CN1963670B - 涂布装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种涂布装置，该涂布装置抑制颜料分散型抗蚀剂的颜料成分凝聚。本发明所提供的涂布装置为将颜料分散型抗蚀剂液涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置具有：喷嘴，该喷嘴用于吐出颜料分散型抗蚀剂液；用于供给颜料分散型抗蚀剂液的涂布液供给部；以及将由所述涂布液供给部供给的颜料分散型抗蚀剂液导向喷嘴的配管，该配管由导电管构成。由于本发明的涂布装置具有上述结构，因而即使颜料分散型抗蚀剂液通过导电管内，也可以抑制颜料成分的凝聚。

Description

涂布装置
技术领域
本发明涉及将涂布液涂布于基板上的涂布装置。
背景技术
以往，作为将药液涂布于基板上的代表方法，已知有旋转涂布法(旋涂法，spin method)(例如，参照专利文献1)。旋转涂布法(旋涂法)指的是下述方法：当基板为半导体晶片(下文称为晶片)时，将晶片保持于旋转卡盘，将药液从药液吐出喷嘴滴加至晶片表面的中央部，同时高速地旋转旋转卡盘，通过离心力将药液扩散、涂布于晶片的整个表面上。
此外，最近，在液晶显示器(LCD)的制造过程中的平板印刷工序中，作为有利于被处理基板(玻璃基板)的大型化的抗蚀剂涂布法，普及了非旋涂法(例如，参照专利文献2)。非旋涂法指的是下述方法：使抗蚀剂喷嘴在基板的上方相对移动或扫描，并同时以细径的线状连续吐出抗蚀剂液，由此，不必高速旋转就可以将抗蚀剂液以所期望的膜的厚度涂布于基板上。
为了提高涂布效率，该非旋涂法中所使用的抗蚀剂喷嘴中，使喷嘴主体形成为横长状或长尺状，在其长度方向上具有狭缝状的吐出口。
此外，该涂布装置中，由静电所致的影响经常成为问题。由于涂布装置中所使用的抗蚀剂液一般为有机溶剂，因而具有可燃性，存在涂布装置中所产生的静电将该可燃性溶剂引燃而发生爆炸的危险性。因此专利文献3中公开了具有下述蚀刻用喷嘴的涂布装置，该蚀刻用喷嘴在吐出部设有导电体。
[专利文献1]特公平8-22418号公报
[专利文献2]特开2002-066432号公报
[专利文献3]特开平9-115873号公报
在涂布装置中，以往使用不具有导电性的配管作为配管。例如，对于非旋涂型的涂布装置，使用PFA管(制品名：NAFLON(注册商标)PFA-HG管，Nichias株式会社制)作为将抗蚀剂液导向喷嘴的配管(PFA：四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚树脂)。
但是，利用这种无导电性的配管时，难以消除由抗蚀剂液在配管内流动而产生的静电。因此，特别是颜料分散型抗蚀剂组合物通过上述配管时，由所产生的静电将静电能量赋予至均匀地分散于颜料分散型抗蚀剂组合物的颜料中，致使颜料带电，从而该颜料凝聚。使用碳黑作为颜料时，由于碳具有易带电的性质，所以特别容易产生凝聚。换而言之，在颜料分散型抗蚀剂组合物内产生异物(凝聚物)。若将该颜料分散型抗蚀剂组合物涂布于基板上，则上述异物成为涂布异常的问题，不能在基板上形成均匀的抗蚀剂膜。
而且，专利文献3的涂布装置中使用过滤器除去微粒，其不是以颜料分散型抗蚀剂为对象的涂布装置。因此，专利文献3中，完全未着眼于上述由静电所导致的凝聚的问题。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供抑制颜料分散型抗蚀剂组合物的颜料成分凝聚的涂布装置。
本发明涉及将涂布液涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置的特征在于，其具有：喷嘴，该喷嘴具有用于吐出上述涂布液的吐出口；，用于供给上述涂布液的涂布液供给部；以及将由上述涂布液供给部供给的上述涂布液导向上述喷嘴的配管，该配管由导电构件构成。
通过如此构成，可以抑制静电对涂布液的影响。
此外，上述涂布装置的特征在于，上述涂布液为颜料分散型抗蚀剂组合物。通过如此构成，可以防止由静电的影响所致的颜料凝聚。由此可以抑制在由上述涂布装置涂布的颜料分散型抗蚀剂组合物中产生异物，进一步地，可以提高使用该涂布装置制造的滤色器和/或黑矩阵的合格率。
此外，上述涂布装置的特征在于，上述颜料分散型抗蚀剂组合物的颜料成分为碳黑。通过如此构成，可以防止均匀分散于抗蚀剂液中的碳黑发生凝聚。
此外，上述涂布装置的特征在于，上述颜料分散型抗蚀剂组合物的颜料成分含有红色颜料、蓝色颜料和绿色颜料中的至少任意的1种。通过如此构成，可以防止均匀分散于抗蚀剂液中的红色颜料、蓝色颜料、或绿色颜料发生凝聚。
此外，上述涂布装置的特征在于，上述配管为导电性管。其特征还在于，上述配管的材料的体积电阻率小于等于1010Ω·cm。通过如此构成，可以抑制静电的影响。
上述涂布装置的特征还在于，上述导电性管的材料为导电性氟树脂。其特征还在于，上述氟树脂为导电性聚四氟乙烯。通过如此构成，可以效率较好地抑制静电。
上述涂布装置的涂布方式可以为非旋涂型或为旋涂型。此外，上述配管可以为金属制配管。
根据本发明，在涂布装置内，使通过颜料分散型抗蚀剂的配管为导电性构件，以此抑制静电的产生。从而，抑制颜料凝聚的产生，减少异物。
