CN1808686A - 紫外线照射装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可确实检测受激准分子灯的点灯或未点灯的、具备受激准分子灯的紫外线照射装置。该紫外线照射装置，具备：放电容器，至少一部分由透射紫外线的电介质材料构成，在其内部的放电空间中填充放电用气体；受激准分子灯，具有隔着构成该放电容器的电介质材料而对置的一对电极；以及供电装置，与该一对电极电连接，并向受激准分子灯供电，其特征在于，供电装置至少与任一个电极的一端侧电连接；该紫外线照射装置具备：导光部，在有效发光区域中，与比连接了供电装置的电极一端更接近该电极另一端的区域对应地配置，使从一端入射的由受激准分子灯放射的光，从另一端射出；接收从该导光部射出的光的受光部；以及点灯检测部件。

Description

紫外线照射装置

技术领域

本发明涉及具备受激准分子灯的紫外线照射装置。尤其是，涉及测量来自受激准分子灯的放射光强度，依据其测量结果进行受激准分子灯的点灯状态的确认的紫外线照射装置。

背景技术

在液晶基板等的制造工序中，使臭氧分解产生的活性氧作用于被搬运的基板，进行被处理物的处理，该臭氧通过对氧气照射波长200nm以下的紫外线来生成。例如将基板表面附着的有机物去除的清洗技术已被实用化。

作为用于进行这种处理的灯，过去一直使用放射波长185nm的真空紫外线的低压水银灯。

近年来，在上述处理中使用受激准分子灯来取代低压水银灯，该受激准分子灯是在圆筒状内侧管外侧同样地同轴配置有圆筒状外侧管的双层圆筒型的结构，并且是在外侧管外面配置有外侧电极，在内侧管内部配置有内侧电极，将形成在外侧管与内侧管之间的空间作为放电空间的结构(参照专利文献1)。众所周知，在该受激准分子灯中，作为用于产生受激准分子放电的放电用气体，例如通过使用氙气，放出在波长172nm具有峰值的真空紫外线。

另一方面，公开了一种受激准分子灯，具有如下结构：不是双层圆筒型，放电容器由一个圆筒体构成，在该圆筒体外面设有外侧电极，内侧电极露出于放电空间内并延伸(也称为单层圆筒型)(参照专利文献2)。该结构不存在相当于双层圆筒型的受激准分子灯的内侧管的构件，因此容易制造而具有成本方面有利的优点。

当这种受激准分子灯在空气中点灯时，通过从受激准分子灯放射出的真空紫外线，受激准分子灯周边的空气中的氧气会反应生成臭氧，因此，长时间使用时，存在由生成的臭氧而腐蚀电极的问题。此外，来自受激准分子灯的真空紫外线，由空气中的氧气吸收，因此，有不能对被处理体即基板以高效率照射真空紫外线的问题。根据这些理由，在使用受激准分子灯时，在具有取出真空紫外线用的窗部的框体内配置受激准分子灯而构成紫外线照射装置，通过在框体内导入氮气等惰性气体，而进行在惰性环境中点亮受激准分子灯。

此外，在这种紫外线照射装置中，不能以目视确认配置在框体内受激准分子灯是否点亮，因此，一般设置用于确认受激准分子灯的点灯的点灯确认部件。

在此，如图8所示地，为了确认受激准分子灯的点灯，公开了采用如下技术方案：通过萤光体将从灯放射出的紫外线转换成可见光，并通过光电二极管等的检测部件来检测该可见光，来确认受激准分子灯的点灯状态(参照专利文献3)。

图8是用于说明以往的紫外线照射装置的截面图。

紫外线照射装置700在箱型框体71内收纳有多个受激准分子灯80。在框体71的开口72，配置有用于将来自受激准分子灯80的真空紫外线取出到外部的光取出用窗构件73。在框体71上面，在受激准分子灯80的上方位置形成有贯穿孔74，而在该贯穿孔74中配置有透射可见光的光检测用的窗构件75。

