CN1930648B - 固体电解电容器、用于固体电解电容器的阳极、该阳极的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的固体电解电容器用的电极(A1)，具有由阀作用金属构成的金属板(1)，在该金属板(1)上形成、且由阀作用金属构成的多孔质烧结体(2a、2b)。该多孔质烧结体包含第一烧结体(2a)、夹在该第一烧结体(2a)与金属板(1)之间的第二烧结体(2b)。第一烧结体(2a)的密度大于第二烧结体(2b)的密度。

Description

固体电解电容器、用于固体电解电容器的阳极、该阳极的制造方法

技术领域

本发明是涉及使用由具有阀作用的金属材料构成的多孔质烧结体的固体电解电容器，特别是涉及这样的固体电解电容器中所使用的阳极。而且，本发明还涉及这样的阳极的制造方法。

背景技术

固体电解电容器中所使用的阳极的一例在下述专利文献1中有记载。该现有的阳极，如本发明的图15A所示，包含金属板91，以及在该金属板上形成的多孔质烧结体94。金属板91和多孔质烧结体94，分别由具有阀作用的金属材料(以下称为“阀作用金属”)构成。图示的阳极X，如图15B所示，是将含有阀作用金属的粉末92的规定的材料93涂敷在金属板91上，之后，通过烧结该材料93而制造。根据这样的方法，能够容易地形成在平面视图中具有所希望的尺寸，且厚度薄的烧结体94。这意味着使用阳极X的固体电解电容器的电容、ESR(等效串联电阻)、ESL(等效串联电感)的调节能够容易地进行。

专利文献1：日本特开昭59-219923号公报。

近年来，各种电子设备都趋于小型化。与此相对应，也要求这样的电子设备中组装的固体电解电容器小型化。另一方面，为了与电源供给的大电容化相对应，必须增大电容器的静电电容。在利用上述阳极X的固体电解电容器中，为了在抑制该电容器的大型化的同时增大其电容，增大烧结体94的单位体积的静电电容即可。但是，在阳极X的制造中，材料93在烧结时，该材料中包含的粘合剂溶液等挥发，阳极金属板91上残留的粉末92被烧结，构成多孔质烧结体94。在该过程中，未进行为了提高多孔质烧结体94的密度的特别处理。其结果是，阳极X中多孔质烧结体94的每单位体积的静电电容就不充分高，存在不能够与所述固体电解电容器的小型化与大电容化的要求相对应的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题提出的。因此本发明以提供能够同时达到小型化与大电容化要求的固体电解电容器用阳极为课题。此外，本发明的另一课题在于提供具备该阳极的固体电解电容器。进而，本发明的另一个课题在于提供该阳极的制造方法。

为了解决上述问题，本发明采用以下的技术方法。

本发明的第一方面提供的固体电解电容器用阳极，具备由阀作用金属构成的金属板；和在上述金属板上形成、且由阀作用金属构成的多孔质烧结体，上述多孔质烧结体包含第一烧结体，和夹在该第一烧结体与上述金属板之间的第二烧结体，上述第一烧结体具有大于上述第二烧结体的密度。

根据这样的结构，上述第一烧结体离开上述金属板，未直接接合。因此，选择形成上述第一烧结体的材料时，就没有必要考虑与上述金属板的接合性。其结果是，材料选择的范围宽，能够选择适合于提高烧结体的密度的材料及制造方法。此外，通过得到高密度的烧结体，上述阳极能够在减少其尺寸的同时增大其静电电容，能够达到固体电解电容器的小型化及大电容化的目的。另一方面，由于第一烧结体的大电容化，第二烧结体就没有必要特别增大密度。因此，作为形成第二烧结体的材料，可以选择与第一烧结体及上述金属板的双方接合性都好的材料。这样，能够实现上述两个烧结体与金属板可靠的接合，同时能够减小接合部(延伸的上述阳极)的电阻及电感。

优选上述第一烧结体是扁平状。根据这样的结构，由于流过第一烧结体的电流路径短，所以有利于得到期望的低电阻与低电感。

优选上述金属板构成保护上述第一烧结体和第二烧结体的至少一部分的金属盖。根据这样的结构，能够避免在固体电解电容器的制造工序中，上述第一烧结体和/或第二烧结体与障碍物等发生冲突而破损。此外，上述金属盖，例如具有比树脂高的刚性。因此，在使用具备上述阳极的固体电解电容器时，能够抑制由上述第一和第二烧结体的发热所引起的固体电解电容器的变形。

