CN1835658A - 基板清洗装置及具有基板清洗装置的基板供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板清洗装置，即使基板表面一部分或整体带静电，也可以容易地清洗附着于基板表面的各种杂质及尘埃等。本发明的基板清洗装置具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面，所述辊刷由导电性刷构成。

Description

基板清洗装置及具有基板清洗装置的基板供给装置

技术领域

本发明涉及基板清洗装置及具有基板清洗装置的基板供给装置。

背景技术

作为清洗印刷线路板表面的装置，提案有以下专利文献1记载的清洗机器。

该清洗机器具有：搬运带，其搭载基板的边缘部分，搬运基板；吸附辊，其一边旋转一边加压接触由搬运带搬运的基板；粘附辊，其一边旋转一边加压接触吸附辊；使吸附辊向从接触基板的位置离开的位置移动的装置。

在该清洗机器中，由搬运带搬运的基板在其表面加压接触吸附辊。吸附辊由硅橡胶类树脂形成，利用润湿性来吸附基板表面的杂质及尘埃，由此清洗基板。吸附辊由于其表面上不具有粘附材料等，故可防止粘附材料从辊附着于基板上这样的问题。吸附于吸附辊上的杂质等通过使吸附辊进一步加压接触粘附辊而从吸附辊向粘附辊转印。因此，吸附辊可在长时间维持清洗效果。

在该清洗机器中，基板将边缘部分保持于搬运带上，仅清洗搬运带的相反侧一面。因此，即使在对已搭载有电子零件的基板背面进行清洗的情况下，也可以将电子零件配置于下面、将背面配置于上面而载置于搬运带上，由此来进行清洗处理。另外，在放入不利用清洗机器进行处理或不能进行处理的基板的情况下，吸附辊向从接触基板的位置离开的位置移动。由此，由于该清洗机器可对应各种形式的基板，故可组装到印刷线路板的生产线中。这样，通过将清洗机器联机化，可在清洗基板后，马上转移到印刷工序，因此，可再次防止在基板上附着杂质等，可进一步提高清洗效果。

但是，存在有如下情况，即，在印刷线路板的表面附着有各种杂质及尘埃等，同时印刷线路板表面的一部分或整体带静电。在印刷线路板的表面带静电的情况下，上述杂质及尘埃等更强固地附着于印刷线路板上，即使通过吸附辊来清洗基板表面，也有可能不能完全去除杂质及尘埃等。

专利文献1：特开2002-353598号公报

发明内容

本发明是鉴于上述问题而研发的，其目的在于提供一种基板清洗装置，即使基板表面一部分或整体带静电，也能够容易地清洗附着于基板表面的各种杂质及尘埃等。其另一目的是提供一种具有基板清洗装置的基板供给装置。

为实现上述目的，本发明采用以下的结构。

本发明提供基板清洗装置，具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，由所述辊刷擦拭清洗所述基板的表面，其特征在于，所述辊刷是导电性刷。

另外，理想的是，在与支承于所述框架上并移动的所述基板面对的位置上，设有喷出带电的流体的喷嘴。

根据这样的结构，通过使用导电性刷，可容易地清洗基板。另外，由于通过面朝基板喷出带电了的流体，对基板进行除电，故可容易地通过辊刷清洗基板。

另外，在本发明的基板清洗装置中，理想的是，将所述喷嘴相对于所述辊刷配置于所述基板的搬运方向上游测或下游侧的任一侧或两侧。

根据这样的结构，可得到与上述相同的效果。

另外，在本发明的基板清洗装置中，理想的是，所述框架由主体部和箱型的清洗部构成，其中，所述主体部具有搬运所述基板的搬运导轨，所述清洗部安装于所述主体部的上部，在内部具有所述辊刷，所述清洗部相对于所述主体部可在上下方向上自如移动。

根据该结构，由于清洗部可相对于主体部在上下方向上自如移动，故可与基板厚度匹配来调整搬运导轨和辊刷的间隔，由此，可以适度地匹配辊刷相对基板的按压量。

另外，在本发明的基板清洗装置中，理想的是，所述框架由主体部和箱型的清洗部构成，其中，所述主体部具有搬运所述基板的搬运导轨，所述清洗部安装于所述主体部的上部，在内部具有所述辊刷，在所述清洗部设置用于清洗所述辊刷的集尘排出用喷嘴，在所述框架上具有将所述清洗部和所述辊刷之间流通的气流遮断的遮断部件，所述遮断部件与所述搬运导轨联动，沿所述辊刷的长度方向自如移动。

