CN1867227A - 多层化膜的形成方法和多层化膜、电光学装置及电子设备 - Google Patents

多层化膜的形成方法和多层化膜、电光学装置及电子设备 Download PDF

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Abstract

一种异种功能性材料层之间具有优越的粘结性能和接触性能的多层化膜的形成方法、多层化膜以及具有该多层化膜的电光学装置、电子设备。在通过围堰(9)而划分的灰度要素区域(58)内，形成包含PEDOT的固体层(63)，并通过液滴喷出法，与固体层(63)重叠地配置PEDOT液(61)、有机EL液(62)。然后，连同元件基板(2)一同使其干燥，一体固化PEDOT液(61)和有机EL液(62)，而形成由空穴输送层(52)和有机EL层(51)构成的发光膜(50)。有机EL层(51)与空穴输送层(52)的界面处于有机EL材料和PEDOT适度混合、扩散的状态，显示出两层(51、52)恰当的粘结性能和接触性能。

Description

多层化膜的形成方法和多层化膜、电光学装置及电子设备
技术领域
本发明涉及一种使用了液滴喷出法的多层化膜的形成方法、以及多层化膜、电光学装置和电子设备。
背景技术
近年来，在导电布线和功能性元件的制造中，利用成膜技术，其采用了液滴喷出法(喷墨法)。该成膜技术是使用像喷墨打印机那样的描绘装置，将含有功能性材料的液状体(功能液)进行图案化而配置在基板上，并通过使该被配置的功能液干燥等，来成膜功能性膜的技术，该技术可以对应于少量多种类的生产等，并且十分有效。
在利用该成膜技术来制造功能性元件等时，通过依次反复进行上述的描画、干燥工序，还可以层叠形成多种的功能性膜。例如，在专利文献1中公开了下述例子，即，使用液滴喷出法，来形成包含空穴输送层和发光层的功能性元件，在专利文献2中公开了下述例子，即，使用液滴喷出法，来形成由基底层和导电层构成的导电布线。
专利文献1：特开2004-63138号公报
专利文献2：特开2003-315813号公报
专利文献3：特开2002-110352号公报
专利文献4：特许第2773297号公报
可是，在上述被多层化的功能性膜(下面称作多层化膜)中，有时其层与层之间的粘结性能和接触性能会对可靠性和特性产生很大的影响。例如，在上述的两层导电布线的情况下，层之间的粘结性能会对界面电阻和层之间的耐剥离性产生影响。而且，在上述的发光元件的情况下，发光元件是在空穴输送层与发光层的界面附近产生发光的器件，与两层的界面的接触面积和发光效率有着密切的关系(例如，参照专利文献3、4)。
可是，在以往的通过液滴喷出法来实现多层化的方法中，对于提高这种界面的粘结性能、接触性能并没有进行充分的考虑。
发明内容
本发明为了解决上述的课题，其目的在于提供在异种功能性材料层之间具有优越的粘结性能和接触性能的多层化膜的形成方法、和多层化膜以及具有该多层化膜的电光学装置、电子设备。
本发明涉及多层化膜的形成方法，在基板上形成层叠有至少2种以上的功能性材料的多层化膜，包括：使用液滴喷出法，在所述基板上配置包含第1所述功能性材料的第1功能液的下层喷出工序；固化所述基板上的所述第1功能液，来形成包含所述第1功能性材料的固体层的下层固化工序；在所述固体层上，形成包含所述第1功能性材料的液状层的液状层形成工序；使用液滴喷出法，与所述固体层及所述液状层重叠地配置包含第2所述功能性材料的第2功能液的上层喷出工序；和固化所述液状层及所述第2功能液的上层固化工序。