优选上述第一烧结体包含多个烧结体单元，这些烧结体单元在与其厚度方向交叉的方向上并排配置。根据这样的结构，各烧结体单元都非大型，能够增大该阳极中包含的第一烧结体的体积(烧结体单元的合计体积)。虽然第一烧结体越大，使其扁平且高密度越困难，但是在本结构中，能够回避这些不利因素。而且，能够增大上述多个烧结体单元的合计体积，同时使上述阳极的高度减少。所以，上述阳极有利于固体电解电容器的薄型化。

本发明的第二方面提供的固体电解电容器，具备具有上述结构的阳极。根据这样的结构，从对上述阳极的说明可知，能够同时实现固体电解电容器的小型化与大电容化。有利于低ESR化与低ESL化。

优选，上述金属板的至少一部分用作外部连接用的外部阳极端子。根据这样的结构，能够实现上述第一烧结体与上述外部阳极端子之间的低电阻化与低电感化。此外，能够减少为了制造固体电解电容器的部件的数目，能够达到提高制造效率与降低制造成本的目的。

本发明的第三方面提供的固体电解电容器用的阳极的制造方法，具有使用含有阀作用金属的粉末的接合材料，使压缩阀作用金属的粉末形成的多孔质体与阀作用金属构成的金属板接合的工序；和通过在上述多孔质体与上述金属板接合的状态下加热，形成多孔质烧结体的工序。

根据这样的结构，能够合适且高效率地制造本发明的第一方面提供的固体电解电容器。特别是，为了提高上述多孔质烧结体的密度，作为上述多孔质烧结体，例如优选使用具有合适平均粒径的粉末，通过大的压力压缩后，形成具有微细空间部的高密度的多孔质烧结体。上述多孔质体与上述金属板不直接接合。因此，上述多孔质体不需要具有适合于与该金属板相接合的特性，能够形成密度大的多孔质体。其结果是，能够提高上述多孔质烧结体的密度。而且，由上述接合材料所形成的多孔质烧结体，不需要特别高的密度。所以，作为上述接合材料，能够选择与上述多孔质体及上述金属板的双方相融合，且通过加热能够进行适当的接合的材料。

本发明的第四方面提供的固体电解电容器用的阳极的制造方法，具有准备由阀作用金属构成的多孔质烧结体，及由阀作用金属构成的金属板的工序，使用含有阀作用金属的粉末的接合材料，使上述多孔质烧结体与上述金属板相互接合的工序。根据这样的结构，也能够合适且高效率地制造本发明的第一方面提供的固体电解电容器。特别是，上述多孔质烧结体，例如可以通过单独烧结多孔质体而形成，在烧结后与上述金属板接合。这样，在单独烧结多孔质体的情况下，即使是为了得到高密度的多孔质烧结体而适当地升温，也没有使其它部件产生过热等不适的情况发生。进而，在上述多孔质烧结体与上述金属板接合后对上述接合材料烧结时，由于没有必要升温至为了形成高密度多孔质烧结体那样的高温，所以有利于抑制制造成本。