根据该结构，由于在清洗部设有集尘排出用喷嘴，故可从集尘排出用喷嘴吸引所述清洗部内的空气，去除附着于所述辊刷上的污物。

另外，在框架上具有与搬运导轨联动且移动自如的遮断部件，该搬运部件与基板的大小对应并在清洗部内定位。另一方面，辊刷与基板的大小对应，被分成接触基板的接触部和非接触部，仅在接触部上附着污物。遮断气流的遮断部件由于配置在该辊刷的接触部和非接触部的分界处，故可使由集尘排出用喷嘴的吸引产生的气流仅在辊刷的接触部流通，防止气流向非接触部的流通。由此，可提高由集尘排出用喷嘴的吸引而得到的辊刷的清洗效率。

其次，本发明提供的基板供给装置具有：收纳基板的收纳台、使该收纳台升降的升降装置、搬运所述基板的搬运装置，另外，还安装有所述的任一方案所述的基板清洗装置。

根据这样的结构，由于可将基板向基板清洗装置搬运，且通过面朝搬运的基板喷出带电了的流体而对基板进行除电，故可利用辊刷容易地清洗基板，可将清洗了的基板向后工序装置供给。

如上所述，根据本发明的基板清洗装置，通过使用导电性刷，即使基板表面一部分或整体带静电，也可以容易地清洗附着于基板表面的各种杂质及尘埃等。

另外，即使基板表面带静电，也可以通过面朝基板喷出带电了的流体来除去该静电，由此，可更有效地进行采用辊刷的基板清洗。

附图说明

图1是表示本发明的基板清洗装置及基板供给装置之一例的正面图；

图2是图1所示的基板清洗装置的立体图；

图3是图1所示的基板清洗装置的主要部分放大图；

图4是图1所示的基板清洗装置的分解立体图；

图5是表示基板清洗装置的又一例的立体图；

图6是图5所示的基板清洗装置的正面图；

图7是图5所示的基板清洗装置的侧面图；

图8是表示基板清洗装置的另一例的立体图；

图9是表示基板清洗装置其它例的正面图；

图10是表示图9所示的基板清洗装置的主要部分的侧面图。

符号说明

1基板供给装置

2升降装置

3搬运装置

4收纳台

5、51、101、201基板清洗装置

13、63、163、263搬运导轨

17、67、267辊刷

29、79、179、279框架

29a、79a、179a、279a主体部

29b、79b、179b、279b清洗部

280集尘排出用喷嘴

290遮断部件

A清洗单元

P印刷线路板

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本发明实施例的基板清洗装置及基板供给装置，但本发明不限于此。

另外，图1是表示基板供给装置之一例的正面图，图2是基板清洗装置的立体图，图3是基板清洗装置的主要部分放大图，图4是基板清洗装置的分解立体图。

图1所示的本实施例的基板供给装置1具有：升降装置2；搬运装置3，其向升降装置2供给及排出收纳台4；基板清洗装置5，其清洗印刷线路板(下面单记为基板)；压出缸6，其向基板清洗装置5压出基板P。在升降装置2中设置圆头螺栓7、导向轴8、沿导向轴8升降的工作台9，在该工作台9上载置收纳台4。搬运装置3构成上下两段，下段成为朝向升降装置2搬运并供给收纳台4的供给传送带10，上段成为从升降装置2接收并排出收纳台4的排出传送带11。另外，在升降装置2的工作台9上设有用于使收纳台4完全移动到工作台上规定位置的传送带12。

在这种结构的基板供给装置1中，在将由供给传送带10搬运来的收纳台4载置于工作台9上后，使工作台9上升，使收纳台内最上段的基板P和设于基板供给装置1前方的基板清洗装置5的搬运导轨13的高度一致。然后，利用沿水平方向往复运动的压出缸6将基板P从收纳台4后端面4b侧压出到配置于基板清洗装置5下方的搬运导轨上。

其次，如图2所示，基板清洗装置5是清洗搬运的基板9表面的装置，其大致由移动自如地支承基板P的框架29和相对框架29旋转自如地安装的辊刷17构成。

框架29由具有搬运导轨13的主体部29a和安装于主体部29a上部的清洗部29b构成。

如图2所示，在清洗部29b中内设有清洗单元A。如图3所示，清洗单元A通过安装如下部件而构成，即：框体15；两个除电装置16，其安装于框体15上；辊刷17，其配置于两个除电装置16之间并且旋转自如地安装于框体15上；旋转用电机18，其旋转驱动辊刷17；控制器19，其控制除电装置16。

