CN1813287A - 自旋支架 - Google Patents
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Abstract
本发明是一种用于测试磁头或磁盘的自旋支架，该自旋支架包括底座和通过滚动轴承连接在底座上的平台，并可将平台快速且高稳定性地固定在底座上。在本发明的自旋支架中，固定装置被吸附连接到底座和平台上，从而将平台固定到底座上。
Description
技术领域
本发明涉及用于测试磁头或磁盘(disk)的自旋支架，特别地涉及具有底座以及通过滚动轴承与底座相连接的平台的自旋支架。
背景技术
在用于对作为硬盘驱动器的构成要素的磁头和磁盘中的至少一个进行测试的装置中，使用了自旋支架(例如，参照日本专利文献特表2003-515859号公报的图1，日本专利文献特开2001-101853号公报的第5页，以及日本专利文献特开平6-150269号公报的第4页)。
自旋支架是使磁盘旋转，并相对于旋转的磁盘来对磁头进行相对定位的装置。作为主要的结构元件，自旋支架包括底座、磁盘旋转装置以及定位装置。磁盘旋转装置和定位装置被安装在底座上。定位装置包括支撑磁头的平台、使平台移动的驱动装置，以及用于检测平台位置的位置检测装置。并且，平台通过轴承被安装在底座上。
平台在不同于驱动装置的力的外力的作用下会产生扰动。当前正在探求使自旋支架中的磁头的定位精度在2～3毫微米以下。因此，在自旋支架中，为了维持所要求的定位精度，在将平台移到预期位置之后使平台固定在底座上，由此来稳定磁头的位置。作为将平台固定在底座上的代表性装置有气动卡盘(例如，参照日本专利文献特表2003-515859号公报的第九页以及日本专利文献特开2001-101853号公报的第五页)。
在自旋支架中，当通过滚球轴承等滚动轴承来连接底座和平台时，在定位之后的平台的位置稳定性方面会有问题。首先，通过板簧而被安装在平台上的气动卡盘吸附在底座上，由此通过滚球轴承而连接到底座上的线性平台被间接地固定在底座上。板簧虽然主要在一特定方向上变形，但在其它方向上仍会有轻微变形。从而使得气动卡盘和平台的相对位置关系并不稳定。此外，由于在以往的自旋支架中没有采用旋转式支架的示例，因此没有将旋转式支架固定在底座上的在先技术。简而言之，当前在通过滚动轴承来连接底座和平台的自旋支架中，没有一种将平台稳定地固定到底座上的方法。然而，自旋支架所要求的定位精度却在年年提高。另外，由于自旋支架是频繁进行定位的装置，因此也同时要求其要快速进行定位动作。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种可将通过滚动轴承而被安装在底座上的平台高稳定性且快速地固定在所述底座上的自旋支架。
本发明的第一方式是一种用于测试磁头或磁盘的自旋支架，包括底座和通过滚动轴承而被安装在所述底座上的平台，所述自旋支架的特征在于具有固定装置，该固定装置通过与所述底座的吸附以及与所述平台的吸附而与所述底座以及所述平台成为一体，由此将所述平台固定在所述底座上，并能够控制与所述底座和所述平台的一体化以及与所述底座和所述平台的分离。
本发明的第二方式的特征在于，在本发明的第一方式中，所述固定装置的通过吸附来连接所述底座和所述平台的部分由非可动部分的固体来构成。
另外，本发明的第三方式的特征在于，在本发明的第一方式或本发明的第二方式中，还包括对所述固定装置和所述底座的吸附状态或所述固定装置和所述平台的吸附状态进行确认的装置。
另外，本发明的第四方式的特征在于，在本发明的第一方式、本发明的第二方式或本发明的第三方式中，在所述固定装置和所述底座以及所述平台结合成为一体之后，所述固定装置和所述底座相吸附的力以及所述固定装置和所述平台相吸附的力与结合成为一体之前相比有所减弱。
