CN1773650A - 图案形成方法和图案形成装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种图案形成方法及图案形成装置，该图案形成装置(1)包括用于将图案形成材料从多个喷射口喷射到基板(9)的主表面上的喷射部件(41)。通过工作台移动机构(2)，喷射部件(41)沿着基板(9)的主表面在一方向上相对于基板(9)移动，由此在基板(9)上形成多个线形图案元件。在形成该线形图案元件的过程中，通过喷射口移动机构(44)周期性地改变多个喷射口相对于基板(9)的移动速度，且在每个线形图案元件(91)中形成节部，每个节部沿与线形图案元件(91)延伸方向相垂直的方向扩展。这就使在从多个喷射口喷射图案形成材料的同时可以在基板(9)上恰当地形成类似于格子状结构的图案。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于在基板上形成图案的技术。
背景技术
喷砂法(也称为“照相平板印刷法”)、丝网印刷、剥离工艺(lift-off process)以及其它类似的方法传统上被当作是用于在等离子体显示器面板中形成隔离肋(rib)图案(隔离肋的设置)的技术。然而，上述所引用的技术复杂，因此增加了制造成本。
在上述情况下，近些年已开发了一种诸如在日本专利申请特开平2002-184303(文献1)中所公开的技术。根据该新技术，从具有多个小喷射口的喷嘴将含有光固化树脂的糊状图案形成材料喷射至基板上，以在该基板上形成条状的隔离肋图案；随后，对图案形成材料进行紫外线处理以固化所述图案形成材料。这种新技术简化了形成隔离肋图案的过程并可以更有效地利用该图案形成材料，因此能够减少面板的制造成本。
根据在日本专利申请特开平2003-187694中所公开的技术，在从喷嘴喷射图案形成材料并在基板上形成图案的一种图案形成装置中，设有用于沿与基板移动方向相垂直的方向振动喷嘴的振动机构，随后在基板上形成了周期波形的隔离肋图案。
对于在等离子显示器中使用的面板，在大多数情况下，基板上的隔离肋以条状图案或者格子状图案设置。在一种技术方案中，以条状图案设置隔离肋的有益之处在于，因其结构简单而使得制造相对容易以及在将发光所需的气体供给每一个放电室(cell)时可在较短的时间内将每个放电室(发光区域)抽空。然而，以条状图案设置隔离肋将要求设有不发光区域。而且，在以条状图案设置隔离肋时每个放电室中的荧光体的表面积小于在格子状图案设置隔离肋时每个放电室中的荧光体的表面积。这样，含有以格子状图案设置的隔离肋在内的面板更有益于提高等离子体显示器的亮度。在文献1的方法中，可容易地形成条状图案，但是难于形成格子状图案。
发明内容
本发明旨在提供一种用于在基板上形成图案的图案形成方法。本发明的目的是在从多个喷射口喷射图案形成材料的同时在基板上恰当地形成类似于格子状的图案。
该图案形成方法包括下列步骤：a)从多个喷射口将图案形成材料喷射至基板的主表面上；b)与步骤a)并行，通过沿着预定方向相对于该基板移动所述多个喷射口而形成多个线形图案元件，每个所述线形图案元件沿着该主表面在该预定方向上延伸；以及c)与步骤b)并行，在所述多个线形图案元件中的每一个中形成节部，每个所述节部沿着与该预定方向相垂直的方向扩展；而且在该方法中，在步骤c)中，在形成多个线形图案元件的过程中，在每个规定时间间隔几乎同时形成在所述多个线形图案元件中沿着与该预定方向相垂直的方向设置的多个节部。
根据本发明，在从多个喷射口喷射图案形成材料的同时可在基板上恰当地形成类似于格子状的图案。
根据本发明的一个优选实施例，在该方法中，在步骤a)中从多个喷射口的每一个喷射口喷射的图案形成材料的喷射口流速为恒定，在步骤c)中多个喷射口相对于基板的移动速度呈周期性变化，因此图案形成材料的喷射口流速与多个喷射口的移动速度之间的比值得以改变以便容易地形成多个节部。