根据本发明的多层化膜的形成方法，由于含有第1功能性材料的固体层和第2功能液隔着液状层而层叠配置，并经过界面具有流动性的状态而被固化，所以，第1和第2功能性材料在界面附近混合、扩散，从而能够获得具有适当的层间粘结性能和接触性能的多层化膜。
而且，在所述多层化膜的形成方法中，优选所述液状层形成工序是使用液滴喷出法，在所述固体层上喷出用于使该固体层再次液化的再次液化液体的工序。
并且，优选所述再次液化液体由所述第1功能液的液体成分构成。
根据本发明的多层化膜的形成方法，通过采用液滴喷出法喷出再次液化液体，可以使第1功能性材料层的表面液状化，而简单地形成液状层。而且，通过优选使用由第1功能液的液体成分构成的再次液化液体，可以有效地实现再次液化。
而且，在所述多层化膜的形成方法中，优选所述液状层形成工序是使用液滴喷出法，在所述固体层上喷出所述第1功能液的工序。
根据本发明的多层化膜的形成方法，可以通过采用液滴喷出法喷出第1功能液，来简单地形成液状层。
而且，在所述多层化膜的形成方法中，优选在所述下层喷出工序之前，在所述基板上形成围堰，以划分该下层喷出工序中规定的区域。
这里，围堰是由树脂等形成的立体结构体。根据本发明的多层化膜的形成方法，通过利用围堰来可靠地限定基板面内方向的功能液的位置，可以实现第1和第2功能性材料层的良好的层叠关系。
而且，在所述多层化膜的形成方法中，优选所述第1和第2功能性材料具有相互起互补作用且发挥规定功能的关系。
根据本发明的多层化膜的形成方法，由于通过功能性材料被混合、扩散的界面结构，实质地增加了功能性材料层间的接触面积，所以能够提供具有优越的功能性效率的多层化膜。
本发明的多层化膜，其特征在于，在形成于基板上并包含第1功能性材料的固体层上，形成包含所述第1功能性材料的液状层，并通过液滴喷出法与该液状层重叠地配置包含第2功能性材料的功能液，该功能液和所述液状层被固化而形成所述多层化膜。
本发明的多层化膜，由于包含第1功能性材料的固体层和第2功能液被隔着液状层而层叠配置，并经过界面具有流动性的状态而被固化形成，所以，所述多层化膜处于第1和第2功能性材料在界面附近混合、扩散的状态。由此，形成了具有适当的层间粘结性能和接触性能的多层化膜。
本发明的电光学装置，其特征在于，具有所述多层化膜。
本发明的电光学装置，由于包括层间粘结性能优越的多层化膜，所以具有优越的可靠性等。
本发明的电子设备，其特征在于，具有所述多层化膜。
本发明的电子设备，其特征在于，具有所述电光学装置。
本发明的电子设备，由于包括层间粘结性能优越的多层化膜，所以具有优越的可靠性等。
附图说明
图1是表示本发明的电光学装置的一个例子的主要部分剖面图。
图2是表示电光学装置的驱动电路部的俯视图。
图3是表示驱动元件和其周边结构的图2的A-A剖面图。
图4是表示液滴喷出装置的结构的一个例子的模式图。
图5是表示栅极布线的形成工序的流程图。
图6(a)～(d)是表示栅极布线形成工序的一个过程的图2的B-B剖面图。
图7(e)～(g)是表示栅极布线形成工序的一个过程的图2的B-B剖面图。
图8是表示发光元件的形成过程的流程图。
图9(a)～(d)是表示发光元件形成工序的一个过程的剖面图。
图10是表示电子设备的一个例子的概略立体图。
图11是表示燃料电池的概略结构的立体图。
