CN1924517A - 膜测定装置及方法、涂敷装置及涂敷方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能在膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的整个区域正确且简单地测定膜的厚度的膜测定装置。将彩色CCD传感器(8)对被检查物进行摄像所得到的膜的彩色图像信号的色调通过视频板(11)变换为RGB的各颜色成分的灰度数据，进一步利用图像处理板(12)抽取各颜色成分的行图像。运算部(14)将行图像的G或B成分的灰度数据作为索引，参照预先测得并作为基准厚度表存储在表(13)内的、与G或B成分的灰度数据相对应的膜的厚度的基准值，求出被检查物上的膜的膜的厚度。

Description

膜测定装置及方法、涂敷装置及涂敷方法

技术领域

本发明涉及对膜状或片状的基材上形成的膜的厚度及单位面积的重量进行测定的膜测定装置及方法、具有该膜测定装置的涂敷装置及使用了膜测定方法的涂敷方法。

背景技术

一直以来，对于碱性二次电池、锂离子二次电池等所使用的涡卷状极板那样的膜的单位面积的重量进行的测定例如有日本特开平8-96806号公报所揭示的方法：将β射线发射器和检测器隔着输送的被测定膜相对配置，使它们连动地沿测定膜的宽度方向(与输送方向正交的方向)移动，在此期间，从β射线发射器发射β射线，由检测器检测透过被测定膜的β射线量，将该检测结果与基准透过量比较。

因此，存在如下问题：测定部位仅限于β射线发射器和检测器所移动到的场所，无法对被测定膜的整个区域进行测定。另外，还存在如下缺点：β射线的操作存在危险，因为是使用放射线，因而设置条件非常严格、并需要具有资格等，使用不方便且高价。此外还存在这样的问题：对基膜上形成的膜的厚度进行测定时，因基膜的厚度度变动引起β射线的透过量变化，无法正确地测定膜本身的厚度，因而也存在基膜的选择受到限制的问题。

另外，像汽车用钢板的涂装那样成为基板的是金属厚板，膜是涂料树脂时，有时β射线对膜的厚度的测定本身非常困难。

而在日本特开平8-309262号公报中揭示了以下的膜厚测定装置：对形成有由掺合了荧光增白剂的透明涂料构成的涂膜的高尔夫球表面照射紫外线，利用CCD照相机摄取照射后得到的二次发光线，对摄取到的图像进行多值化处理而得到明暗图像，根据明暗图像计测涂膜的厚度。

但是还存在这样的问题：即使将上述特开平8-309262号公报记载的现有技术应用到对上述膜状或片状基材上形成的膜的膜的厚度进行测定，若形成的膜不与特定的波长反应就无法测定。

发明内容

本发明的目的在于提供一种膜测定装置及方法、具有该膜测定装置的涂敷装置及使用了上述膜测定方法的涂敷方法，对在膜状或片状的基材上形成的膜的整个区域能正确且简单地对所述膜的物理量进行测定。

本发明的一种膜测定装置，对膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的物理量进行测定，其包括：摄像部，其将对所述被检查物摄像得到的膜的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据；表格，对至少一个颜色成分存储有预先测得的与各灰度等级对应的膜的物理量的基准值；运算部，其将来自所述摄像部的各颜色成分的灰度数据中的所述至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在所述表格内的膜的物理量的基准值，求出所述被检查物的膜的物理量。

本发明的一种涂敷装置，包括：所述膜测定装置；在所述基材上涂敷膜的涂敷部；涂料量控制部，其根据所述膜测定装置的运算部求得的膜的厚度，对所述涂敷部的膜的涂敷量进行控制。

本发明的一种膜的测定方法，对在膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的物理量进行测定，其包括：将对所述被检查物摄像得到的膜的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据的步骤；将在所述变换步骤中得到的至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照预先测得并作为表格存储着的、与所述至少一个颜色成分的灰度数据相对应的膜的物理量的基准值，求出所述被检查物上的膜的物理量的步骤。