本发明的其它特征与优点，可以通过参照附图而进行的以下详细说明而得到更好的理解。

附图说明

图1是表示基于本发明的第一实施例的固体电解电容器用阳极的立体图。

图2是沿图1的II-II线的截面图。

图3是为了说明图1所示的阳极的制造方法的一工序的截面图。

图4是为了说明图3工序的后续工序的截面图。

图5是为了说明图4工序的后续工序的截面图。

图6是为了说明图5工序的后续工序的截面图。

图7是为了说明利用图1所示阳极的固体电解电容器的截面图。

图8是沿图7的VIII-VIII线的截面图。

图9是表示基于本发明的第二实施例的固体电解电容器用阳极的立体图。

图10是沿图9的X-X线的截面图。

图11是沿图9的XI-XI线的截面图。

图12是为了说明利用图9所示阳极的固体电解电容器的截面图。

图13是沿图12的XIII-XIII线的截面图。

图14是表示基于本发明的第三实施例的固体电解电容器用阳极的立体图。

图15A是表示现有的固体电解电容器用阳极的截面图，图15B是为了说明上述现有的阳极的制造方法的截面图。

具体实施方式

下面参照附图详细说明本发明的优选实施例。

图1及图2是表示基于本发明的第一实施例的固体电解电容器用阳极的一例。图示的阳极A1，具备阳极金属板1，多孔质的第一和第二烧结体2a、2b。

第一烧结体2a，是将具有阀作用的金属材料(阀作用金属)铌粉末加压形成矩形的板状，并对其进行烧结而形成。第一烧结体2a隔着第二烧结体2b设置在阳极金属板1上。作为第一烧结体2a的材质，只要是具有阀作用的金属，也可以使用钽等其它金属来取代铌。其中，铌与钽相比具有优异的阻燃性，所以优选作为伴随使用而发热的第一烧结体2a的材料。

第二烧结体2b设置在第一烧结体2a与阳极金属板1之间。第二烧结体2b由后述的制造方法，通过烧结含有铌粉末的接合材料而形成。

阳极金属板1与第一及第二烧结体2a、2b同样，由铌制造，具有2个端部1a、1b与中央部1c。阳极金属板1弯折，使在中央部1c与各端部1a、1b之间形成台阶差。在中央部1c的上面，隔着第二烧结体2b叠层第一烧结体2a。两端部1a、1b，如后所述，在使用阳极A1的固体电解电容器中，作为外部连接用的外部阳极端子被使用。

接着，参照图3～图6，对上述阳极A1的制造方法的一例加以说明。

首先，形成作为第一烧结体2a的原型的多孔质体。在该多孔质体形成时，如图3所示，在模具6的模61上形成的凹部61a中，填充铌粉末21a。接着，如图4所示，可与凹部61a嵌合的冲头62从模61的上方下降。利用冲头62的下降，压缩凹部61a内的粉末21a，形成多孔质体22a。作为冲头62的压缩力，例如是能够使粉末21a压缩为具有其松装体积的1/2～1/3左右的体积的多孔质体22a。还有，在其后的工序中由多孔质体22a所形成的第一烧结体2a，为了在其内表面或外表面的一部分上形成介电体层(图示省略)及固体电解质层(图示省略)，必须在规定的溶液中进行含浸处理。所以，为了适当地进行这样的处理，作为粉末21a，优选选择通过冲头62的压缩能够成为高密度的多孔质体22a，同时在其内部能够形成充分的微细空间部的材料。

另一方面，如图5所示，准备为了在中央部1c与两端部1a、1b之间形成台阶差而被弯折加工的阳极金属板1。在阳极金属板1的中央部1c的上面，涂敷接合材料23b。该接合剂23b，将铌粉末21b例如混入粘合剂溶液中形成。通过接合材料23b，上述多孔质体22a与阳极金属板1接合。由此，如图6所示，在阳极金属板1上隔着接合材料23b叠层多孔质体22a，形成阳极材料A1′。

其后，对在阳极金属板1上叠层有多孔质体22a的状态下的阳极材料A1′的全体进行加热。由此烧结多孔质体22a，制作第一烧结体2a。此时，也加热接合材料23b，由此使接合材料23b中含有的粘合剂溶液挥发。与此同时，通过对接合材料23b中含有的粉末21b进行烧结而得到第二烧结体2b。在该加热时，从防止氧化、氮化的观点出发，优选例如能够在氩气等气氛中进行。

对于阳极A1，例如通过磷酸水溶液的合成处理，在第一和第二烧结体2a、2b内表面或外表面的一部分上形成介电体层。进而使用硝酸锰溶液或导电性聚合物液体等的处理液，在上述介电体层上形成固体电解质层。经过这样的处理，能够制造利用阳极A1的固体电解电容器。

图7和图8是表示利用阳极A1的固体电解电容器的一例。图示的固体电解电容器B1，除上述阳极A1，还具备阴极金属板3、密封树脂5等。阴极金属板3隔着导电层4与第一烧结体2a的上面接合，与在第一烧结体2a上形成的固体电解质层(图示省略)导通。导电层4，例如由上述固体电解质层上叠层的石墨层与银浆层所构成。密封树脂5，部分覆盖第一和第二烧结体2a、2b、阳极金属板1和阴极金属板3而设置。阳极金属板1中，从密封树脂5露出的两端部1a、1b，分别成为输入用及输出用的外部阳极端子。此外，阴极金属板3中，从密封树脂5露出的部分，成为输入用和输出用的外部阴极端子3a、3b。由此，固体电解电容器B1，具备输入用和输出用的外部阳极端子1a、1b，与输入用及输出用的外部阴极端子3a、3b，利用这些结构可以进行面安装，即构成四端子型的固体电解电容器。

