CN109727883B - 用于检查显示单元的装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于检查显示单元的装置。所述装置包括基板台，其用于支撑基板以使得在所述基板上形成的显示单元面向下方；卡台，其被设置在所述基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至所述显示单元的探针卡；卡盒，其被设置在所述卡台的一侧以容纳多个探针卡；卡转移单元，其用于在所述卡台和所述卡盒之间转移所述探针卡以更换所述探针卡；以及台驱动单元，其用于在垂直和水平方向上移动所述基板台。特别地，所述卡转移单元被安装在所述台驱动单元上并与所述基板台一起移动。

Description

用于检查显示单元的装置

技术领域

本发明涉及一种用于检查显示单元的装置。更具体地说，本发明涉及一种用于电学和光学检查显示单元，诸如在基板上形成的OLED(有机发光二极管)单元的装置。

背景技术

通常，OLED单元包括形成在基板上的薄膜晶体管(TFT)层和形成在TFT层上的有机发光层。有机发光层包括下电极、空穴注入层、空穴传输层、发射层、电子传输层和上电极。

特别地，在基板上形成多个OLED单元之后，可以通过检查装置来检查OLED单元。例如，可以通过检查装置来检查OLED单元的图像质量、亮度、色坐标、色温、薄膜图案的对齐等。检查装置可以包括检查相机，其用于检查图像质量和亮度；分光镜，其用于检查色坐标和色温；以及荧光显微镜，其用于检查薄膜图案的对齐。

此外，检查装置可以使用探针卡将检查信号施加至显示单元。检查装置可以包括基板台，其用于夹住基板；台驱动单元，其用于在垂直和水平方向上移动基板；以及卡台，其被设置在基板台的下方以支撑探针卡。此外，检查装置可以包括卡盒，其被用于容纳多个探针卡；以及卡转移单元，其用于根据一种显示单元选择被容纳在卡盒中的探针卡中的一个并将所选探针卡转移至卡台上。

卡转移单元可以被设置在台驱动单元的下方。然而，由于卡转移单元的大小相对较大，因此难以将卡转移单元设置在台驱动单元的下方。此外，台驱动单元和卡转移单元可能彼此碰撞。

发明内容

本发明提供了一种用于检查显示单元的装置，其能够消除在台驱动单元和卡转移单元之间发生碰撞的可能性并减小由台驱动单元和卡转移单元所占的空间。

根据本发明的一些示例性实施例，一种用于检查显示单元的装置包括基板台，其用于支撑基板以使得在基板上形成的显示单元面向下方；卡台，其被设置在基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至显示单元的探针卡；卡盒，其被设置在卡台的一侧以容纳多个探针卡；卡转移单元，其用于在卡台和卡盒之间转移探针卡以更换探针卡；以及台驱动单元，其用于在垂直和水平方向上移动基板台。特别地，卡转移单元可以被安装在台驱动单元上并可以与基板台一起移动。

根据本发明的一些示例性实施例，台驱动单元可以包括垂直驱动部分，其用于在垂直方向上移动基板台；第一水平驱动部分，其用于在第一水平方向上移动垂直驱动部分；以及第二水平驱动部分，其用于在垂直于第一水平方向的第二水平方向上移动第一水平驱动部分。特别地，卡转移单元可以被安装在第一水平驱动部分上且可以通过第二水平驱动部分在第二水平方向上移动。

根据本发明的一些示例性实施例，第一水平驱动部分可以包括可移动块，其被配置成可通过第二水平驱动部分在第二水平方向上移动，以及卡转移单元可以被安装在可移动块上。

根据本发明的一些示例性实施例，卡转移单元可以包括夹持器部分，其用于夹住探针卡；以及第二垂直驱动部分，其被安装在台驱动单元上并在垂直方向上移动夹持器部分以将探针卡传输至卡台上。

根据本发明的一些示例性实施例，夹持器部分可以包括转移板，其被连接至第二垂直驱动部分；夹持器，其被安装至转移板以夹住探针卡；以及夹持器驱动部分，其用于操作夹持器。

根据本发明的一些示例性实施例，夹持器中的每一个可以旋转轴，其被可旋转地安装至转移板；以及至少一个钩子，其沿径向被安装在旋转轴的下部上。此时，探针卡可以具有键孔，旋转轴的下部和夹持器的钩子被插入键孔中，以及夹持器驱动部分可以将被插入键孔中的夹持器旋转预定角度以夹住探针卡。