本发明的一种涂敷方法，其使用了所述膜测定方法，包括：在所述基材上涂敷膜的步骤；根据所述膜测定方法求得的所述膜的物理量，对所述涂敷步骤中的所述膜的涂敷量进行控制的步骤。

附图说明

图1是表示本发明的一实施形态的具有膜厚测定装置的涂敷装置的整体结构图。

图2是表示在铜箔上形成了氧化钛层时氧化钛层的膜厚度与红(R)、绿(G)、蓝(B)各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

图3是表示在铜箔上涂碳后的合剂上形成氧化铝层时氧化铝层的膜厚与RGB的各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

图4是表示在铜箔上形成了氧化钛层时氧化钛层的膜厚与B的颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

图5是表示在铜箔上涂碳后的合剂上形成氧化铝层时氧化铝层的膜的厚度与B的颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

图6A是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(蓝色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

图6B是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(红色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

图6C是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(绿色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

图6D是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(浅蓝色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

图6E是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨(粉红色)后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

具体实施方式

图1是表示本发明的较佳的一实施形态的具有膜厚测定装置1的涂敷装置2的整个结构图。膜测定装置1用于测量在膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物的作为膜的物理量的膜的厚度及单位面积的重量。以下，将陶瓷保护金属板作为一例上述被检查物，对测定该金属板上的多孔质陶瓷膜的厚度的情况进行例示及说明。作为本实施形态的具体例子，涂敷装置2在铜箔上形成氧化钛膜。

作为被检查物的铜板为片状，线圈状地卷绕成卷筒3。该铜片4依次拉出，通过多个导辊5被输送，在涂敷部6被涂敷氧化钛涂料，然后经过用于干燥涂料溶液的干燥炉7。在干燥炉7的出口部配置有膜测定装置1。

在膜测定装置1中，在铜片4的涂敷有氧化钛的一侧配置有彩色CCD传感器8及照明用光源9，在铜片4从干燥炉7出来之处，照明用光源9对铜片4照射，利用CCD传感器8在铜片4的宽度方向的全长上依次对铜片4上氧化钛的涂敷膜摄像。彩色CCD传感器8也能以覆盖铜片4的整个宽度的状态直线状地配置多个传感器。为了对铜片4的整个宽度均匀地照射，使用直管形的荧光灯作为照明用光源9。在彩色CCD传感器8的摄像位置，若能得到干扰光少、具有充足的光量的环境光时，也可不必特意设置照明用光源9。

来自彩色CCD传感器8的彩色图像信号输入图像控制器10，在视频板11，根据载色信号重叠在辉度信号上的合成视频信号，例如利用8位即256灰度依次变换为红(R)、绿(G)、蓝(B)各原色信号。彩色CCD传感器8和视频板11构成摄像部。

图像处理板12从RGB各原色信号抽取铜片4的宽度方向的行图像(line images)。而测定氧化钛膜的膜的厚度时使用G或B的颜色成分是有效的，预先测得的与G或B的颜色成分的各灰度等级对应的膜的厚度的基准值作为基准厚度表存储在表13内。对于G或B的颜色成分的有效性在后面进行说明。

运算部14将从图像处理板12得到的行图像的G或B的颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在表13内的膜的厚度基准值，读取与该灰度等级对应的膜的厚度。但是，如果表13内没有与该灰度等级对应的膜的厚度的数据时，运算部14适当地利用相对于该灰度等级的膜的厚度特性的近似或数据插补等方法求得该灰度等级的膜的厚度。在运算部14的灰度等级的测定值与基准值的比较既能以像素单位进行，也能预先划分多个区域，算出各区域内的平均值来进行。

又，运算部14对氧化钛膜的膜的厚度相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断，当判断为膜的厚度处于允许范围之外时，则判断该形成有氧化钛膜的陶瓷保护金属板为次品，向标识器20发出标识信号，对氧化钛膜的缺陷部分进行标识。此时，即使例如仅数平方厘米程度的范围的陶瓷保护金属板的膜的厚度在允许范围之外，但在实际的工序上，必须将数平方米程度的范围作为次品进行排除，故运算部14将包含膜的厚度在允许范围之外的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来。