在框体71的内部上方，设有用于冷却受激准分子灯80的冷却部件90。在冷却部件90的下面，互相隔离地形成有用于配置受激准分子灯的多个沟槽部91，而在各该沟槽部91中配置有受激准分子灯80。此外，在冷却部件90的光检测用窗构件75的正下方位置，形成有沿上下方向上贯穿冷却部件90而通到沟槽部91的光导入孔92。

在窗构件75的上面设有光检测器77，该光检测器77具备由硅光电二极管等构成的受光部76。

在受激准分子灯80的外表面的、窗构件75的正下方位置，设有萤光体层78。

在这种紫外线照射装置700中，从受激准分子灯80放射出的真空紫外线通过萤光体层78转换成可见光，由光检测器77检测透射了窗构件75的可见光，由此可以确认受激准分子灯80的点灯。

专利文献1：日本特许第2854255号

专利文献2：日本特开2001-84966号

专利文献3：日本特开2000-193799号

但是，根据如图8所示的紫外线照射装置，可知也无法检测受激准分子灯成为未点灯的情形。针对于该理由，在下面利用图9及图10来说明。

图9是表示具有单层圆筒型结构的受激准分子灯的长度方向上的截面图。

受激准分子灯80具有由一个圆筒体构成的放电容器81。放电容器81在两端形成有密封部83(83a、83b)，该密封部埋设有由钼构成的金属箔82(82a、82b)。内侧电极84具有沿放电容器81的长度方向延伸的线圈部85、及与该线圈部85的两端连接的直线部86(86a、86b)，该直线部86与金属箔82的一端连接。在金属箔82的另一端，连接有从密封部83朝外侧突出的外部引线87(87a、87b)。在外部引线87a，连接有与供电装置连接的供电线89，由此，对内侧电极84与外侧电极88供电，在两电极间破坏绝缘而形成受激准分子放电，照射真空紫外线。

然而，图9所示的受激准分子灯长时间点灯时，因离子或电子相撞而溅射构成内侧电极的物质并分散在放电空间内，由此，内侧电极的一部分变细，有变细部分由随着电流密度上升的温度上升而引起断线的情形。这时候，在与供电线断电的部位，因中断供电而成为不点灯。尤其是，供电侧的内侧电极与非供电侧相比，因电流密度较高且温度容易上升而容易飞溅，此外，在变细的情况下，因温度容易上升而供电侧的内侧电极变细程度大而断线的机率高。

然而，如图10所示地，受激准分子灯80的内侧电极84在以A表示的部分断线时，在内侧电极84与供电装置电连接的区域(在图10中以Y表示的区域)仍然继续点灯，仅在内侧电极84从供电装置被电性切断的区域(在图10中的X区域)成为不点灯。这时候，如果在与Y区域对应的部位配置有光检测器，则尽管在X区域成为不点灯，但是通过光检测器77可以检测出从Y区域放射并由萤光体层78转换的可见光，因此操作紫外线照射装置的操作员会误认为受激准分子灯如平常一样地点灯，产生无法确实地检测X区域中的不点灯的问题。

发明内容

由以上，本发明的目的在于，提供一种具备受激准分子灯、可确实地检测受激准分子灯的点灯或未点灯的紫外线照射装置。

本发明的紫外线照射装置，具备：放电容器，至少一部分由透射紫外线的电介质材料构成，在其内部的放电空间中填充放电用气体；受激准分子灯，具有隔着构成该放电容器的电介质材料而相对置的一对电极；以及供电装置，与该一对电极分别电连接，并对上述受激准分子灯供电，其特征在于，上述供电装置至少与任一个电极的一端侧电连接，上述供电装置至少与任一个电极的一端侧电连接；该紫外线照射装置具备：导光部，在有效发光区域中，与比连接了上述供电装置的电极的一端更接近该电极的另一端的区域相对应地配置，使从该导光部的一端入射的由上述受激准分子灯放射的光，从其另一端射出；受光部，接收从该导光部射出的光；以及点灯检测部件，根据该受光部的测量结果来检测上述受激准分子灯的点灯状态。