根据本发明的一些示例性实施例，夹持器中的每一个可以包括凸轮从动件，其被安装在旋转轴的上部上以与旋转轴的中轴线间隔预定距离。此时，夹持器驱动部分可以包括凸轮板，其具有凸轮槽，夹持器的凸轮从动件被插入凸轮槽中；以及凸轮操作部分，其用于在水平方向上移动凸轮板，以使得旋转夹持器。

根据本发明的一些示例性实施例，卡台可以具有用于对齐探针卡的位置的对齐销，且探针卡可以具有对齐孔，对齐销被插入对齐孔中。

根据本发明的一些示例性实施例，装置还可以包括夹持单元，其被设置在卡台上以夹住探针卡。

根据本发明的一些示例性实施例，探针卡可以具有分别在侧表面部分处形成的下槽，和分别被形成为具有从下槽向上的预定倾斜度的上槽。此时，夹持单元可以包括夹具，其中的每一个具有固定销，其被配置成被分别插入至下槽中；以及夹具操作部分，其用于分别在水平方向上移动夹具，以使得分别沿上槽移动被插入下槽中的固定销，从而将探针卡固定至卡台上。

上面对本发明的概述不旨在描述本发明的每个所阐明的实施例或每个实施方案。下面的具体实施方式和权利要求更特别地例示了这些实施例。

附图说明

根据以下结合附图的描述，能够更加详细地理解示例性实施例，其中：

图1为示出形成在基板上的OLED单元的示意图；

图2为示出根据本发明的一个示例性实施例的用于检查显示单元的装置的示意图；

图3为示出如在图2中所示的基板台的示意性平面视图；

图4为示出如在图2中所示的基板台的示意性侧视图；

图5为示出如在图2中所示的探针卡的示意性平面视图；

图6为示出如在图2中所示的探针卡的示意性前视图；

图7为示出如在图5中所示的探针卡的示意性侧视图；

图8为示出如在图3中所示的夹持器部分的示意性侧视图；

图9为示出如在图8中所示的夹持器部分的示意性平面视图；

图10和11为示出如在图9中所示的夹持器部分的操作的示意图；

图12和13为示出如在图2中所示的卡台的示意性平面视图；以及

图14和15为示出如在图2中所示的卡台的示意性侧视图。

虽然各种实施例适合于各种修改和替代形式，但其具体细节已通过示例的方式在附图中示出且将更详细地进行描述。然而，应理解的是其意图不是将所要求保护的本发明限制于所述的特定实施例。相反地，其意图是涵盖落在如通过权利要求所限定的主题的精神和范围内的所有修改、等同物和替代物。

具体实施方式

在下文中，参考附图更详细地描述本发明的实施例。然而，本发明不限于下面描述的实施例且以各种其他形式来进行实施。下面的实施例并不是用于完全完成本发明，而是用于将本发明的范围完全传达给本领域的技术人员。

在说明书中，当一个组件被称为在......上或被连接至另一个组件或层时，其能够直接位于另一个组件或层上，被直接连接至其，或还可以存在中间组件或层。与此不同的是，将理解的是当一个组件被称为直接在另一个组件或层上或被直接连接至其时，其表示不存在中间组件。此外，尽管像第一、第二和第三的术语用于在本发明的各种实施例中描述各种区域和层，但区域和层并不限于这些术语。

以下使用的术语仅用于描述具体实施例，而不用于限制本发明。额外地，除非在此另有限定外，包括技术或科学术语的所有术语可以具有与本领域的技术人员通常所理解的相同的意义。

参考理想实施例的示意图来描述本发明的实施例。相应地，可以根据附图的形式来预期制造方法中的变化和/或容许误差。相应地，本发明的实施例不被描述为限于附图中的具体形式或区域且包括形式的偏差。该区域可以完全是示意性的，且其形式可以不描述或描绘在任何给定区域中的准确形式或结构，且不旨在限制本发明的范围。

图1为示出形成在基板上的OLED单元的示意图；且图2为示出根据本发明的一个示例性实施例的用于检查显示单元的装置的示意图。

参考图1和2，根据本发明的一个示例性实施例的一种用于检查显示单元的装置100(下文称之为检查装置)可以被用于电学和光学检查显示单元，诸如形成在基板10上的OLED单元20。OLED单元20可以按行和列被布置在基板10上且可以分别包括多个检查垫22。

检查装置100可以包括用于提供空间的检查室102，在该空间中，对OLED单元20执行电学和光学检查工艺。此外，检查装置100可以包括基板台110，其用于夹住基板10；以及卡台140，其用于支撑被用于将检查信号施加至OLED单元20的探针卡130。基板台110可以夹住基板10，以使得OLED单元20面向下方，且卡台140可以被设置在基板台110的下方。