这样，检查好氧化钛膜的膜的厚度的铜片4逐渐卷绕成卷筒15。

在此，在表13内除了与G或B颜色成分的各灰度等级对应的膜的厚度的测定值以外，作为成膜材料的氧化钛的单位面积的重量作为基准重量表也与G或B的颜色成分的各灰度等级对应地存储在表13内。由此，运算部14可求出形成的氧化钛膜的膜的厚度和单位面积的重量。

运算部14向涂敷量控制部21输出修正信号，以使求得的膜的厚度与预定的基准值一致。涂敷量控制部21按照修正信号进行控制，改变涂敷部6的涂敷条件，使涂敷量恒定。具体而言，挤压式涂敷(die coater)时通过改变泵的转速来控制涂敷量，而凹版涂敷方式(gravurecoater)时通过改变速度比来控制涂敷量。这样能进行反馈控制以使氧化钛的膜的厚度恒定。

又，输入部22与表13连接，将测定了膜的厚度的铜片4取出，输入实际测得的膜的厚度及重量的数据，可存放在表13内。通过这样从输入部22输入表数据，可修正各灰度等级与涂敷量的校准线，或补充数据的试样数。其结果，可提高膜的厚度及重量的测定精度。

此外，在铜片4的配置有彩色CCD传感器8及照明用光源9的一侧的相反侧配置照度传感器23，在没有输送铜片4时，例如更换卷筒3、15时，对照明用光源9的照度进行测定。或照度传感器23配置在铜片4的缘部的外侧，始终测定照明用光源9的照度，利用照明控制部24根据该测定结果进行反馈控制，以使照明用光源9的照度恒定。由此，即使照明用光源9发生年久变化或电源电压发生变动等，也可保持照明光的照度恒定，可进行正确膜的厚度测定。

采用以上的构成，能正确、简单地测定形成的膜的厚度及重量，可实现成膜流程的调节也容易的涂敷装置2。另外，在测定膜的厚度时，通过选择有效的至少一个颜色成分，就可测定任意的材质的膜的厚度及重量。此外，通过改变摄像点或将摄像点扩大至被检查物的整个区域，就可测定膜的整个区域的厚度及重量。

在此，存储在表13内的颜色成分只要是与基材的反差大且在预想的膜的厚度及重量的变动范围内等级变化较大的颜色成分即可，也可使用单色，或在上述变动范围的多个区域内等级呈显著变化的颜色成分不同时等情况下，可将多个颜色成分组合使用。又，颜色成分的形式不仅是分别表示RGB或青色(C)、深红色(M)、黄色(Y)等个别的颜色成分的信号，也可是将色差信号与辉度信号合成后的信号等。

图2是表示在作为基材的铜箔上涂敷了由作为无机氧化物填料的氧化钛中混合粘结剂而成的氧化钛涂料后形成膜时的氧化钛层的膜的厚度与RGB的各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

因此，此时，在金属颜色的铜箔上涂敷有白的粉末的氧化钛涂料。在图2中，第1个试样数据用参照符号αR1、αG1、αB1表示，第2个试样数据用参照符号αR2、αG2、αB2表示。

图3是表示在作为基材的铜箔上首先涂敷含有碳的合剂层，然后在合剂层上涂敷由作为无机氧化物填料的氧化铝中混合粘结剂而成的氧化铝涂料后形成膜时的氧化铝层的膜的厚度与RGB的各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。

因此，此时，在消去光泽的黑色合剂层上涂敷有白的粉末的氧化铝涂料。在图3中，第1个试样数据用参照符号βR1、βG1、βB1表示，第2个试样数据用参照符号βR2、βG2、βB2表示。参照符号βR3、βG3、βB3表示的第3个试样是通过改变粘结剂的组成来改变粘性进行测定的试样。在厚度为16μm的铜箔上涂敷单侧的厚度为100μm、密度为1.63g/cm³的合剂层，在该合剂层上涂敷具有以下组成的氧化铝涂料：氧化铝∶PVDF的比为96∶4，固体含量比45％的NMP溶液。

