CN202885759U - 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 - Google Patents
圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202885759U CN202885759U CN 201220200391 CN201220200391U CN202885759U CN 202885759 U CN202885759 U CN 202885759U CN 201220200391 CN201220200391 CN 201220200391 CN 201220200391 U CN201220200391 U CN 201220200391U CN 202885759 U CN202885759 U CN 202885759U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- round
- glass substrate
- optical disc
- table top
- disc stamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,其包括一个三角形工作台面,在所述工作台面上分别安置三个圆座,每个圆座上安置一个能够转动的小钢球,所述三个圆座分别设置于靠近所述三角形工作台面的三条边处,在所述三角形工作台面的边缘三角位置,均分别设有一小滚珠轴承连固定座,在所述工作台面的中心位置下方设有一台千分表,与现有技术相比,本实用新型提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪克服了各类规格圆形光盘母盘基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素,使测量精度大大提高,该圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪不仅操作方便,检查直观,而且工作效率极高,十几秒钟即可从千分表中读出数值。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种检测仪,尤其涉及一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪。
背景技术
随着全球光盘存储、光电子、微电子产业的迅速发展,激光光盘母盘基片、集成电路掩膜版基片、各类圆形超高质量表面光学基片在该领域的应用越来越大。在这些超高质量表面要求的光盘母盘基片的生产过程中,需要对这些产品的各类尺寸误差进行全面检测。“光盘母盘玻璃基片平面度”质量指标对产品的应用十分重要,直接影响到光盘行业大批量产品生产的使用效果。
在以往的平面度检验测试中,常使用“激光平面干涉仪”(如中科院光机所制PG15-J4型激光平面干涉仪)测量光圈的方法虽然精度高达0.2~0.3μm,但对于大规模生产使用不便,影响生产效率,特别是在研磨阶段,毛面不能检测,并且对于大面积大尺寸(如Φ160~Φ240mm)和超薄型(外径/厚度=10∶1~200∶1)的光盘母盘基片测量十分困难(光圈变形无法数清),并无法实行数字化直读。
实用新型内容
本实用新型提供一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,旨在解决上述缺陷。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,其包括一个三角形工作台面,在所述工作台面上分别安置三个圆座,每个圆座上安置一个能够转动的小钢球,所述三个圆座分别设置于靠近所述三角形工作台面的三条边处,在所述三角形工作台面的边缘三角位置,均分别设有一小滚珠轴承连固定座,在所述工作台面的中心位置下方设有一台千分表。
进一步的,所述三个圆座与其相应的所述三个小滚珠轴承连固定座均能够分级调整,所述级为2或3或4。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
与现有技术相比,本实用新型提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪的有益效果是:克服了各类规格圆形光盘母盘基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素,使测量精度大大提高(可达0.001mm),特别适用于常用大面积(如Φ160~Φ240mm)超薄型易变性的圆形光盘母盘玻璃基片(外径/厚度=10∶1~200∶1),该圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪不仅操作方便,检查直观,而且工作效率极高,十几秒钟即可从千分表中读出数值。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
图1为本实用新型实施例提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪的主视图;
图2为图1中K处的放大图;
图3为本实用新型实施例提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪的俯视图。
在图1至图3中,
1:圆座;2:小滚珠轴承连固定座;3:工作台面;4:千分表;5:圆形光盘基片;11:小钢球。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率,仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
本实用新型的核心思想在于,提供一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,其包括一个三角形工作台面,在所述工作台面上分别安置三个圆座,每个圆座上安置一个能够转动的小钢球,所述三个圆座分别设置于靠近所述三角形工作台面的三条边处,在所述三角形工作台面的边缘三角位置,均分别设有一小滚珠轴承连固定座,在所述工作台面的中心位置下方设有一台千分表,与现有技术相比,本实用新型提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪的有益效果是:克服了各类规格圆形光盘母盘基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素,使测量精度大大提高,特别适用于常用大面积超薄型易变性的圆形光盘母盘玻璃基片,该圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪不仅操作方便,检查直观,而且工作效率极高,十几秒钟即可从千分表中读出数值。
请参考图1至图3,图1为本实用新型实施例提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪的主视图;图2为图1中K处的放大图;图3为本实用新型实施例提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪的俯视图。
如图1至图3所示,本实用新型实施例提供一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,其包括一个三角形工作台面3,在所述工作台面3上分别安置三个圆座1,每个圆座1上安置一个能够转动的小钢球11,所述三个圆座1分别设置于靠近所述三角形工作台面3的三条边处,在所述三角形工作台面3的边缘三角位置,均分别设有一小滚珠轴承连固定座2,在所述工作台面3的中心位置下方设有一台千分表4。
进一步的,所述三个圆座1与其相应的所述三个小滚珠轴承连固定座2均能够分级调整,所述级为2或3或4。
