JP2002236518A

JP2002236518A - 位置決め装置

Info

Publication number: JP2002236518A
Application number: JP2001034792A
Authority: JP
Inventors: Eiji Ishimoto; 英司石本
Original assignee: Agilent Technologies Japan Ltd
Current assignee: Agilent Technologies Japan Ltd
Priority date: 2001-02-13
Filing date: 2001-02-13
Publication date: 2002-08-23

Abstract

(57)【要約】【課題】装置全体の省スペース性を確保し、振動のある
環境下においても従来以上に安定して移動体が位置決め
される位置決め装置を提供すること。【解決手段】移動体３９を基準面３１に固定する手段と
して、吸着窪にて吸引し移動体と基準面とを吸着固定す
る手段に代えて、または加えて、移動体を支持するエア
ーベアリング４５Ｂからの噴気圧により移動体を基準面
に押しつけて圧着する手段を利用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は位置決め装置に係り、特
に計測装置に用いて被測定物またはセンサを任意の位置
に安定して固定させるようにした位置決め装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より位置決め装置の利用は多岐に渡
っており、計測装置においても、被測定物およびセンサ
を任意の位置に配する装置等に利用されている。近年、
被測定物の高密度化等に伴い、位置決め装置の精度およ
び安定度に対する改善の要求が高まっている。ここで
は、ハードディスクのメディアおよびヘッドの試験装置
を計測装置の一例にとり、以下に説明を行う。

【０００３】この試験装置は、ハードディスクのヘッド
およびメディアを任意の位置に位置決めし、機械的，電
気的動作の模擬を行うことによりヘッドおよびメディア
の性能試験を行うものである。試験装置は、代表的な構
成として、基準面となるベースプレートと、ベースプレ
ートに設置されたメディアを保持するスピンドルと、移
動体に相当しヘッドを保持するステージとを備えてい
る。またステージには、ヘッドを保持し精密に位置決め
を行うためのピエゾアクチュエータを備えたピエゾステ
ージと、ベースプレート上の任意の位置にステージを位
置決めする位置決め装置とを備えている。その動作とし
ては、ステージが位置決め装置によって概ね位置決めさ
れた後、ピエゾステージによってヘッドがメディア上の
任意の位置に精密に位置決めされ、ヘッドの電気的な性
能試験が行われる。

【０００４】従来技術による位置決め装置１０を図１Ａ
に示し、そのＡ−Ａ断面図を図１Ｂに示す。該装置は、
ヘッド１２を保持するピエゾステージ１３を具備したス
テージ１４と、ステージ１４を密接に挟んで案内する２
つのガイド１５と、ステージ１４を駆動するリニアモー
タ１６とを備え、ベースプレート１１に設置されてい
る。２つのガイドのうち一方１５Ａには、リニアスケー
ル１６ａが取付けられ、他方１５Ｂには、リニアモータ
の固定子１６ｂが取付けられている。また、ステージ１
４には、ベースプレート１１に面して設けられたエアー
ベアリング１８Ａおよび真空吸着口１９と、２つのガイ
ド１５にそれぞれ面してステージに取付けられた２つの
エアーベアリング１８Ｂとを備える。なお、エアーベア
リングは、絞りの設けられた穴から空気を噴出させ、発
生した圧力によって自身を浮上させる軸受である。ステ
ージ１４は、リニアモータの走行子として機能し、リニ
アモータの固定子１６ｂと共にリニアモータ１６を構成
する。リニアモータ１６は、リニアスケール１６ａによ
って検出されたステージ１４の位置情報をもとにサーボ
制御され、ステージ１４が保持するヘッド１２を任意の
位置に概略位置決めする。その後、エアーベアリング１
８Ａによるステージ１４の浮上量を抑える事により、そ
の位置を保持されたままステージ１４がベースプレート
１１上に設置される。続けて、真空吸着口１９から排気
されることによりステージ１４は、ベースプレート１１
に吸着固定される。最後に、ヘッド１２は、固定された
ステージ１４上でピエゾステージ１３によって、さらに
精密に位置決めされる。