在上述结构中，第一烧结体2a与阳极金属板1不直接接合。因此，没有必要使第一烧结体2a具有适合于与阳极金属板1接合的特性。例如，作为多孔质体22a的材料，可以选择适合于由高的压力能够压缩为高密度，同时在内部形成微细空间部的平均粒径的粉末。此外，根据上述制造方法，通过预先加压多孔质体22a形成高的密度，能够得到高密度的第一烧结体2a。如果第一烧结体2a的密度高，能够增大每单位体积的静电电容，对于固体电解电容器B1，能够实现小型化与大电容化。另一方面，由于由第一烧结体2a能够使固体电解电容器B1大电容化，所以第二烧结体2b没有必要要求特别高的密度。例如，第二烧结体2b可以使用包含具有适合于与第一烧结体2a及阳极金属板1接合的平均粒径的粉末21b及粘合剂溶液的接合材料23b形成。所以，能够可靠的实现第一及第二烧结体2a、2b与阳极金属板1的接合，同时能够由它们的低电阻化与低电感化而实现固体电解电容器B1的低ESR化与低ESL化。

由于第一烧结体2a是扁平状，所以能够使流过阳极金属板1与阴极金属板3之间的电流路径缩短化。由此，能够实现阳极金属板1与阴极金属板3之间的低电阻化与低电感化，适合固体电解电容器B1的低ESR化与低ESL化。

外部阳极端子1a、1b利用阳极金属板1的一部分形成。因此，没有必要另外准备形成外部阳极端子1a、1b的部件。所以，能够实现固体电解电容器B1的制造过程中的效率提高与低成本化。而且，通过外部阳极端子与阳极金属板的一体形成，没有必要进行多个金属部件之间的接合，有利于低ESR化与低ESL化。

此外，也可以采用与上述方法不同的方法，在加压成型多孔质体22a后，对该多孔质体22a单独烧结形成第一烧结体2a，通过接合材料23b使该第一烧结体2a与阳极金属板1接合。根据这样的制造方法，在烧结多孔质体22a的处理中，接合材料23b不被烧结。作为接合材料23b中包含的粉末21b，可以使用与第一烧结体2a及阳极金属板1很好地融合，平均粒径较小的粉末。这样的粉末21b，在比较低的温度下烧结。因此，粉末21b与多孔质体22a一起过热时，就会过度烧结，第一烧结体2a或阳极金属板1与第二烧结体2b的接合就不能适当地进行。如上所述，这样的问题，能够通过对多孔质体22a的单独烧结而解决。将所得到的第一烧结体2a隔着接合材料23b与阳极金属板1接合之后，通过升温到适合于接合材料23b的烧结温度，能够使第二烧结体2b与阳极金属板1良好地接合。

图9～图14是表示本发明的其它的实施例。在这些图中，对于与上述第一实施例同样或类似的要素，都赋予同样的符号。

图9～图11表示基于本发明的第二实施例的固体电解电容器用阳极的一例。与上述第一实施例的不同之处在于，图示的阳极A2，除上述阳极金属板1之外，还具有金属盖11。金属盖11包含向相互相反方向突出的两个端部11a、11b，底部11c，以及4个侧壁部11d。端部11a、11b在后述的固体电解电容器中作为输入用或输出用的外部阳极端子使用。底部11c和4个侧壁部11d，规定收纳第一及第二烧结体2a、2b的空间。如图10所示，第一烧结体2a的上面，位于比侧壁部1d的上缘低的位置。即，第一烧结体2a(及第二烧结体2b)，完全收纳于上述收纳空间内。

根据这样的结构，例如在搬送阳极A2等时，能够避免烧结体2a、2b与周围物体(“障碍物”)的冲突。烧结体2a(或2b)与障碍物发生冲突时，有可能使该烧结体的外表面所形成的微细孔被堵塞。在这种情况下，为了形成介电体层及固体电解质层的溶液适当地含浸烧结体2a就变得困难，不能形成良好的介电体层及固体电解质层。在使用这样有缺陷的阳极的固体电解电容器中，就会产生静电电容不足，漏电电流大等问题。根据本发明的第二实施例，能够避免这些问题，并能够良好地制造固体电解电容器。

