CN1851387A - 方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪 - Google Patents

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CN1851387A CN 200510025359 CN200510025359A CN1851387A CN 1851387 A CN1851387 A CN 1851387A CN 200510025359 CN200510025359 CN 200510025359 CN 200510025359 A CN200510025359 A CN 200510025359A CN 1851387 A CN1851387 A CN 1851387A
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周德林
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SHENFEI LASER OPTICAL SYSTEM CO Ltd SHANGHAI
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Abstract

本发明涉及一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，包括：一个三角形工作台面(3)，在所述的三角形工作台面(3)上分别安置三个圆座(1)，每个圆座(1)上安置一个可转动的小钢球(11)；在所述的三角形工作台面(3)的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座(2)；一个圆盘(6)，所述的圆盘(6)与小滚珠轴承连固定座(2)滚动连接，并在中部分别有安置方形玻璃基片(5)的槽座(61)；在所述的三角形工作台面(3)的中心位置孔下方安置了一台千分表(4)；克服了各类规格方形玻璃基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素，使测量精度大大提高：达到0.001mm；十几秒种即可从千分表中读出数值。

Description

方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪
技术领域
本发明涉及一种检测仪，尤其涉及一种边长为4、5、6、7英寸的方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪。
背景技术
随着全球微电子产业的迅速发展，集成电路掩膜版基片、各类方形超高质量表面光学基片在该领域的应用越来越大。在这些超高质量表面要求的方形玻璃基片的生产过程中，需要对这些产品的各类尺寸误差进行全面检测。“方形玻璃基片平面度”质量指标对产品的应用十分重要，直接影响到微电子(集成电路掩膜版)行业大批量产品生产的使用效果。
在以往的平面度检验测试中，常使用“激光平面干涉仪”(如中科院光机所制PG15-J4型激光平面干涉仪)测量光圈的方法，虽然精度高达0.2～0.3um，但对于大规模生产使用不便，影响生产效率；特别是在研磨阶段，毛面不能检测；并且对于大面积大尺寸(边长为4、5、6、7英寸)和超薄型的玻璃基片测量十分困难(光圈变形无法数清)，并无法实行数字化直读。
发明内容
本发明需要解决的技术问题是提供了一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，旨在解决上述的缺陷。
为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：
本发明包括：一个三角形工作台面，在所述的三角形工作台面上分别安置三个圆座，每个圆座上安置一个可转动的小钢球；在所述的三角形工作台面的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座；一个圆盘，所述的圆盘与小滚珠轴承连固定座滚动连接，并在中部分别有安置方形玻璃基片的槽座；在所述的三角形工作台面的中心位置孔下方安置了一台千分表；
与现有技术相比，本发明的有益效果是：克服了各类规格方形玻璃基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素，使测量精度大大提高：达到0.001mm；特别适应于常用大面积(边长为4、5、6、7英寸)、超薄型易变形的方形玻璃基片；不仅操作方便，检查直观，而且工作效率极高，十几秒种即可从千分表中读出数值。
附图说明
图1是本发明的主视图；
图2是图1中K处的放大图；
图3是本发明的俯视图；
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述：
由图1、图2、图3可见：本发明包括：一个三角形工作台面3，在所述的三角形工作台面3上分别安置三个圆座1，每个圆座1上一个可转动的小钢球11；在所述的三角形工作台面3的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座2；一个圆盘6，所述的圆盘6与小滚珠轴承连固定座2滚动连接，并在中部分别有安置方形玻璃基片5的槽座61；在所述的三角形工作台面3的中心位置孔下方安置了一台千分表4；
所述的圆座1的可以分级调整，与其相应的小滚珠轴承连固定座2也可作分级调整；所述的级可以是2或3或4；
在本发明的底座上方有一三角形工作台面，利用三点决定一个平面的科学原理：中部均布三个固定小圆座上分别安放可转动的金属小球(使平板玻璃成点接触定位)，并且三小钢球的相对距离是可以分级调整的，以适应不同大小方形掩膜版玻璃基片5的测量要求，另外，在三角形工作台面的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座，它的用途是起旋转测量的靠山作用，三组滚动轴承的相对位置亦可分级调整的，以适应不同大小玻璃基片的测量要求。
在工作台面中心位置孔下方安置了一台千分表(精度为1um)，利用标准平面样板(平面度等于0.5um)。校准零位后放上被测工件(方形掩膜版玻璃基片)，转动工件便可测量它的平面度，千分表读数直观、方便、实用。
测量各类方片(4、5、6、7英寸)玻璃基片时，可以将被测工件先放在圆盘方槽座内，再搁置在三定位金属球上。圆盘边缘有台阶分别靠架在三滚珠轴承上(小轴承连固定座)滚动测量，方片玻璃仍搁在三定位金属球上。圆盘方槽仅限位带动被测件转动测量。同样转动灵活、读数方便。不同大小方片规格(4、5、6、7英寸)测量时用相应大小的圆盘方槽座。
由于采用了本发明大大提高了被检验工件平面度的精度和工作效率，使方形掩膜版玻璃基片生产行业的规范生产得以顺利进行。

Claims (2)

1.一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于包括：一个三角形工作台面(3)，在所述的三角形工作台面(3)上分别安置三个圆座(1)，每个圆座(1)上安置一个可转动的小钢球(11)；在所述的三角形工作台面(3)的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座(2)；一个圆盘(6)，所述的圆盘(6)与小滚珠轴承连固定座(2)滚动连接，并在中部分别有安置方形玻璃基片(5)的槽座(61)；在所述的三角形工作台面(3)的中心位置孔下方安置了一台千分表(4)。
2.根据权利要求1所述的方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于：所述的圆座(1)的可以分级调整，与其相应的小滚珠轴承连固定座(2)也作分级调整；所述的级可以是2或3或4。
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