CN1825731A - 多电力使用系统的动作控制装置及方法、程序和存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种多个电力使用系统的动作控制装置，从电力供给设备向电力使用系统供给电力，对各个电力使用系统的电力消耗图形和动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形。其次把对于已进行了动作开始要求的电力使用系统以假定的动作开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到预定综合电力消耗图形求假定综合电力消耗图形。比较假定综合电力消耗图形和电力供给设备的设定容许电力进行，使电力消耗图形的假定的动作开始时刻沿着时间轴延迟直到不超过设定容许电力，把假定综合电力消耗图形所表示的电力值的全体小于设定容许电力时的假定动作开始时刻定为动作开始预定时刻，在变为该动作开始预定时刻时输出动作许可。
Description
技术领域
本发明涉及按照向对半导体晶片实施所希望的处理的那种处理装置等的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统的多个电力使用系统的动作控制装置、动作控制方法、其程序和存储介质。
背景技术
一般地说，由于要想制造半导体集成电路或液晶的显示装置等就要对于半导体晶片或LCD基板等的被处理体反复实施氧化处理、成膜处理、扩散处理、退火处理、改性处理等的各种处理，所以要使用各种的处理装置。
在该情况下，为了对晶片或LCD基板依次实施所希望的处理完成产品，一般要准备多个同种或异种的处理装置，而且，为了提高生产率，要使这些各个处理装置并列地动作。由于对于晶片或LCD基板来说主要进行热处理或等离子体处理，故各个处理装置比较消耗电力，此外，由于向这些供给电力的电力供给设备是比较昂贵的，故在从一台的电力供给设备向多台的处理装置供给电力的情况下，为了尽可能地使电力供给设备变成为小型的设备，一般要准备‘处理装置的额定电力(最大电力)×装置台数’的量的电力容量的电力供给设备。
但是，并不限于所有的处理装置总是以额定电力进行运转，毋宁说实际情况是以额定电力运转的时间比较少。例如，在进行热处理工序的处理装置中，具有使晶片温度上升的升温工序和使该温度维持恒定的工序等，在两工序间电力消耗量大不相同。例如，在升温工序中，电力消耗量将大到接近额定电力，相对于此，在使温度维持恒定的工序中，虽然也取决于加工的种类而不同，但是，却将变成为额定电力的几十～60％那种程度的比较小的电力消耗量。因此，上边所说的现有的电力供给设备，就变成了具有过多的电力容量的余裕的设备，招致电力供给设备的设备费用的上涨或与电力公司之间的电力合同费的上涨。
于是，在专利文献1、2等中公开了用来抑制上述电力供给设备的上涨等的方法。例如，该专利文献1的方法规定为在检测和监视正在从电力供给设备输出的同时在每一个电力使用系统开始新的步骤时，对该检测电力和基准值进行比较，并根据该比较结果判断是否开始步骤。
专利文献1：特开平9-56068号公报
专利文献2：特开平8-181110号公报
然而，在上述那样的现有的方法中，规定为在步骤开始时，对实际的检测电力和参照需要最大消耗电力的步骤的消耗电力量求得的基准值进行比较来决定步骤开始的可否。但是，由于对于各个处理装置的时间轴方向的消耗电力量的变化根本未进行任何考虑，故存在着处理一旦开始后对于伴随着各个处理装置的处理进行的消耗电力量的变化来说不能充分地进行管理的问题。
发明内容
本发明就是着眼于以上那样的问题，为了有效地解决这些问题而发明的。本发明的目的在于提供可以在抑制了设备造价的状态下实现高的运转率的多个电力使用系统的动作控制装置、动作控制方法、其程序和存储介质。
本发明，在按照从1个电力供给设备向依赖于外部信号决定动作的开始的可否的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统中的多个电力使用系统的动作控制装置中，其特征在于，具备：控制装置全体的动作的主控制部；对于上述各个电力使用系统预先存储表示消耗电力相对动作开始后的时间的变化的电力消耗图形的电力消耗图形存储部；根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自的动作开始时刻为基准加上动作中的电力使用系统的电力消耗图形求预定综合电力消耗图形，将对于进行了所述动作开始要求的电力使用系统而以假定的动作开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到上述预定综合电力消耗图形，求得假定综合电力消耗图形，将该假定综合电力消耗图形所表示的电力值与上述电力供给设备的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了上述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻延迟直到上述假定综合电力消耗图形所表示的电力值不超过上述设定容许电力为止，把上述假定综合电力消耗图形所表示的电力值成为比上述设定容许电力更小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻的动作开始预定时刻决定部；和在变成为用上述动作开始预定时刻决定部所决定的动作开始预定时刻时，对进行了上述动作开始要求的电力使用系统向主控制部输出动作许可的许可信号输出部。