图12及图13是表示利用上述阳极A2的固体电解电容器的一例。在图12～图13与图9～图11中，阳极A2的上下是相互相反绘制。在图12及图13中所示的固体电解电容器B2中，在第一烧结体2a的下面隔着导电层4叠层阴极金属板3。阴极金属板3的中央部3c被密封树脂5覆盖，从密封树脂5露出的两端部成为外部阴极端子3a、3b。绝缘树脂51是防止在固体电解电容器B2的制造过程中，导电层4及固体电解质层(未图示)与金属盖11的不当导通的部件。绝缘部52是绝缘树脂51进入第一及第二烧结体2a、2b的一部分的部分，具有与绝缘树脂51同样的功能。在金属盖11外表面的大部分上，施以树脂涂层53。由此，固体电解电容器B2及其它电子部件，例如在安装于电路基板的情况下，能够防止该电子部件与金属盖11的不当导通。

金属盖11的刚性比密封树脂5的刚性高。因此，在使用固体电解电容器B2时，即使是在第一及第二烧结体2a、2b中产生放热的情况下，也能够防止固体电解电容器B2全体发生不希望的弯曲。而且，金属盖11的导热性比密封树脂5的导热性好。所以，从第一及第二烧结体2a、2b所产生的热能够及时地释放，适合用于大电容的电源供给。

图14表示基于本发明第三实施例的阳极。图示的阳极A3，与第一实施例中A1的不同之处在于，其第一烧结体是由多个(图示的例中是2个)烧结体单元2a构成。烧结体单元2a呈扁平状，在与它们的厚度方向(图14中上下方向)相交叉的方向上并排配置。阳极A3可以用与上述阳极A1的制造方法同样的方法而制作。

在第三实施例中，采用了使用多个烧结体要素2a构成第一烧结体的结构。由此，能够使第一烧结体的厚度(即烧结体单元2a的厚度)减薄，同时使第一烧结体的体积(即烧结体单元2a的合计体积)增大。当然，由第一实施例(参照图1)中的单一烧结体也能够实现这一要求(厚度小、体积大)。但是，在上述加压成型处理中，难以制造大型且薄的多孔质体。在这样的情况下，由能够制作第一烧结体的多个烧结体单元构成即可。根据第三实施例，通过使用多个烧结体单元2a，能够满足固体电解电容器的薄型化及低ESL化的要求，并能够实现大电容化。还有，烧结体要素2a的个数也不限于2个，也可以是设置有3个以上的烧结体单元的结构。而且，多个烧结体单元也可以配置为矩阵状。

在本发明中，固体电解电容器也不限于上述实施例。固体电解电容器的各部分的具体结构，具有各种设计变更自由。

作为第一烧结体，从有利于低ESR化及低ESL化的方面考虑，优选扁平状。但本发明并不限于此，也可以是设置具有扁平状以外形状的第一烧结体的结构。

作为阀作用金属，例如也可以使用钽取代铌。而且，还可以使用包含铌或钽的合金。进而，作为阀作用金属还可以使用氧化铌。

本发明者发现，由氧化铌的粉末构成的成型体(小球)，在1100℃左右，优选在1400℃以上的温度中，相对作为纯金属的铌，非常容易熔融。作为证实该结论的现象的一例，可以列举出，在将由氧化铌粉末构成的小球在铌构成的盘上烧结的情况下，上述球状的烧结体在上述盘上熔融，无法取下。此外，本发明者在该熔融现象中确认了氧化铌中的氧向金属铌中扩散。具体地，在由铌构成的金属板(具有百微米数量级的厚度)上熔融了由氧化铌粉末构成的小球的情况下，确认该金属板背面中含氧量的增加。另一方面，氧化铌粉末之间，同金属铌粉末之间相比，有难以进行烧结的特性。由该特性，由氧化铌粉末构成的小球能够在高的温度下烧结。

鉴于氧化铌的上述特性，可以由适宜的氧化铌(或包含氧化铌的材料)形成本发明的电容器用阳极的各构成部件(金属板、第一烧结体、第二烧结体)。例如，在图2中，由铌形成阳极金属板1与第一烧结体2a，另一方面，由氧化铌形成第二烧结体2b。根据这样的结构，能够具有适当的强度进行第二烧结体2b与金属板1的接合，和第二烧结体2b与第一烧结体2a的接合。