【０００５】この装置は、エアーベアリング１８Ａおよ
び１８Ｂを用いることにより、運動中におけるステージ
１４の振動が微小に抑えられ、さらに浮上しているため
ステージ１４の摺動抵抗が少なく位置決め精度への影響
が少ない。また、ステージ１４は、駆動源にリニアモー
タ１６を用いることにより、非接触的に駆動される。そ
のため、ボールネジなど接触型の駆動方式と比較して、
バッククラッシュおよび駆動部分の剛性の低さなどによ
る要因が除去され、位置決め精度が大幅に向上してい
る。さらに、静止時のステージ１４は、ベースプレート
１１に吸着され、リニアモーター１６との接続がなく駆
動源の保持力の限界から解放されるため、安定した位置
が得られる。

【０００６】しかしながら、近年、ハードディスクのデ
ータ転送速度の向上に伴い、メディアを固定するスピン
ドルの回転数が大幅に向上し、スピンドル回転時におけ
る該メディアの偏心などに起因する振動が増加してい
る。また、試験装置に対する省スペース化の要求からス
テージの稼働領域であるフットプリントにも省スペース
化が求められ、ステージの移動可能な範囲を極力広く確
保する関係上、ベースプリントに接するステージ面積も
省スペース化をせまられている。そのため、吸着面積の
確保が難しくなりスピンドルからの振動が増加傾向にあ
ることから安定してステージを固定することが厳しくな
ってきている。さらに、ハードディスク自身の小型化高
密度化が望まれており、ステージが保持するヘッドの位
置決めにおいて要求される精度はますます高くなり、併
せて要求される位置安定度も高くなってきている。従っ
て、位置決め装置全体の省スペース性を確保し、振動の
ある環境下においても移動体が従来以上に安定して基準
面に固定される位置決め装置の提供が強く望まれる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の従来
技術の問題点を解消することを課題とするものであっ
て、その目的とするところは、流体の正圧を利用して移
動体を基準面に圧着させることにより、負圧を利用する
場合と比較して圧倒的に圧着力を強めることができるよ
うにし、より強い振動のある基準面に対しても移動体を
安定して位置固定させることである。

【０００８】また、他の目的は、流体の正圧を利用して
移動体を基準面に圧着させることにより、負圧を利用す
る場合と比較して圧倒的に圧着力を強めることができる
ようにし、移動体と基準面の接する面積を小さくし省ス
ペース化を図ることである。

【０００９】さらに、他の目的は、移動体の支持手段に
流体の正圧を利用し、圧着手段が利用する装置との共通
化を図ることにより、位置決め装置の省スペース化およ
びコスト削減を図ることである。

【００１０】またさらに、他の目的は、流体の負圧を併
用して移動体を基準面に圧着させることにより、一層安
定して位置固定させることである。

【００１１】また、他の目的は、気圧制御手段を備えた
ポンプを利用する事により、装置の周囲気圧に依らず任
意の圧力で移動体を固定することである。

【００１２】

【課題を解決しようとする手段】要するに、本第一発明
は、物体を基準面上の任意の位置に移動静止させ前記物
体の位置決めを行う装置において、前記基準面と、支持
手段で前記基準面に支持された前記物体を保持する移動
体と、前記移動体を移動させる手段とを備え、前記移動
体を移動させ前記移動体を前記基準面に設置した後に固
定することにより位置決めするようにした位置決め装置
であって、該固定手段は流体の正圧を利用して前記基準
面と前記移動体とを圧着する圧着手段であることを特徴
とするものである。

【００１３】また、本第二発明は、第一発明において、
前記基準面に対し所定の位置関係におかれた面を備え、
前記圧着手段が給気手段に連結された前記基準面，前記
面および前記移動体のいずれか１以上に備えられた通気
口から前記面と前記移動体との間に斥力が生じるよう噴
気した噴気圧により前記移動体を前記基準面に押しつけ
る手段であることを特徴とするものである。

【００１４】また、本第三発明は、第二発明において、
前記面と前記基準面とにより前記移動体を挟むように該
面が位置していることを特徴とするものである。

【００１５】

【実施例】以下、本発明を添付の図面に示す実施例に基
づいて説明する。図２において、スピンスタンド３０
は、ハードディスクのヘッドおよびメディアを試験する
装置の主要部であり、基準面の一例であるベースプレー
ト３１と、物体の一例であるヘッド３２を保持し位置決
めする位置決め装置３３と、メディア３４を保持し回転
させるメディア回転装置３５とを備えている。