如上所述，由于已按照预先求得表示各个电力使用系统的消耗电力的变化的电力消耗图形，在电力使用系统要求动作开始时，在该时刻调整时间轴对运转中的各个电力使用系统的电力消耗图形进行合计，然后再对有了动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算，边进行在该加法运算中所得到的图形与设定容许电力之间的比较，边使有了动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形向时间轴方向移动，来求动作开始预定时刻，故可以在抑制了设备造价的状态下实现高运转率，可以最大限度地提高相对设备费的生产性。
在该情况下，上述电力消耗图形就变成为可以更新。
此外例如，上述电力消耗图形的更新，要根据上述电力使用系统过去的动作时的实际的电力消耗量进行。
此外例如，上述实际的电力消耗量，可根据过去的最近的规定的次数的动作时的电力消耗量决定。
此外例如，上述实际的电力消耗量可根据设置在上述电力使用系统内的功率计进行。
此外例如，上述实际的电力消耗量，可根据设置在上述电力使用系统的电力控制部内的晶闸管的栅极开闭控制量求得。
此外例如，上述实际的电力消耗量，可根据设置在上述电力使用系统的电力控制部内的晶闸管的栅极/断开控制时间求得。
此外例如，上述电力使用系统，是用来对于被处理体实施规定的处理这样的处理装置。
本发明，在按照从1个电力供给设备向依赖于外部信号决定动作的开始的可否的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统中的多个电力使用系统的动作控制方法中，其特征在于，包括：对于上述各个电力使用系统预先存储表示消耗电力相对动作开始后的时间的变化的电力消耗图形的工序；根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自动作开始时刻为基准对动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形的工序；把对于已进行了上述动作开始要求的电力使用系统以假定的动作开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到上述预定综合电力消耗图形上求假定综合电力消耗图形，同时，对该综合电力消耗图形所表示的电力值与上述电力供给设备的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了上述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻延迟直到上述假定综合电力消耗图形所表示的电力值不超过上述设定容许电力为止，把上述假定的综合电力消耗图形所表示的电力值成为比上述设定容许电力更小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻的工序；在变成为用上述所决定的动作开始预定时刻时，对进行了上述动作开始要求的电力使用系统输出动作许可的工序。
在该情况下，例如上述电力消耗图形就变成为可以更新。
此外例如，上述电力消耗图形的更新，要根据上述电力使用系统过去的动作时的实际的电力消耗量进行。
此外例如，上述实际的电力消耗量，可根据过去的最近的规定次数的动作时的电力消耗量决定。
此外例如，上述实际的电力消耗量可根据设置在上述电力使用系统内的功率计进行。
此外例如，上述实际的电力消耗量，可根据设置在上述电力使用系统的电力控制部内的晶闸管的栅极开闭控制量求得。
此外例如，上述实际的电力消耗量，可根据设置在上述电力使用系统的电力控制部内的晶闸管的栅极/断开控制时间求得。
此外例如，上述电力使用系统，是用来对于被处理体实施规定的处理这样的处理装置。
本发明是一种把多个电力使用系统的动作控制装置控制为使之执行如下工序的程序，这些工序是：在控制按照从1个电力供给设备向依赖于外部信号决定动作的开始的可否的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统中的多个电力使用系统的动作时，对于上述各个电力使用系统预先存储表示消耗电力相对动作开始后的时间的变化的电力消耗图形的工序；根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自的动作开始时刻为基准对动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形的工序；把对于已进行了上述动作开始要求的电力使用系统以假定的开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