另外，本发明的第五方式的特征在于，在本发明的第一方式、本发明的第二方式、本发明的第三方式或本发明的第四方式中，所述平台具有第一磁性体，所述底座具有第二磁性体，所述固定装置具有在电磁力的作用下吸附在所述第一磁性体以及所述第二磁性体上的电磁铁。
另外，本发明的第六方式的特征在于，在本发明的第五方式中，还具有当所述电磁铁吸附在所述第一磁性体和所述第二磁性体上时，使所述电磁铁与所述第一磁性体和所述第二磁性体分离开的装置。
另外，本发明的第七方式的特征在于，在本发明的第一方式、本发明的第二方式、本发明的第三方式或本发明的第四方式中，所述平台具有第一平滑面，所述底座具有第二平滑面，所述固定装置具有可在气压的控制下而在所述第一平滑面以及所述第二平滑面上装卸的气动卡盘。
根据本发明，由于将非可动部分的固体吸附到底座和平台上，因此可以强有力地将底座和平台结合为一体，从而将平台固定到底座上。另外，由于没有对底座和平台施压，因此可以减轻附加到与底座和平台相连的轴承部分等可动部分上的负荷。
另外，根据本发明，由于对底座和平台的吸附状态进行确认，因此可以稳定且可靠地发挥固定装置的固定能力。
另外，根据本发明，由于强行将处于吸附状态的电磁铁分离，因此可以在预定时间内解除平台的固定状态。
另外，根据本发明，由于固定装置吸附到平台和底座上后，固定装置的吸附力有所减弱，因此可以控制所需要的电能或抑制热量的产生。由此，可以减轻例如对电磁铁周边的机械或电气电路以及检查对象的热影响。
附图说明
图1是表示自旋支架100的上方斜视图；
图2是表示自旋支架100的下方斜视图；
图3是本发明的固定装置300的截面图；
图4是本发明的固定装置300的截面图；
图5是本发明的固定装置300的截面图；
图6是本发明的固定装置400的截面图；
图7是本发明的固定装置400的截面图；
图8是表示自旋支架500的上方斜视图；
图9是本发明的固定装置700的截面图；
图10是本发明的固定装置700的截面图。
具体实施方式
下面根据附图所示的优选实施方式对本发明进行说明。本发明的第一实施方式是用于检查磁头和磁盘中至少一个的自旋支架100。这里参照图1和图2。图1是从上方斜视自旋支架100的图。图2是从下方斜视自旋支架100的图。在图2中，与图1相同的元件被标注相同的参照编号。
自旋支架100具有底座110、磁盘旋转装置120、压电平台130以及旋转平台140。底座110具有顶板111和侧板112。磁盘旋转装置120是用于使图中未示出的磁盘旋转的装置。压电平台130是对磁头200进行直线式精细定位的装置，并被安装在旋转平台140的顶板141上。压电平台130对磁头200在箭头A的方向上进行定位。该箭头A的方向是与磁头200的图中未示出的间隙中心线相垂直的方向，或包含该方向的方向。旋转平台140通过滚动轴承150被安装在底座110上。旋转平台140通过图中未示出的驱动装置和图中未示出的位置检测装置对压电平台130在箭头B的方向上进行旋转定位。当对压电平台130进行了旋转定位时，压电平台130的定位方向A也会有所变动。
此外，自旋支架100具有固定装置300。固定装置300是使用电磁铁330将旋转平台140固定在底座110上的装置。电磁铁330磁力吸附在底座110和旋转平台140上并与之成为一体，由此将旋转平台140固定在底座110上。底座110具有用于吸附电磁铁330的磁性板220。另外，旋转平台140具有用于吸附电磁铁330的磁性板210。磁性板210和磁性板220为铁制平板。