此外，本发明的紫外线照射装置，具备：放电容器，至少一部分由透射紫外线的电介质材料构成，在其内部的放电空间中填充放电用气体；受激准分子灯，具有隔着构成该放电容器的电介质材料而相对置的一对电极；以及供电装置，与该一对电极分别电连接，并对上述受激准分子灯供电，其特征在于，上述供电装置至少与任一个电极的两端侧电连接，该紫外线照射装置具备：导光部，与有效发光区域的中心部附近区域相对应地配置，使从该导光部的一端入射的由上述受激准分子灯放射的光，从其另一端射出；受光部，接收从该导光部射出的光；以及点灯检测部件，根据该受光部的测量结果来检测上述受激准分子灯的点灯状态。

此外，本发明的紫外线照射装置，上述电极的任一个是配置于上述放电容器内的放电空间，该一个电极中的、至少与另一个的电极之间进行放电的部位的外表面，被至少一端开放于放电空间内的、由电介质材料构成的内侧管来覆盖。

发明效果

根据本发明的紫外线照射装置，具备：导光部，在有效发光区域中，与比连接了上述供电装置的电极的一端更接近该电极的另一端的区域相对应地配置，使从该导光部的一端入射的由上述受激准分子灯放射的光，从其另一端射出；接收从导光部的另一端射出的光的受光部；以及连接于受光部的点灯检测部件，由此，在有效发光区域中，从供电装置侧的起点直到与导光部正下方对应的部位为止的区域的任何部分，即使内侧电极断线，也可以确实地检测受激准分子灯的未点灯。

而且，具备控制对受激准分子灯的点灯电力的供电的供电控制机构，及控制搬运机构的工作的搬运控制机构，由此，内侧电极断线时，可以迅速停止对受激准分子灯的点灯电力的供电，并且可以停止基板的搬运。由此，不会继续进行对受激准分子灯无谓的点灯电力的供电，不会有基板的清洗处理不完全的顾虑。

附图说明

图1是表示本发明的第一紫外线照射装置的截面图；

图2是表示本发明的第一紫外线照射装置的其他方式的截面图；

图3是表示本发明的第一紫外线照射装置的其他方式的截面图；

图4是表示本发明的第一紫外线照射装置的其他方式的截面图；

图5是表示本发明的第二紫外线照射装置的截面图；

图6是表示本发明的第三紫外线照射装置的截面图；

图7是表示用于说明本发明的第三紫外线照射装置的作用效果的截面图；

图8是表示以往的紫外线照射装置的截面图；

图9是表示包含以往的单层圆筒型结构的受激准分子灯的管轴的截面图；

图10是表示用于说明以往的紫外线照射装置的问题点的截面图。

具体实施方式

第一实施方式

图1是表示本发明的第一紫外线照射装置的截面图。图1(a)是表示以正交于受激准分子灯的管轴的平面截断紫外线照射装置的截面图。图1(b)是表示以包含M-M’线的平面沿受激准分子灯的管轴方向截断图1(a)所示的紫外线照射装置的截面图。

紫外线照射装置100是在箱型框体11内，收纳着具有单层圆筒型结构的4支受激准分子灯1，配置成与搬运机构35上配置的被处理体即基板36相对置。

在框体11的开口12配置有用于向外部取出来自受激准分子灯的真空紫外光的、例如由石英玻璃构成的光取出用窗构件13。在框体11的上面的受激准分子灯1的上方位置形成有贯穿孔14。框体11在一个侧面设有用于向框体内导入惰性气体的流入孔15，而在另一个侧面设有用于排出惰性气体的排出孔16。在框体11的内部填充有例如氮气等惰性气体。