到上述预定综合电力消耗图形上求假定综合电力消耗图形，同时，对上述假定综合电力消耗图形所表示的电力值与上述电力供给设备的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了上述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻延迟直到上述假定综合电力消耗图形所表示的电力值不超过上述设定容许电力为止，把上述假定的综合电力消耗图形所表示的电力值成为比上述设定容许电力更小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻的工序；在变成为上述所决定的动作开始预定时刻时，对进行了上述动作开始要求的电力使用系统输出动作许可的工序。
本发明是一种存储把多个电力使用系统的动作控制装置控制为使之执行如下工序的程序的存储介质，这些工序是：在控制按照从1个电力供给设备向依赖于外部信号决定动作的开始的可否的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统中的多个电力使用系统的动作时，对于上述各个电力使用系统预先存储表示消耗电力相对动作开始后的时间的变化的电力消耗图形的工序；根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自动作开始时刻为基准对动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形的工序；把对于已进行了上述动作开始要求的电力使用系统以假定的开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到上述预定综合电力消耗图形上求假定综合电力消耗图形，同时，对上述假定综合电力消耗图形所表示的电力值与上述电力供给设备的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了上述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻延迟直到上述假定综合电力消耗图形所表示的电力值不超过上述设定容许电力为止，把上述假定的综合电力消耗图形所表示的电力值成为比上述设定容许电力更小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻的工序；在变成为上述决定的动作开始预定时刻时，对进行了上述动作开始要求的电力使用系统输出动作许可的工序。
倘采用本发明的电力使用系统的动作控制装置、动作控制方法和存储介质，则可以发挥以下那样优良的作用效果。
由于已按照预先求得表示各个电力使用系统的消耗电力的变化的电力消耗图形，在电力使用系统要求动作开始时，在该时刻对运转中的各个电力使用系统的电力消耗图形进行时间轴调整并合计，然后再对有了动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算，边进行在该加法运算中所得到的图形与设定容许电力之间的比较，边使有了动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形向时间轴方向移动，来求动作开始预定时刻，故可以在抑制了设备造价的状态下实现高运转率，可以最大限度地提高对设备费的生产性。
附图说明
图1示出了本发明的多个电力使用系统的动作控制装置与电力供给系统的关系。
图2示出了各个电力使用系统的电力消耗图形。
图3示出了以动作开始时刻为基准把运转中的电力消耗图形排列起来进行加法运算的状态。
图4的流程图示出了使用动作控制装置进行的动作控制方法的一个例子。
具体实施方式
以下，根据附图详细说明本发明的电力使用系统的动作控制装置、动作控制方法和存储介质的一个实施例。
图1示出了本发明的多个电力使用系统的动作控制装置与电力供给系统的关系，图2示出了各个电力使用系统的电力消耗图形，图3示出了以动作开始时刻为基准把运转中的电力消耗图形排列起来进行加法运算的状态。
如图1所示，电力供给系统2，具有1台电力供给设备4，变成为使得可通过电力线6从该电力供给设备4分别向多台、在图示例中为6台的作为电力使用系统的处理装置8A、8B、8C、8D、8E、8F供给必要的电力。
在这里，作为本身为电力使用系统的上述处理装置8A～8F，虽然可以使用用来对本身为被处理体的例如半导体晶片实施规定处理的处理装置，但是，却与该处理(加工)的种类无关。例如，可以把同种或异种的处理装置适宜组合起来使用。作为该处理的种类，例如，有成膜处理、氧化扩散处理、改性处理、蚀刻处理等。
上述各个处理装置8A～8F，除去对于晶片实际上使之加热·冷却等的升降温的处理部10A～10F之外，还分别设置有由根据预先决定了应当遍及该处理的全部工序而进行的动作的处理处方(process recipe)控制处理部10A～10F等的例如微型计算机等构成的控制部12A～12F，控制处理装置8A～8F的电力消耗量的电力控制部14A～14F和测量求解实际的电力值的功率计16A～16F等。此外，作为上述各个电力控制部14A～14F，例如可以使用晶闸管。在这里，虽然上述处理处方已预先程序化，并根据该程序自律地进执行处理，但是，该处理动作开始的可否的判断，却要借助于作为本发明的特征的动作控制装置20进行。该动作控制装置20和上述各个控制部12A～12F具有通信功能，使得可以在相互间进行信息的发送接收。