根据本发明的另一优选实施例，在该方法中，在步骤b)中多个喷射口的移动速度为恒定，在步骤c)中图案形成材料的喷射口流速呈周期性变化，因此图案形成材料的喷射口流速与多个喷射口的移动速度之间的比值得以变化以便容易地形成多个节部。
根据本发明的再一优选实施例，在该方法中，图案形成材料含有光固化树脂，通过对喷射到基板上的图案形成材料进行光照射的开/关控制，在步骤c)中照射至已经喷射到基板的图案形成材料的光照射强度呈周期性变化，于是容易地形成多个节部。
本发明的也在于提供一种用于在基板上形成图案的图案形成装置。
通过下面结合附图的本发明的详细说明将会使本发明的这些和其它的目的、技术特征、技术方案以及有益效果变得更加清晰。
附图说明
图1为图案形成装置的构造示意图；
图2为喷射部件附近的视图；
图3为喷嘴端部附近的局部放大图；
图4为用于在基板上形成图案的操作流程的流程图；
图5为喷射口相对于基板的移动速度变化和喷射口相对于支撑部件的位置变化图；
图6为在基板上的多个线形图案元件的俯视图；
图7为线形图案元件的纵向剖视图；
图8为以条状图案设置的线形图案元件的俯视图；
图9为振动部件的构造视图；
图10为用于在基板上形成图案的操作流程的流程图；
图11为基板上多个线形图案元件的俯视图；
图12为照射强度变化部件的视图；
图13为用于在基板上形成图案的操作流程的流程图。
具体实施方式
图1为依据本发明第一优选实施例的图案形成装置的构造视图。图案形成装置1为用于在等离子显示器玻璃基板(下文称为“基板”)9上形成与多个隔离肋相对应的图案的一种装置，其上形成有该图案的基板9通过其它方法将成为作为等离子显示器的组件的面板(通常为后面板)。
图案形成装置1包括设置在基台11上的工作台移动机构2。然后，通过工作台移动机构2可使用于固定基板9的工作台20沿着基板9的主表面(即图1所示的Y方向)移动。此外，框架12固定于基台11上以横贯工作台20。此外，头部3连接于框架12上。
工作台移动机构2包括与滚珠丝杠22连接的马达21，且还包括固定于工作台20上并与滚珠丝杠22连接的螺母23。导轨24固定地设在滚珠丝杠22的上方。采用这种结构，马达21的旋转使工作台20与螺母23一起沿着导轨24(即Y方向)平稳地移动。
头部3包括用于将含有光固化树脂(在本优选实施例中一种响应施加的紫外线而固化的树脂)的糊状图案形成材料喷射至基板9的+Z侧主表面(下文中也称为“上表面”)上的喷射部件41以及用于朝喷射的图案形成材料发射紫外线的光发射部件51。喷射部件41和光发射部件51连接于支撑部件32，而且支撑部件32固定于框架12并有基体31置于二者之间。图案形成材料中所包含的光固化树脂可以是除了响应施加的紫外线而固化的树脂以外的其它材料，而且这种情况下，来自光发射部件51的光与该光固化树脂的性质相对应。
喷射部件41连接有用于供给图案形成材料的供给管42。供给管42连接于材料供给器43。该图案形成材料含有作为主要成分的低熔点玻璃原料和光固化树脂的混合物，其还包括溶剂、添加剂等。光发射部件51连接于用于产生紫外线的光源单元53，而且二者之间设有光纤52。
图2给出了从-X侧朝+X侧方向所视的喷射部件41附近的视图。如图2中所示，喷嘴411设在喷射部件41的下部，在喷嘴411的端部内形成有多个沿着与基板9移动方向相垂直的X方向设置的喷射口。喷射口移动机构44连接到喷射部件41上且该喷射口移动机构44围绕与X方向平行的轴轻微旋转(以较小的角度)喷射部件41。喷射口移动机构44包括安装有马达(未示出)的凸轮441。支撑杆442固定于喷射部件41，且连接于支撑杆442端部的辊子443与凸轮441的外周接触。用于将辊子443偏压在凸轮441上(即+Y侧)的偏压机构444连接于喷射部件41。通过凸轮441的旋转，辊子443沿着Y方向移动，喷射部件41围绕与X方向平行的轴445轻微旋转，且喷嘴411端部的多个喷射口沿着Y方向轻微移动。为了使通过喷射口移动机构44而产生喷射部件41的轻微旋转，喷嘴411的端部与基板9不接触。
