CN1940599A - 光学元件 - Google Patents

光学元件 Download PDF

Info

Publication number
CN1940599A
CN1940599A CNA2005101056378A CN200510105637A CN1940599A CN 1940599 A CN1940599 A CN 1940599A CN A2005101056378 A CNA2005101056378 A CN A2005101056378A CN 200510105637 A CN200510105637 A CN 200510105637A CN 1940599 A CN1940599 A CN 1940599A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical element
metal level
substrate
protection
sublayer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2005101056378A
Other languages
English (en)
Inventor
金克恕
李思贤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Prodisc Technology Inc
Original Assignee
Prodisc Technology Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Prodisc Technology Inc filed Critical Prodisc Technology Inc
Priority to CNA2005101056378A priority Critical patent/CN1940599A/zh
Publication of CN1940599A publication Critical patent/CN1940599A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

一种光学元件，包含基板、金属层以及保护积层。其中，基板表面的平坦度小于4λ；金属层设置于基板上；保护积层设置于基板上并包覆金属层与基板的至少一部分。

Description

光学元件
技术领域
本发明涉及一种光学设备，特别涉及一种光学元件。
背景技术
一般而言，光学元件为反射镜、分光镜等具有特定反射性、穿透性等光学特性的元件，当光学元件应用于光学设备(例如：投影机、照相机)中时，是利用光学元件的光学特性，改变光线行径路线，或是达到构成影像的作用。其中，以金属镀膜技术制成的光学元件更扮演不可或缺的重要角色，利用金属本身材质与膜层厚度的不同，制造出具有各种不同光学特性的光学元件。
参阅图1所示的光学元件1，其为反射镜，具有基板11、设于基板11上的金属层12以及设于金属层12上的保护层13。
由于金属层12的周缘并无任何保护层13提供保护作用，使得金属层12的周缘容易受到外界酸、碱、水气或氧气的侵蚀。如此一来，便影响金属层12的反射光线的特性。
目前而言，金属层12通常采用铝(Al)为材质，原因在于：铝具有较佳抗酸、抗碱或抗氧化特性，而可提高光学元件1的耐久度。
然而，随着科技发展，制作光学设备的技术也不断地进步，所以对光学元件的光学性质的要求也相对提高。以铝为金属层12的材质所制成的光学元件1而言，其对可见光、紫外光或近红外光具有80％至90％左右的反射率，其光学特性已经不敷使用之疑虑，于是，目前更研发出以银取代铝作为金属层12的材质，使得光学元件1可具有95％以上的反射率。
相较以铝为金属层12材质而言，以银作为金属层12材质的光学元件1更具有较佳的光学性质，但是，银却容易受到外界酸、碱或氧化侵蚀，使得光学元件1的光学特性受到影响，因此，降低光学元件的使用寿命。
于是，目前急须寻找一种具有优良光学特性且可抵抗外在酸、碱或氧化侵蚀的光学元件，以符合现今制作光学设备的需求。
发明内容
有鉴于上述课题，本发明的目的是提供一种光学元件，其具有较佳光学性质及较佳使用寿命的优点。
因此，为达上述目的，依本发明的光学元件包含基板、金属层以及保护积层。其中，基板的平坦度(Flatness)小于4λ；金属层设于基板上；保护积层设置于基板上并包覆金属层与基板的至少一部分。
承上所述，依本发明的光学元件，由于保护积层包覆金属层相对基板的一表面以及金属层的周缘，使得金属层不易受到外界酸、碱或氧化所造成的损害。因此，本发明的金属层材质即可选用具有较佳光学性质的材质，如此一来，本发明的光学元件不但具有较佳光学性质，更可抵抗外界侵蚀，而具有较佳的使用寿命。
附图说明
图1是传统光学元件的示意图；以及
图2是本发明较佳实施例的光学元件的示意图。
元件符号说明：
1    光学元件
11   基板
12   金属层
13   保护层
2    光学元件
21   基板
22   金属层
23   保护积层
231  第一保护子层
232  第二保护子层
233  第三保护子层
234  第四保护子层
235    第五保护子层
具体实施方式
以下将参照相关附图，说明依本发明较佳实施例的光学元件。
参阅图2’为本发明的光学元件2。本实施例中，光学元件2为反射镜，光学元件2具有基板21、金属层22以及保护积层23。
本实施例中，基板21为透明玻璃板，且基板21的平坦度小于4λ，而λ为氦氖雷射光的波长，1λ＝632.8nm。当然，基板21也可为塑料、树脂或是其它透明材质制成。
金属层22的材质为银，其是以溅镀(sputter)的方式设于基板21上，金属层22的厚度为120nm，且其具有高于95％以上的反射率。当然，本发明的光学元件2并不限定金属层22的材质必须为银，而可采取铝、铜或其它金属材质或合金。此外，金属层22设置于基板21的方式也可为蒸镀(evaporate)或是电镀(electroplate)。
由于本实施例的光学元件2为应用于光源处理器投影系统中(digital light processing，简称DLP)投影镜头组(Projection LensAssembly)的反射镜，所以金属层22必须具有高于95％以上的反射率。当然，本发明的光学元件2也可为分光镜或是其它光学元件，此时，金属层22则要求具有半反射性、半透射性或其它光学性质，而不须限定必须具有95％以上的反射率。
保护积层23包覆于金属层22相对基板21的一表面与金属层22的周缘，且保护积层23具有多个保护子层。本实施例中，保护积层23具有依序设于金属层22上的第一保护子层231、第二保护子层232、第三保护子层233、第四保护子层234以及第五保护子层235。
其中，第一保护子层231、第三保护子层233以及第五保护子层235的材质都是二氧化硅(SiO2)；第二保护子层232与第四保护子层234的材质是五氧化二钽(Ta2O5)。再者，第一保护子层231的厚度为30.5nm、第二保护子层232的厚度为55.6nm、第三保护子层233的厚度为88.2nm、第四保护子层234的厚度为146.4nm，以及第五保护子层235的厚度为121.5nm。
当然，保护积层23所具有保护子层的数目以及各层保护子层的厚度可依据实际需要作调整与改变，但是，必须将保护积层23的总厚度d1设计为大于金属层22的厚度d2，方能使得保护积层23达到完善保护金属层22的功效。此外，保护积层中的材质除了二氧化硅(SiO2)与五氧化二钽(Ta2O5)之外，也可选择其它介电材料，例如：五氧化三钛(Ti3O5)或二氟化镁(MgF2)。
承上所述，依本发明的光学元件，由于保护积层包覆金属层相对基板的一表面以及金属层的周缘，使得金属层不易受到外界酸、碱或氧化所造成的损害。因此，本发明的金属层材质即可选用具有较佳光学性质的材质。如此一来，本发明的光学元件不但具有较佳光学性质，更可抵抗外界侵蚀，而具有较佳的使用寿命。
以上所述仅为举例，而非限制。任何未脱离本发明的精神与范畴而对其进行的等效修改或变更，均应包含于后附的权利要求中。