图中：1-驱动元件，2-元件基板，3-作为多层化膜的栅极布线，4-作为多层化膜的源极布线，5-作为多层化膜的栅电极，6-作为多层化膜的源电极，7-作为多层化膜的漏电极，8-分段电极(segment electrode)，9-作为围堰(bank)的下层围堰，10a-作为第1功能性材料层(固体层)的栅极基底层，10b-作为第1(固体层)或第2功能性材料层的栅极导电层，10c-作为第2功能性材料层的栅极覆盖层，18a-下层源极层，18b-源极导电层，18c-上层源极层，19a-下层漏极层，19b-漏极导电层，19c-上层漏极层，32-作为第1或第2功能液的Ag分散溶液，33-作为第2功能液的Ni分散溶液，35-液状层，36-液状层，50-作为多层化膜的发光膜，51-作为第2功能材料层的有机EL层，52-作为第1功能性材料层的空穴输送层，53-公共电极，54-围堰，55-遮光膜，56-发光元件，61-第1功能液和作为液状层的PEDOT液，62-作为第2功能液的有机EL液，63-固体层，100-电光学装置，101-驱动电路部，102-发光元件部，120-燃料电池，121、122-基板，123、124-气体扩散层，125、126-催化剂层，127-离子交换层，128、129-电极层，130-多层化膜，200-液滴喷出装置，700-作为电子设备的便携式信息处理装置。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的优选实施方式进行详细的说明。
另外，由于下面叙述的实施方式是本发明的优选具体实例，所以，在技术上附加了各种优选的限定，本发明的范围在下面的说明中，只要没有特别限定本发明的内容的记载，就不限定于这些实施方式。而且，由于在下述说明所参照的附图中，各层与各部件的大小是在附图上能够识别的程度的大小，所以与实际的实物不同，来表示各层和各部件的缩小比例。
(第1实施方式)
(电光学装置)
首先，参照图1、图2、图3，对本发明的电光学装置进行说明。图1是表示本发明的电光学装置的一个例子的主要部分剖面图。图2是表示点光学装置的驱动电路部的俯视图。图3是表示驱动元件和其周边结构的图2的A-A剖面图。
如图1所示，电光学装置100包括：作为基板的元件基板2；在元件基板2上形成的驱动电路部101；在驱动电路部101上形成的发光元件部102；与元件基板2对置，用于密封驱动电路部101和发光元件部102的密封基板103。优选使用玻璃基板作为元件基板2。另外，在被密封基板103密封的密封空间104中填充有惰性气体。
发光元件部102具有以围堰54划分的多个凹部，作为在该凹部内形成的多层化膜的发光元件56的每一个，构成了用于形成图像的灰度要素。而且，在围堰54与驱动电路部101之间形成有用于防止灰度要素之间的干涉的遮光膜55。另外，围堰54是将丙烯酸树脂和聚酰亚胺树脂等形成在元件基板2上的部件。
发光元件56是在驱动电路部101的输出端子即分段电极(阳极)8与公共电极(阴极)53之间夹持发光膜50而构成的。发光膜50是层叠了空穴输送层52和有机电致发光(下面称作有机EL)层51的多层化膜。
分段电极8可以使用铟锡氧化物(ITO)等的光透过性的导电材料，公共电极53可以使用钙金属层和保护其的银-镁合金层的三层膜等。发光膜50中的空穴输送层52是用于在有机EL层51中注入空穴的功能层，可以使用噻吩衍生物的掺杂体(下面称作PEDOT)等高分子导电体。有机EL层51可以使用公知的能够发荧光或磷光的有机EL材料，例如：聚芴衍生物、(聚)对亚苯基亚乙烯基衍生物、聚亚苯基衍生物等。另外，关于发光元件56的具体的形成方法，将在后面叙述。
在上述结构中，如果通过经由驱动电路部101的驱动控制，在分段电极8与公共电极53之间施加电压，则空穴从空穴输送层52被注入到有机EL层51，使得该空穴与来自公共电极53侧的电子结合，从而发光。该发光在空穴输送层52和有机EL层51的界面附近发生。