具体地说，上述动作控制装置20，除去包括CPU等的主控制部22之外，还具有电力消耗图形存储部24、动作开始预定时刻决定部26、许可信号输出部28、存储用来控制该动作控制装置20的全体的动作的程序的软盘或硬盘驱动器或由闪速存储器等构成的存储介质30和由暂时存储种种的处理所必须的各种数据的RAM等构成的存储部32。此外，还可以在与上述各个控制部12A～12F之间通过接口34借助于通信进行信息的发送接收。
首先，在上述电力消耗图形存储部24，预先存储有表示消耗电力相对上述各个电力使用系统8A～8F的动作开始后(加工开始后)的时间的变化的电力消耗图形。图2示出了上述各个电力使用系统8A～8F的电力消耗图形的一例，例如，图2(A)示出了处理装置8A的电力消耗图形，图2(B)示出了处理装置8B的电力消耗图形，图2(C)示出了处理装置8C的电力消耗图形，图2(D)示出了处理装置8D的电力消耗图形，图2(E)示出了处理装置8E的电力消耗图形，图2(F)示出了处理装置8F的电力消耗图形。
这些个电力消耗图形，可以采用或者预先以功率计测量实际上使处理装置动作进行处理时的电力消耗量的时间性变化，或者根据这时的电力控制部的晶闸管的栅极的开闭控制量或栅极的通断(ON·OFF)控制时间通过预先计算求解的办法计算。实际上，上述电力消耗图形可采用求每一个规定的时间例如每一秒的电力消耗量的办法制作。
在这里，对上述电力消耗图形的一个例子进行说明。在这里，作为处理装置，使用的是例如可以一次对多块的晶片进行成膜处理或氧化处理等的立式的批量式处理装置，在尚未进行加工的动作的等待时则因作为等待电力消耗很少的电力而把处理部8A～8F的处理容器保持在比处理温度相当低的一定温度。此外，一般地说消耗最大的电力的时候，是把常温的晶片装入(导入)处理部8A～8F的处理容器内之后，对之进行加热升温直到规定的加工温度为止时，其次，消耗大的电力的时候，是在对要卸载(搬出)的晶片温度加以降低而卸载了处理结束过的晶片后，将处理容器再次加热升温到待机时的温度时。
参看例如图2(A)所示的电力消耗图形，在把已装载上晶片的晶片保持器(晶舟)装入(搬入)到处理容器内后，在点P1处开始急速的升温，把晶片温度加热到加工温度。这时，就会因电力消耗量变成为峰值而短时间消耗最大的电力。然后，由于可以恒定地维持晶片温度并进行成膜等的处理，故所要消耗的电力就将变成为相当低，虽然会因例如处理的方式而不同，但是，将以峰值时的电力消耗量的25～60％左右的范围内的大体上恒定值不断地进行推移。此外，当加工处理结束后，由于要使晶片温度充分地降低到可搬出的温度为止，故电力消耗量将急剧地减少，在卸下(搬出)了晶片后，在点P2处再次开始急剧的升温把处理容器的温度加热升温到待机中的温度。在这时，也要短时间消耗相当大的电力，虽然不像先前的峰值时那么大。然后，结果就变成为以很小的电力消耗把处理容器的温度维持于待机温度。
上述图2(A)、图2(B)和图2(F)的电力消耗图形虽然示出的是同样的图形，但是，取决于加工处理，有时候也要进行使得例如连续地进行氮化处理和氧化处理那样的多种的处理。在这样的情况下，例如，如图2(C)、图2(D)和图2(E)所示，也有在途中电力消耗量反复变动得大那样的图形。不论是哪一种情况，这样的电力消耗图形，如上所述，都可以采用通过使用功率计等的办法预先求得。
返回图1，上述动作开始预定时刻决定部26，是在从未动作中，就是说从待机中的处理装置(电力使用系统)进行了动作开始要求时，对于该要求决定动作开始预定时刻的部分。就是说，按照根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自的动作开始时刻为基准对动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算，求预定综合电力消耗图形，同时，对于上述预定综合电力消耗图形加上已进行了上述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形求假定综合电力消耗图形，对该假定综合电力消耗图形所表示的各电力值与上述电力供给设备4的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了上述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻偏移直到上述假定综合电力消耗图形所表示的所有的电力值不超过上述设定容许电力为止，把成为上述假定的综合电力消耗图形所表示的电力值的全部比上述设定容许电力更小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻。