【００１６】メディア回転装置３５は、メディア３４を
保持し任意の速度で回転するスピンドル３５ａと、ベー
スプレート３１に固着され、スピンドル３５ａがベース
プレート３１に対して垂直になるようスピンドル３５ａ
を支持する軸受け３５ｂとからなる。

【００１７】ベースプレート３１には、前記の位置決め
装置３３およびメディア回転装置３５の他に、所定の間
隔をおいて設けられた２つのロッド支持台３６が固着さ
れている。２つのロッド支持台３６は、横長の厚板形状
を有し、それぞれの面が互いに平行かつ真正面に向き合
あってベースプレート３１に取付けられている。さら
に、該面の両端部付近には、ベースプレート３１を基準
にして各々が同じ高さになるように位置し、かつ水平に
貫通した孔３７が設けられており、２つの丸形ロッド３
８の端部が該孔３７を貫通するようにしている。このよ
うにして丸形ロッド３８は、互いに平行になるようにロ
ッド支持台３６により架空設置されている。

【００１８】位置決め装置３３は、移動体の一例である
ステージ３９と、移動体を移動させる手段を構成するリ
ニアモータ４０および４１とを備える。

【００１９】ステージ３９には、ヘッド３２を保持する
ためのピエゾステージ４４が装着されている。

【００２０】リニアモータ４１は、移動体のｙ方向の移
動を行うためのものであり、ベースプレート３１上に固
着された固定子４１ａと、該固定子４１ａに添って走行
する走行子４１ｂと、Ｙ方向センサ（図示せず）と、Ｙ
方向リニアスケール（図示せず）とを備える。固定子４
１ａは、移動体が必要とする移動量を実現するに十分な
長さを有し、丸形ロッド３８に平行になるよう固着され
ている。走行子４１ｂは、角形ロッド４２の端部に取付
けられている。角形ロッド４２は、各丸形ロッド３８の
胴回りを囲むようにして設けられた２つの筒形エアーベ
アリング４３を両端に具備し、それにより丸形ロッド３
８に案内されて走行子４１ｂと共に滑動する。ステージ
３９のｙ方向の移動距離すなわち角形ロッド４２の移動
距離を検出できるように、Ｙ方向センサが角形ロッド４
２または走行子４１ｂに、Ｙ方向リニアスケールが固定
子４１ａに、それぞれ取付けられている。

【００２１】リニアモータ４０は、移動体のｘ方向の移
動を行うためのものであり、固定子４０ａと、該固定子
４０ａに添って走行する走行子（図示せず）と、Ｘ方向
センサ４０ｃと、Ｘ方向リニアスケール（図示せず）と
を備える。固定子４０ａは、移動体が必要とする移動量
を実現するに十分な長さを有し、角形ロッド４２と非接
触に平行して２つの筒形エアーベアリング４３を両端に
具備し、それにより丸形ロッド３８に取付けられてい
る。ステージ３９のｘ方向の移動距離を検出できるよう
に、Ｘ方向センサ４０ｃがステージ３９に、Ｘ方向リニ
アスケールが固定子４０ａに、それぞれ取付けられてい
る。

【００２２】図４Ａから図６を参照しながら、本発明の
要部について説明する。図４Ａにおいて、ステージ３９
は、ピエゾステージ装着部４７と、エアーベアリング４
５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃと、エアーベアリングに連結され
た通気口４６Ａ，４６Ｂとを備えている。ステージ３９
は、ベースプレート３１と角形ロッド４２の間に設けら
れたアンダープレート３９ａと、アンダープレート３９
ａ上にあって、角形ロッド４２をその側面から支持する
ように設けられた２つのサイドプレート３９ｂとからな
る３つの平厚板で構成されている。

【００２３】エアーベアリング４５Ａは、アンダープレ
ート３９ａ上にあってベースプレート３１に面して設け
られ、ステージ３９を水平に浮上させるステージ３９の
支持手段をなす。