在框体11的内部上方设有冷却部件20，该冷却部件形成有供用于冷却受激准分子灯1的冷却用流体流通的流路(未图示)。在冷却部件20的下面，直径分别比受激准分子灯1的外径大、截面为半圆形的四个沟槽部201，互相隔离地形成在与纸面垂直的方向上，而沿着这些各沟槽部201配置有受激准分子灯1。

受激准分子灯1整体由管状的放电容器2构成，形成填充放电用气体的直管部21、及在其两端密封直管部21的密封部22(22a、22b)。放电容器2作为良好地透射真空紫外光的材料，例如由合成石英玻璃构成。

在放电容器2的内部配置成：内侧电极3在放电容器2的大致中心延伸，外侧电极4与放电容器2的外面紧密接触。内侧电极3是例如由钨的线材构成，具有线圈状地形成的线圈部31，及与该线圈部31的两端连接的直线部32(32a、32b)。内侧电极3在密封部22a、22b分别与金属箔5(5a、5b)接合，并且外部引线6(6a、6b)与金属箔5接合。

在内侧电极3周围以覆盖该内侧电极3的方式设有由电介质材料构成的内侧管7，内侧电极3插入于该内侧管7中。内侧管7例如由合成石英玻璃构成，在覆盖于内侧电极3的、至少与外侧电极4之间进行放电的部位的外侧，其端部超过外侧电极4的端部而延伸。内侧管7的两端被开放在放电空间内，在线圈部31的两端部是不存在的。因此，内侧电极3在线圈部31的两端部和直线部32的一部分不被内侧管7覆盖而直接露出于放电用气体中。此外，内侧管7通过环状支承构件8(8a、8b)被固定在放电容器2的内部，该支承构件8与内侧管7嵌合且通过焊接或粘接固定在该内侧管7。

外侧电极4是将网状地构成金属线的网目状结构体形成为筒状的电极，配置成覆盖放电容器2的外表面。因此，来自放电容器2的真空紫外光透过外侧电极4的网目来放射。此外，对于外侧电极4如果做成将一根金属线无缝地编织的结构，因增加与放电容器的紧密接触性而有利。

在形成于直管部21内部的放电空间中，封入例如氙气体、或混合氩和氯的气体等作为放电用气体，该放电用气体通过隔着电介质材料的放电来形成受激准分子，并且由该受激准分子放射真空紫外光。

在外部引线6a与外侧电极4上通过供电线18连接着供电装置17。由此，对于内侧电极3，仅在一端321a经由金属箔5a和外部引线6a与供电装置17电连接。从供电装置17向内侧电极3和外侧电极4供给点灯电力，隔着作为电介质材料的放电容器2和内侧管7，在两电极间产生放电，并在放电用气体中产生受激准分子发光。

根据图1所示的方式的紫外线照射装置100，在冷却部件20中形成有导光部202，该导光部与框体11的贯穿孔14的正下方位置相对应，对于受激准分子灯1，在有效发光区域(指通过内侧电极3与外侧电极4对置而形成受激准分子放电的区域，在图1(b)中连接起点41和终点42的、以Z线表示的区域)中，与比内侧电极3的一端321a更接近内侧电极3的另一端321b侧的区域(在图1(b)中连接终点42与中间点43的、以X线表示的区域)相对应，沿上下方向贯穿冷却部件20通到沟槽部201，使从一端入射的由受激准分子灯放射的光从另一端射出。与受激准分子灯1相同个数的受光部25，由于接收从导光部202的另一端射出的光，在框体11的上方放置为使各光射入面251与导光部202的另一端相对置。

由此，有效发光区域中，从起点41直到与导光部202的正下方对应的部位的区域的任一部分，即使内侧电极3断线，也能够确实检测受激准分子灯的未点灯。尤其是，在以X线表示的区域的终点42的附近设置导光部202的情况下，即使内侧电极3在以Z线表示的区域的任一处断线，也可以确实地检测受激准分子灯的未点灯而较理想。

受光部25对来自受激准分子灯的放射光具有光敏性，并具有根据接收的光通过光电转换输出电压信号的功能。具体地，具有萤光体、和将萤光体的光变更成电压信号的光电元件。作为光电元件包括：例如硅光电二极管，镓/磷二极管等。