具体地说，首先，当从待机中的处理装置发出了动作开始要求后，就要以该动作开始时刻为基准对这时的运转中(加工处理中)的所有的处理装置的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形40(参看图3)。另外，在图3中，示出的是在处理装置8A～8E都已动作的状态下，处理装置8F发出了动作开始要求时的状态。
然后，要按照给该预定综合电力消耗图形40加上已进行了动作开始要求的处理装置的电力消耗图形求假定综合电力消耗图形，对该假定综合电力消耗图形所表示的各个电力值与预先决定好的上述电力供给设备4的设定容许电力42(参看图3)进行比较，使进行了上述动作开始要求的电力消耗图形的假定的动作开始时刻沿着时间轴在图3中向右进行偏移直到上述假定综合电力消耗图形所表示的所有的电力值不超过上述设定容许电力为止。
然后，把上述假定综合电力消耗图形所表示的电力值的全体变成为比上述设定容许电力更小时的假定的动作开始时刻当作动作开始预定时刻。换句话说，未动作中的处理装置以发出了动作开始要求的时刻为基准，边使在该时刻处已经确定了的预定综合电力消耗图形40，对于时间轴向左右方向移动边加上该处理装置的电力消耗图形，比较研讨全体的电力消耗图形(假定综合电力消耗图形)是否不比作为基准的设定容许电力42更大，如果不大，则就把这时的开始时刻定为动作开始预定时刻。借助于此，就可以调整上述处理装置的动作开始定时。在这里，上述设定容许电力42，一般地说，虽然要设定为上述电力供给设备4的额定电力(最大容许电力)，但是，优选的是按照在不超过该值的范围内可以任意地进行设定。
返回到图1，上述许可信号输出部28，规定为在实际的时刻已经到了在用上述动作开始预定时刻决定部26所决定的动作开始预定时刻时，对于已进行了上述动作要求的处理装置(电力使用系统)输出动作许可信号。因此，结果就变成为上述处理装置，在接受到该动作许可信号后，实际上开始加工处理(动作开始)。
其次，也参看图3和图4对像上述那样地形成的动作控制装置的动作进行说明。
图4的流程图示出了使用动作控制装置进行的动作控制方法的一个例子。首先，对图3进行说明。图3所示的那样的状态，示出的是处理装置8A～8E全都已经开始动作而在进行加工处理(运转中)，在该状态下待机中的处理装置8F在时刻T0处进行了动作开始要求的状态。就是说，处理装置8A已在动作开始时刻T1处开始动作，处理装置8B在动作开始时刻T2处开始动作，处理装置8C在动作开始时刻T3处开始动作，处理装置8D在动作开始时刻T4处开始动作，处理装置8E在动作开始时刻T5处开始动作，处理装置8E在动作开始时刻T5处开始动作。在这里为了使发明的理解变得容易起见，分别把各个处理装置8A～8E的最大电力消耗量假定为100kVA，而把电力供给设备4的设定容许电力42假定为400kVA。
首先，在动作控制装置20(参看图1)的电力消耗图形存储部24内，预先存储有(S1)各个处理装置8A～8F的电力消耗图形(参看图2)。然后，动作控制装置20的主控制部22，在循环时以高速监视(S2)是否已从处理装置8A～8F一侧发出了动作开始的要求(动作开始要求信号)。
在这里，如果未动作中(空闲中)的处理装置发出了动作开始要求(S2的是YES)，则就要对现在动作中的所有的电力使用系统(处理装置)的电力消耗图形进行加法运算，求预定综合电力消耗图形40(参看图3)，在图3中，在时刻T0处处理装置8F发出了动作开始的要求。另外，在图3中在比时刻T0更往前(过去)的预定综合电力消耗图形40虽然为了进行参考也记载着，但是在实际的处理中则不需要求该过去的部分的图形。
其次，设定上述处理装置8F的假定的动作开始时刻T(S4)。在这里，首先已发出了动作开始要求的时刻T0将变成为假定的动作开始时刻T。
其次，以上述假定的动作开始时刻T为基准对上述所求得的预定综合电力消耗图形40和有了动作开始要求的处理装置(电力使用系统)8F的电力消耗图形进行加法运算，求假定综合电力消耗图形(S5)。这时的各个电力消耗图形如上所述已经存储在电力消耗图形存储部24内。另外，该假定综合电力消耗图形，在图3中将变成为以上述的假定的动作开始时刻T为基准单纯地进行加法运算叠加到上述预定综合电力消耗图形40的上方上时形成的图形。
其次，对该假定综合电力消耗图形所表示的所有的电力值和设定容许电力42进行比较，确认上述各个电力值是否超过了设定容许电力42(S6)。另外，在步骤S6中虽然也包括两者相等的情况‘＝’。但是，也可以除去该‘＝’。
在这里，在步骤S6中为是‘YES’的情况下，即便是假定从上述假定的动作开始时刻T开始处理装置的动作，由于假定综合电力消耗图形遍及时刻T以后的整个区域也不会变大为超过设定容许电力42，换句话说，由于电力供给设备4正在以在电力上具有余裕的状态进行运转，故现在即便是按照使已发出了动作开始要求的处理装置的动作开始而进行加工处理，也意味着电力消耗量不会超过设定容许电力42。因此，就把该假定的动作开始时刻T设定为动作开始预定时刻(S7)。像这样的上述的一连串的动作，可在动作开始预定时刻决定部26中进行。