图3为图案形成过程中所观察到的喷嘴411端部附近的放大视图。如图3所示，沿X方向设置的多个喷射口412形成在喷嘴411的端部内(图3仅示出了一个喷射口412)，且从每个喷射口412喷射图案形成材料。在喷嘴411中设有在多个喷射口412上侧(+Z侧)从喷射口412附近向-Y侧凸出的凸起部件413，且凸起部件413与从喷射口412喷射在基板9上的图案形成材料的上表面相连接。光发射部件51位于相对于喷嘴411的-Y侧以使从光发射部件51发射出的光作用到从喷射口412中喷射出的图案形成材料上。
再参照图1，图案形成装置1还包括与工作台移动机构2、材料供给器43、喷射口移动机构44以及光源单元53相连接的控制器6。因此，控制器6控制上述的元件以使在基板9上形成设置的隔离肋图案。
图4为用于在基板上形成图案的图案形成装置1的操作流程的流程图。在图案形成装置1中，首先，由图1中所示的控制器6控制工作台移动机构2，于是基板9和工作台20一起从图1中双短划线所表示的位置开始沿着-Y方向移动(步骤S11)。当喷射部件41的喷嘴411到达用于在基板9上形成图案的起始点时，开始从多个喷射口412的每一个喷射口喷射图案形成材料(步骤S12)。此时，从每个喷射口412喷射出的图案形成材料的喷射口流速(每单位时间的喷射口流量)保持恒定。然后，打开设在光源单元53内的光闸(shutter)(未示出)，光发射部件51开始光照射(紫外线)已经喷射到基板9上的图案形成材料(步骤S13)。
如图3所示，在图案形成装置1中，在从喷射部件41喷射图案形成材料的同时，通过使喷射部件41沿着基板9的主表面相对于基板9朝+Y方向移动(扫描)，将从基板9的-Y侧朝+Y侧方向顺序地形成多个线形图案元件91(即多个连续的图案元件，且图3中只示出了一个线形图案元件)。已经喷射到基板9上的线形图案元件(图案形成材料)由光发射部件51发射的光所固化。
在图案形成装置1中，在移动基板9的同时，喷射部件41根据喷射口移动机构44的凸轮441外周的形状而轻微旋转，且多个喷射口412的位置沿着Y方向(相对于基板9的移动方向)相对于头部3的支撑部32而移动，如图5的下部所示。因此，多个喷射口412相对于通过工作台移动机构2以恒定速度V1连续移动的基板9的移动速度也周期性变化(步骤S14)，如图5的上部所示。图5的上部所示的喷射口412相对于基板9的移动速度给出了一种通过将两种不同波长的正弦曲线叠加而得到的波形。
在第一优选实施例中，如图5的上部所示的多个喷射口412相对于基板9的最大移动速度的数值V2设为每秒4mm，且将在喷射部件41内的图案形成材料的压力调整以使从每个喷射口412喷射的图案形成材料的喷射口流速近似等于通过用从-Y侧向+Y侧方向观测所得到的面积(即喷射口412在与ZX平面平行的平面上的投影面积)乘以(相对)移动速度V2所得的数值。如上所述，因为从每个喷射口412喷射的图案形成材料的喷射口流速为恒定，所以在喷射口412相对于基板9的移动速度小于V2时，喷射到基板9的图案形成材料由凸起部件413限制到一定高度且沿与基板9移动方向相垂直的X方向扩展。图案形成材料沿着X方向扩展的宽度在(相对)移动速度为最小值V3时成为最大。
换句话说，改变了从每个喷射口412喷射的图案形成材料的喷射口流速与多个喷射口412相对于基板9的移动速度之间的比值(即，改变了从每个喷射口412喷射的图案形成材料的喷射口流量与多个喷射口412相对于基板9的移动距离之间的比值)。通过这种操作，如图6中所示，多个节部沿着Y方向以预定节距布置在多个线形构件91的每一个内，每个节部沿着与基板9移动方向相垂直的方向(X方向)扩展。在多个线形图案元件91中，在形成多个线形图案元件91的过程中几乎同时形成的多个节部92存在于Y方向的几乎相同位置(即沿着X方向设置)；因此，通过喷射部件41相对于基板9的一个移动，在基板9上形成类似于格子状的图案(网格图案)。调整喷射口412相对于基板9的移动速度的变化周期以使节部92沿Y方向以大约840μm的节距存在。线形图案元件91沿X方向的节距约为280μm，该节距与多个喷射口412沿X方向的节距相同。