对于上述氧化铌，钽粉末及铌粉末在较低的温度下容易烧结(换言之，在高温下不能烧结)。因此，随着粉末粒径变小，钽粉末及铌粉末构成的小球与金属板之间的烧结难以进行。这种状况特别是在小球为大型的情况下不优选。即，小球尺寸越大，烧结时其收缩也越大。因此，烧结时小球(烧结体)与金属板的接合也难以进行。由烧结温度低所引起的其它问题如下。在利用大电容粉末构成的固体电解电容器中，每单位面积的LC有增大的倾向。作为其理由之一，可以列举出烧结体中残留的碳等的存在。这样残留的碳，虽然烧结温度高就能够去除，但在钽粉末、铌粉末的烧结中使用较低烧结温度下则不能去除。这样的问题，能够通过利用烧结温度高的氧化铌而得到解决。而且，残留的碳，也可以通过氧化铌中含有的氧去除。

优选采用外部阳极端子与金属板一体形成的结构，以达到低电阻化，但本发明并不限于此，例如也可以是对于平板状的阳极金属板，被另外准备的外部阳极端子用的部件导通的结构。作为固体电解电容器的结构，也不限于上述电容器的结构，也可以是所谓的两端子型或三端子型。此外，在本发明中，固体电解电容器的用途，也没有特别的限定。

Claims (5)

1.一种具有阳极和阴极的固体电解电容器，其特征在于：

所述阳极具有由阀作用金属构成的金属板和在所述金属板上形成、且由阀作用金属构成的多孔质烧结体，

所述多孔质烧结体包括第一烧结体、夹在该第一烧结体与所述金属板之间的第二烧结体，

所述第一烧结体的密度大于所述第二烧结体的密度，且为扁平状，

所述第一烧结体包括多个烧结体单元，这些烧结体单元在与其厚度方向交叉的方向上并排配置，

所述金属板具有第一端部、第二端部、所述第一端部与所述第二端部之间的中央部，

在所述中央部上形成有包括多个烧结体单元的所述多孔质烧结体，

所述中央部具有与所述第一端部之间的台阶差和与所述第二端部之间的台阶差，从而在形成有包括多个烧结体单元的所述多孔质烧结体的一侧突出，

所述金属板的所述第一端部和所述第二端部用作外部连接用的外部阳极端子。

2.如权利要求1所述的固体电解电容器，其特征在于：所述金属板构成保护所述第一烧结体和第二烧结体的至少一部分的金属盖。

3.如权利要求1所述的固体电解电容器，其特征在于：还具有用于密封所述金属板上的所述多孔质烧结体的密封树脂，所述金属板的所述第一端部和所述第二端部延伸到所述密封树脂外。

4.一种固体电解电容器的制造方法，其特征在于：

包括下述工序：

使用含有阀作用金属的粉末的接合材料，使压缩阀作用金属的粉末形成的多孔质体与阀作用金属构成的金属板接合，

通过在所述多孔质体与所述金属板接合的状态下加热，形成多孔质烧结体，

其中，

所述金属板具有第一端部、第二端部、所述第一端部与所述第二端部之间的中央部，

所述多孔质体包括多个烧结体单元，这些烧结体单元在与其厚度方向交叉的方向上并排配置，

所述中央部具有与所述第一端部之间的台阶差和与所述第二端部之间的台阶差，从而在接合有包括多个烧结体单元的所述多孔质体的一侧突出，

所述金属板的所述第一端部和所述第二端部用作外部连接用的外部阳极端子。

5.一种固体电解电容器用的制造方法，其特征在于：

包括下述工序：

准备由阀作用金属的粉末构成的多孔质烧结体，和由阀作用金属构成的金属板，

使用含有阀作用金属的粉末的接合材料，使所述多孔质烧结体与所述金属板相互接合，

其中，

所述金属板具有第一端部、第二端部、所述第一端部与所述第二端部之间的中央部，

所述多孔质烧结体包括多个烧结体单元，这些烧结体单元在与其厚度方向交叉的方向上并排配置，

所述中央部具有与所述第一端部之间的台阶差和与所述第二端部之间的台阶差，从而在接合有包括多个烧结体单元的所述多孔质烧结体的一侧突出，

所述金属板的所述第一端部和所述第二端部用作外部连接用的外部阳极端子。

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