从图2清楚可知，即使是相同的膜的厚度的变化量，与R的颜色成分(αR1、αR2)相比，G及B的颜色成分(αG1、αB1；αG2、αB2)的灰度等级的变化大，可见适用于膜的厚度测定。其中，G颜色成分(αG1)的直线性好，故在铜箔上涂敷氧化钛时，使用该G颜色成分来测定膜的厚度。图4及表1分别表示从图2抽取的G颜色成分的曲线及数据。膜的厚度测定时，利用图4中用参照符号γG表示的直线，对于任意的灰度等级可通过插值来计算膜的厚度。

        表1

合剂层上
		厚度(μm)	G灰度
0	68
		1.0	83
2.0	98
		2.5	109
3.1	119
		3.2	120
3.4	123
		3.5	124
3.8	128
		4.0	129
4.5	135
		5.0	142
6.0	155
		8.0	162

从图3清楚可知，RGB的各颜色成分的灰度等级的变化大致相等，可使用任一颜色成分，也可多个颜色成分组合来提高精度。图5及表2分别表示从图3抽取的B颜色成分的曲线及数据。利用图5中用参照符号γB表示的直线，对于任意的灰度等级可通过插补来计算膜的厚度。

        表2

芯材上
		厚度(μm)	B灰度
0.3	97
		1.3	128
1.7	133
		2.5	134
3.0	135
		3.7	138
4.0	140
		4.2	143
4.5	151
		4.8	153
5.0	155
		5.5	160
6.5	165

如图4及图5所示，都在256灰度的范围内，哪怕是1μm程度的膜的厚度的差异也能通过灰度等级的变化来识别。本实施形态中作为无机氧化物填料使用的氧化铝、氧化钛及氧化镁显示大致相同的灰度等级的变化。

本实施形态的膜测定装置1并不局限于上述氧化钛层及氧化铝层的厚度及重量的测定，只要是色调随厚度变化的半透明膜就可测定。另外，上述例子中，基材是铜箔或在铜箔上涂敷了碳的合剂，具有遮光性，但基材由半透明的材料构成时，也可相对于铜片4在彩色CCD传感器8的相反侧设置与涂敷的膜具有反差的背景部件。

图6A、图6B、图6C、图6D及图6E是表示在黑色的消去光泽的合剂上涂敷了油墨后的油墨厚度与RGB各颜色成分的灰度等级的关系的曲线图。图6A表示涂敷了蓝色油墨的情况，图6B表示涂敷了红色油墨的情况，图6C表示涂敷了绿色油墨的情况，图6D表示涂敷了浅蓝色油墨的情况，图6E表示涂敷了粉红色油墨的情况。

从图6可见，相对于蓝色、绿色及浅蓝色的油墨，膜的厚度相对于R的颜色成分的灰度等级的变化大，故R的颜色成分是有效的，相对于红色及粉红色的油墨，膜的厚度相对于G的颜色成分的灰度等级的变化大，故G的颜色成分是有效的。因此，能从摄像得到的彩色图像的至少一个颜色成分测定由任意的材料构成的膜的厚度。

本发明的特征的结构可归纳如下：

本发明的膜测定装置，对在膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的厚度进行测定，其特征在于，包括：摄像部，其将对所述被检查物摄像得到的膜的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据；基准厚度表，对至少一个颜色成分存储有预先测得的与各灰度等级对应的膜的厚度的基准值；运算部，其将来自所述摄像部的各颜色成分的灰度数据中的所述至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在所述基准厚度表内的膜厚的基准值，求出所述被检查物上的膜的厚度。

另外，本发明的膜测定装置，对在膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的单位面积的重量进行测定，其特征在于，包括：摄像部，其将对所述被检查物摄像得到的膜的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据；基准重量表，其对至少一个颜色成分存储有预先测得的与各灰度等级对应的重量的基准值；运算部，其将来自所述摄像部的各颜色成分的灰度数据中的所述至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在所述基准重量表内的重量的基准值，求出所述被检查物上的膜的单位面积的重量。