在受光部25上连接着点灯检测部件30，该点灯检测部件包括根据受光部25的测量结果进行运算处理的运算部26、及与该运算部26连接并显示灯的点灯或未点灯的显示部27。

具体地，运算部26将设定的基准电压与来自上述受光部25的电压信号进行比较运算处理，向显示部27输出表示灯的点灯或未点灯的信号。即，在电压信号比基准电压低的情况下，运算部26输出表示受激准分子灯1未点灯的信号(以下，也称为“未点灯信号”。)，在电压信号比基准电压高的情况下，输出表示受激准分子灯1点灯的信号(以下，也称为“点灯信号”。)。

由运算元件26输出的点灯信号或未点灯信号，输入到显示部27。显示部27例如由液晶等的显示器件构成，根据从运算元件26输出的点灯信号或未点灯信号，向使用者通知受激准分子灯1的点灯状态。

根据来自运算部26的未点灯信号，对向受激准分子灯1供给的电力进行控制的供电控制机构28、和对搬运机构35的工作进行控制的搬运控制机构29连接在运算部26上。

供电控制机构28根据来自运算部26的未点灯信号，将停止对受激准分子灯1的点灯电力的供电的信号输出到供电装置17。据此，供电装置17停止对受激准分子灯1的点灯电力的供电。搬运控制机构29根据从运算部26输入的未点灯信号，向搬运机构35输出停止基板36的搬运的信号。据此，搬运机构35停止基板36的搬运。

以下，若例举本发明的紫外线照射装置的规格的一例，则如下所述。

基板的宽度为2000mm的情况下，框体11是纵600mm，横3000mm，高300mm。

在有效发光区域Z中，导光部202的一端配置为与距终点42的距离大约150mm的位置相对应。

放电容器2由合成石英玻璃构成，全长(包含密封部)为2100mm，而外径为26mm。将由线直径0.5mm的钨构成的线材卷绕而构成内侧电极3，线圈部31的长度为2050mm。线圈部31是外径为13.5mm，而节距为5mm。内侧管7是由合成石英玻璃构成，全长为2030mm，外径为16mm，内径为14mm。在放电容器2的内部，氙气以20kPa的压力被封入。额定电功率是800W。

根据上述那样的本发明的第一紫外线照射装置100，具备：导光部202，在受激准分子灯1的有效发光区域2中，与比连接了供电装置17的内侧电极3的一端321a更接近内侧电极3的另一端321b的区域X相对应而设置，使从一端入射的由受激准分子灯放射的光，从另一端射出；受光部25，接收从导光部202的另一端射出的光，以及与受光部25连接的点灯检测部件30；由此，在有效发光区域中从起点41到与导光部202的正下方对应的部位的区域的任一部分内侧电极3断线，也可以确实地检测受激准分子灯的未点灯。

详细地，从受激准分子灯放射出的光，从导光部202的另一端向受光部25射出，通过受光元件25，向运算元件26输出与光强度相应的电压信号，通过运算元件26将基准电压值与电压信号比较运算，由此向显示元件27输出点灯信号或未点灯信号，操作人员通过看显示元件27就可以确认受激准分子灯的点灯状态。

而且，根据本发明的第一紫外线照射装置100，具备：供电控制机构28，控制向受激准分子灯1的点灯电力的供电；及搬运控制机构29，控制搬运机构35的工作；由此，当内侧电极3断线时，能迅速停止向受激准分子灯1的点灯电力的供电，并停止基板36的搬运。由此，不会继续进行向受激准分子灯的无谓的点灯电力的供电，也不会有基板的清洗处理不完全的顾虑。

此外，图1所示的方式的受激准分子灯1，具有以下的优点。

(1)在放电空间内的内侧电极3上也覆盖着由电介质材料构成的内侧管7，所以与外侧电极4之间的放电稳定，可持续均匀的状态，此外，防止发生不期望的电弧放电，不但受激准分子光的生成效率高，也不会发生内侧电极3烧断的问题。