附图说明
图1是说明本实施方式中的涂布装置的简要结构的图。
符号说明
1涂布装置
2涂布液供给槽
3导电性管
4狭缝喷嘴
5基板
具体实施方式
图1说明本实施方式中的涂布装置的简要结构。涂布装置1主要由涂布液供给槽2、导电性管3、狭缝喷嘴4构成。
在涂布液供给槽2中填充有涂布液(例如，用于形成滤色器或黑矩阵图案的颜料分散型抗蚀剂组合物)，通过导电性管3将涂布液供给至狭缝喷嘴4。
狭缝喷嘴4为细长状，例如，在水平面内在宽度方向移动。在狭缝喷嘴4的下方设置有例如半导体基板或液晶面板用基板(下文称为基板5)。而且，狭缝喷嘴4一边移动一边将涂布液涂布于该基板5的表面的一面上。
导电性管3是用于将涂布液从涂布液供给槽2供给至狭缝喷嘴4的配管。该配管的材料的体积电阻率优选小于等于1010Ω·cm。作为导电性管3的材料，可以使用诸如导电性聚四氟乙烯等导电性氟树脂。而且，由于涂布装置1由金属材料构成，不言而喻地，导电性管3相当于被接地的状态。
如上所述，本实施方式中所使用的涂布液为颜料分散型抗蚀剂组合物。该颜料成分可以为碳黑，或含有红色颜料、蓝色颜料和绿色颜料中的至少任意1种。
[实施例]
下文对本发明的实施方式中的实施例进行说明，但是本发明的范围并不限于这些实施例。
本实施例中，对大型的方形(角)基板涂布机(制品名：TR45310，东京应化工业社制)的配管进行改良，从而使颜料分散型抗蚀剂(颜料成分：碳黑)进行循环。而且，作为用于该大型的方形基板涂布机中的配管(10m)，分别使用作为以往制品的PFA管(制品名：NAFLON(注册商标)PFA-HG管，Nichias株式会社制)和导电性管(以PTFE(聚四氟乙烯)作为材料)，使颜料分散型抗蚀剂在各配管内循环1小时。
然后，对循环于各配管内的颜料分散型抗蚀剂组合物进行取样，涂布于550[mm]×650[mm]的玻璃上，统计异物个数，进行比较。本实施例中，如此试验3次，算出其平均值。结果如表1所示。
[表1]
Figure S061E3525620061117D000051
导电性管中的异物个数与以往制品中的异物个数的平均值分别为4.3个和11.7个。即，与以往的制品相比，使用导电性管时，异物个数大约减少至1/3。
如此，通过在配管的材料中导入导电性管，可以分散带电能量，从而抑制异物的产生(颜料的凝聚)。
而且，本发明并不限于上述实施方式，可以在不脱离本发明的主旨的范围内，采用各种结构或形状。例如，可以使用在配管内侧表面上配设有金属性筛网的管作为导电性管的其它例子。此外，对导电性管并无限定，只要是导电性构件即可，例如，也可以使用金属制的配管。此外，本实施方式中，所使用的涂布装置的涂布方式为非旋涂型，但并不限于此，也可以使用旋涂型的涂布装置。
如上所述，根据本发明的实施方式，在涂布装置内，使通过颜料分散型抗蚀剂的配管为导电性管，以此抑制静电的产生。从而可抑制颜料凝聚的产生，减少异物。

Claims (9)

1.一种涂布装置，其是将含有导电性颜料成分的颜料分散型抗蚀剂组合物涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置的特征在于，其具有：
喷嘴，该喷嘴具有用于吐出上述颜料分散型抗蚀剂组合物的吐出口；
用于供给上述颜料分散型抗蚀剂组合物的涂布液供给部；
用于将由上述涂布液供给部供给的上述颜料分散型抗蚀剂组合物导向上述喷嘴的配管，该配管由导电构件构成，并且所述配管接地；
并且在所述配管中，所述颜料分散型抗蚀剂组合物所含有的所述导电性颜料成分的由静电所导致的凝聚被抑制。
2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述颜料分散型抗蚀剂组合物的导电性颜料成分为碳黑。
3.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述颜料分散型抗蚀剂组合物的所述导电性颜料成分含有红色颜料、蓝色颜料和绿色颜料中的至少任意1种。
4.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述配管为导电性管。
5.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述配管的材料的体积电阻率小于等于1010Ω·cm。
6.如权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述导电性管的材料为导电性氟树脂。
7.如权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，所述氟树脂为导电性聚四氟乙烯。
8.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置的涂布方式为非旋涂型。
9.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述配管为金属制配管。
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