采用上述构成，在膜测定装置中，该膜测定装置用于对在膜状或片状的基材上利用涂敷或蒸涂等方式形成有膜的被检查物上的膜的厚度及单位面积的重量进行测定，以检测有无缺陷等，利用摄像部以非接触的方式测定时，所述摄像部对被检查物摄像而得到彩色图像，并将膜的色调变换为各颜色成分的灰度数据而输出。另一方面，将预先分别对多个试样的膜的厚度及单位面积的重量测定后得到的基准值、测定膜的厚度及重量时的有效的至少一个颜色成分的灰度数据相互对应地作为表格存储在基准厚度表及基准重量表内。

上述膜的厚度及重量测定时的有效颜色成分是指与基材的反差大且在预想的膜的厚度及重量的变动范围内等级变化较大的颜色成分，可使用单色，或在上述变动范围的多个区域内等级呈显著变化的颜色成分不同时等情况下，可将多个颜色成分组合使用。上述颜色成分的形式不仅是分别表示RGB或CMY等个别的颜色成分的信号，也可是将色差信号等与辉度信号合成后的信号等。

并且，对膜的厚度及重量进行运算的运算部将上述摄像部得到的各颜色成分的灰度数据内对测定膜的厚度及重量时的有效的至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照上述基准厚度表及上述基准重量表，读取与该灰度等级对应的膜的厚度及重量。但是，如果表内没有与该灰度等级对应的膜的厚度及重量的数据时，上述运算部适当地利用相对于该灰度等级的膜的厚度及重量特性的近似或数据插补等方法求得与该灰度等级对应的膜的厚度及重量。

因此，能正确且简单地测定形成的膜的膜的厚度及单位面积的重量。另外，在测定膜的厚度及重量时，通过选择有效的至少一个颜色成分，就可测定任意的材质的膜的膜的厚度及重量。此外，通过改变摄像点或将摄像点扩大至被检查物的整个区域，就可测定膜的整个区域的厚度及重量。

另外，本发明的膜测定装置最好还包括：对所述被检查物上的膜照射照明光的照明用光源；检测所述照明光的照度的照度传感器；根据所述照度传感器检测到的照度，对所述照明用光源进行反馈控制以使所述照度恒定的照明控制部。

采用该结构，利用照度传感器检测出照明用光源的年久变化或电源电压的变动等引起的照明光照度的变化，照度控制部根据检测出的照度，对照明用光源进行反馈控制，以使该照度恒定。

因此，照明光的照度与所述照明用光源的年久变化或电源电压的变动等无关地保持恒定，能正确地测定膜的厚度及重量。

又，在本发明的膜测定装置中，所述被检查物的基材由透明或半透明的材料构成时，最好相对于被检查物在所述摄像部的相反侧设置与形成的膜具有反差的背景部件。

采用该结构，当被检查物的基材由透明或半透明的材料构成时，若层叠的膜薄，则来自摄像部侧的照明光或环境光透过所述被检查物。为此，通过相对于所述被检查物，在所述摄像部的相反侧设置与形成的膜具有反差的背景部件，从至少一个颜色成分的灰度数据就可正确地测定膜的厚度和重量。

本发明的膜测定装置最好还具有输入部，将实测到的膜的厚度作为所述基准值与灰度等级相对应地输入到所述基准厚度表中。

采用该结构，取出摄像后的被检查物，将实际测得的膜的厚度数据从输入部输入到将预先测得的膜的厚度作为基准值存储着的基准厚度表内，由此能修正各灰度等级与涂敷量的校准线，或补充数据的试样数，可提高膜的厚度的测定精度。

本发明的涂敷装置，其特征在于，包括：膜测定装置，其具有所述摄像部、所述基准厚度表、所述运算部；涂敷部，在所述基材上涂敷膜；涂料量控制部，其根据所述运算部求得的膜的厚度，对所述涂敷部的膜的涂敷量进行控制。

采用该结构，能根据膜测定装置测得的膜厚自动地控制涂料量。

另外，在本发明的涂敷装置中，所述运算部最好对求得的膜厚相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断，将包含所述允许范围之外的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来。