(2)内侧管7是其端部在放电空间内被开放的结构，因此，在长度方向上的热膨胀不会被拘束而自由的伸缩，所以比在两端部与放电容器接合的结构，可以减轻放电容器的损伤或破损的问题。

(3)内侧管7内的放电用气体经由其开放端流通到放电空间内来抑制内侧电极3的温度上升，可以防止其损耗，并且放电用气体的温度被平均化而抑制其温度上升，可以防止光输出降低。

(4)内侧电极3具有弹性，因此该内侧电极3热膨胀，通过吸收其热膨胀份量，也不会影响到热膨胀系数不同的、由石英玻璃构成的放电容器2的密封部22a、22b，而可以防止放电容器2的破损。

本发明的第一紫外线照射装置，并不限定于图1所示的实施方式，可加以各种变更。以下，关于本发明的第一紫外线照射装置的其他方式，使用图2至图4来说明。图2至图4是表示由包含受激准分子灯的管轴的平面来截断紫外线照射装置的截面图，与图1相同符号表示相同部分或相当的部分。

图2所示的紫外线照射装置200，除了设有沿倾斜方向贯穿冷却部件20的导光部202，受光部25以其光入射面251与导光部202的另一端相对置的状态载置在框体11上以外，其他结构与图1所示的紫外线照射装置相同。

导光部202使从一个开口端入射的由受激准分子灯放射的光，从另一个开口端射出，上述一个开口端在受激准分子灯1的有效发光区域Z中，与比内侧电极3的一端321a更接近内侧电极3的另一端321b的区域X相对应地配置，上述另一个开口端在受激准分子灯的有效发光区域中，与接近内侧电极3的一端321a侧的区域Y相对应地配置。

根据这种紫外线照射装置200，根据由受光部25接收从导光部202的另一端射出的光所得到的测量结果，进行与图1所示的紫外线照射装置同样的运算处理，可以检测受激准分子灯1的点灯状态，并且可以控制对受激准分子灯的供电及基板的搬运。

图3所示的紫外线照射装置300除了不具有冷却部件，设有由筒状光波导构成的导光部202，受光部25以其光入射面251与导光部202的另一端相对置的状态放置在框体11上以外，其他结构与图1所示的紫外线照射装置相同。

导光部202在受激准分子灯1的有效发光区域Z中，与比内侧电极3的一端321a更接近内侧电极3的另一端321b的区域X相对应地配置，使从一端入射的由受激准分子灯放射的光，从配置在受激准分子灯1的有效发光区域以外的另一端射出。

若采用这种紫外线照射装置300，根据通过受光部25接收从导光部202的另一端射出的光所得到的测量结果，进行与图1所示的紫外线照射装置同样的运算处理，由此可以检测受激准分子灯1的点灯状态，并且，可以控制对受激准分子灯的供电和基板的搬运。此外，将受光部25配置在有效发光区域Z外，可抑制受光部的温度上升，能高精度地检测，延长受光部的寿命。

图4所示的紫外线照射装置400除了具有：例如由石英光纤构成，一端嵌入沿上下方向贯穿冷却部件20而设置的贯穿孔45，并且另一端与受光部25的光入射面251连接而构成的导光部202；及放置在框体11上方的受光部25之外，其他结构与图1所示的紫外线照射装置相同。

导光部202在受激准分子灯1的有效发光区域中，与比内侧电极3的一端321a更接近内侧电极3的另一端321b的区域X相对应地配置，使从一端入射的由受激准分子灯所放射的光，从另一端射出。

若采用这种紫外线照射装置400，根据通过受光部25接收从导光部202的另一端射出的光所得到的测量结果，进行与图1所示的紫外线照射装置同样的运算处理，可以检测受激准分子灯1的点灯状态，并且可以控制对受激准分子灯的供电和基板的搬运。此外，将受光部25配置在有效发光区域Z外，可以抑制受光部的温度上升，可以高精度地检测，并延长受光部的寿命。