如图2所示，在平面结构上，驱动电路部101具有：纵横配置在元件基板2上的导电布线即栅极布线3和源极布线4、在两布线3和4的交叉区域附近形成的驱动元件1。驱动元件1具有3个电极，分别是：从栅极布线3开始并与其延伸方向垂直的栅电极5、从源极布线4开始并与其延伸方向正交的源电极6、在俯视方向上与源电极6对置地配置的漏电极7，漏电极7与上述的分段电极8电连接。这样一来，驱动电路部101通过向栅极布线3供给的扫描信号和向源极布线4供给的灰度信号，来进行与灰度要素对应配置的每一个分段电极8的供给电压控制。
如图3所示，在剖面结构上，驱动电路部101具有：在元件基板2的表面上形成的下层围堰9、在由下层围堰9划分的凹部内形成的栅电极5和栅极布线3(参照图2)、在栅电极5和下层围堰9的上面侧形成的栅极绝缘层13。下层围堰9通过和上述的围堰54(参照图1)相同的方法形成。栅极绝缘层13由氮化硅等形成，可以采用CVD法等形成。
栅电极5和栅极布线3(参照图2)是由下述各层构成的多层化膜，所述各层为：由Mn(锰)或Mn的合金构成的栅极基底层10a、由Ag(银)或Ag的合金构成的栅极导电层10b、由Ni(镍)或Ni的合金构成的栅极覆盖层10c。这些层与栅电极5和栅极布线3(参照图2)相对应地形成一体，可以采用液滴喷出法来图案形成，关于详细的工序将在后面叙述。
栅极导电层10b是担负作为导电布线的导电性的层。栅极基底层10a介于栅极导电层10b和元件基板2之间，起到用于提高元件基板2上的栅极导电层10b的固定性的作用。特别是，通过栅极基底层10a，可以有效地防止像栅电极5那样，在线宽窄的区域(参照图2)，从元件基板2上剥离。由于栅极导电层10b含有Ag而具有容易扩散的特性，所以，栅极覆盖层10c起到作为保护层(cap)的作用，来抑制该扩散。
驱动电路部101在栅极绝缘层13的上面侧具有：上层围堰14、经由栅极绝缘层13与栅电极5对置形成的沟道层15、在沟道层15上具有规定间隔而形成的接合层16和17、与接合层16和17接触而形成的源电极6(源极布线4)、和漏电极7。
沟道层15和接合层16、17分别由非晶硅、n+型非晶硅形成。源电极6和源极布线4是多层化膜，分别由下述各层构成，即：由Ni(镍)或Ni合金构成的下层源极层18a、由Ag(银)或Ag合金构成的源极导电层18b、由Ni(镍)或Ni合金构成的上层源极层18c。漏电极7也是具有和源电极6相同的结构的多层化膜，包括：下层漏极层19a、漏极导电层19b、上层漏极层19c。
上层围堰层通过与上述围堰54相同的方法而图案形成，来划分源极布线4和驱动元件1的形成区域(参照图2)。接着，采用CVD法和光刻法来形成沟道15、接合层16和17，并通过与栅电极5和栅极布线3(参照图2)相同的方法，采用液滴喷出法来形成源电极6、漏电极7。然后，以填补由上层围堰14划分的凹部的方式来形成绝缘层20，进而，形成从漏电极7贯通至绝缘层20的上面的导电孔21，形成了图示的状态。
(液滴喷出装置)
接着，参照图4，对在液滴喷出法中使用的液滴喷出装置进行说明。图4是表示液滴喷出装置的结构的一个例子的模式图。
在图4中，液滴喷出装置200包括：喷头201，在一面上配置了多个喷嘴212；载置台203，位于和喷头201对置的位置，并用于载置基板202。另外，还具有：扫描机构204，在保持与基板202的距离的状态下使喷头201纵横移动(扫描)；功能液供给机构205，向喷头201供给功能液；喷出控制机构206，进行喷头201的喷出控制。
在喷头201中，形成有多个微细的分支流路，该流路的端部成为压力室(空腔)211、喷嘴212。压力室211外廓的一面通过压电元件210可以产生变形，通过根据来自喷出控制机构206的驱动信号在压力室211内产生压力，而从喷嘴212将液滴213喷出。另外，作为喷出技术而言，除了该例这样的电机械方式之外，还有所谓的热(thermal)方式等，即将电信号变换为热，来产生压力的方法。