下面参照图2和图3。图3是图2中的C-C截面图。图3中和图2相同的元件被标注了相同的参照编号。磁性板210的面211和磁性板220的面221之间无阶梯差。另外，面211和面221与旋转平台140的旋转轴相垂直。电磁铁330以吸附面331与面211和面221相对的方式，通过板簧340被安装在底座110上。电磁铁330的吸附面331具有可同时与面211和面221紧密接触的形状。板簧340形成为桥形，且其端部341被固定在底座110上。此外，磁性板380被安装在板簧340的安装电磁铁330的面的相反面上。磁性板380是铁制平板。磁性板380和板簧340之间设有绝缘体370。绝缘体370例如由MC尼龙(商标)来成型形成。另外，通过支撑体360将电磁铁350安装在底座110上，使之与磁性板380相对。并且，电磁铁350没有被固定在磁性板380上。电磁铁330和电磁铁350通过图中未示出的控制电路C来控制各自产生的磁力的打开/关闭和各自磁力的大小。控制电路C(图中未示出)既可以是自旋支架100的一部分，也可以是外部装置。
下面对上述结构的固定装置300的动作进行说明。图3示出旋转平台140和底座110没有被固定的状态。该状态为普通状态。在这里，若对电磁铁330施加电压，则电磁铁330在其产生的磁力的作用下吸附到磁性板210和磁性板220上。在这里参照图4。虽然图4和图3相同，同样也是图2的C-C截面图，但和图3不同的是，电磁铁330吸附到了磁性板210和磁性板220上。图4中和图3相同的元件被标注了相同的参照编号。在图4中，磁性板210通过电磁铁330被固定，使得与磁性板220成为一体。由于磁性板210被固定在旋转平台140上，而磁性板220被固定在底座110上，因此旋转平台140通过电磁铁330而与底座110固定为一体。由于连接旋转平台140和底座110的电磁铁330是非可动部分的一个固体，因此旋转平台140和底座110被强有力地结合成一体，从而可处于稳定的固定状态。此外，由于电磁铁330吸附在磁性板210和磁性板220上，因此不会因固定而向旋转平台140和底座110施加力。从而施加于旋转平台140的旋转轴(图中未示出)和滚动轴承150的负荷也很少。
如前所述，电磁铁330的吸附面331具有可同时与面211和面221紧密接触的形状。因此，底座110和旋转平台140被强有力地结合成为一体。但是，若面211或面221与吸附面331之间有灰尘等，则面和面之间就不能达到完全地接触，其结果是，旋转平台140和底座110的固定状态就会变得不稳定。此外，当没有精准控制电磁铁330时，旋转平台140和底座110的固定状态仍会不稳定。若在这样的不稳定的固定状态下，使压电平台130对磁头200进行定位，则在驱动磁头200的反作用力的作用下，旋转平台140有时会活动，在这种情况下旋转平台140和磁头200就不会有高精度的定位。因此，本实施方式的固定装置300通过给板簧340施加电压以确认板簧340和磁性板220之间的导通状态的方式来确认面221和吸附面331之间的接触状态。由此能够确认磁性板210和电磁铁330的吸附状态以及磁性板220和电磁铁330的吸附状态，所以，可稳定地发挥固定装置的固定能力。为了进行该导通确认，电磁铁330和磁性板220具有导电性。并且，虽然也可以对磁性板210施加电压来确认磁性板210和磁性板220之间的导通，但由于吸附面331具有可同时接触面211和面221的形状，所以难以考虑到吸附面331只和面211或面221中的一个面相接触的情况。因此如上所述，足以确认面211或面221中的任一面和吸附面331的接触状态。