第2实施方式

图5是表示用包含受激准分子灯的管轴的平面截断本发明的第二紫外线照射装置的截面图。与图1相同符号表示相同部分或是相当的部分。紫外线照射装置500除了使用具有双层管结构的受激准分子灯50之外，其他的结构与图1所示的紫外线照射装置相同。

受激准分子灯50具有双层管结构的放电容器55，该放电容器55包括：例如由石英玻璃等的电介质构成的圆筒状外侧管51，外径比该外侧管51的内径小的、例如由石英玻璃等的电介质构成的圆筒状内侧管52，及气密地封闭由该外侧管51和内侧管52形成的圆筒状空间的两端部的侧壁部53，54；在由该放电容器55形成的圆筒状放电空间S中填充了例如氙气作为放电用气体。

在形成放电容器55的外侧管51紧密接触着由铝膜构成的外侧电极56，该外侧电极例如通过蒸镀或丝网印刷等形成，以便在外侧管51的外周面具有网目状的开口，在内侧管52上以紧密接触在其内周面的状态设有例如由铝构成的板状的内侧电极57，而在外侧电极56和内侧电极57上连接有供电装置17。

若采用本发明的第二紫外线照射装置，具备：导光部，在受激准分子灯50的有效发光区域Z中，与比连接了供电装置17的外侧电极56的一端561a更接近外侧电极56的另一端561b的区域X相对应地配置，使从一端入射的由受激准分子灯放射的光，从另一端射出；接收从导光部202的另一端射出的光的受光部25；及与受光部25连接的点灯检测部件30；例如由于外侧电极56与外侧管51之间的热膨胀系数的不同，即使在受激准分子灯1的有效发光区域Z中、从起点41到与导光部202的正下方对应的部位为止的区域的任一部分，外侧电极56的一部分剥离，也可以确实检测受激准分子灯50的未点灯。尤其是，供电部侧随着电流密度变高，温度容易上升，因而熔断或剥离的机率高，通过采用本发明的结构，可以确实检测受激准分子灯的未点灯。

而且，具备：控制对受激准分子灯50的点灯电力的供电的供电控制机构28，及控制搬运机构35的工作的搬运控制机构29，由此，当外侧电极56的一部分剥离时，可以迅速停止对受激准分子灯1的点灯电力的供电，并且可以停止基板36的搬运。由此，不会继续进行对受激准分子灯无谓的点灯电力的供电。也不会有基板的清洗处理不完全的顾虑。

第3实施方式

图6是以包含受激准分子灯的管轴的平面截断本发明的第三紫外线照射装置的截面图。与图1相同符号表示相同部分或相当的部分。

紫外线照射装置600外部引线6a，6b双方与外侧电极4通过供电线18连接在供电装置17上。与有效发光区域Z的中央部附近的区域(下述的图7中的以V线表示的区域)对应而形成有沿上下方向贯穿冷却部件20的导光部202，而受光部25以光入射面251与导光部202的另一端相对置的状态下放置在框体11上。“中央部附近的区域”是指受光部25可以观察受激准分子灯的中央的位置。除了这些点之外，其他结构与图1表示的紫外线照射装置相同。

以下说明本发明的第三紫外线照射装置具有的作用效果。

内侧电极3仅在一处切断时，因内侧电极的两端电连接于供电装置，在断线处的两侧仍然继续点灯，不会产生特别的问题，然而，如图7所示地，内侧电极3在两处(图7中的断线点44、45)切断时，则在由连接起点41与断线点44的U线表示的区域、以及由连接断线点45与终点45的W线所表示的区域仍然继续点灯，在由连接断线点44与断线点45的V线表示的区域，因为与供电装置电性切断而成为未点灯。首先，当断线点44断线，则内侧电极的长度成为U＜V+W，b侧的供电部侧比a侧供电部侧流动的电流值增大，接着断线的是比中央部接近b侧的断线点45断线。根据第三紫外线照射装置，即使这样地内侧电极3在两处断线的情况下，与有效发光区域2的中央部附近、以V线表示的区域对应而设有导光部202，因此，根据经由导光部202、由受光部25接收的光的电压信号，可确实地检测受激准分子灯的未点灯。