其次，在主体部29上，将对被从基板供给装置1压出的基板P进行引导的一对搬运导轨13安装于辊刷17的下方。在向该搬运导轨13引导的基板P通过辊刷17下方时，使搬运导轨13相对于辊刷17定位，以使基板表面接触辊刷17。

如图4所示，除电装置16具有流体供给部20和供给管21，在供给管21上沿供给管21的长度方向形成有大致图示的多个喷嘴。

另外，喷嘴朝向基板P的表面侧开口。在流体供给部20上设有具有大致图示的放电机构的流路，对通过流路的空气等流体进行电晕放电等，可使空气等流体带电。另外，供给管21被安装在面朝沿搬运导轨13搬运的基板P的位置，另外，供给管21设置在搬运未图示的喷嘴的基板侧。根据该结构，从大致图示的多个喷嘴对搬运途中的基板表面吹附带电了的空气等流体。在一侧的除电装置16的一端设有具有轴承22的轴承部23。辊刷17由从尼龙、马毛等中选择的材质构成，具有刷轴23。另外，辊刷17也可以使用导电性刷。导电性刷是在刷毛上使用了铜、碳等导电性材料的刷。

在组装基板清洗装置5时，将框体15的支承件24和侧壁部26、27连接，将两个除电装置16安装于支承件24及侧壁部26上。然后，在除电装置16的轴承22上安装辊刷17的辊轴28的一端，由支承件25固定辊轴28的另一端。最后，将控制器19安装在框体15上，通过将旋转用电机18安装在一侧的除电装置16的轴承部23上，完成清洗单元A。然后，将清洗单元A装入清洗部29b内，进一步将清洗部29a安装到具有搬运导轨13的主体部29上部。这样，组装基板清洗装置5。

其次，参照图1及图2，说明本实施例的基板清洗装置5的基板P表面的清洗工序。被缸6压出的基板P在设于基板清洗装置5下方的搬运导轨13上移动而被搬运到基板清洗装置5的下方。在搬运的基板P上从一侧的除电装置16a沿箭头B所示的方向吹附已带电的空气等流体，由此，对基板P的表面进行除电。其次，已除电的基板P与以600rpm旋转的辊刷17接触着而从其下方通过。由于预先对基板表面进行除电，故仅由辊刷17擦拭基板表面就可容易地除去附着于基板表面的尘埃等污物。然后，通过另一侧的除电装置16b再次对基板P的表面进行除电。这样，除电、清洗了的基板P搬运向后工序装置30。

如上所述，根据本实施例的基板清洗装置，通过使用导电性刷，可容易地清洗基板。另外，由于通过将带电了的空气吹向基板并利用除电装置对基板表面进行除电，故可将附着于基板表面的尘埃等除去对象物对基板的静电吸附力减弱。这样吸附力减弱了的尘埃等除去对象物可通过利用辊刷擦拭基板表面而容易地除去。由此，可质地提高基板的清洗度。

其次，图5～图7表示本实施例的基板清洗装置51的又一例。

该图5～图7所示的基板清洗装置51和图1～图4所示的基板清洗装置1的不同点在于，在基板清洗装置51中省略除电装置，同时，在导电性刷的上方设置集尘排出喷嘴，并且进一步缩短搬运导轨。

如图5～图7所示，基板清洗装置51大致由移动自如地支承基板P的框架79和相对框架79旋转自如地安装的辊刷67构成。辊刷67是在刷毛上使用铜、碳等导电性材料构成的导电性刷。

框架79由具有搬运导轨63的主体部79a、安装于主体部79a上的清洗部79b构成。

如图5～图7所示，清洗部79b是在下侧设有开口部79c的罩状(箱型)的部件，在上侧安装有集尘排出用喷嘴80。在该集尘排出用喷嘴80的前端安装有未图示的吸尘机。另外，在该清洗部79b上安装有旋转自如地支承于清洗部79b上的辊刷67、内设有旋转驱动辊刷67的电机的电机壳体68。辊刷67安装于集尘排出用喷嘴80的正下方。

主体部79a是由一片79a₁及另一片79a₂构成的大致L字状的工件，一片79a₁通过螺栓与基板供给装置1接合，另一片79a₂与清洗部79b接合。这样，主体部79a将基板供给装置1和清洗部79b连接。

另外，在主体部79a上安装有对被从基板供给装置1压出的基板P进行引导的一对搬运导轨63。在被该搬运导轨63引导的基板P通过辊刷67的下方时，搬运导轨63相对辊刷67进行定位，以使基板表面接触辊刷67。