这里，电磁铁330所产生的磁力线的路径如图5所示。图中，电磁铁330具有线圈332和磁心333。电磁铁330的磁力由线圈332产生。当线圈332中有电流通过时，线圈332的中心附近为S极，外围附近为N极。除了电磁铁330与磁性板210以及磁性板220相对的面之外，磁心333覆盖了电磁铁330的全体。当电磁铁330吸附在磁性板210和磁性板220上时，线圈332所产生的磁力线通过磁性板210和磁性板220而形成磁通量闭环334。此外，线圈332所产生的磁力线同样与磁心333形成磁通量闭环(图中未示出)。此外，磁性板210和磁性板220几乎能够覆盖电磁铁330的吸附面331的全部。从而当电磁铁330吸附在磁性板210和磁性板220上时，线圈332所产生的磁力线不会泄漏到外部。此外，由于电磁铁330的吸附面331以接近磁性板210和磁性板220的方式被配置，因此即使在电磁铁330吸附到磁性板210和磁性板220上之前，线圈332所产生的磁力线也几乎不会泄漏到外部。这对于检查磁头200等磁性元件的装置是极为重要的。这是由于可以减轻检查结果所受到的周围电磁场的影响的缘故。
此外，电磁铁330在吸附到磁性板210和磁性板220上之前产生强磁力，而在吸附之后所产生的磁力减弱。例如，当想要使电磁铁330进行吸附时，给电磁铁330施加20V电压，而在吸附后将施加电压下降到10V。这是由于若电磁铁330吸附到了磁性板210和磁性板220上，则维持该吸附状态所需的磁力与将要进行吸附时相比可以减小的缘故。通过这样的对施加电压的控制，可以降低电磁铁330所产生的热量。
下面对解除电磁铁330的吸附状态，即解除电磁铁330和磁性板210的吸附状态以及电磁铁330和磁性板220的吸附状态的操作进行说明。在图4中，首先将施加到电磁铁330上的电压变为零。由于将施加到电磁铁330上的电压变为零并不意味着没有了磁通量闭环334，因此可以维持电磁铁330的吸附状态。此外，当向电磁铁330施加与吸附时相反的电压时，也只是使图5所示的磁通量闭环334的朝向相反，所以仍旧维持电磁铁330的吸附状态。因此，为了迅速解除电磁铁330的吸附状态，需要强行将电磁铁330从磁性板210和磁性板220上分离。具体来说，由电磁铁350来吸引磁性板380，从而将电磁铁330从磁性板210和磁性板220上分离。其结果是，固定装置300成为图3所示状态。并且，尽管图中未示出，但电磁铁350和电磁铁330相同，具有线圈和磁心。而电磁铁350和电磁铁330不同的之处在于，虽然在吸附到磁性板380之前产生强磁力，但在吸附之后所产生的磁力变为零。若将电磁铁330从磁性板210和磁性板220上分离，则在此之后，固定装置300在板簧340的作用下回落到图3所示的状态，因此电磁铁350没有必要继续产生磁力。并且，由于确保了磁性板380用于吸附的适当面积，并且电磁铁350以接近磁性板380的方式被设置，因此可以抑制从电磁铁350向外泄漏磁力线。该利用电磁铁350的方法例如与在电磁铁330上附带上铅锤，并在其重力的作用下进行分离的方法相比，能够可靠地在确定的时间内进行分离，因此能够稳定且高速地解除电磁铁330的吸附状态。
电磁铁330和电磁铁350产生磁场。该磁场有时成为测试磁头200等磁性元件时产生误差的主要原因。在自旋支架100中，由于在磁头200和电磁铁330以及电磁铁350之间具有磁性板210，因此可以抑制磁场对磁头200的测试的影响。
在第一实施方式中，面211和面221也可以有阶梯差，且吸附面331也可以为与该阶梯差相吻合的阶梯状。此外，面211、面221以及吸附面331也可以是曲面而不是平面。重要的是只要将其构成为可同时吸附即可，而对其形状则并无要求。
下面对本发明的第二实施方式进行说明。本发明的第二实施方式为与图1和图2所示大体相同的、用于检查磁头或磁盘的自旋支架。但在本发明的第二实施方式中，在自旋支架100中使用固定装置400以代替固定装置300。并因该变动而去掉或改变了几个元件。固定装置400的特征在于，作为吸附装置，其使用气动卡盘来代替电磁铁。
