JP2010259298A - 熱処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に対して熱処理を行うn個(nは2以上の整数)の反応炉を備えた熱処理システムにおいて、第1の電力変換部2a、2bは三相交流電力を直流電力に変換するためにm個(mは2以上の整数)設けられ、第2の電力変換部41〜43は、これら第1の電力変換部2a、2bに接続されて各反応炉のヒータに電力を供給する。制御部5a、5bはn個の反応炉のヒータ14〜16の消費電力の合計がm個の第1の電力変換部2a、2bの最大出力の合計を越えないように各反応炉の運転のシーケンスを制御する。
【選択図】図2
Description
三相交流電力を直流電力に変換するためのm個(mは2以上の整数)の第1の電力変換部と、
これらm個の第1の電力変換部の各出力端が共通に接続された給電路と、
この給電路に接続され、各反応炉のヒータに電力を供給するための第2の電力変換部と、
n個の反応炉のヒータの消費電力の合計がm個の第1の電力変換部の最大出力の合計を越えないように各反応炉の運転のシーケンスを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする。
Q=(100%負荷時のヒータの消費電力)×(ヒータの100%負荷を同時に許容する反応炉1台)+(安定しているヒータの消費電力)×{(反応炉合計2台)−(ヒータの100%負荷を同時に許容する反応炉1台)}+(制御電力)×(反応炉を備えた熱処理装置の合計2台)+予備電力 …(1)
レシピに基づいてウエハWの昇温スピードを遅くし、これにより電力の制約の範囲内での運転が継続される。
また以上の説明では、ウエハWの昇温スピードを遅くする場合の例を中心に説明したが、各熱処理装置1へのウエハWの搬入枚数を減らす場合についても上述の各例と同様の要領により熱処理装置1の消費電力を減らすことができる。
また各PWMコンバータ2a、2bと熱処理装置1a、1bとが1:1に対応付けられておらず、共通の装置側給電路204に各熱処理装置1a、1bの電力消費端末が並列に接続されているので、電力設備は装置から離れた領域から引き回される例えば共通給電路203などのケーブルの本数が2本になる。このため背景技術にて説明した10本ものケーブルを引き回す場合と比較してメンテナンス作業時などにおける作業性の向上やコスト低減に寄与する。
Q1=(100%負荷時のヒータの消費電力)×(ヒータの100%負荷を同時に許容する反応炉1台)+(安定しているヒータの消費電力)×{(反応炉合計3台)−(ヒータの100%負荷を同時に許容する反応炉1台)}+(制御電力)×(反応炉を備えた熱処理装置の合計3台)+予備電力 …(2)
Q2=(100%負荷時のヒータの消費電力)×(ヒータの100%負荷を同時に許容する反応炉2台)+(安定しているヒータの消費電力)×{(反応炉合計3台)−(ヒータの100%負荷を同時に許容する反応炉2台)}+(制御電力)×(反応炉を備えた熱処理装置の合計3台)+予備電力 …(3)
Q3=(100%負荷時のヒータの消費電力)×(ヒータの100%負荷を同時に許容する反応炉2台)+(安定しているヒータの消費電力)×{(反応炉合計5台)−(ヒータの100%負荷を同時に許容する反応炉2台)}+(制御電力)×(反応炉を備えた熱処理装置の合計5台)+予備電力 …(4)
1、1a〜1f
熱処理装置
11 反応容器
115 ウエハボート
14〜16 ヒータ
17 ガスコントローラ
2、2a、2b
PWMコンバータ
20a、20b
三相交流電源
31〜33 インバータ
41〜43 ヒータコントローラ
5 装置制御部
6 システム制御部
Claims (3)
- 複数の基板を基板保持具に互いに並列に保持して当該基板に対して熱処理を行うn個(nは2以上の整数)の反応炉を備えた熱処理システムにおいて、
三相交流電力を直流電力に変換するためのm個(mは2以上の整数)の第1の電力変換部と、
これらm個の第1の電力変換部の各出力端が共通に接続された給電路と、
この給電路に接続され、各反応炉のヒータに電力を供給するための第2の電力変換部と、
n個の反応炉のヒータの消費電力の合計がm個の第1の電力変換部の最大出力の合計を越えないように各反応炉の運転のシーケンスを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする熱処理システム。 - 前記制御部は、基板が保持された基板保持部の反応炉内への搬入のタイミングを制御することにより、反応炉の運転のシーケンスを制御するものであることを特徴とする請求項1に記載の熱処理システム。
- 前記制御部は、基板が保持された基板保持部を反応炉内へ搬入する動作が同時に行われる反応炉の個数を制限するものであることを特徴とする請求項2に記載の熱処理システム。
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