而且，具备控制对受激准分子灯1的点灯电力的供电的供电控制机构、及控制搬运机构的工作的搬运控制机构，当内侧电极3断线时，可以迅速地停止对受激准分子灯的点灯电力的供电，并且可以停止基板的搬运。由此，不会继续进行对受激准分子灯的点灯电力的无谓供电，也不会有基板清洗处理不完全的顾虑。

如以上那样的第一至第三紫外线照射装置构成为窗构件嵌入框体的开口的结构，但并不限定于此，也可以采用不使用窗构件的结构。

第一至第三紫外线照射装置构成为在框体内具备冷却部件的结构，但并不限定于此，也可以采用不具有冷却部件的结构，该情况下设置在框体的贯穿孔具有导光部的功能。

此外，在上述实施方式中，针对结构为内侧电极的外周被由电介质材料构成的内侧管覆盖的受激准分子灯进行说明，但并不限定于此，也可以使用不具有内侧管的单层圆筒型结构的受激准分子灯来构成紫外线照射装置。

此外，如以往结构的紫外线照射装置那样，通过设置于受激准分子灯外表面的萤光体层，将从受激准分子灯放射出的真空紫外光变换成可见光，根据与该可见光的强度相应的电压信号，可以检测受激准分子灯的点灯状态。或是，检测灯光的受光部，可以不使用萤光体而使用可以直接检测真空紫外光的受光元件。此外，在氙受激准分子灯中，也可以检测从灯放射的紫外光、可见光、红外光。

当然，在被用于紫外线硬化的、放射真空紫外光以外的光的、混合氪与氯的放射222nm光的受激准分子灯，或是混合氙与氯的、放射308nm的光的受激准分子灯等中，也可以确实地检测。

Claims (3)

1.一种紫外线照射装置，具备：放电容器，至少一部分由透射紫外线的电介质材料构成，在其内部的放电空间填充了放电用气体；受激准分子灯，具有隔着构成该放电容器的电介质材料而相对置的一对电极；以及供电装置，与该一对电极分别电连接，并对上述受激准分子灯供电，其特征在于，

上述供电装置至少与任一个电极的一端侧电连接；

该紫外线照射装置具备：导光部，在有效发光区域中，与比连接了上述供电装置的电极的一端更接近该电极的另一端的区域相对应地配置，使从该导光部的一端入射的、由上述受激准分子灯放射的光，从其另一端射出；受光部，接收从该导光部射出的光；以及点灯检测部件，根据该受光部的测量结果来检测上述受激准分子灯的点灯状态。

2.一种紫外线照射装置，具备：放电容器，至少一部分由透射紫外线的电介质材料构成，在其内部的放电空间填充了放电用气体；受激准分子灯，具有隔着构成该放电容器的电介质材料而相对置的一对电极；以及供电装置，与该一对电极分别电连接，并对上述受激准分子灯供电，其特征在于，

上述供电装置至少与任一个电极的两端侧电连接；

该紫外线照射装置具备：导光部，与有效发光区域的中心部附近区域相对应地配置，使从该导光部的一端入射的、由上述受激准分子灯放射的光，从其另一端射出；受光部，接收从该导光部射出的光；以及点灯检测部件，根据该受光部的测量结果来检测上述受激准分子灯的点灯状态。

3.如权利要求1或2所述的紫外线照射装置，其特征在于，上述电极的任一个被配置在上述放电容器内的放电空间，该一个电极的、至少与另一个的电极之间进行放电的部位的外表面，被至少一端开放于放电空间内的、由电介质材料构成的内侧管来覆盖。

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