在这里，固定装置400的截面图如图6所示。在图6中，与图2和图3相同的元件被标注了相同的参照编号。在两图中，固定装置400是使用吸附块430将旋转平台140固定在底座110上的装置。吸附块430吸附在旋转平台140和底座110上而成为一体，由此将旋转平台140固定在底座110上。旋转平台140具有用于吸附块430吸附的平滑板230。底座110具有用于吸附块430吸附的平滑板240。平滑板230和平滑板240是铝制平板。平滑板230和平滑板240分别具有平面度在5微米以下的平滑面231和平滑面241。平滑面231和平滑面241垂直于旋转平台140的旋转轴。
吸附块430具有气动卡盘460和吸附面431。吸附块430通过板簧340，以吸附面431与平滑面231和平滑面241相对的方式被安装在底座110上。吸附块430的吸附面431具有可同时吸附在平滑面231和平滑面241上的形状。板簧340形成为桥形，且其端部341被固定在底座110上。并且，通过经由通气道470而连接到气动卡盘460上的给排气装置P(图中未示出)来控制在气动卡盘460中产生的气压的打开/关闭以及该气压的大小。给排气装置P(图中未示出)既可以是自旋支架100的一部分，也可以是外部装置。
下面对上述结构的固定装置400的动作进行说明。图6示出旋转平台140和底座110没有被固定的状态。该状态为固定装置400的普通状态。在这里，通过给排气装置P(图中未示出)的作用使得气动卡盘460吸气。这样在气动卡盘460中就会产生负压。吸附块430在所产生的负压的作用下吸附到平滑板230和平滑板240上。这里参照图7。虽然图7和图6相同，也是固定装置400的截面图，但和图6不同的是，吸附块430吸附到平滑板230和平滑板240上。图7中和图6相同的元件被标注了相同的参照编号。在图7中，平滑板230通过吸附块430与平滑板240被固定成一体。由于平滑板230被固定在旋转平台140上，平滑板240被固定在底座110上，因此旋转平台140通过吸附块430与底座110被固定成一体。由于连接旋转平台140和底座110的吸附块430是非可动部分的一个固体，因此旋转平台140和底座110被强有力地结合成一体，从而可处于稳定的固定状态。此外，由于吸附块430吸附在旋转平台140和底座110上，因此不会因固定而向旋转平台140和底座110施加力。从而，施加于旋转平台140的旋转轴(图中未示出)和滚动轴承150的负荷也很少。
如前所述，吸附块430的吸附面431具有可同时与平滑面231和平滑面241紧密接触的形状。由此，旋转平台140和底座110被强有力地结合成一体。但是，若平滑面231或平滑面241与吸附面431之间有灰尘等，则面和面之间就不能达到完全地接触，其结果是，旋转平台140和底座110的固定状态就会变得不稳定。此外，当没有精准控制气动卡盘460时，旋转平台140和底座110的固定状态仍会不稳定。若在这样的不稳定的固定状态下使压电平台130对磁头200进行定位，则在驱动磁头200的反作用力的作用下，旋转平台140有时会活动，在这种情况下旋转平台140和磁头200就不会有高精度的定位。因此，本实施方式的固定装置400通过确认给排气装置P(图中未示出)的负荷状态来确认平滑面231和吸附面431的接触状态以及平滑面241和吸附面431的接触状态。这是利用了完全接触和不完全接触时附加到给排气装置P(图中未示出)上的负荷的大小有所不同这一点。由此，固定装置400的固定能力得以稳定地发挥。