图3为示出如在图2中所示的基板台110的示意性平面视图；且图4为示出如在图2中所示的基板台110的示意性侧视图。

参考图3和4，基板110可以具有用于真空吸收基板10的后表面的真空孔(未示出)，且可以通过台驱动单元112在垂直和水平方向上移动。

台驱动单元112可以包括垂直驱动部分114，其用于在垂直方向上移动基板台110；第一水平驱动部分116，其用于在第一水平方向，例如，在X轴方向上移动垂直驱动部分114；以及第二水平驱动部分120，其用于在垂直于第一水平方向的第二水平方向，登录，在Y轴方向上移动第一水平驱动部分116。此外，台驱动单元112还可以包括用于旋转基板台110的旋转驱动部分(未示出)。

第一和第二水平驱动部分116和120可以在第一和第二水平方向上移动基板台110，以检查OLED单元20。例如，第一和第二水平驱动部分116和120可以使用线性马达、线性运动引导件等进行配置。

垂直驱动部分114可以在垂直方向上移动基板台110，以便连接OLED单元20与探针卡130。例如，垂直驱动部分114可以使用伺服马达、线性运动引导件等进行配置。尽管未在图中示出，旋转驱动部分可以被用于使OLED单元20与探针卡130相对齐且可以包括用于旋转基板台110的马达。例如，旋转驱动部分可以使用直接驱动马达、交叉滚子轴承等来进行配置。

特别地，第一水平驱动部分116可以包括可移动块118，其被配置成可通过第二水平驱动部分120在第二水平方向上移动。例如，第一水平驱动部分116可以被安装在可移动块118上，如在图3中所示。

探针卡130可以具有多个探针132(参考图5)，且基板台110可以在垂直方向上移动，以使得OLED单元20的检查垫22与探针卡130的探针132相连接。

图5为示出如在图2中所示的探针卡130的示意性平面视图；图6为示出如在图2中所示的探针卡130的示意性前视图；且图7为示出如在图5中所示的探针卡130的示意性侧视图。

参考图5至7，探针卡130可以具有用于将检查信号施加至OLED单元20的多个探针132。例如，探针卡130可以具有矩形板形状，且探针132可以在探针卡130的一个侧部上排成一行。

此外，尽管未在图中示出，但多个接触垫(未示出)可以被设置在探针卡130的后表面上，且与接触垫相对应的多个接触销(未示出)可以被设置在卡台140上。探针卡130可以被电连接至用于经接触垫和接触销提供检查信号的电检查单元(未示出)。

再次参考图2，检查装置100可以包括用于容纳多个探针卡130的卡盒144。例如，卡室142可以被设置在检查室102中的卡台140的一侧上，且卡盒144可以被设置在卡室142中。探针卡130可以按多层方式被容纳在卡盒144中，且卡盒144可以通过盒驱动单元146在垂直方向上移动。

尽管未在图中示出，卡盒144可以具有槽，探针卡被插入该槽中。根据本发明的一个示例性实施例，检查装置100可以包括用于选择探针卡130中的一个并将所选的探针卡130转移至卡台140上的卡转移单元150

卡室142可以具有用于盒144的垂直移动的上门148。详细地，在打开上门148之后，卡盒144可以通过盒驱动单元146向上移动，且随后可以通过卡转移单元150将探针卡130从卡盒144拉出。

参考图2至4，卡转移单元150可以在卡台140和卡盒144之间转移探针卡130，以便更换探针卡130。根据本发明的一个示例性实施例，卡转移单元150可以被安装在台驱动单元112上并可以与基板台110一起移动。

特别地，卡转移单元150可以被安装在可移动块118上且可以通过第二水平驱动部分120与可移动块118一直在第二水平方向上移动。此时，卡室142可以被设置成在第二水平方向，即，在Y轴方向上与卡台140间隔开。

卡转移单元150可以包括夹持器部分152，其用于夹住探针卡130；以及第二垂直驱动部分156，其被安装在台驱动单元112上并在垂直方向上移动夹持器部分152以将探针卡130传输至卡台140上。例如，第二垂直驱动部分156可以使用马达、滚珠丝杠、滚珠螺母、线性运动马达等来进行配置。

图8为示出如在图3中所示的夹持器部分152的示意性侧视图；图9为示出如在图8中所示的夹持器部分152的示意性平面视图；且图10和11为示出如在图9中所示的夹持器部分152的操作的示意图。

参考图8和9，夹持器部分152可以包括转移板158，其被连接至第二垂直驱动部分156；夹持器160，其被安装至转移板158以夹住探针卡130；以及夹持器驱动部分168，其用于操作夹持器160。