在上述的结构中，通过进行与喷头201的扫描同步的每一个喷嘴212的喷出控制，可以在基板202上以所希望的图案来配置功能液。另外，液滴喷出装置200也可以构成为在一次扫描中能够喷出多种的功能液。
(栅极布线的形成方法)
接着，沿着图5的流程图并参照图6、图7，来说明栅极布线(也包括栅电极)的形成方法。图5是表示栅极布线的形成工序的流程图。图6(a)～(d)是表示栅极布线形成工序的一个过程的图2的B-B剖面图。
图7(e)～(g)是表示栅极布线形成工序的一个过程的图2的B-B剖面图。
首先，在形成栅极布线3(栅电极5)之前，准备用于由液滴喷出装置200(参照图4)喷出的功能液。更为具体而言，所谓的功能液是指将功能性材料微粒化，并使其分散到液体中的溶液，准备将Mn或Mn合金(下面，只将Mn作为功能性材料)作为功能性材料的Mn分散溶液、将Ag或Ag合金(下面，只将Ag作为功能性材料)作为功能性材料的Ag分散溶液、将Ni或Ni合金(下面，只将Ni作为功能性材料)作为功能性材料的Ni分散溶液。为了在微粒化的基础上来提高分散性，还可以在这些功能性材料的表面上涂覆有机物(柠檬酸等)而使用。
构成功能液的分散介质可以分散上述微粒，所以，只要是不引起凝聚的则不特别限定。具体而言，除了水之外，还可以列举有：甲醇、乙醇等醇类，正庚烷、甲苯等系化合物，和乙二醇二甲醚等醚系化合物，还有碳酸丙烯酯、N-甲基-2-吡咯烷酮等极性化合物。这些溶剂可以单独使用，也可以将两种以上进行混合而使用。
另外，鉴于液滴喷出装置200(参照图4)的喷出特性和气孔堵塞性、分散的稳定性、喷出后在基板上的动态物性和干燥速度等，功能液可以对分散介质的蒸汽压力、分散质浓度、表面张力、粘度、比重等进行适当的调整。因此，可以在功能液中添加界面活性剂或保湿剂、粘度调整剂等。而且，为了使成膜后具有良好的固定性，也可以添加粘合剂(binder)。
接着，如图6(a)所示，在玻璃制的元件基板2上图案形成下层围堰9，来划分栅极布线3(栅电极5)的形成区域(还参照图2)(图5的工序S1)。具体而言，例如，通过旋涂法涂覆含有作为材料的高分子树脂等的溶液，来形成厚度一样的膜，并通过光刻法实施图案蚀刻。
接着，通过氧等离子体处理法等，对元件基板2的形成有下层围堰9的一侧进行亲液化处理(图5的工序S2)。通过该亲液处理，元件基板2的露出面被一样地清洗，从而降低了润湿性的不均匀，同时也提高了润湿性自身。
接着，通过四氟化碳(CF4)等离子体处理等，对元件基板2的形成有下层围堰9的一侧进行疏液化处理(图5的工序S3)。通过该处理，在由有机材料构成的下层围堰9的表面上导入了氟基，使其具有疏液性。此时，由无机材料构成的元件基板2的露出面也多少受到该等离子体处理的影响，但是不足以对亲液性产生影响。另外，作为形成下层围堰9的树脂材料，也可以通过使用原来就具有疏液性的材料(例如，具有氟基的树脂材料)，而省略上述的疏液处理。
接着，通过液滴喷出法，在由下层围堰9形成的划分区域34内配置Mn分散溶液(对应于第1功能液)(图5的下层喷出工序S4)。此时，即使在Mn分散溶液的一部分从划分区域34脱落而被喷出的情况下，也会由于上述下层围堰9的疏液性处理，而使得Mn分散溶液被恰当地配置在划分区域34内。
接着，连同元件基板2一同放入真空干燥机中，或者放置一段时间等使其干燥，来固化Mn分散溶液(图5的下层固化工序S5)。由此，如图6(b)所示，形成了栅极基底层10a(相当于固体层)。另外，在该下层固化工序S5中，也可以没有完全除去分散介质的全部，只要栅极基底层10a实际上处于非流动状态即可。