【００２４】エアーベアリング４５Ｂは、アンダープレ
ート３９ａ上にあって角形ロッド４２に面して設けら
れ、その噴気圧によって角形ロッド４２の底面とステー
ジ３９との間に斥力を生じさせ、ステージ３９を均一に
ベースプレート３１へ押しつける手段をなす。

【００２５】エアーベアリング４５Ｃは、サイドプレー
ト３９ｂ上にあって、角形ロッド４２に面して設けられ
ており、その噴気圧によって、角形ロッド４２の側面に
対するステージ３９の位置的平衡を保っている。なお、
エアーベアリング４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃは、各表面に
噴気用の穴を複数備えた板であって、全ての該穴は各裏
面に設けられた排気口（図示せず）に通じており、設置
される面の平坦度を保つように、ステージ３９上の角形
窪（図示せず）に、それぞれ埋設されている。

【００２６】角形窪には、通気路４８Ａ，４８Ｂが備え
られており、エアーベアリング４５Ａの排気口は、通気
路４８Ａを通じて通気口４６Ａに連結されている。ま
た、エアーベアリング４５Ｂおよび４５Ｃの排気口は、
通気路４８Ｂを通じて４６Ｂに連結されている。気圧制
御手段を備えた給気手段の一例であるポンプ（図示せ
ず）は、通気口４６Ａと通気口４６Ｂとに連結され任意
の圧力で高圧空気を供給する。

【００２７】本発明は、上記のように構成されており、
以下その作用について説明する。角形ロッド４２は、リ
ニアモータ４１の駆動を受け丸形ロッド３８に沿って滑
動する。また、ステージ３９は、エアーベアリング４５
Ｂおよび４５Ｃの噴気圧を調整することによってベース
プレート３１から浮上し、エアーベアリング４５Ａによ
って角形ロッド４２の側面に対する位置的平衡を保ちな
がら、リニアモータ４０の駆動を受け角形ロッド４２に
沿って滑動する。

【００２８】試験時における一連の動作として、スピン
ドル３５は、保持するメディア３４を任意の速度で回転
させ、ステージ３９は、前述のごとく図４Ｂに示すよう
にエアーベアリング４５Ｂおよび４５Ｃによって浮上し
ながら、リニアモータ４０および４１によって縦横に概
略位置決めされる。その後、決められたステージ３９の
位置の安定度を増すために、通気口４６Ａから供給され
る高圧空気を減圧または遮断し、ステージ３９と角形ロ
ッド４２の底面との間に在る斥力によって、図４Ａに示
すようにステージ３９がベースプレート３１に圧着さ
れ、その力に応じたベースプレート３１との摩擦力によ
ってステージ３９は静止する。その後、ステージ３９に
設けられたピエゾステージ４４は、保持したヘッド３２
をメディア３４上の任意の位置へ精密に位置決めする。
これら一連の機械的動作の後、ヘッド３２のメディア３
４に対する書込み試験など、電気的動作が行われる。

【００２９】エアーベアリング４５Ｂの噴気圧は、正圧
であるので、大気圧である０．１ＭＰａ（約１ｋｇｆ／
平方ｃｍ）より大きな圧力を得ることができ、負圧のみ
を利用する場合に比べて、ステージ３９をベースプレー
ト３１に対して一層安定して固定することができる。な
お、ポンプから所望の高圧空気を供給することができる
ので、任意の圧力でステージ３９を固定することができ
る。

【００３０】また、本例では、ヘッド３２の位置決めに
際して要求される位置決め精度と移動可能距離を満た
す、ヘッド３２の移動手段の一例として、ピエゾステー
ジ４４を利用しているが、同様の特徴を有せば移動手段
として適し、例えば、リニアステージを利用することが
できる。

【００３１】また、第二の実施例として、図５におい
て、ステージ５１は、気圧制御できる排気手段を兼ね備
えた前記ポンプに連結される通気口４９と、ステージ内
に設けられた通気路（図示せず）を通じて通気口４９に
連結され、ベースプレート３１に面する吸着窪５０と
を、さらに備える。

【００３２】本例の作用としては、ステージ５１がベー
スプレート３１に固定される時、通気口４９から排気す
ることにより、ステージ５１の周囲気圧によってステー
ジ５１をベースプレート３１に押しつける手段が構成さ
れ、第一の実施例と比較して、ステージ５１をベースプ
レート３１に固定する力が増す。