图7为沿图6中VII-VII线所作的线形图案元件91的纵向剖视图。在每个线形图案元件91中，如图7中所示，在喷射口412的移动速度为V2时所形成的每个部分的剖面形状(沿图6中VII-VII线所作的剖面)为梯形，且该剖面形状几乎接近于从-Y侧向+Y侧观测所得的喷射口412的形状。此部分剖面的平均宽度约为90μm。在线形图案元件91中，节部92的最大宽度约为200μm，其中沿X方向设置的两个相邻节部92之间的间隙宽度约为40μm。在基板9上形成的线形图案元件91的高度恒定，而且约为150μm。诸如线形图案元件91的宽度、高度和节距以及节部92沿着Y方向的宽度和节距之类的图案的几何参数可以作适当的改变。诸如多个喷射口412相对于基板9的移动速度的最大值V2、最小值V3以及喷射口412的形状等制造参数可以根据所需形成的图案来改变。
当喷射部件41的喷射口412到达在基板9上形成图案的终点时，停止喷射图案成形材料(步骤S15)。另一方面，为固化已经喷射在终点附近的图案成形材料部分，基板9将继续移动。然后，停止工作台20的移动(步骤S16)且停止光照射，于是完成由图案成形装置1形成线性图案元件91(步骤S17)。
在形成线形图案元件91后，从图案形成装置1中取出基板9。由其它装置对基板9上的线形图案元件进行过烧(例如，在550度左右的温度下处理10分钟)。图案形成材料中包含的有机物(树脂)通过过烧工序被去除，且低熔点玻璃原料熔合成固体。
在完成对线性图案成形元件91(隔离肋)的过烧之后，在基板9(即等离子显示器的后面板)上由近似于格子状的隔离肋图案所限定的多个区域内形成荧光体层。然后，用作等离子显示器前面板的一个玻璃基板连接到基板9上，同时使隔离肋置于二者之间。至于前面板的连接，首先，作为粘合剂的具有低软化点的玻璃层形成在将要与前面板接触的基板9的隔离肋的部位和将要与线形图案元件91的上表面接触的前面板的部位上。随后，将后面板和前面板相互对准且预先相互固定，然后进行过烧以使二者相互稳固地固定。
基板9和前面板之间的空间被类似于格子状的隔离肋图案分成多个放电区域(即放电室)。沿Y方向并排设置的相邻放电区域经由沿X方向设置的相邻两个节部92之间的间隙彼此连续，通过该间隙将空气从每个所述区域中排出，由此诸如氙气(Xe)之类的气体供给到每个区域内。在等离子显示器中，施加到每个放电区域的电压引起等离子放电，这样就产生了紫外线。然后，紫外线照射到分别在放电区域内形成的荧光体层上产生可见光。在等离子显示器中，多个放电区域中的每一个对应于一个像素。另外，沿X方向设置的两个相邻节部92之间的间隙尺寸等于或小于预定尺寸，该尺寸足够小以防止在一个放电区域中产生的等离子体向相邻的放电区域移动。
如上所讨论的，在图案形成装置1中，图案形成材料从喷射部件41的多个喷射口412喷射，且通过周期性地改变多个喷射口412相对于基板9的移动速度，喷射口移动机构44作为节部形成部件进行工作。通过这种操作，在形成多个线形图案元件91的过程中，在每个规定时间间隔几乎同时在多个线形图案元件91中形成多个节部92，其中每个节部92均沿着与线形图案元件91延伸方向相垂直的方向扩展。这就使在从多个喷射口412喷射所述图案形成材料的同时可容易地形成多个节部92，且可以在基板9上恰当地形成类似于平行交叉的图案。
下面将对比图6中的线形图案元件91对以图8所示的条状图案设置的线形图案元件99进行讨论。在线形图案元件99(隔离肋)中，在一个技术方案中，在将为光发射所需的气体供给每个放电室时可在相对较短的时间内将每个放电室抽空。然而，以条状图案设置隔离肋将需要提供较大的不发光面积。此外，在以条状图案设置隔离肋的情况下每个放电室内的荧光体的表面积小于格子状设置隔离肋设置的情况下每个放电室内的荧光体的表面积。这样，以条状图案设置的隔离肋难于提高等离子显示器的亮度。另一方面，在由图1的图案形成装置1所形成的图6的多个线形图案元件91中，通过沿X方向设置的两个相邻节部之间的间隙，可在较短的时间内抽空每个放电室。同样，因为节部92的存在，在以类似于格子状图案设置线形图案元件91的情况下每个放电室内的荧光体的表面积大于以条状图案设置线形图案元件99的情况下每个放电室中的荧光体的表面积。因此，可制造具有高亮度面板的等离子显示器。