采用该结构，不仅能检测出超出允许范围的部分，而且符合实际的工序，能容易地将包含超出该允许范围的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来。

如上所述，采用本发明，对于在膜状或片状的基材上利用涂敷或蒸涂方式等层叠而成的被检查物，能在膜的整个区域正确且简单地测定任意材质的膜的厚度及单位面积的重量，能根据测得的膜的厚度自动地控制被检查物的膜的涂敷量，并且能容易地检测出膜的缺陷部分。

Claims (13)

1.一种膜测定装置，对膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的物理量进行测定，其特征在于，包括：

摄像部，将对所述被检查物摄像得到的膜的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据；

表格，对至少一个颜色成分存储有预先测得的与各灰度等级对应的膜的物理量的基准值；

运算部，将来自所述摄像部的各颜色成分的灰度数据中的所述至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照存储在所述表格内的膜的物理量的基准值，求出所述被检查物上的膜的物理量。

2.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于，

所述膜的物理量是膜厚；

在所述表格内，预先测得的与各灰度等级对应的膜厚的基准值作为基准厚度表被存储。

3.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于，

所述膜的物理量是单位面积的重量；

在所述表格内，预先测得的与各灰度等级对应的重量的基准值作为基准重量表被存储。

4.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于，还包括：

照明用光源，对所述膜照射照明光；

照度传感器，检测所述照明光的照度；

照明控制部，根据所述照度传感器检测到的照度，对所述照明用光源进行反馈控制以使所述照度恒定。

5.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于，

当所述被检查物的基材是由透明或半透明的材料构成时，相对于被检查物，在所述摄像部的相反一侧设置与所形成的膜具有反差的背景部件。

6.如权利要求1所述的膜测定装置，其特征在于，还包括：

输入部，其将实测到的物理量作为所述基准值与灰度等级相对应地输入到所述表格中。

7.一种涂敷装置，其特征在于，包括：

膜测定装置，如权利要求1至6其中之一所述；

涂敷部，在所述基材上涂敷所述膜；

涂料量控制部，根据所述膜测定装置的运算部求得的所述膜的物理量，对所述涂敷部的所述膜的涂敷量进行控制。

8.如权利要求7所述的涂敷装置，其特征在于，

所述运算部对求得的所述膜的物理量相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断，将包含所述允许范围之外的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来。

9.一种膜的测定方法，对在膜状或片状的基材上形成有膜的被检查物上的膜的物理量进行测定，其特征在于，包括以下步骤：

将对所述被检查物摄像得到的膜的彩色图像的色调变换为各颜色成分的灰度数据的变换步骤；

将在所述变换步骤中得到的至少一个颜色成分的灰度数据作为索引，参照预先测得并作为表格存储着的、与所述至少一个颜色成分的灰度数据对应的膜的物理量的基准值，求出所述被检查物上的膜的物理量的步骤。

10.如权利要求9所述的膜测定方法，其特征在于，

所述膜的物理量是膜厚；

在所述表格内，预先测得的与各灰度等级对应的膜厚的基准值作为基准厚度表被存储。

11.如权利要求9所述的膜测定方法，其特征在于，

所述膜的物理量是单位面积的重量；

在所述表格内，预先测得的与各灰度等级对应的重量的基准值作为基准重量表被存储。

12.一种涂敷方法，是一种使用了权利要求9至11其中之一所述的膜测定方法，其特征在于，包括以下步骤：

在所述基材上涂敷膜的步骤；

根据所述膜测定方法求得的所述膜的物理量，对所述涂敷步骤中的所述膜的涂敷量进行控制的步骤。

13.如权利要求12所述的涂敷方法，其特征在于，还包括以下步骤：

对利用所述膜测定方法求得的所述膜的物理量相对于预定的基准值是否在允许范围内进行判断的步骤；

所述膜的物理量在允许范围之外时，将包含所述允许范围之外的部分的预定的膜的指定区域作为缺陷部分检测出来的步骤。

Images