其次，在许可信号输出部28中，总是监视现在的时刻，如果现在的时刻到达了上述所决定的动作开始预定时刻(S8的是YES)，则就要通过主控制部22对于已发出了上述动作开始要求的处理装置(电力使用系统)输出(S9)动作许可(动作许可信号)。然后，结果就变成为接受到该动作许可的处理装置，立即开始动作。
其次，判断是否所有的处理装置(电力使用系统)的动作都已结束，在尚未结束的情况下(S10的否NO)，就要返回步骤S2反复进行上述操作。而在所有的处理装置的动作都已结束了的情况下(S10的是YES)，结果就变成为该动作控制装置的动作也将结束。另外，上述的一连串的运算处理，可借助于计算机瞬时而且短时间地进行。
如上所述，在电力供给设备4的供给电力具有余裕的状态下，结果就变成为在步骤S2中进行了动作开始要求后，就要立即向步骤S3～步骤S9前进，在步骤S9中输出动作许可信号。
在步骤S6中，在否(NO)的情况下，就是说，在假定综合电力消耗图形所表示的各个电力值即使是一部分超过设定容许电力而变大的情况下，为了使上述假定的动作开始时刻T延迟规定的时间Δt，作为‘T+Δt’要设置新的‘T’(S11)。然后，返回步骤S4，再次设定假定的动作开始时刻T并向步骤S5转移。反复进行步骤S5和S6的操作。这样的步骤S3～S6和S11的操作，要反复进行到在步骤S6中变成为是(‘YES’)为止。
因此，每进行一次步骤S11，假定的动作开始时刻T，就以时刻T0为起点每次各变慢一个时间Δt。换句话说，在图3中处理装置8F的电力消耗图形，以时刻T0为起点边每次向时间轴方向(向右)漂移一个时间Δt，边对预定综合电力消耗图形4进行加法运算。每当此时，都要与设定容许电力42进行比较。从结果上看，加法运算后假定综合电力消耗图形不再超过该设定容许电力42时的假定的动作开始时刻就将变成为动作开始预定时刻(S7)。在图3中，示出的是假定的动作开始时刻漂移到了时刻TS时，在上述步骤S6处变成为是(YES)的时候。在这里上述时间Δt，虽然可以以秒单位例如设定为1秒左右，但是并不特别限定于此。一直到包括这样的步骤S11的步骤S7为止的一连串的处理，如上所述由于可借助于计算机瞬时地进行运算，故不会产生时间上的损失。
如上所述，已经预先求得表示各个电力使用系统的消耗电力的变化的电力消耗图形，在电力使用系统发出了动作开始要求时，就要调整时间轴对在该时运转中的各个电力使用系统的电力消耗图形进行合计，对有了动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算，边进行由该加法运算得到的图形和设定容许电力之间的比较，边使有了动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形向时间轴方向移动，按照如上所述来求动作开始预定时刻，故可以在已抑制了设备造价的状态下实现高的运转率，可以最大限度地提高对设备费的生产性。
另外，在上述设定容许电力被设定得比图3所示的情况更小的情况下，有时候从1台的处理装置发出动作开始要求后在待机中又从别的处理装置发出了动作开始要求，在该情况下，理所当然地要使先发出了动作开始要求的处理装置优先进行处理。
此外，在这里，在步骤S8中，虽然按照在现在的时刻变成了动作开始预定时刻时，就要立即输出动作许可信号(S9)，但是，这时也可以按照在输出动作开始许可信号之前立即求各个处理装置8A～8F的电力系统的测定值，对该时的电力消耗量进行确认的作业。此外，对于该电力也可以使用有效电力和视在电力中的任何一者。
此外在这里，虽然已存储到电力消耗图形存储部24内的电力消耗图形是预先求得并存储，但是，也可以按照该电力消耗图形变成为可以更新并根据需要进行更新。为了更新该电力消耗图形，在进行各个加工处理时，要预先把该时的实际的电力消耗量的数据例如存储到存储部32内，并根据该数据更新电力消耗图形。
在该情况下，作为更新的方法，或者用取过去的所有的加工处理时的平均值的电力消耗图形进行更新，或者用取过去的最近的规定的次数例如最近的5次的加工处理时的平均值的电力消耗图形进行更新。特别是由于可以反映加热器等的时间性变化，故优选的是用取过去的最近的规定的次数的加工处理时的平均值的电力消耗图形进行更新。此外，上述处理装置的电力消耗量的测定，如上所述，可以根据功率计16A～16F的测定值或在电力控制部14A～14F中使用的晶闸管的栅极开闭控制量或栅极通断(ON·OFF)控制时间用计算求解。求这时的电力消耗量的采样时间，虽然没有什么特别限定，但是例如可以设定为1秒、10秒或1分等，使之适合于处理装置的加工方式。
此外，对于像导入新装置那样不存在电力消耗图形之类的情况来说，可采用预先制作出遍及该装置的全部的动作时间而使用装置的最大额定容量的那样的假定电力消耗图形并存储的办法使用该装置。作为理所当然的做法，在此后的电力消耗图形的更新时，规定为不使用该假定的电力消耗图形。
此外，在上述实施例中所说明的各个数值例，不过是仅仅示出了一个例子，理所当然地并不受限于此。此外，在这里虽然是以批量式的处理装置为例进行的说明，但是并不限于此，对于每次各处理1块晶片的所谓的单片式的处理装置也可以应用，此外，作为被处理体并不限于晶片，对于处理玻璃基板或LCD基板的处理装置或其它的电力使用系统也可以应用本发明。
Claims (18)