凸起部件413设有喷射部件41且凸起部件413与从每个喷射口412喷射到基板9上的图案形成材料的顶部相接触。如此，凸起部件413作为限制多个线形图案元件91高度的部件可防止图案形成材料隆起且因此可以确定的高度稳定地形成节部92。
图9为依据本发明第二优选实施例的设在图案形成装置中的振动(diaphragm)部件45的构造视图。图9中的振动部件45连接到位于图1中材料供给器43和喷射部件41之间的供给管42上。在本优选实施例的图案形成装置中，省略了喷射口移动机构44。振动部件45包括一端连接供给管42而另一端封闭的伸缩软管(bellows)451。伸缩软管451的封闭端连接推进机构452且伸缩软管451通过推进机构452的移动而扩展和收缩。通过这种操作，将改变从多个喷射口41的每个喷射口喷射的图案形成材料的喷射口流速。
图10为依据本发明第二优选实施例用于在基板上形成图案的图案形成装置的操作流程的流程图，且其仅示出了代替图4中步骤S14的操作过程。在设有图9的振动部件45的图案形成装置中，在开始移动基板9之后，喷射图案形成材料并照射图案形成材料(图4中的步骤S11至步骤S13)，与这些操作并行，振动部件45周期性地扩展和收缩伸缩软管451。
具体地，当振动部件45快速收缩伸缩软管451时，供给管42中的图案形成材料的压力顷刻间增加，且从喷射口412喷射的图案形成材料的喷射口流速暂时增加。随后，当振动部件45逐渐使伸缩软管451扩展时，供给管42中的图案形成材料的压力保持低压且图案形成材料以恒定的喷射口流速从喷射口412喷射。振动部件45以规定的时间间隔重复上述的操作，以周期性改变从多个喷射口412喷射的图案形成材料的喷射口流速(步骤S21)。
此时，因为通过工作台移动机构2而移动的基板9的移动速度为恒定，所以从每个喷射口412喷射的图案形成材料的喷射口流速与多个喷射口412相对于基板9的移动速度之间的比值得以改变。如图11中所示，在多个线形图案元件91的每一个中，其高度由凸起部件413所限制，且多个节部92沿Y方向以预定节距设置，每个所述节部92沿着与基板9的移动方向相垂直的方向(X方向)扩展。在多个线形图案元件91中，在形成多个线形图案元件91的过程中几乎同时形成的多个节部92存在于Y方向上的几乎相同的位置，因此在基板9上形成类似于格子状的图案。在图11的线形图案元件91中，除了节部92之外的每个部分以确定的宽度近似地形成，该宽度不同于图6的线形图案元件91的宽度。
在周期性形成节部92时，当喷射部件41的喷射口412到达基板9上图案形成的终点时，停止喷射图案形成材料(图4：步骤S15)。随后，停止工作台20的移动和光照射，这样就完成了由图案形成装置1形成线形图案元件(步骤S16和步骤S17)。
如上所讨论的，在包括图9的振动部件45在内的图案形成装置中，从喷射部件41的多个喷射口412中喷射图案形成材料且振动部件45作为周期性地改变从每个喷射口412喷射的图案形成材料的喷射口流速的节部形成部件。这就使在从多个喷射口412喷射图案形成材料的同时可容易地形成多个节部92，而且可以在基板9上恰当地形成类似于格子状的图案。
接着，将讨论依据本发明第三优选实施例的图案形成装置。在该实施例中，如图12所示，在光源单元53和光发射部件51之间设有照射强度变化部件54。照射强度变化部件54包括可高速开关的光闸。
图13为依据本发明第三优选实施例的用于在基板上形成图案的图案形成装置的操作流程的流程图，且其仅示出了代替图4的步骤S14的操作。在设有照射强度变化部件54的图案形成装置中，在基板9的开始移动后，喷射图案形成材料并光照射图案形成材料(图4：步骤S11至步骤S13)，并与这些操作并行，周期性地改变对已喷射到基板9上的图案形成材料的光照射强度(或照射量)(步骤S31)。