转移板158可以具有矩形板形状并且可以通过连接支架154与第二垂直驱动部分156连接。

夹持器160中的每一个可以包括旋转轴162，其被可旋转地设置成穿过转移板158；以及至少一个钩子164，其沿径向被安装在旋转轴162的下部上。例如，四个夹持器160可以通过转移板158安装，并且三个钩子164可以分别被安装在旋转轴162的下部上。

参考图10和11，探针卡130可以具有键孔134，旋转轴162的下部和夹持器160的钩子164被插入该键孔134中。夹持器驱动部分168可以将被插入键孔134中的夹持器160旋转预定角度以夹住探针卡130。同时，钩子164可以具有滚子形状以防止由于与键孔134的摩擦而产生颗粒物。

旋转轴162的上部可以从转移板158向上突出。夹持器160中的每一个包括凸轮从动件166，其被安装在旋转轴162的上部上以与旋转轴162的中轴线间隔预定距离。凸轮从动件166可以具有滚子形状，且夹持器驱动部分168可以包括凸轮板170，其具有凸轮槽172，夹持器160的凸轮从动件166被插入凸轮槽172中；以及凸轮操作部分174，其用于在水平方向，例如X轴方向上移动凸轮板170，以使得旋转夹持器160。

可以通过在水平方向上移动凸轮板170来旋转该旋转轴162，且因此可以通过钩子164夹住或释放探针卡130。例如，两个凸轮板170可以被设置在转移板158上，且凸轮操作部分174可以被设置在两个凸轮板170之间。凸轮操作部分174可以使用马达、滚珠丝杠、滚珠螺母、线性运动马达等来进行配置。替代地，凸轮操作部分174可以使用气压缸来进行配置。此外，可以通过线性运动引导件在水平方向上引导凸轮板170。

特别地，卡转移单元150可以被安装至台驱动单元112的可移动块118且可以通过第二水平驱动部分120在第二水平方向上移动。详细地，卡转移单元150可以通过第二水平驱动部分120在邻近卡盒144处移动，以便将探针卡130从卡盒144拉出或在卡盒144中接收探针卡130。此外，卡转移单元150可以在卡台140上移动，且第二垂直驱动部分156可以在垂直方向上移动夹持器部分152，以将探针卡130转移至卡台140上或从卡台140卸下探针卡130。

图12和13为示出如在图2中所示的卡台140的示意性平面视图；以及图14和15为示出如在图2中所示的卡台140的示意性侧视图。

参考图12至15，卡台140可以具有用于对齐探针卡130的位置的对齐销180，且探针卡130可以具有对齐孔138，对齐销180被插入对齐孔138中。此外，用于夹住探针卡130的夹持单元182可以被设置在卡台140上。例如，夹持单元182可以夹住被转移至卡台140上的探针卡130的侧表面。

夹持单元182可以包括夹具184，其中的每一个具有用于将探针卡130固定在卡台140上的固定销186，以及用于操作固定销184的夹具操作部分188。

同时，如在图5至7中所示，探针卡130可以具有分别形成在侧表面部分处的槽136。特别地，探针卡130可以具有分别在侧表面部分处形成的下槽136A，和分别被形成为具有从所述下槽136A向上的预定倾斜度的上槽136B。

固定销186可以被插入槽136中。详细地，第二垂直驱动部分156可以向下移动探针卡130，以使得将对齐销180和固定销186分别插入对齐孔138和下槽136A中。然后，夹具操作部分188可以分别在水平方向上移动夹具184，以使得分别沿上槽136B移动被插入下槽中的固定销186，从而将探针卡130固定至卡台140上。例如，夹具操作部分188可以使用气压缸来进行配置。

在将探针卡130固定至卡台140上之后，可以将基板台110向下移动，以使得探针卡130的探针132可以与OLED单元20的检查垫22相接触，且随后可以将检查信号施加至OLED单元20。

电检查单元可以通过探针卡130来检查OLED单元20的电学特征。

此外，检查装置100可以检查OLED单元20的光学特征。检查装置100可以包括光检查单元190，其被设置在基板台110的下方，如在图2和4中所示。光检查单元190可以包括检查相机192，其用于检查OLED单元20的图像质量和亮度；分光镜194，其用于检查色坐标和色温；以及荧光显微镜196，其用于检查形成在基板10上的薄膜图案的对齐。