【００３３】さらに、ステージの形状を変え、その移動
方向をｘ方向に限定した位置決め装置６０を、新たな実
施例として図６に示す。位置決め装置は、ガイド６１
と、ステージ６２とを備え、ベースプレート６３に設置
されている。

【００３４】ガイド６１は、ベースプレート６３に取付
けられる平厚板と、その面上に所定の間隔をおいて設け
られたＬ字形の断面を有する２つの立体とからなる形状
を有する。該立体は互いに該Ｌ字形の断面が鏡像になる
よう面対称の関係にあり、さらに該平厚板に対して該Ｌ
字形の断面が上下逆転した状態になっている。このよう
にして、平厚板の端部に該平厚板と立体とに囲まれる２
つの側溝６４が形成される。また、ベースプレート６３
から最も離れた場所に位置するガイド６１上の面６５
（以降、固着面）は、基準面の一例であり、ステージ６
２が固着される。

【００３５】ステージ６２は、その断面の外周および内
周ともに横長の角形である中空の柱状立体において、そ
の断面の長辺部を一部除去しＣ字形に似た形の断面を持
つ立体であって、側溝６４に係るようにガイド６１にま
たがっている。なお、ステージ６２には、前記の実施例
と同様に、ピエゾステージ（図示せず）が備えられ、物
体の一例であるヘッドの位置決めを行う機能を有する。

【００３６】さらに、ステージ６２は、固着面６５に面
するエアーベアリング６６Ａと、エアーベアリング６６
Ａと向かうようにして、逆向きの噴気を生じるように設
けられたエアーベアリング６６Ｂと、固着面６５に隣接
する側面に面するエアーベアリング６６Ｃとを備える。
ここで、エアーベアリング６６Ａは、ステージ６２の支
持手段をなし、エアーベアリング６６Ｂは、ステージ６
２の固定手段をなす。また、ガイド６１上にあって固着
面６５の裏面である面６７は、エアーベアリング６６Ｂ
の噴気を受け、これによりステージ６２を固着面６５に
押し付けるように働く斥力が生じる。

【００３７】前記ポンプは、ステージ６２上に設けられ
た通気口６８Ａから通気路６９Ａを通じてエアーベアリ
ング６６Ａに、また、ステージ６２上に設けられた通気
口６８Ｂから通気路６９Ｂを通じてエアーベアリング６
６Ｂおよび６６Ｃに連結され、高圧空気を供給する。

【００３８】本例の作用としては、ステージ６２は、エ
アーベアリング６６Ａおよび６６Ｂの噴気圧を調整する
ことによってガイド６１に非接触になるように固着面６
５から浮上し、エアーベアリング６６Ｃによってガイド
６１の側面に対する位置的平衡を保ちながら、ガイド６
１に沿って滑動する。また、通気口６８Ａから供給され
る高圧空気を減圧または遮断し、面６７とステージ６２
との間に生じる斥力によって、ステージ６２が固着面６
５に固定される。

【００３９】本実施例では、他の実施例に比べて、ガイ
ド６１を設置するベースプレート３１の面精度に対する
要求が緩やかであり、例えば、ステージとガイドを交換
する際に作業の煩雑さを軽減することができる。

【００４０】なお、上記実施例において、装置全体の寸
法を縮小する目的で、ポンプは1台での共用としたが、
該目的が達成され、装置構成がもたらす作用に変わりが
ない限り、ポンプの数量を制限する理由はない。さらに
は、給気・排気手段は、給気・排気効果を有すれば手段
として足り、給気手段を高圧気体で満たされたボンベ
に、また、排気手段を真空状態にしたボンベに、それぞ
れ代えることができる。

【００４１】また、ベースプレート３１および固着面６
４は、グラナイトを材料とした、平面度が５マイクロメ
ートルを達成する平面部を有する。グラナイトは非可塑
性であるので、落下物の衝突を受けるなどした際に、衝
撃部の陥没と該周辺部の隆起により他物体との面的密着
が困難になることを回避している。本特徴を有するもの
であれば、基準面を構成する材料として適し、例えばセ
ラミックなどが利用できる。