Claims (11)

1.一种光学元件，包含：
基板，其平坦度小于4λ；
金属层，其设于该基板上；以及
保护积层，其设置于该基板上并包覆该金属层与该基板的至少一部分。
2.如权利要求1所述的光学元件，其中该基板为玻璃或塑料。
3.如权利要求1所述的光学元件，其中该金属层具有半反射性。
4.如权利要求1所述的光学元件，其中该金属层具有高于95％的反射率。
5.如权利要求1所述的光学元件，其中该金属层材质为银、铝或铜等金属或合金。
6.如权利要求1所述的光学元件，其中该金属层是以蒸镀、电镀或溅镀的方式设于该基板上。
7.如权利要求1所述的光学元件，其中该保护积层的厚度大于该金属层的厚度。
8.如权利要求1所述的光学元件，其中该保护积层具有多个保护子层。
9.如权利要求8所述的光学元件，其中该保护子层的材质为介电材料。
10.如权利要求8所述的光学元件，其中该保护子层的材质为五氧化三钛(Ti3O5)、五氧化二钽(Ta2O5)、二氧化硅(SiO2)或二氟化镁(MgF2)。
11.如权利要求1所述的光学元件，其为反射镜或分光镜，其中该反射镜为应用于光源处理器投影系统的投影镜头组。
CNA2005101056378A 2005-09-28 2005-09-28 光学元件 Pending CN1940599A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2005101056378A CN1940599A (zh) 2005-09-28 2005-09-28 光学元件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2005101056378A CN1940599A (zh) 2005-09-28 2005-09-28 光学元件