此外，检查装置100可以包括用于对齐OLED单元20的对齐相机119和198和光检查单元190。尽管未在图中示出，但可以分别在基板10和探针卡130上形成对齐标记(未示出)。例如，用于检测探针卡130的对齐标记的第一对齐相机119可以被安装在基板台110上，且用于检测基板10的对齐标记的第二对齐相机198可以被安装在光检查单元190上。

根据如上所述的本发明的示例性实施例，检查装置100可以包括基板台110，其用于支撑基板10以使得在基板10上形成的OLED单元20面向下方；卡台140，其被设置在基板台110的下方以支撑用于将检查信号施加至OLED单元20的探针卡130；卡盒144，其被设置在卡台140的一侧以容纳多个探针卡130；卡转移单元150，其用于在卡台140和卡盒144之间转移探针卡130以更换探针卡130；以及台驱动单元112，其用于在垂直和水平方向上移动基板台110。此时，卡转移单元150可以被安装在台驱动单元112上并可以与基板台110一起移动。

因此，可以显著地减小由台驱动单元112和卡转移单元150占据的空间，且还可以充分地防止在台驱动单元112和卡转移单元150之间的干扰。

尽管已参考特定实施例描述了检查装置100，但其不限于此。因此，本领域的技术人员将容易理解的是，在不脱离由所附权利要求限定的本发明的精神和范围的情况下，能够对其进行各种修改和变化。

Claims (8)

1.一种用于检查显示单元的装置，所述装置包括：

基板台，其用于支撑基板以使得在所述基板上形成的显示单元面向下方；

卡台，其被设置在所述基板台的下方以支撑用于将检查信号施加至所述显示单元的探针卡；

卡盒，其被设置在所述卡台的一侧以容纳多个探针卡；

卡转移单元，其用于在所述卡台和所述卡盒之间转移所述探针卡以更换所述探针卡，所述卡转移单元被安装在台驱动单元上并与所述基板台一起移动；以及

台驱动单元，其用于在垂直和水平方向上移动所述基板台，

其中所述卡转移单元包括：

夹持器部分，其用于夹住所述探针卡；以及

第二垂直驱动部分，其被安装在所述台驱动单元上并在垂直方向上移动所述夹持器部分以将所述探针卡传输至所述卡台上，

其中所述夹持器部分包括：

转移板，其被连接至所述第二垂直驱动部分；

夹持器，其被安装至所述转移板以夹住所述探针卡；以及

夹持器驱动部分，其用于操作所述夹持器。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述台驱动单元包括：

垂直驱动部分，其用于在垂直方向上移动所述基板台；

第一水平驱动部分，其用于在第一水平方向上移动所述垂直驱动部分；以及

第二水平驱动部分，其用于在垂直于所述第一水平方向的第二水平方向上移动所述第一水平驱动部分，

其中所述卡转移单元被安装在所述第一水平驱动部分上且通过所述第二水平驱动部分在所述第二水平方向上移动。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述第一水平驱动部分包括可移动块，其被配置成可通过所述第二水平驱动部分在所述第二水平方向上移动，以及所述卡转移单元被安装在所述可移动块上。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述夹持器中的每一个包括：

旋转轴，其被可旋转地安装至所述转移板；以及

至少一个钩子，其沿径向被安装在所述旋转轴的下部上，

其中所述探针卡具有键孔，所述旋转轴的所述下部和所述夹持器的所述钩子被插入所述键孔中，以及

所述夹持器驱动部分将被插入所述键孔中的所述夹持器旋转预定角度以夹住所述探针卡。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述夹持器中的所述每一个包括凸轮从动件，其被安装在所述旋转轴的上部上以与所述旋转轴的中轴线间隔预定距离，以及

所述夹持器驱动部分包括：

凸轮板，其具有凸轮槽，所述夹持器的所述凸轮从动件被插入所述凸轮槽中；以及

凸轮操作部分，其用于在水平方向上移动所述凸轮板，以使得旋转所述夹持器。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述卡台具有用于对齐所述探针卡的位置的对齐销，且所述探针卡具有对齐孔，所述对齐销被插入所述对齐孔中。

7.根据权利要求1所述的装置，其还包括夹持单元，其被设置在所述卡台上以夹住所述探针卡。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述探针卡具有分别在侧表面部分处形成的下槽，和分别被形成为具有从所述下槽向上的预定倾斜度的上槽，以及

所述夹持单元包括：

夹具，其中的每一个具有固定销，其被配置成被分别插入至所述下槽中；以及

夹具操作部分，其用于分别在水平方向上移动所述夹具，以使得被插入所述下槽中的所述固定销分别沿所述上槽移动，从而将所述探针卡固定至所述卡台上。

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