此外，吸附块430在吸附到平滑板230和平滑板240上之前产生强负压，而在吸附之后所产生的负压可以减弱。这是由于当吸附块430吸附到平滑板230和平滑板240上时，维持该吸附状态所需的负压与将要吸附时相比可以减小的缘故。当然，在吸附后所产生的负压也可以不减小。
下面对解除吸附块430的吸附状态，即解除平滑板230和吸附块430的吸附状态以及平滑板240和吸附块430的吸附状态的操作进行说明。在图7中，在给排气装置P(图中未示出)的作用下而从气动卡盘460喷气。这样就在气动卡盘460中产生正压。吸附块430在该产生的正压的作用下从平滑板230和平滑板240上分离。解除吸附块430的吸附状态的固定装置300如图6所示。若将吸附块430从平滑板230和平滑板240上分离，则在此之后的固定装置400回落到图6所示的状态，因此气动卡盘460没有必要继续产生正压。使用该气动卡盘460的解除方法与使用电磁铁的情况相同，由于能够可靠地在确定的时间内对吸附块430进行分离，因此能够稳定且高速地解除吸附块430的吸附状态。此外，该使用气动卡盘460的方法与使用电磁铁的情况相比，不需要追加用于解除吸附块430的吸附状态的装置。另外，该使用气动卡盘460的方法难以对磁头的检查结果产生影响。
下面对本发明的第三实施方式进行说明。本发明的第三实施方式是用于对磁头和磁盘中至少一方进行检查的自旋支架500。这里参照图8。图8是从上方斜视自旋支架500的图。
自旋支架500具有底座510和线性平台520。底座510具有顶板511和在顶板511上直立的支柱512以及支柱513。支柱512在其上部具有磁性板611。支柱513在其上部具有磁性板612。在磁性板611的上面安装有作为滚动轴承的一个示例的直线导轨531。在磁性板612的上面安装有作为滚动轴承的一个示例的直线导轨532。线性平台520被直线导轨531和直线导轨532支撑，并由驱动源540在箭头D的方向上定位。此外，线性平台520在其下侧具有磁性板620。
下面参照图9和图10。图9是图8的E-E截面图。图10是图9的F-F截面图。在图9中和图8相同的元件被标注了相同的参照编号。此外，在图10中和图9相同的元件被标注了相同的参照编号。自旋支架500具有固定装置700。固定装置700是使用电磁铁710和电磁铁750而将线性平台520固定在底座510上的装置。电磁铁710吸附在磁性板611和磁性板620上而成为一体，电磁铁750吸附在磁性板612和磁性板620上而成为一体。固定装置700在这些部件一体化的作用下将旋转平台140固定在底座110上。
电磁铁710通过板簧720被安装在底座510上。电磁铁750通过板簧760被安装在底座510上。电磁铁710具有可同时吸附在磁性板611和磁性板620上的形状。电磁铁750具有可同时吸附在磁性板612和磁性板620上的形状。板簧720形成为桥形，且其端部721被固定在底座510上。板簧760形成为桥形，并被固定在底座510上。此外，磁性板730被安装在板簧720的安装电磁铁710的面的相反面上。磁性板770被安装在板簧760的安装电磁铁750的面的相反面上。磁性板730和磁性板770是铁制平板。磁性板730和板簧720电绝缘。磁性板770和板簧760电绝缘。另外，电磁铁740以与磁性板730相对的方式被安装在底座510上。而电磁铁780以与磁性板770相对的方式被安装在底座510上。电磁铁710、电磁铁740、电磁铁750以及电磁铁780通过图中未示出的控制电路G来控制各自产生的磁力的打开/关闭和各自磁力的大小。控制电路G(图中未示出)既可以是自旋支架500的一部分，也可以是外部装置。