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1940599A true CN1940599A (zh) 2007-04-04

Family

ID=37958952

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2005101056378A Pending CN1940599A (zh) 2005-09-28 2005-09-28 光学元件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1940599A (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7931973B2 (en) 2007-05-25 2011-04-26 Princo Corp. Manufacturing method of metal structure in multi-layer substrate and structure thereof
US8815333B2 (en) 2007-12-05 2014-08-26 Princo Middle East Fze Manufacturing method of metal structure in multi-layer substrate
CN107092046A (zh) * 2017-04-26 2017-08-25 上海默奥光学薄膜器件有限公司 一种宽光谱高反光镜
CN107479114A (zh) * 2017-07-20 2017-12-15 广东欧珀移动通信有限公司 玻璃镜片、玻璃镜片加工工艺及电子设备
CN110716256A (zh) * 2018-07-12 2020-01-21 采钰科技股份有限公司 光学元件及其制造方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7931973B2 (en) 2007-05-25 2011-04-26 Princo Corp. Manufacturing method of metal structure in multi-layer substrate and structure thereof
US8815333B2 (en) 2007-12-05 2014-08-26 Princo Middle East Fze Manufacturing method of metal structure in multi-layer substrate
CN107092046A (zh) * 2017-04-26 2017-08-25 上海默奥光学薄膜器件有限公司 一种宽光谱高反光镜
CN107479114A (zh) * 2017-07-20 2017-12-15 广东欧珀移动通信有限公司 玻璃镜片、玻璃镜片加工工艺及电子设备
CN110716256A (zh) * 2018-07-12 2020-01-21 采钰科技股份有限公司 光学元件及其制造方法
US11231533B2 (en) 2018-07-12 2022-01-25 Visera Technologies Company Limited Optical element having dielectric layers formed by ion-assisted deposition and method for fabricating the same
CN110716256B (zh) * 2018-07-12 2022-03-22 采钰科技股份有限公司 光学元件及其制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101638278B1 (ko) 투명 도전성 필름 및 터치 패널
KR101872906B1 (ko) 광학 제품 및 안경 플라스틱 렌즈
KR101800495B1 (ko) 투명 도전성 필름 및 터치 패널
JP3400324B2 (ja) 導電性フィルム
JP5130725B2 (ja) 透明導電性積層体
CN1940599A (zh) 光学元件
WO2008091335A1 (en) First surface mirror with silicon-metal oxide nucleation layer for improving adhesion of the reflective layer
JP2009116218A (ja) 反射防止膜、反射防止膜の形成方法、及び透光部材
CN111095182A (zh) 触摸传感器及触摸传感器的制造方法以及图像显示装置
JPWO2017164226A1 (ja) 光反射フィルム及び液晶表示装置用バックライトユニット
CN114450553A (zh) 编码器用反射型光学标尺和反射型光学式编码器
CN107703568B (zh) 光反射膜及液晶显示装置用背光单元
JP4125158B2 (ja) 反射鏡及びそれを用いた光学機器
JP2005173326A (ja) プラスチック製光学部品
JP2000241612A (ja) 反射鏡
WO2017145748A1 (ja) 光反射フィルム及び液晶表示装置用バックライトユニット
KR101565855B1 (ko) 패턴 비시인성이 우수한 투명 전도성 광학시트
JP3012712B2 (ja) 反射防止膜を有する光学部材
JP2004099754A (ja) 光学用フィルム
JP2020076883A (ja) 反射防止フィルム
JP6627769B2 (ja) 透明導電体及びこれを含むタッチパネル
JPH09277427A (ja) 透明導電フィルム及びその製造方法
US20220308704A1 (en) Transparent laminate and image display apparatus
WO2024063131A1 (ja) エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダおよびエンコーダ用反射型光学式スケール用積層体
KR100575563B1 (ko) 디스플레이 패널용 플라스틱 필름

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication