一侧方通过相对于在X轴方向张设的皮带33相对移动而产生。即,在与图7的X轴方向移动部7同样的构成部分内拉入皮带33的一部分,由滑轮34向上方改变方向,再由滑轮35朝横向改变方向。同样的滑轮34、35以对称的配置设在图的右侧,皮带33返回到切断台23的侧方的高度。由X轴方向的移动使滑轮34、35旋转。在X轴方向的原点侧的滑轮35上同轴设置齿轮36,与设在托架26基端部分的齿轮37啮合。在齿轮37上同轴设置滑轮38。在滑轮38挂设着环形皮带39的一端。皮带39从侧面观看时容纳在托架26的里面侧,另一端挂装在与密闭片辊27同轴设置的滑轮40上。通过由皮带39对密闭片辊27的驱动,使切断刀24向X轴方向的移动量与密闭片27a的输出量或卷绕量同步。另外,在啮合的齿轮36、37间可进行减速等的变速作用。变速比只要对应于密闭片辊27的外径进行设定即可。另外,作为按压辊28,尽管使用的是在Y轴方向以相同外径连续的辊,但也可以是具有小直径部分的辊。还可以由小直径的轴连接短辊而构成。
图3表示从上方观看大致与图2对应的部分的构成。如图8所示,分别设定X轴和Y轴的正方向时,图的上方向为X轴的正方向,左方向为Y轴的正方向。摆动臂29或缸31或按压辊28等的按压机构30分别设在Y轴的正负方向两侧的托架26上。包含皮带39或滑轮40的密闭片辊27的旋转驱动机构设在Y轴的正负方向中一个方向例如负方向的原点侧的托架26上。在另一个托架26中,容纳有按压支承部的弹簧41,该支承部可旋转地支承密闭片辊27。当将密闭片辊27按压向该托架26侧时,弹簧41收缩,能够将密闭片辊27脱出。若按压辊28由弹簧42按压向Y轴的原点侧,朝反方向按压而使弹簧42收缩的话,则还可从摆动臂29之间脱出。
图4A、图4B、图5A和图5B分别在设置密闭片辊27的旋转驱动机构一侧和未设置的一侧示出了侧面观看时设在托架26里面侧的构成。即,图4A和图4B表示从左方观看图3的右侧的构成,图5A和图5B表示从右方观看图3的左侧的构成。图4A和图5A表示按压辊28的非按压状态。图4B和图5B表示按压辊28的按压状态。在摆动臂29的基端侧和托架26之间设置发挥拉力的弹簧43。弹簧43起用于使按压辊28向上升位置摆动的辅助作用。通过将弹簧43的作用力附加于缸31的推动力,即使是小推力的缸31也能抵抗按压辊28的重量,使其摆动到上升位置,形成非按压状态。也可以采用这样的利用方法,即,即使成为流体压力不作用在缸31上的状态,弹簧43也可以施力以便维持非按压状态。
即,吸引式载置台22的密封装置21与切断刀24的移动量吻合,从密闭片辊27供给密闭片27a,覆盖被切断材25的表面进行密封,该密封装置21包括按压机构30,设置成在从切断台23上面隔开间隔Hb的上方位置供给密闭片27a。按压辊28设在密闭片辊27的附近,可以在按压状态和非按压状态之间进行切换,在该按压状态下把供给到吸引式载置台22侧的密闭片27a的表面向下方按压,在该非按压状态下不按压密闭片27a的表面。在由按压辊28形成的按压状态下,能够使密闭片27a覆盖在被载置于吸引式载置台22的被切断材25的表面上的位置,比非按压状态更靠近切断刀24侧。当对被切断材25的切断沿切断台23的X轴方向等从吸引式载置台22的一端侧向另一端侧进行时,在进行切断的同时,可以使覆盖已切断区域的密闭片27a靠近由切断头进行切断的部分,有效地进行密闭而使切断精度良好。在把按压辊28形成为非按压状态时,只要密闭片辊27位于距吸引式载置台22表面较高的位置的话,则在以体积大的状态搬入或搬出具有压缩性的被切断材25时,密闭片辊27不会成为障碍,可以进行顺畅的作业。
另外,按压机构30也可以包括如下构成,即,可以将在按压状态下由按压辊28对密闭片27a的按压位置作为距切断台23表面的高度扣以变更。例如,若由电机驱动摆动臂29摆动位移,则很容易改变按压位置。在切断机中,设置可切断的允许层积厚度,密闭片辊27的高度等设定为最适于允许层积厚度。只要设置成可由按压机构30改变按压辊28的按压位置,例如即使用允许层积厚度约为5cm(约2英寸)的切断机切断约2.5cm(约1英寸)的层积厚度时,也可以从适当的高度供给密闭片27a。在切断头侧,只要设置例如本发明申请人在特开平7-60686号公报等公开的层积厚度测定机构的话,就可以对应于层积厚度自动改变按压位置。
另外,摆动臂29在非按压状态下其前端侧接近密闭片辊27、距切断台23表面的高度变高,而在按压状态下其前端侧接近切断刀24侧、距切断台23表面的高度变低,所以可有效地进行切换。
另外,作为按压部件的按压辊28,由于是在外周面与作为不透气性片的密闭片27a的表面接触、可自由旋转的辊,所以即使在按压状态下也能够容易地将不透气性片从供给部供给或返回到供给部。作为按压部件,也可以使用不转动而仅是接触的部件。另外,也可以作用空气压力等,以非接触方式进行按压。
本发明可以在不脱离其构思或主要特征的情况下以其它各种方式加以实施。因而,上述实施方式的所有方面只不过是示例而已,本发明的范围是由权利要求书所示的范围,而并不被说明书本文施以任何约束。另外,在权利要求书范围内的变型或改变全部都处在本发明的范围内。
工业实用性
根据本发明,可在由按压机构形成的按压状态下,使不透气性片覆盖被载置于吸引式载置台上的片材的表面上的位置,比非按压状态更靠近切断刀侧。当从吸引式载置台的一端侧向另一端侧进行片材的切断时,在进行切断的同时,可以使覆盖已切断区域的不透气性片靠近由切断刀进行切断的部分,可有效地进行密闭而使切断精度良好。在把按压机构设成非按压状态时,只要供给部位于距吸引式载置台表面高的位置,则在以不压缩的体积大的状态搬入或搬出在压缩状态下体积会变小的片材时,供给部不会成为障碍,可以进行顺畅的作业。
另外,根据本发明,由于能够改变在按压状态向下方按压所述不透气性片的表面的位置的距吸引式载置台表面的高度,所以可对应于片材的层积高度进行适当的变更。
另外,根据本发明,只要使摆动部件摆动位移,把按压部件设成非按压状态的话,则在以体积大的状态搬入或搬出压缩性片材时,供给部不会成为障碍,可以进行顺畅的作业。只要把按压部件设成按压状态的话,使由不透气性片密闭的位置靠近由切断刀进行切断的部分,可有效地进行密闭,使切断精度良好。
另外,根据本发明,可以在非按压状态使按压部件靠近供给部,在按压状态使按压部件靠近切断刀。
另外,根据本发明,按压部件由于是在外周面与不透气性片表面接触、可自由转动的辊,所以,即使在按压状态下也容易将不透气性片从供给部供给或返回到供给部。
Claims (5)
1.一种吸引式载置台的密封装置,其将柔软的片材层积并保持在吸引式载置台上,同时用沿吸引式载置台表面移动的切断刀进行切断,此时,与切断刀从吸引式载置台一端侧起的移动量吻合,从设在切断刀侧的供给部向与该一端侧之间供给不透气性片,在片材表面覆盖该不透气性片进行密封,其特征在于,
在从吸引式载置台表面隔开间隔的上方位置,从供给部将不透气性片供给到该吸引式载置台的表面侧,
包括设置在该供给部附近的按压机构,该按压机构能够在将被供给到该吸引式载置台侧的该不透气性片的表面向下方按压的按压状态、和不按压该不透气性片的表面的非按压状态之间进行切换,
该按压机构的该按压状态与该非按压状态相比,该不透气性片覆盖在载置于该吸引式载置台的片材的表面上的位置更靠近该切断刀侧。
2.如权利要求1所述的吸引式载置台的密封装置,其特征在于,所述按压机构能够将在所述按压状态下向下方按压所述不透气性片的表面的位置作为距所述吸引式载置台的表面的高度进行改变。
3.如权利要求1或2所述的吸引式载置台的密封装置,其特征在于,所述按压机构包括按压部件和摆动部件;该按压部件在所述按压状态下接触于所述不透气性片的表面;该摆动部件在移动端侧支承所述按压部件,能够摆动位移,以便在所述非按压状态下使该按压部件离开该不透气性片的表面。
4.如权利要求3所述的吸引式载置台的密封装置,其特征在于,在所述摆动部件中成为所述摆动位移的支点的基端侧的位置,是比与所述非按压状态下的所述移动端侧的位置更从所述供给部向所述切断刀侧离开的位置。
5.如权利要求3或4所述的吸引式载置台的密封装置,其特征在于,所述按压部件是以外周面与所述不透气性片的表面接触且旋转自由的辊。
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