具体地，通过照射强度变化部件54周期性地短时间关闭光闸，可暂时阻断从光源单元53经由光线发射部件51照射到图案形成材料上的光。由此，当照射强度变化部件54开启光闸时，光将照射到已经喷射到基板9上的图案形成材料上，线形图案元件91的高度由凸起部件413所限制，随后以预定宽度形成线形图案元件91。相反地，当照射强度变化部件54关闭光闸时，光将不照射已喷射到基板9上的图案形成材料，因此图案形成材料受重力影响而下沉并坍塌。由此，每个图案形成材料沿着与基板9的移动方向近似垂直的方向(即X方向)扩展。此后，开启光闸，光将照射图案形成材料的坍塌部分，于是在线形图案元件91中形成高度低于其它部分的节部92。
光照射图案形成材料的开/关由照射强度变化部件54控制，且就像图11一样，在形成多个线形图案元件91的过程中在每个规定的时间间隔几乎同时形成沿X方向在多个线性图案单元92内设置的多个节部92。当在基板9的所有区域形成线形图案元件91时，停止基板9的移动、图案形成材料的喷射以及光照射，于是就结束了由图案形成装置形成线形图案元件91(图4：步骤S15至步骤S17)。
如上所讨论的，在包括图12的照射强度变化部件54在内的图案形成装置中，从喷射部件41的多个喷射口412喷射图案形成材料且照射强度变化部件54用作周期性地改变照射至已喷射到基板9上的图案形成材料的光照射强度的节部形成构件。这就使在从多个喷射口412喷射图案形成材料的同时可以容易地形成多个节部92，而且可在基板9上恰当地形成类似于格子状的图案。如果可以高速地开启和关闭设在光源单元53内的光闸，那么可利用这个光闸以代替照射强度变化部件54来控制光照射图案形成材料的开/关。
可旋转的光强度变化滤光镜设在照射强度变化部件54以代替光闸，于是可周期性地改变照射图案形成材料的光照射强度。如果图案形成材料的粘性相对较高等，那么在光线发射部件51和基板9上的图案形成材料之间设有掩膜(mask)，通过以规定时间间隔从光源单元53发射脉冲光，光可以照射除了与基板9上的图案形成材料中的节部92相对应的部分以外的其它部分。这实际上产生了与照射强度变化部件54相同的对图案形成材料的光照射。为了在线形图案元件91中更容易地形成多个节部92，优选仅进行光照射至喷射到基板9的图案形成材料的开/关控制。
尽管已如上讨论了本发明的优选实施例，但是本发明并不限于上述讨论的优选实施例，而允许各种变化。
在上述的第一优选实施例中，喷射口移动机构44不必一定为用于旋转喷射部件41的凸轮机构，例如其可以为用于直接移动喷射部件41的一种机构。此外，可以省略喷射口移动机构44。此时，控制器6通过控制工作台移动机构2可周期性地改变基板9的移动速度，节部92以预定节距形成在每个线形图案元件91内，且几乎同时形成的多个节部92将设置在多个线形图案元件91中的几乎相同的位置。
在上述的第二优选实施例中，振动部件45可以是除包含伸缩软管以外的其它构件。根据在基板9上形成的图案形成构件91所需精度，通过控制用于喷射图案形成材料的材料供给器43的泵(pump)可周期性地改变从每个喷射口412所喷射的图案形成材料的喷射口流速。
在上述的优选实施例中，因为在沿X方向设置的两个相邻节部92之间存在有间隙，所以在将光发射所需的气体供给每个放电室时可有效地将每个放电室抽空。在等离子显示器的玻璃基板9中，如果在抽空每个放电室时不会引起问题，那么通过降低节部92的高度等处理而无需在两个节部92之间留有间隙。
在该图案形成装置中，喷射部件41相对于基板9的移动可以通过使基板9固定而仅使喷射部件41沿Y方向移动来实现。当必须在一个基板9上形成的线形图案元件91的数量大于喷射部件41的喷射口412的数量时，设有用于沿X方向相对于基板9移动头部3的机构，于是可重复线形图案元件91的形成。
上述的图案形成装置适于在诸如有机电激发光(EL)显示器、液晶显示器等其它类型的平板显示器中形成隔离肋或者其它的图案。此外，基板9不限于玻璃基板，其可以为树脂基板、半导体基板等。