如图6所示，在主体部79a上具有搬运导轨63的间隔调整机构。该宽度调整机构M具有：滑动导轨81、81，其架设于主体部79a的另一片79a₂、79a₂相互之间；挡块82，其固定于滑动导轨81、81上；调整滑块83，其对滑动导轨81、81移动自如地安装。在挡块82和调整滑块83上安装有所述的搬运导轨63、63。通过对调整滑块83的位置进行调整，使搬运导轨63、63的间隔与基板P的宽度匹配。

在说明基板清洗装置51的基板P的表面的清洗工序时，被缸6从基板供给装置压出的基板P移动过设于基板清洗装置51下侧的搬运导轨63，而被搬运到基板清洗装置51的下方。搬运的基板P通过以600rpm旋转的辊刷67下方。此时，通过辊刷67擦拭基板表面，容易地除去附着于基板表面的尘埃等污物。然后，将附着于辊刷67上的污物通过接触排出用喷嘴80吸引到未图示的吸尘机上。这样，从辊刷67去除污物，再次用于除去基板表面的污物。这样，将已清洗的基板P搬运到后工序装置。

根据上述的基板清洗装置51，由于通过主体部79a将基板供给装置1和清洗部79b连接，故可使从基板供给装置1到辊刷67间的距离变近，与此同时，可缩短搬运导轨63，可谋求基板清洗装置51的小型化。

另外，由于在罩状的清洗部69b内部配置有辊刷67，故通过将外部的吸尘机安装并吸引在清洗部69b的集尘排出用喷嘴80上，可容易地清除附着于辊刷67上的污物。由此，可使辊刷67总保持整洁的状态，可减少辊刷67的维护频率，且使基板清洗装置51在长时间连续工作。

其次，图8表示本实施例的基板清洗装置的另一例。图8表示的基板清洗装置101是框架的清洗部相对于主体部在上下方向移动自如的装置。该基板清洗装置101与上述的基板清洗装置51相同，大致由移动自如地支承基板P的框架179和相对框架179旋转自如地安装的大致图示的辊刷构成。框架179由具有搬运导轨163的主体部179a和安装于主体部179a上部的清洗部179b构成。

清洗部179b是在下侧设有开口部179c的罩状(箱型)的部件，在上侧安装有集尘排出用喷嘴180。在该集尘排出用喷嘴180的前端安装有未图示的吸尘机。另外，在该清洗部179b上安装有旋转自如地支承于清洗部179b上的大致图示的辊刷和内设有旋转驱动辊刷的电机的电机壳体168。辊刷安装于集尘排出用喷嘴180的正下方。

主体部179a是由一片179a₁及另一片179a₂构成的大致L字状工件，一片179a₁通过螺栓与基板供给装置1接合，另一片179a₂与清洗部79b连接。在另一片179a₂上设有向清洗部179b侧突出的突片179a₃，该突片179a₃介由螺栓179a₄等固定部件与清洗部179b连接。这样，清洗部179b以螺丝179a₄等固定部件为轴，旋转自如地轴支承于主体部179a上。

另外，在从另一片179a₂的螺丝179a₄离开的位置设有突起179a₅，该突起179a₅插入清洗部179上设置的长孔179b₁内。通过将突起179a₅插入长孔179b₁内，限制清洗部179b的旋转范围。另外，长孔179b₁的长度方向朝向相对于搬运导轨163上的基板P的基板面大致倾斜方向或大致垂直方向。

通过以上的结构，清洗部179b相对主体部179a在上下方向移动自如。

另外，也可以在突起179a₅上设置阳螺纹部，还也可以对该阳螺纹部安装螺母等。通过在设于突起179a₅上的阳螺纹部上安装螺母等，可将清洗部179b相对主体部179a固定在适当的位置。

根据图8所示的基板清洗装置101，由于清洗部179b相对于主体部179a在上下方向移动自如，故可与基板P的厚度匹配而调整搬运导轨163和辊刷的间隔，由此，可适度地匹配辊刷对基板P的按压量。另外，调整搬运导轨163和辊刷的间隔，可通过例如松开安装于突起179a₅的阳螺纹部上的螺母等而容易地调整。

其次，图9表示本实施例的基板清洗装置的其它例。图9所示的基板清洗装置201是具有将清洗部和所述辊刷之间流通的气流遮断的遮断部件的装置。该基板清洗装置201与上述基板清洗装置51相同，大致由移动自如地支承基板P的框架279和相对框架279旋转自如地安装的辊刷267构成。框架279由具有搬运导轨263的主体部279a和安装于主体部279a上部的清洗部279b构成。