在本实用新型实施例提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪利用三点决定一个平面的科学原理,在工作台面3上中部分布的的三个固定圆座1上分别安放可转动的金属小钢球11(使平板玻璃成点接触定位),并且三个圆座1的相对距离是可以分级调整的,以适应不同直径大小圆形光盘基片5的测量要求,另外,在三角形工作台面3是边缘三角位置,分别均布一小滚珠轴承连固定座2,它的用途是起旋转测量的靠山作用,在圆形光盘基片5旋转测量时防止其离开测量位置导致测量的精度降低,这三个小滚珠轴承连固定座2亦可分级调整,以适应不同直径基片的测量要求。
在工作台面3中心位置设有一个开孔,在开孔下方安置了一台千分表4(精度为1μm),利用标准平面样板(平面度等于0.5μm)校准零位后放上被测工件(圆形光盘基片5),转动工件便可测量它的平面度,千分表4读数直观、方便、实用。
本实用新型实施例提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪大大提高了检验工件(圆形光盘基片5)平面度的精度和工作效率,使光盘母盘玻璃基片生产行业的规范生产得以顺利进行。
显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变形而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (2)
1.一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,其特征在于,包括一个三角形工作台面,在所述工作台面上分别安置三个圆座,每个圆座上安置一个能够转动的小钢球,所述三个圆座分别设置于靠近所述三角形工作台面的三条边处,在所述三角形工作台面的边缘三角位置,均分别设有一小滚珠轴承连固定座,在所述工作台面的中心位置下方设有一台千分表。
2.根据权利要求1所述的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,其特征在于,所述三个圆座与其相应的所述三个小滚珠轴承连固定座均能够分级调整,所述级为2或3或4。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201220200391 CN202885759U (zh) | 2012-05-04 | 2012-05-04 | 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201220200391 CN202885759U (zh) | 2012-05-04 | 2012-05-04 | 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN202885759U true CN202885759U (zh) | 2013-04-17 |
Family
ID=48077180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201220200391 Expired - Fee Related CN202885759U (zh) | 2012-05-04 | 2012-05-04 | 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN202885759U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107063059A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-08-18 | 河北科技大学 | 一种瓷砖平面度测量装置 |
CN111322936A (zh) * | 2018-12-17 | 2020-06-23 | 江苏联博精密科技有限公司 | 一种新型转子平面度快速检测工装 |
-
2012
- 2012-05-04 CN CN 201220200391 patent/CN202885759U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107063059A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-08-18 | 河北科技大学 | 一种瓷砖平面度测量装置 |
CN111322936A (zh) * | 2018-12-17 | 2020-06-23 | 江苏联博精密科技有限公司 | 一种新型转子平面度快速检测工装 |
CN111322936B (zh) * | 2018-12-17 | 2022-03-01 | 江苏联博精密科技有限公司 | 一种新型转子平面度快速检测工装 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN202885758U (zh) | 方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪 | |
CN201569402U (zh) | 一种导叶片装配槽圆弧量具 | |
CN202885759U (zh) | 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 | |
CN210773947U (zh) | 一种非接触式的配流盘平面度检测装置 | |
CN1851386A (zh) | 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 | |
CN2814329Y (zh) | 圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 | |
CN208984064U (zh) | 水平度检测装置 | |
CN1851387A (zh) | 方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪 | |
CN202008345U (zh) | 一种手轮的测量装置 | |
CN202974223U (zh) | 径向及端面跳动测量装置 | |
CN202915868U (zh) | 悬臂式角度测量仪 | |
CN104101285A (zh) | 一种圆柱滚子轴承外圈挡边厚度尺寸测量方法及装置 | |
CN201720739U (zh) | 轴承套圈测量工装 | |
CN208254360U (zh) | 一种镜片模具失高检测仪 | |
CN204064177U (zh) | 一种圆柱滚子轴承外圈挡边厚度尺寸测量装置 | |
CN201497483U (zh) | 一种晶片研磨下盘面平整度测量装置 | |
CN203657684U (zh) | 带轮内孔端面轴向长度测量装置 | |
CN203274624U (zh) | 一种圆环盘体形位公差检具 | |
CN202066491U (zh) | 大型轴承高度和套圈高度及变动量测量仪 | |
CN214408478U (zh) | 一种弯曲试样角度测量装置 | |
CN204788177U (zh) | 一种专用厚度测量装置 | |
CN202304729U (zh) | 高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪 | |
CN204255267U (zh) | 高精密同轴度检测仪 | |
CN211147495U (zh) | 一种偏心十字轴位置度测量装置 | |
CN208765666U (zh) | 一种兜孔测量工装 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130417 Termination date: 20190504 |