尽管已详细地示出并说明了本发明，但是上述的说明全部为说明性的而非限制性的。由此应该清楚的是，在不脱离本发明的范围下可以对本发明作各种变化和修改。
Claims (14)
1、一种用于在基板上形成图案的图案形成方法，包括下述步骤：
a)从多个喷射口将图案形成材料喷射至基板的主表面上；
b)与步骤a)并行，通过沿预定方向将所述多个喷射口相对于所述基板移动而形成多个线形图案元件，每个所述线形图案元件沿所述主表面在所述预定方向上延伸；以及
c)与步骤b)并行，在所述多个线形图案元件的每一个中形成节部，每个所述节部沿与所述预定方向相垂直的方向扩展；其中，
在所述步骤c)中，在形成所述多个线形图案元件的过程中，在每个规定时间间隔几乎同时形成在所述多个线形图案元件中沿与所述预定方向相垂直的方向设置的多个节部。
2、如权利要求1所述的图案形成方法，其中，在所述步骤c)中，所述多个节部通过改变从所述多个喷射口中的每一个喷射口喷射的图案形成材料的喷射口流速与所述多个喷射口相对于所述基板的移动速度之间的比值而形成。
3、如权利要求2所述的图案形成方法，其中，
在所述步骤a)中，所述图案形成材料的所述喷射口流速为恒定；以及
在所述步骤c)中，所述多个喷射口的所述移动速度为周期性变化。
4、如权利要求2所述的图案形成方法，其中，
在所述步骤b)中，所述多个喷射口的所述移动速度为恒定；以及
在所述步骤c)中，所述图案形成材料的所述喷射口流速为周期性变化。
5、如权利要求1所述的图案形成方法，其中，
所述图案形成材料含有光固化树脂；以及
在所述步骤c)中，照射至已喷射到所述基板上的所述图案形成材料的光照射强度为周期性变化。
6、如权利要求5所述的图案形成方法，其中，
在所述步骤c)中，所述光照射强度通过对照射至已喷射到所述基板上的所述图案形成材料的光照射进行开/关控制而周期性地改变。
7、一种用于在基板上形成图案的图案形成装置，包括：
喷射部件，其用于将图案形成材料从多个喷射口喷射至基板的主表面上；以及
移动机构，其用于：在从所述喷射部件喷射所述图案形成材料的同时，通过沿预定方向将所述喷射部件相对于所述基板移动而形成多个线形图案元件，每个所述的线形图案元件沿着所述主表面在所述预定方向上延伸；其中，
节部存在于所述多个线形图案元件的每一个中，每个所述节部沿着与所述预定方向相垂直的方向扩展，且在形成所述多个线形图案元件的过程中，在每个规定时间间隔几乎同时形成在所述多个线形图案元件中沿着与所述预定方向相垂直的方向设置的多个节部。
8、根据权利要求7所述的图案形成装置，其中，
所述多个节部通过改变从所述多个喷射口中的每一个喷射口喷射的所述图案形成材料的喷射口流速与所述多个喷射口相对于所述基板的移动速度之间的比值而形成。
9、如权利要求8所述的图案形成装置，其中，
所述图案形成材料的所述喷射口流速为恒定；以及
所述多个喷射口的所述移动速度呈周期性变化。
10、如权利要求8所述的图案形成装置，其中，
所述多个喷射口的所述移动速度为恒定；以及
所述图案形成材料的所述喷射口流速呈周期性变化。
11、如权利要求7所述的图案形成装置，其中，
所述图案形成材料含有光固化树脂；以及
所述多个节部通过改变照射至已喷射到所述基板上的所述图案形成材料上的光照射强度而形成。
12、如权利要求11所述的图案形成装置，其中，所述光照射强度通过对照射至喷射到所述基板上的所述图案形成材料进行光照射的开/光控制而周期性地改变。
13、如权利要求7所述的图案形成装置，其中，所述喷射部件包括与从所述多个喷射口中的每一个喷射口喷射到基板上的图案形成材料的顶端相接触以限制所述多个线形图案元件高度的构件。
14、如权利要求8所述的图案形成装置，其中，所述喷射部件包括与从所述多个喷射口中的每一个喷射口喷射到基板上的图案形成材料的顶端相接触以限制所述多个线形图案元件高度的构件。
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20090204 Termination date: 20101014 |