清洗部279b是在下侧设有开口部279c的罩状(箱型)的部件，在上侧安装有集尘排出用喷嘴280。在该集尘排出用喷嘴280的前端安装有未图示的吸尘机。另外，在该清洗部279b上安装有旋转自如地支承于清洗部279b上的辊刷267和内设有旋转驱动辊刷267的电机的电机壳体268。辊刷267安装于集尘排出用喷嘴280的正下方。

如图9所示，在主体部279a上具有搬运导轨263的间隔调整机构M。该宽度调整机构M与之前的基板清洗装置51相同，由滑动导轨81、81、固定于滑动导轨81、81上的挡块282、可相对滑动导轨81、81自如移动地安装的调整滑块283构成。在挡块282和调整滑块283上安装有所述的搬运导轨263、263。通过对调整滑块283的位置进行调整，使搬运导轨263、263的间隔与基板P的宽度匹配。

另外，在清洗部279的内部具有遮断部件290。该遮断部件290与一侧的搬运导轨263接合，由此，遮断部件290与搬运导轨263联动，沿辊刷267的长度方向移动自如。

如图9及图10所示，遮断部件290由设有辊刷267的通过部291a的遮断板291、从遮断板291沿辊刷267的长度方向突出的多个导向部件292构成。导向部件292相对于框架279的清洗部279b的内面滑动自如。另外，遮断板291相对于辊刷267的长度方向大致垂直地设置。遮断板291的设置角度也可以相对于辊刷267的长度方向倾斜。通过以上的结构，可通过遮断板291遮断清洗部279b和辊刷267之间流通的气流。

在框架279的清洗部279b上具有与搬运导轨263联动且移动自如的遮断部件290，该遮断部件290对应基板P的大小在清洗部279b内定位。另一方面，如图9所示，辊刷267对应基板P的大小而被分成与基板P接触的接触部C和非接触部N，仅在接触部C上附着污物。由于遮断气流的遮断部件290配置于该辊刷267的接触部C和非接触部N的分界处，故使由集尘排出用喷嘴280的吸引而产生的气流仅在辊刷267的接触部C流通，可防止气流向非接触部N的流通。由此，可提高集尘排出用喷嘴280的吸引带来的辊刷267的清洗效率。

另外，本发明的技术范围不限于上述实施例，在不脱离本发明主旨的范围内可增加各种变更。例如，在本实施例中使用了两个除电装置，但也可以在辊刷的上游侧仅设置除电装置。另外，在本实施例中表示了通过清洗装置清洗印刷线路板的形态，但也可以为除印刷线路板以外的其它基板。

另外，本发明的基板清洗装置不限于基板供给装置，也可以安装于印刷机、打印机、检查机等基板安装用机器、供给其它基板进行各种处理的装置的全部设备中。

Claims (6)

1、一种基板清洗装置，其具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面，其特征在于，所述辊刷是导电性刷。

2、如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，在与支承于所述框架上并移动的所述基板面对的位置，设有喷出带电流体的喷嘴。

3、如权利要求1或2所述的基板清洗装置，其特征在于，将所述喷嘴相对于所述辊刷配置于所述基板的搬运方向上游侧或下游侧的任一侧或两侧。

4、如权利要求1～3中任一项所述的基板清洗装置，其特征在于，所述框架由主体部和箱型的清洗部构成，其中，所述主体部具有搬运所述基板的搬运导轨，所述清洗部安装于所述主体部的上部，在内部具有所述辊刷，

所述清洗部可相对于所述主体部在上下方向自如移动。

5、如权利要求1～3中任一项所述的基板清洗装置，其特征在于，所述框架由主体部和箱型的清洗部构成，其中，所述主体部具有搬运所述基板的搬运导轨，所述清洗部安装于所述主体部的上部，在内部具有所述辊刷，

在所述清洗部设置用于清洗所述辊刷的集尘排出用喷嘴，在所述框架上具有将所述清洗部和所述辊刷之间流通的气流遮断的遮断部件，所述遮断部件与所述搬运导轨联动，沿所述辊刷的长度方向自如移动。

6、一种基板供给装置，其特征在于，具有：收纳基板的收纳台、使该收纳台升降的升降装置、搬运所述基板的搬运装置，还安装有权利要求1～5中任一项所述的基板清洗装置。

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