下面对上述结构的固定装置700的动作进行说明。图9和图10示出线性平台520和底座510没有被固定的状态。该状态为普通状态。在这里，当对电磁铁710和电磁铁750施加电压时，电磁铁710磁力吸附到磁性板611和磁性板620上，而电磁铁750磁力吸附到磁性板612和磁性板620上。电磁铁710、磁性板611、磁性板612以及磁性板620具有导电性。由此和第一实施方式相同，电磁铁710与磁性板611和磁性板620的吸附状态以及电磁铁750与磁性板612和磁性板620的吸附状态可以进行电气确认。由于磁性板620被固定在线性平台520上，磁性板611和磁性板612被固定在底座510上，因此线性平台520通过电磁铁710和电磁铁750而与底座510固定为一体。由于连接线性平台520和底座510的电磁铁710以及电磁铁750是非可动部分的一个固体，因此线性平台520和底座510被强有力地结合成一体，从而处于稳定的固定状态。此外，也不会因固定而向线性平台520和底座510施压。另外，电磁铁710和电磁铁750在吸附到磁性板620等上之前产生强磁力，而在吸附之后减弱所产生的磁力。当解除电磁铁710和电磁铁750的吸附状态时，向电磁铁710和电磁铁750施加的电压变为零，并由电磁铁740和电磁铁780将电磁铁710和电磁铁750强行从磁性板620等上分离。
在第一实施方式和第三实施方式中，由于磁性板只要是电磁铁可以吸附的磁性体即可，因此也可以由镍或钴来制成，而并不仅限于铁。
此外在第二实施方式中，由于平滑板只要是吸附块可以吸附的光滑的平面即可，因此也可以由铁等其它金属或树脂等制成，而不仅限于铝。
另外，在从第一实施方式到第三实施方式中的各个实施方式中，吸附状态的确认也可以采用光学方法或机械方法，而不仅限于电气方法。
另外，在从第一实施方式到第三实施方式中的各个实施方式中，吸附部分的形状不是必须为平面。
另外，在从第一实施方式到第三实施方式中的各个实施方式中，由于绝缘体只要是具有电绝缘效果的材料即可，因此也可以由半导体或橡胶等来制成。
另外，在从第一实施方式到第三实施方式中的各个实施方式中，固定装置也可以不依靠电磁力和负压，而是采用其它的吸附方法。
Claims (7)
1.一种用于测试磁头或磁盘的自旋支架，包括底座和通过滚动轴承而被安装在所述底座上的平台，所述自旋支架的特征在于，
其具有固定装置，该固定装置通过与所述底座的吸附以及与所述平台的吸附而与所述底座以及所述平台成为一体，由此将所述平台固定在所述底座上，并能够控制与所述底座和所述平台的一体化以及与所述底座和所述平台的分离。
2.如权利要求1所述的自旋支架，其特征在于，
所述固定装置的通过吸附来连接所述底座和所述平台的部分由非可动部的固体来构成。
3.如权利要求1或2所述的自旋支架，其特征在于，还包括：
对所述固定装置和所述底座的吸附状态或所述固定装置和所述平台的吸附状态进行确认的装置。
4.如权利要求1至3中任一项所述的自旋支架，其特征在于，
在所述固定装置和所述底座以及所述平台结合成为一体之后，所述固定装置和所述底座相吸附的力以及所述固定装置和所述平台相吸附的力与结合成为一体之前相比变小了。
5.如权利要求1至4中任一项所述的自旋支架，其特征在于，
所述平台具有第一磁性体，所述底座具有第二磁性体，
所述固定装置具有在电磁力的作用下吸附在所述第一磁性体以及所述第二磁性体上的电磁铁。
6.如权利要求5所述的固定装置，其特征在于，还包括：
当所述电磁铁吸附到所述第一磁性体和所述第二磁性体上时，将所述电磁铁从所述第一磁性体和所述第二磁性体上分离的装置。
7.如权利要求1至4中任一项所述的自旋支架，其特征在于，
所述平台具有第一平滑面，所述底座具有第二平滑面，
所述固定装置具有可通过气压的控制而在所述第一平滑面以及所述第二平滑面上装卸的气动卡盘。
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