1.一种多个电力使用系统的动作控制装置，是按照从1个电力供给设备向依赖于外部信号决定动作的开始的可否的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统中的多个电力使用系统的动作控制装置，其特征在于，包括：
控制装置全体的动作的主控制部；
对于所述各个电力使用系统预先存储表示消耗电力相对动作开始后的时间的变化的电力消耗图形的电力消耗图形存储部；
动作开始预定时刻决定部，根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自的动作开始时刻为基准对动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形，将对于已进行了所述动作开始要求的电力使用系统以假定的动作开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到所述预定综合电力消耗图形上求假定综合电力消耗图形，对该假定综合电力消耗图形所表示的电力值与所述电力供给设备的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了所述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻延迟直到所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值不超过所述设定容许电力为止，把所述假定的综合电力消耗图形所表示的电力值变为比所述设定容许电力小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻；和
在变成为用所述动作开始预定时刻决定部所决定的动作开始预定时刻时，对进行了所述动作开始要求的电力使用系统向主控制部输出动作许可的许可信号输出部。
2.根据权利要求1所述的多个电力使用系统的动作控制装置，其特征在于：所述电力消耗图形可以进行更新。
3.根据权利要求2所述的多个电力使用系统的动作控制装置，其特征在于：所述电力消耗图形的更新，根据所述电力使用系统过去的动作时的实际的电力消耗量进行。
4.根据权利要求3所述的多个电力使用系统的动作控制装置，其特征在于：所述实际的电力消耗量，根据过去的最近的规定的次数的动作时的电力消耗量决定。
5.根据权利要求3所述的多个电力使用系统的动作控制装置，其特征在于：所述实际的电力消耗量，根据设置在所述电力使用系统内的功率计进行。
6.根据权利要求3所述的多个电力使用系统的动作控制装置，其特征在于：所述实际的电力消耗量，根据设置在所述电力使用系统的电力控制部的晶闸管的栅极开闭控制量求得。
7.根据权利要求3所述的多个电力使用系统的动作控制装置，其特征在于：所述实际的电力消耗量，根据设置在所述电力使用系统的电力控制部的晶闸管的栅极/断开控制时间求得。
8.根据权利要求1所述的多个电力使用系统的动作控制装置，其特征在于：所述电力使用系统，是用来对于被处理体实施规定的处理的处理装置。
9.一种多个电力使用系统的动作控制方法，是按照从1个电力供给设备向依赖于外部信号决定动作的开始的可否的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统中的多个电力使用系统的动作控制方法，其特征在于，包括：
对于所述各个电力使用系统，预先存储表示消耗电力相对动作开始后的时间的变化的电力消耗图形的工序；
根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自的动作开始时刻为基准对动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形的工序；
把对于已进行了所述动作开始要求的电力使用系统以假定的动作开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到所述预定综合电力消耗图形上求假定综合电力消耗图形，同时，对所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值与所述电力供给设备的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了所述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻延迟直到所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值不超过所述设定容许电力为止，把所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值变成为比所述设定容许电力小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻的工序；和
在变成为所述决定的动作开始预定时刻时，对进行了所述动作开始要求的电力使用系统输出动作许可的工序。
10.根据权利要求9所述的多个电力使用系统的动作控制方法，其特征在于：所述电力消耗图形可以进行更新。