接着，通过液滴喷出法，向划分区域34内的栅极基底层10a喷出再次液化液体(图5的液状层形成工序S6)。这里，再次液化液体是由Mn分散溶液的液体成分(分散介质和添加剂等)构成的液体，由此，使栅极基底层10a中的Mn微粒再次分散，可以再次液化栅极基底层10a的表面部分。这样一来，如图6(c)所示，在栅极基底层10a上形成了含有Mn的液状层35。另外，液状层35不必形成为遍及栅极基底层10a的表面整体，也可以在栅极基底层10a表面的一部分上形成。
接着，如图6(d)所示，通过液滴喷出法在划分区域34内配置Ag分散溶液32(图5的工序S7)。此时，由于Ag分散溶液32的配置区域基于下层围堰9被限定为与栅极基底层10a的图案区域相同，所以，Ag分散溶液32能够确切地层叠在栅极基底层10a和液状层35上。而且，液状层35处于从栅极基底层10a再次分散的Mn和Ag分散溶液32中的Ag混合、扩散的状态。另外，在与栅极基底层10a的关系中，该工序S7与上层喷出工序对应，Ag分散溶液32与第2功能液对应。而且，在这之后，与在栅极导电层10b上形成的栅极覆盖层10c(参照图7(g))的关系中，该工序S7对应于下层喷出工序，Ag分散溶液32对应于第1功能液。
接着，连同元件基板2一同放入真空干燥机中，或者放置一段时间等使其干燥，来固化状层35和Ag分散溶液32(图5的工序S8)。由此，如图7(e)所示，Ag分散溶液32成为栅极导电层10b，液状层35形成栅极基底层10a与栅极导电层10b的界面。这样一来，两层10a、10b具有Mn和Ag适度混合、扩散状态的界面，表现出适当的粘结性能、接触性能。另外，在该工序S8中，也可以没有完全除去分散介质的全部，只要两层10a、10b实际上处于非流动状态即可。在与栅极基底层10a的关系中，该工序S8对应于上层固化工序。另外，在这之后，在与栅极导电层10b上形成栅极覆盖层10c(参照图7(g))的关系中，该工序S8对应于下层喷出工序，栅极导电层10b对应于固体层。
接着，如图7(f)所示，通过液滴喷出法，在划分区域34内的栅极导电层10b上喷出再次液化液体而形成含有Ag的液状层36(图5的液状层形成工序S9)。然后，再通过液滴喷出法在划分区域34内配置Ni分散溶液33(对应于第2功能液)(图5的上层喷出工序S10)。此时，液状层36处于下述状态，即，和从栅极导电层10b再次分散的Ag和Ni分散溶液33中的Ni混合、扩散。
接着，连同元件基板2一同放入电热炉等，进行烧制(图5的上层固化工序S11)。由此，如图7(g)所示，Ni分散溶液33成为栅极覆盖层10c，液状层36形成栅极导电层10b与栅极覆盖层10c的界面。这样一来，两层10b、10c具有Ag和Ni被适度混合、扩散状态的界面，表现出适当的粘结性能、接触性能。
这样一来，由于作为多层化膜的栅极布线3(栅电极5)，其层间粘结性能优越，所以，具有优越的耐剥离性和高的可信性。而且，由于层间的实质接触面积变大，会使界面电阻变小，所以，能够有效地将电信号供给驱动元件1(参照图3)，并具有消耗功率小的特点。
(发光元件的形成方法)
接着，沿着图8的流程图并参照图9，来说明发光元件的形成方法。图8是表示发光元件形成工序的流程图。图9(a)～(d)是表示发光元件形成工序的一个过程的剖面图。另外，在图9(a)～(d)中省略了驱动电路部的图示。
首先，在形成发光元件之前，准备用于通过液滴喷出装置200(参照图4)喷出的功能液。具体而言，准备含有PEDOT的一种即海德龙钠铅合金-P(海德龙公司制造)作为功能性材料的溶液(PEDOT液)作为孔穴输送层52用，准备含有有机EL材料作为功能性材料的溶液(有机EL液)作为发光层51用。另外，在电光学装置100(参照图1)为彩色显示类型的情况下，可以分别准备具有与三原色对应的组成的有机EL液。
接着，如图9(a)所示，在形成有分段电极8的元件基板2上，形成遮光膜55，来划分与各分段电极8对应的灰度要素区域58(图8的工序S21)。具体而言，例如，使用铬等的金属等，通过CVD法和光刻法来形成。
接着，在遮光膜55上形成围堰54(图8的工序S22)，并实施亲液处理(图8的工序S23)、疏液处理(图8的工序S24)。这些工序，通过与先前说明的栅极布线的形成工序相同的方法来进行。
接着，使用液滴喷出法，在灰度要素区域58内配置PEDOT液(图8的下层喷出工序S25)，并连同元件基板2一同放入真空干燥机中，或者放置一段时间等，使其干燥(图8的下层固化工序S26)。这样一来，如图9(b)所示，形成了含有PEDOT的固体层63。另外，固体层63与图1的空穴输送层52具有相同的结构。
接着，如图9(c)所示，使用液滴喷出法在灰度要素区域58内的基底层63上重叠地配置PEDOT液61(图8的液状层形成工序S27)。在基底层63上重叠地配置的PEDOT液61对应于本发明的液状层。
接着，使用液滴喷出法，在灰度要素区域58内的PEDOT液61上重叠配置有机EL液62(图8的上层喷出工序S28)。此时，虽然PEDOT液61与有机EL液62在界面附近相互混合、扩散，但是，有机EL材料不会超过固体层63与PEDOT液61的界面而扩散。即，为了防止固体层63与邻接的功能性材料之间无止境地进行混合、扩散，需要预先对一方的功能性材料(此时，是对PEDOT)设置固体区域。
接着，与元件基板2一同放入真空干燥装置等，使其干燥，来固化PEDOT液61和有机EL液62(图8的上层固化工序S29)。由此，如图9(d)所示，有机EL液62成为有机EL层51，PEDOT液61与固体层63一同成为空穴输送层52，从而形成发光膜50。此时，有机EL层51和空穴输送层52具有有机EL材料和PEDOT被适度混合、扩散状态的界面，表现出适当的粘结性能、接触性能。
最后，在发光膜50的上侧通过CVD法等形成公共电极53(参照图1)(图8的工序S30)，则完成了发光元件56。另外，公共电极53也可以通过与上述的栅极布线3(参照图7)相同的方法，采用液滴喷出法来形成。
这样一来，由于具有作为多层化膜的发光膜50的发光元件56(参照图1)，其有机EL层51和空穴输送层52的实质接触面积大，所以，能够有效地向有机EL层51注入空穴，从而发挥优越的发光特性。而且，具有该发光膜50的电光学装置100(参照图1)可以显示高亮度的图像。
(电子设备)
接着，参照图10来说明电子设备的具体例。图10是表示电子设备的一个例子的概略立体图。
作为图10所示的电子设备的便携式信息处理装置700，具有：键盘701、主体部703和显示部702。这样的便携式信息处理装置700的更为具体的例子有语言处理机、个人计算机。该便携式信息处理装置700具备控制电路基板，该控制电路基板具有通过与栅极布线3相同的方法形成的导电布线，另外，由于显示部702包括上述的电光学装置100，所以，具有优越的节电性、可靠性和显示特性等。
(第2实施方式)
接着，参照图11，对本发明的第2实施方式进行说明。图11是表示燃料电池的概略构成的立体图。
