CN2814329Y - 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 - Google Patents

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应永伟
周德林
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Abstract

本实用新型涉及一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪，包括：一个三角形工作台面(3)，在所述的三角形工作台面(3)上分别安置三个圆座(1)，每个圆座(1)上安置一个圆球(11)；在所述的三角形工作台面(3)的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座(2)；在所述的三角形工作台面(3)的中心位置孔下方安置了一台千分表(4)；克服了各类规格圆形光盘母盘基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素，使测量精度大大提高：达到0.001mm；特别适应于常用大面积(如φ160～φ240mm)超薄型易变形的圆形光盘母盘玻璃基片(外经/厚度＝10∶1～200∶1)；不仅操作方便，检查直观，而且工作效率极高，十几秒种即可从千分表中读出数值。

Description

圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪
技术领域
本实用新型涉及一种检测仪，尤其涉及一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪。
背景技术
随着全球光盘存储、光电子、微电子产业的迅速发展，激光光盘母盘基片、集成电路掩膜版基片、各类圆形超高质量表面光学基片在该领域的应用越来越大。在这些超高质量表面要求的光盘母盘基片的生产过程中，需要对这些产品的各类尺寸误差进行全面检测。“光盘母盘玻璃基片平面度”质量指标对产品的应用十分重要，直接影响到光盘行业大批量产品生产的使用效果。
在以往的平面度检验测试中，常使用“激光平面干涉仪”(如中科院光机所制PG15-J4型激光平面干涉仪)测量光圈的方法，虽然精度高达0.2～0.3um，但对于大规模生产使用不便，影响生产效率；特别是在研磨阶段，毛面不能检测；并且对于大面积大尺寸(如φ160～φ240mm)和超薄型(外经/厚度＝10∶1～200∶1)的光盘母盘基片测量十分困难(光圈变形无法数清)，并无法实行数字化直读。
发明内容
本实用新型需要解决的技术问题是提供了一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪，旨在解决上述的缺陷。
为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
本实用新型包括：一个三角形工作台面，在所述的三角形工作台面上分别安置三个圆座，每个圆座上安置一个可转动的小钢球；在所述的三角形工作台面的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座；在所述的三角形工作台面的中心位置孔下方安置了一台千分表；
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：克服了各类规格圆形光盘母盘基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素，使测量精度大大提高：达到0.001mm；特别适应于常用大面积(如φ160～φ240mm)超薄型易变形的圆形光盘母盘玻璃基片(外经/厚度＝10∶1～200∶1)；不仅操作方便，检查直观，而且工作效率极高，十几秒种即可从千分表中读出数值。
附图说明
图1是本实用新型的主视图；
图2是图1中K处的放大图；
图3是本实用新型的俯视图；
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：
由图1、图2、图3可见：本实用新型包括：一个三角形工作台面3，在所述的三角形工作台面3上分别安置三个圆座1，每个圆座1上安置一个可转动的小钢球11；在所述的三角形工作台面3的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座2；在所述的三角形工作台面3的中心位置孔下方安置了一台千分表4；
所述的圆座1可以分级调整，与其相应的小滚珠轴承连固定座2也作分级调整；所述的级可以是2或3或4；
在本实用新型的底座上方有一三角形工作台面，利用三点决定一个平面的科学原理：中部分布三个固定小圆座上分别安放可转动的金属小球(使平板玻璃成点接触定位)，并且三小圆座的相对距离是可以分级调整的，以适应不同直径大小圆形光盘基片5的测量要求，另外，在三角形工作台面的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座，它的用途是起旋转测量的靠山作用，三组滚动轴承的相对位置亦可分级调整的，以适应不同直径基片的测量要求。
在工作台面中心位置孔下方安置了一台千分表(精度为1um)，利用标准平面样板(平面度等于0.5um)。校准零位后放上被测工件(圆形光盘母盘玻璃基片)，转动工件便可测量它的平面度，千分表读数直观、方便、实用。
测量各类直径圆片玻璃时可以将被测工件搁置在三定位金属球上，边缘分别靠在相应的三滚珠轴承滚动面上(小滚珠轴承连固定座2)，工件转动灵活(按不同直径分别采用三组定位球及轴承位置)。
由于采用了本实用新型大大提高了检验工件平面度的精度和工作效率，使光盘母盘玻璃基片生产行业的规范生产得以顺利进行。

Claims (2)

1.一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪，其特征在于包括：一个三角形工作台面(3)，在所述的三角形工作台面(3)上分别安置三个圆座(1)，每个圆座(1)上安置一个可转动的小钢球(11)；在所述的三角形工作台面(3)的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座(2)；在所述的三角形工作台面(3)的中心位置孔下方安置了一台千分表(4)。
2.根据权利要求1所述的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪，其特征在于：所述的圆座(1)可以分级调整，与其相应的小滚珠轴承连固定座(2)也作分级调整；所述的级可以是2或3或4。
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