【００４２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明は上
記のように構成され、作用するものであるから、流体の
正圧により移動体が基準面に圧着するので、負圧を利用
する場合と比較して圧倒的に圧着力を強めることがで
き、より強い振動のある基準面に対して移動体を安定し
て位置固定させる効果が得られる。

【００４３】また、流体の正圧を利用して移動体が基準
面に圧着されるので、負圧を利用する場合と比較して圧
倒的に圧着力が強まり、移動体と基準面の接する面積を
小さくすることができ省スペース化の効果が得られる。

【００４４】さらに、移動体の支持手段に流体の正圧を
利用し、圧着手段が利用する装置との共通化を図ってい
るので、位置決め装置の省スペース化およびコスト削減
の効果が得られる。

【００４５】またさらに、流体の負圧を併用して移動体
を基準面に圧着させているので、一層安定して位置固定
させる効果が得られる。

【００４６】また、気圧制御手段を備えたポンプを利用
しているので、装置の周囲気圧に依らず任意の圧力で移
動体を固定できる効果が得られる。

【００４７】

【図面の簡単な説明】

【図１Ａ】従来技術による位置決め装置の斜視図。

【図１Ｂ】従来技術による位置決め装置のＡ−Ａ断面図
である。

【図２】本発明の第一の実施例であるハードディスクの
ヘッドおよびメディアの試験装置を示す斜視図である。

【図３】図２の一部を省略した図である。

【図４Ａ】図３における固着時の位置決め装置部のＡ−
Ａ断面図である。

【図４Ｂ】図３における浮上時の位置決め装置部のＡ−
Ａ断面図である。

【図５】本発明の第二の実施例における断面図である。

【図６】本発明の第三の実施例における断面図である。

【符号の説明】

１０従来技術による位置決め装置１１，３１，６３ベースプレート１４，３９，５１，６２ステージ１５，６１ガイド１６，４０，４１リニアモータ１８，４５，６６エアーベアリング１９真空吸着口３３位置決め装置４６，４９，６８通気口４７角形窪４８，６９通気路５０吸着窪６０位置決め装置６５固着面６７面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物体を基準面上の任意の位置に移動静止さ
せ前記物体の位置決めを行う装置において、前記基準面
と、支持手段で前記基準面に支持された、前記物体を保
持する移動体と、前記移動体を移動させる手段とを備
え、前記移動体を移動させ前記移動体を前記基準面に設
置した後に固定することにより位置決めするようにした
位置決め装置であって、該固定手段は流体の正圧を利用
して前記基準面と前記移動体とを圧着する圧着手段であ
ることを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】前記基準面に対し所定の位置関係におかれ
た面を備え、前記圧着手段は、給気手段に連結された前
記基準面，前記面および前記移動体のいずれか１以上に
備えられた通気口から前記面と前記移動体との間に斥力
が生じるよう噴気した噴気圧により前記移動体を前記基
準面に押しつける手段であることを特徴とする請求項１
に記載の位置決め装置。
【請求項３】前記面は、該面と前記基準面とにより前記
移動体を挟むように位置していることを特徴とする請求
項２に記載の位置決め装置。
【請求項４】前記面は、前記基準面と表裏の関係に位置
し、前記面および前記基準面は、その一部または全てが
前記移動体に覆われるように位置していることを特徴と
する請求項２に記載の位置決め装置。
【請求項５】前記圧着手段は、前記基準面と前記移動体
が設置された後、前記基準面および前記移動体のいずれ
か１以上に備えられ、排気手段に連結された吸着窪から
排気し、前記基準面および前記移動体の周囲気圧によっ
て前記移動体を前記基準面に押しつける手段を併わせて
具備することを特徴とする請求項２から４のいずれかに
記載の位置決め装置。
【請求項６】前記給気手段または前記排気手段は、気圧
制御手段を備えたポンプである事を特徴とする請求項２
から５のいずれかに記載の位置決め装置
【請求項７】前記支持手段は、前記噴気圧を利用したエ
アーベアリングであることを特徴とする請求項１から６
のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項８】前記移動手段は、リニアモータであること
を特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の位置決
め装置。
【請求項９】前記基準面は、前記固定手段により発生す
る力を含む外圧に対して歪曲変形しない材質で構成され
ていることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記
載の位置決め装置。