图11所示的燃料电池120是通过供给氢气和氧气，通过两气体的反应来产生电力的电池。燃料电池120构成为，在形成有气体通路121a、122a的一对基板121、122之间夹持有多层化膜130，所述多层化膜130由电极层128和129、气体扩散层123和124、催化剂层125和126、离子交换层127层叠而成。电极层128和129使用铜等导电材料，气体扩散层123和124使用多孔质碳等，催化剂层125和126使用铂等，离子交换层127使用具有透过性的电解质，例如Nafion(デユポン公司的登录商标)等，这些层可以通过液滴喷出法来形成。
关于燃料电池120，通过使向气体通路121a供给的氢气氧化(离子化)，经过离子交换层127，由向气体通路122a供给的氧气而被还原，从而产生电力。由于该氧化还原反应是通过各层，即气体扩散层123和124、催化剂层125和126、离子交换层127之间的电和物理的总线而进行的，所以，各层之间的实质接触面积越大，则其效率越高。
因此，在本实施方式的燃料电池中，对于气体扩散层123和124、催化剂层125和126、离子交换层127的形成，可以通过与上述的栅极布线3(参照图7)和发光膜50(参照图9)的形成相同的方法，来提高各层之间的接触性能，由此，实现了高的发电效率。
本发明不限定于上述的实施方式。
例如，作为本发明的电光学装置也能够保持驱动电路部101的结构，直接来构成液晶显示装置、等离子显示器装置和放出电子式显示装置。
而且，本发明的多层化膜的形成方法，还可以适用于在上述的驱动电路、发光元件、燃料电池之外的结构中所包含的多层化膜。
另外，各实施方式的各种结构可以将这些结构进行适当的组合、省略，或与未图示的其他结构进行组合。

Claims (10)

1.一种多层化膜的形成方法，在基板上形成层叠有至少2种以上的功能性材料的多层化膜，包括：
使用液滴喷出法，在所述基板上配置包含第1所述功能性材料的第1功能液的下层喷出工序；
固化所述基板上的所述第1功能液，来形成包含所述第1功能性材料的固体层的下层固化工序；
在所述固体层上，形成包含所述第1功能性材料的液状层的液状层形成工序；
使用液滴喷出法，与所述固体层及所述液状层重叠地配置包含第2所述功能性材料的第2功能液的上层喷出工序；和
固化所述液状层及所述第2功能液的上层固化工序。
2.根据权利要求1所述的多层化膜的形成方法，其特征在于，所述液状层形成工序是使用液滴喷出法，在所述固体层上喷出用于使该固体层再次液化的再次液化液体的工序。
3.根据权利要求2所述的多层化膜的形成方法，其特征在于，所述再次液化液体由所述第1功能液的液体成分构成。
4.根据权利要求1所述的多层化膜的形成方法，其特征在于，所述液状层形成工序是使用液滴喷出法，在所述固体层上喷出所述第1功能液的工序。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的多层化膜的形成方法，其特征在于，在所述下层喷出工序之前，在所述基板上形成围堰，以划分该下层喷出工序中的规定的区域。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的多层化膜的形成方法，其特征在于，所述第1和第2功能性材料具有相互起互补作用且发挥规定功能的关系。
7.一种多层化膜，
在形成于基板上并包含第1功能性材料的固体层上，形成包含所述第1功能性材料的液状层，并通过液滴喷出法与该液状层重叠地配置包含第2功能性材料的功能液，使该功能液和所述液状层固化而形成所述多层化膜。
8.一种电光学装置，具有权利要求7所述的多层化膜。
9.一种电子设备，具有权利要求7所述的多层化膜。
10.一种电子设备，具有权利要求8所述的电光学装置。
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