11.根据权利要求10所述的多个电力使用系统的动作控制方法，其特征在于：所述电力消耗图形的更新，根据所述电力使用系统的过去的动作时的实际的电力消耗量进行。
12.根据权利要求11所述的多个电力使用系统的动作控制方法，其特征在于：所述实际的电力消耗量，根据过去的最近的规定的次数的动作时的电力消耗量决定。
13.根据权利要求11所述的多个电力使用系统的动作控制方法，其特征在于：所述实际的电力消耗量，根据设置在所述电力使用系统的功率计进行。
14.根据权利要求11所述的多个电力使用系统的动作控制方法，其特征在于：所述实际的电力消耗量，根据设置在所述电力使用系统的电力控制部的晶闸管的栅极开闭控制量求得。
15.根据权利要求11所述的多个电力使用系统的动作控制方法，其特征在于：所述实际的电力消耗量，根据设置在所述电力使用系统的电力控制部的晶闸管的栅极/断开控制时间求得。
16.根据权利要求9所述的多个电力使用系统的动作控制方法，其特征在于：所述电力使用系统，是用来对于被处理体实施规定的处理的处理装置。
17.一种控制多个电力使用系统的动作控制装置的程序，
在对按照从1个电力供给设备向依赖于外部信号决定动作的开始的可否的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统中的多个电力使用系统的动作进行控制时，按照执行如下工序进行，这些工序是：
对于所述各个电力使用系统预先存储表示消耗电力相对动作开始后的时间的变化的电力消耗图形的工序；
根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自的动作开始时刻为基准对动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形的工序；
把对于已进行了所述动作开始要求的电力使用系统以假定的动作开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到所述预定综合电力消耗图形上求假定综合电力消耗图形，同时，对所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值与所述电力供给设备的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了所述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻延迟直到所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值不超过所述设定容许电力为止，把所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值变为比所述设定容许电力小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻的工序；和
在变成为所述决定的动作开始预定时刻时，对进行了所述动作开始要求的电力使用系统输出动作许可的工序。
18.一种存储控制多个电力使用系统的动作控制装置的程序的存储介质，
其中，在对按照从1个电力供给设备向依赖于外部信号决定动作的开始的可否的多个电力使用系统供给电力的电力供给系统中的多个电力使用系统的动作进行控制时，按照执行如下工序进行，这些工序是：
对于所述各个电力使用系统预先存储表示消耗电力相对动作开始后的时间的变化的电力消耗图形的工序；
根据来自未动作中的电力使用系统的动作开始要求，以各自的动作开始时刻为基准对动作中的电力使用系统的电力消耗图形进行加法运算求预定综合电力消耗图形的工序；
把对于已进行了所述动作开始要求的电力使用系统以假定的动作开始时间为基准所求得的电力消耗图形加到所述预定综合电力消耗图形上求假定综合电力消耗图形，同时，对所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值与所述电力供给设备的预先决定好的设定容许电力进行比较，沿着时间轴使进行了所述动作开始要求的电力使用系统的电力消耗图形的假定的动作开始时刻延迟直到所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值不超过所述设定容许电力为止，把所述假定综合电力消耗图形所表示的电力值变成为比所述设定容许电力小时的假定的动作开始时刻决定为动作开始预定时刻的工序；和
在变成为所述决定的动作开始预定时刻时，对进行了所述动作开始要求的电力使用系统输出动作许可的工序。
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
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Granted publication date: 20091216 Termination date: 20150216 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |