JP2003187694A - 隔壁形成方法、隔壁形成装置およびパネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマ表示装置の輝度を向上することがで
きるパネルの隔壁を吐出部から隔壁材料を吐出して形成
する。 【解決手段】 吐出部５２から隔壁材料を吐出すること
により基板９上に隔壁を形成する隔壁形成装置１におい
て、基板９を保持するステージ３の移動方向に垂直な方
向に吐出部５２を揺動させる揺動機構４を設け、基板９
に波形の隔壁を形成する。ステージ３の移動は２回行わ
れ、２回目のステージ３の移動の際には、既に形成され
た隔壁の間に隔壁が形成される。また、１回目のステー
ジ３の移動の際に形成された隔壁と２回目のステージ３
の移動の際に形成された隔壁とはステージ３の移動方向
に関して対称に形成される。これにより、プラズマ表示
装置の輝度を向上することができるパネルを製造するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ表示装
置、有機ＥＬ表示装置等の平面表示装置に使用されるパ
ネルの隔壁を形成する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、プラズマ表示装置に用いられ
るリアパネルには様々な手法により隔壁が形成される。
隔壁形成の手法としては、サンドブラスト法、スクリー
ン印刷法、リフトオフ法等が知られており、近年、ノズ
ルから隔壁材料を吐出して隔壁を形成する手法（例え
ば、特開平９−９２１３４号公報）も提案されている。

【０００３】一方、プラズマ表示装置のパネルでは、隔
壁と隔壁との間に挟まれる領域に発光領域と非発光領域
とが交互に設けられる。そこで、非発光領域において隔
壁と隔壁との間隔を狭くするために波形の隔壁をサンド
ブラスト法にて作成する手法も提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ノズルから
隔壁材料を吐出する手法（以下、「ノズル法」とい
う。）では、従来、ノズルのピッチと隔壁のピッチとを
一致させていたため、多数のノズルを基板に対して直進
させる必要があり、直線状（ストライプ状）の隔壁しか
形成することができなかった。したがって、発光に寄与
しない非発光領域を小さくすることができず、プラズマ
表示装置の輝度を向上することができなかった。

【０００５】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので
あり、ノズル法を用いつつ非発光領域の大きさを抑えた
隔壁を形成することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、平面表示装置用の基板上に隔壁を形成する隔壁形成
方法であって、基板の主面に沿う第１の方向へと吐出口
群を前記基板に対して相対的に移動させつつ前記吐出口
群から隔壁材料の吐出を開始する吐出開始工程と、前記
吐出口群からの隔壁材料の吐出を停止する吐出停止工程
とを有し、前記吐出開始工程から前記吐出停止工程まで
の間に、前記第１の方向に垂直かつ前記主面に平行な第
２の方向に前記吐出口群が前記基板に対して相対的に揺
動する。

【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の隔壁形成方法であって、前記吐出開始工程および前記
吐出停止工程を繰り返す繰返工程をさらに有し、１回目
の前記吐出開始工程および前記吐出停止工程により前記
基板上に形成された複数の第１隔壁のそれぞれと、２回
目の前記吐出開始工程および前記吐出停止工程により前
記基板上に形成された複数の第２隔壁のそれぞれとが、
互いに隣接するとともに前記第１の方向に関してほぼ対
称である。

【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の隔壁形成方法であって、もう１つの吐出口群を前記吐
出口群とともに移動させつつ前記もう１つの吐出口群か
ら隔壁材料の吐出を開始するもう１つの吐出開始工程
と、前記もう１つの吐出口群からの隔壁材料の吐出を停
止するもう１つの吐出停止工程とを有し、隔壁材料の吐
出が行われている間に、前記吐出口群の揺動に同期しつ
つ前記第２の方向に前記もう１つの吐出口群が揺動し、
前記吐出開始工程および前記吐出停止工程により前記基
板上に形成された複数の第１隔壁のそれぞれと、前記も
う１つの吐出開始工程および前記もう１つの吐出停止工
程により前記基板上に形成された複数の第２隔壁のそれ
ぞれとが、互いに隣接するとともに前記第１の方向に関
してほぼ対称である。

【０００９】請求項４に記載の発明は、請求項１ないし
３のいずれかに記載の隔壁形成方法であって、前記吐出
開始工程から前記吐出停止工程までの間において、前記
基板上に吐出された隔壁材料を順次硬化させる工程をさ
らに有する。

【００１０】請求項５に記載の発明は、平面表示装置用
の基板上に隔壁を形成する隔壁形成装置であって、基板
に向けて隔壁材料を吐出する吐出口群が形成された吐出
部と、基板の主面に沿う第１の方向へと前記吐出部を前
記基板に対して相対的に移動させる移動機構と、前記第
１の方向に垂直かつ前記主面に平行な第２の方向に、前
記吐出部を前記基板に対して相対的に揺動させる揺動機
構とを備える。

【００１１】請求項６に記載の発明は、請求項５に記載
の隔壁形成装置であって、前記移動機構および前記揺動
機構の動作を同期させる制御部をさらに備え、前記吐出
部の１回目の移動により複数の第１隔壁が形成され、前
記吐出部の２回目の移動により複数の第２隔壁が形成さ
れ、前記制御部の制御により、前記複数の第２隔壁のそ
れぞれが、前記複数の第１隔壁のぞれぞれに隣接すると
ともに前記第１の方向に関してほぼ対称に形成される。

【００１２】請求項７に記載の発明は、請求項５に記載
の隔壁形成装置であって、前記吐出部に対して前記第１
の方向に位置し、前記移動機構により前記吐出部ととも
に移動し、前記揺動機構により揺動するもう１つの吐出
部と、前記移動機構および前記揺動機構の動作を同期さ
せる制御部とをさらに備え、前記吐出部の揺動と同期し
て前記もう１つの吐出部が揺動し、前記吐出部の移動に
より複数の第１隔壁が形成され、前記もう１つの吐出部
の移動により複数の第２隔壁が形成され、前記制御部の
制御により、前記複数の第２隔壁のそれぞれが、前記複
数の第１隔壁のぞれぞれに隣接するとともに前記第１の
方向に関してほぼ対称に形成される。

【００１３】請求項８に記載の発明は、請求項５に記載
の隔壁形成装置であって、前記移動機構および前記揺動
機構の動作を同期させる制御部をさらに備え、前記吐出
口群が、前記第２の方向に関して所定のピッチにて配列
された第１吐出口群と、前記第１吐出口群に対して半ピ
ッチずれて前記第２の方向に所定のピッチにて配列され
た第２吐出口群とを含み、前記第１吐出口群と前記第２
吐出口群との間の距離が、前記吐出部が整数倍の周期と
半周期との和だけ揺動する間に前記吐出部が移動する距
離にほぼ等しい。

【００１４】請求項９に記載の発明は、平面表示装置用
の基板上に隔壁を形成する隔壁形成装置であって、基板
に向けて隔壁材料を吐出する第１ノズル群および第２ノ
ズル群を有する吐出部と、基板の主面に沿う第１の方向
に前記吐出部を前記基板に対して相対的に移動させる移
動機構と、前記第１の方向に垂直かつ前記主面に平行な
第２の方向に、前記第１ノズル群と前記第２ノズル群と
を個別に揺動させる揺動機構とを備える。

【００１５】請求項１０に記載の発明は、請求項５ない
し９のいずれかに記載の隔壁形成装置であって、前記吐
出部により形成された隔壁上を前記吐出部とともに移動
し、前記隔壁を順次硬化させる硬化部をさらに備える。

【００１６】請求項１１に記載の発明は、平面表示装置
用のパネルであって、基板と、前記基板上において吐出
口群から吐出された隔壁材料により形成された複数の隔
壁とを備え、前記複数の隔壁のそれぞれが所定の方向に
伸びる周期的な波形となっており、互いに隣接する隔壁
が前記所定の方向に関してほぼ対称である。

【００１７】

【発明の実施の形態】＜１． 第１の実施の形態＞図１
は本発明の第１の実施の形態に係る隔壁形成装置１の概
略構成を示す図である。隔壁形成装置１は、プラズマ表
示装置のガラス基板（以下、「基板」という。）９に隔
壁を形成する装置であり、隔壁が形成された基板９は他
の工程を介してプラズマ表示装置の組立部品であるパネ
ル（通常、リアパネル）となる。

【００１８】隔壁形成装置１では、基台１１上にステー
ジ移動機構２が設けられ、ステージ移動機構２により基
板９を保持するステージ３が図１中に示すＸ方向に移動
可能とされる。基台１１にはステージ３を跨ぐようにし
てフレーム１２が固定され、フレーム１２には揺動機構
４を介してヘッド部５が取り付けられる。

【００１９】ステージ移動機構２は、モータ２１にボー
ルねじ２２が接続され、さらに、ステージ３に固定され
たナット２３がボールねじ２２に取り付けられた構造と
なっている。ボールねじ２２の上方にはガイドレール２
４が固定され、モータ２１が回転すると、ナット２３と
ともにステージ３がガイドレール２４に沿ってＸ方向に
滑らかに移動する。

【００２０】揺動機構４はフレーム１２に取り付けられ
たモータ４１、モータ４１の回転軸に接続されたボール
ねじ４２、および、ボールねじ４２に取り付けられたナ
ット４３を有し、モータ４１が回転することによりナッ
ト４３が図１中のＹ方向に移動する。ナット４３にはヘ
ッド部５のベース５１が取り付けられ、これにより、ヘ
ッド部５全体がＹ方向に移動可能とされる。なお、ベー
ス５１はフレーム１２に固定されたガイドレール４４に
接続され、ベース５１がガイドレール４４により滑らか
に案内される。

【００２１】ヘッド部５は、ベース５１の下面に基板９
上に隔壁材料を吐出する吐出部５２、および、基板９に
向けて紫外線を照射する光照射部５３を有し、吐出部５
２には逆止弁５２１を有する供給管５２２が取り付けら
れる。供給管５２２は分岐しており、一方がポンプ５２
３に接続され、他方が制御弁５２４を介してタンク５２
５に接続される。光照射部５３は光ファイバ５３１を介
して紫外線を発生する光源ユニット５３２に接続され
る。

【００２２】モータ２１、モータ４１、ポンプ５２３、
制御弁５２４および光源ユニット５３２は制御部６に接
続され、これらの構成が制御部６により制御されること
により、隔壁形成装置１による基板９上への隔壁形成が
行われる。

【００２３】図２はノズル状の吐出部５２の底面図であ
る。吐出部５２の底面には基板９に向けて隔壁材料を吐
出する吐出口群７１が形成されている。吐出口群７１の
各吐出口７１１の形状および面積は、基板９上に形成さ
れる隔壁の形状に合わせて決定され、図２では矩形の吐
出口７１１の例を示している。

【００２４】吐出口７１１は、Ｙ方向に所定のピッチＰ
１にて形成され、ピッチＰ１は基板９上に形成される隔
壁のピッチＰ２（ただし、後述のように、隔壁は波形と
されるため、隔壁間の距離の平均値をピッチＰ２とす
る。）の２倍とされる。すなわち、吐出口群７１からの
隔壁材料の１回の吐出では、必要な数の半数の隔壁のみ
が形成される。具体例としては、ピッチＰ１が６００μ
ｍとされ、吐出口７１１のＹ方向の幅が５０μｍ、Ｘ方
向の幅が４００μｍとされる。

【００２５】図３は基板９上に隔壁が形成される様子を
示す側面図であり、図４は平面図（吐出口７１１および
吐出された隔壁材料のみを示す。）である。以下、図
１、図３および図４を参照して、隔壁形成装置１が隔壁
を形成する基本動作について説明する。

【００２６】吐出部５２からの隔壁材料の吐出は、図１
に示す逆止弁５２１、ポンプ５２３および制御弁５２４
により行われる。まず、制御部６の制御により制御弁５
２４が開放された状態でポンプ５２３が吸引動作を行
う。このとき、逆止弁５２１により隔壁材料の逆流が阻
止されるため、タンク５２５からポンプ５２３へと隔壁
材料が引き込まれる。次に、制御部６の制御により制御
弁５２４が閉じられ、ポンプ５２３が押出動作を行う。
これにより、吐出部５２から連続的に隔壁材料が吐出さ
れる。

【００２７】隔壁材料の吐出が行われる際には、制御部
６がステージ移動機構２のモータ２１を駆動制御し、ス
テージ３を図１中に２点鎖線にて示す位置から実線にて
示す位置へと矢印３１にて示す方向に連続的に移動させ
る。その結果、基板９の主面に沿う（＋Ｘ）方向へと吐
出口群７１が基板９に対して相対的に移動し、図３に示
すように隔壁材料９１は基板９上に順次付着して隔壁９
２が形成される。

【００２８】また、吐出部５２の進行方向（基板９に対
する相対的な進行方向）の後方には光照射部５３が配置
されており、光照射部５３が吐出部５２とともに基板９
に対して相対的に移動しつつ光照射部５３から紫外線が
出射されることにより、吐出直後の基板９上の隔壁材料
９１に順次紫外線が照射される。隔壁材料９１には紫外
線により硬化する樹脂が混入されており、光照射部５３
が通過した後の隔壁９２は安定した形状を保つことが実
現される。その結果、基板９上の隔壁９２の形状が崩れ
てしまうことが防止され、基板９に付着する部位の長さ
（Ｗ）（Ｙ方向の長さ）に対する高さ（Ｈ）（Ｚ方向の
長さ）の比（Ｈ／Ｗ）（以下、「アスペクト比」とい
う。）の大きな隔壁９２を形成することができる。

【００２９】隔壁材料の吐出が行われている間には、さ
らに、揺動機構４によるヘッド部５の揺動も行われる。
揺動は、基板９の主面に平行であって吐出部５２の相対
的移動方向に垂直なＹ方向に対して吐出口７１１のピッ
チＰ１の１／４以下の振幅にて行われる。例えば、基板
９に対するヘッド部５の（＋Ｘ）方向への相対的移動速
度が１０ｍｍ／ｓ、ピッチＰ１が６００μｍ、振動数が
約１７Ｈｚに設定され、揺動の振幅が１２０μｍ（振れ
幅２４０μｍ）に設定される。これにより、図４に示す
ように基板９上に形成される各隔壁９２は、吐出口７１
１の軌跡に沿った波形となる。なお、図４ではサインカ
ーブ状に形成された隔壁９２を例示しているが、隔壁９
２は図４に示す形状に類似した他の形状（例えば、折れ
線状）であってもよい。

【００３０】図５は図４中に示す矢印Ａ−Ａの位置での
基板９の断面を示す図である。ヘッド部５が基板９に対
して１回相対移動すると、図５に示すようにピッチＰ１
にて隔壁９２が形成される。また、吐出直後に紫外線に
よる硬化が行われるため、アスペクト比が高いとともに
形状精度の高い隔壁９２が形成される。なお、隔壁形成
時に行われる硬化は隔壁の形状を安定して保つことがで
きる程度のもので足りる。

【００３１】図６は、隔壁形成装置１の動作の流れを示
す図である。隔壁形成装置１では、上述の隔壁を形成す
る動作が基板９上の同一領域に対して２回繰り返して行
われる。

【００３２】まず、最初にステージ３が図１中に２点鎖
線にて示す初期位置へと移動し（ステップＳ１１）、移
動途上のステージ３のＸ方向に関する位置と揺動中のヘ
ッド部５のＹ方向の位置との関係（すなわち、ステージ
３の移動とヘッド部５の揺動との関係）が設定される
（ステップＳ１２）。なお、ヘッド部５の揺動は周期的
に行われるため、実際には、ステージ３が基準となる位
置を通過する際に揺動中のヘッド部５が特定の位置に位
置するように設定が行われる。例えば、ヘッド部５が単
振動を行う場合、ステージ３が基準となる位置を通過す
る際にヘッド部５が単振動の特定の位相に位置するよう
に設定が行われる。

【００３３】その後、光照射部５３から紫外線の出射が
開始され（ステップＳ１３）、ステージ移動機構２によ
る（−Ｘ）方向へステージ３の移動が開始されるととも
にステージ３の移動と同期して揺動機構４によるヘッド
部５の揺動も開始される（ステップＳ１４）。

【００３４】ヘッド部５が基板９の端部近傍（図１にお
ける基板９の左端近傍）の吐出開始位置に差し掛かる
と、吐出部５２から隔壁材料の吐出が開始され（ステッ
プＳ１５）、これにより、図４に示すように周期的な波
形の複数の隔壁が形成される。やがて、ヘッド部５がも
う一方の端部近傍（図１における基板９の右端近傍）の
吐出停止位置に差し掛かると、吐出部５２からの隔壁材
料の吐出が停止され（ステップＳ１６）、ステージ３の
移動、ヘッド部５の揺動および紫外線の出射も停止され
る（ステップＳ１７，Ｓ１８）。

【００３５】１回目の隔壁形成が完了すると、ヘッド部
５が吐出口７１１のピッチＰ１の半分の距離だけＹ方向
に移動し、ステップＳ１１〜Ｓ１８が繰り返される（ス
テップＳ１９，Ｓ２０）。すなわち、ステージ３が初期
位置へと戻り、ステージ３の移動、ヘッド部５の揺動、
隔壁材料の吐出、隔壁への紫外線照射が行われる。この
とき、ステップＳ１２にてステージ３の移動とヘッド部
５の揺動との関係が変更される。具体的には、ステージ
３の移動に対するヘッド部５の揺動が反転される。な
お、ヘッド部５が単振動を行う場合、ステージ３の移動
に対する揺動の位相が１８０°シフトされる処理が行わ
れてもよい。

【００３６】２回目のステージ３の移動が完了すると、
隔壁形成装置１による隔壁の形成が完了する。

【００３７】図７は２回目のステージ３の移動により隔
壁が形成される様子を示す平面図である。図７では１回
目のステージ３の移動により形成された隔壁に符号９２
ａを付し、２回目のステージ３の移動により形成される
隔壁に符号９２ｂを付している。

【００３８】既述のように、２回目のステージ３の移動
の際には、吐出部５２を有するヘッド部５が吐出口７１
１のピッチＰ１の半分の距離だけ移動するため、複数の
隔壁９２ｂは複数の隔壁９２ａの間に形成される。ま
た、１回目と２回目とではステージ３の位置に対するヘ
ッド部５の揺動位置（揺動の中心からＹ方向に移動した
距離）が反転されるため、複数の隔壁９２ｂのそれぞれ
が、複数の隔壁９２ａのそれぞれに隣接するとともにＸ
方向に関して対称となる。なお、揺動の振幅はピッチＰ
１の１／４よりも僅かに小さく設定され、各隔壁の間に
は隙間が設けられる。

【００３９】図８は、以上の処理により擬似的な格子状
の隔壁９２が基板９上に形成され、さらに、別途、５０
０〜６００℃の温度で焼成されることにより製造される
プラズマ表示装置用のパネル９０を示す図である。パネ
ル９０がプラズマ表示装置の組立に用いられる際には、
隔壁９２間の距離の長い領域が発光領域９３１とされ、
隔壁９２間の距離の短い領域が非発光領域９３２とされ
る。

【００４０】これにより、セル（１つの画素の１つの色
を受け持つ領域）間の放電干渉が抑制されるため、隔壁
を直線状に形成する場合に比べて非発光領域を小さくし
て発光領域の面積を大きくすることができる。その結
果、隔壁材料を吐出口から吐出することにより低コスト
にて隔壁を形成する技術を利用しつつプラズマ表示装置
の輝度を向上することが実現される。

【００４１】＜２． 第２の実施の形態＞図９は第２の
実施の形態に係る隔壁形成装置の揺動機構４およびヘッ
ド部５を示す図である。なお、隔壁形成装置の他の部位
の構成は第１の実施の形態と同様であり、以下、同符号
を付して説明する。

【００４２】第２の実施の形態に係る隔壁形成装置で
は、揺動機構４がフレーム１２に取り付けられた２つの
揺動機構要素４ａ，４ｂを有する。各揺動機構要素４
ａ，４ｂは第１の実施の形態と同様の構造をしており、
揺動機構要素４ａはモータ４１ａ、ボールねじ４２ａ、
ナット４３ａおよびガイドレール４４ａを有し、揺動機
構要素４ｂはモータ４１ｂ、ボールねじ４２ｂ、ナット
４３ｂおよびガイドレール４４ｂを有する。

【００４３】ヘッド部５は、（＋Ｘ）側から順に第１吐
出部５２ａ、第２吐出部５２ｂ並びに光照射部５３を有
し、第１吐出部５２ａはベース５１ａに取り付けられ、
ベース５１ａはナット４３ａに接続される。第２吐出部
５２ｂおよび光照射部５３はベース５１ｂに取り付けら
れ、ベース５１ｂはナット４３ｂに接続される。これに
より、第１吐出部５２ａおよび第２吐出部５２ｂは、２
つの揺動機構要素４ａ，４ｂにより個別に揺動すること
が可能とされている。また、ステージ３が移動すると、
第２吐出部５２ｂとともに第１吐出部５２ａが基板９に
対して相対的に移動することとなる。

【００４４】図１０は隔壁形成装置の動作の流れを示す
図であり、図１１は、図９に示す揺動機構４およびヘッ
ド部５により隔壁が形成される様子を示す平面図であ
る。

【００４５】まず、ステージ３が初期位置へと移動し
（ステップＳ２１）、光照射部５３からの紫外線の出射
が開始される（ステップＳ２２）。そして、ステージ３
の（−Ｘ）方向への移動、並びに、ヘッド部５の揺動
（すなわち、第１吐出部５２ａおよび第２吐出部５２ｂ
の個別揺動）が開始される（ステップＳ２３）。このと
き、ステージ３の移動と、揺動機構要素４ａおよび揺動
機構要素４ｂの揺動との関係は予め設定されており、こ
の設定に従って制御部６（図１参照）がモータ２１、モ
ータ４１ａおよびモータ４１ｂの同期制御を行う。

【００４６】その後、第１吐出部５２ａが基板９の端部
近傍（図１における基板９の左端近傍）の吐出開始位置
に差し掛かると、第１吐出部５２ａから隔壁材料の吐出
が開始され（ステップＳ２４）、さらに第２吐出部５２
ｂが基板９上の吐出開始位置に差し掛かると、第２吐出
部５２ｂから隔壁材料の吐出が開始される（ステップＳ
２５）。これらの吐出開始は同時に行われてもよいが、
上述のように順次行うことにより、全ての隔壁の始端を
基板９上の吐出開始位置に一致させることが実現され
る。

【００４７】第１吐出部５２ａおよび第２吐出部５２ｂ
の揺動は、図１１に示すように第１吐出部５２ａにより
形成される複数の隔壁９２ａのそれぞれが、第２吐出部
５２ｂにより形成される複数の隔壁９２ｂのそれぞれに
干渉することなく隣接し、かつ、Ｘ方向（基板９に対す
るヘッド部５の相対的移動方向）に関して対称となるよ
うに制御される。すなわち、第１吐出部５２ａの吐出口
７１１ａと第２吐出部５２ｂの吐出口７１１ｂとの間の
距離をＬ１とした場合、第２吐出部５２ｂは距離Ｌ１に
対応する揺動周期だけ遅れるとともに第１吐出部５２ａ
とは対称に（単振動の場合には１８０°位相が遅れるこ
とと同等）揺動する。

【００４８】また、光照射部５３は隔壁９２ａおよび隔
壁９２ｂの双方に対して紫外線を順次照射し、両隔壁９
２ａ，９２ｂを一括して硬化させる。これにより、第１
の実施の形態と同様にアスペクト比の高い隔壁が形成さ
れる。

【００４９】隔壁の形成が行われつつ第１吐出部５２ａ
が基板９のもう一方の端部近傍（図１における基板９の
右端近傍）の吐出停止位置に差し掛かると、第１吐出部
５２ａからの隔壁材料の吐出が停止され（ステップＳ２
６）、さらに第２吐出部５２ｂが基板９上の吐出停止位
置に差し掛かると、第２吐出部５２ｂからの隔壁材料の
吐出が停止される（ステップＳ２７）。これらの吐出停
止も同時に行われてよいが、順次行うことにより全ての
隔壁の終端を基板９上の吐出停止位置に一致させること
が実現される。

【００５０】吐出が停止すると、ステージ３の移動およ
びヘッド部５の揺動（すなわち、第１吐出部５２ａおよ
び第２吐出部５２ｂの揺動）が停止し（ステップＳ２
８）、紫外線の出射も停止される（ステップＳ２９）。

【００５１】以上のように、第２の実施の形態に係る隔
壁形成装置では、ステージ３の１回の移動により（すな
わち、ヘッド部５が基板９に対して相対的に１回移動す
ることにより）、ヘッド部５が走査する領域に必要な全
ての波形の隔壁を形成することができる。これにより、
非発光領域を縮小することができる隔壁を短時間で形成
することが実現される。

【００５２】＜３． 第３の実施の形態＞図１２は第３
の実施の形態に係る隔壁形成装置において、吐出部５２
が基板９に隔壁材料を吐出する様子を示す平面図であ
る。第３の実施の形態に係る隔壁形成装置では、吐出部
５２が２列に並ぶ第１吐出口群７１ａおよび第２吐出口
群７１ｂを有するという点で相違する。

【００５３】第１吐出口群７１ａは第２の実施の形態に
おける第１吐出部５２ａの一群の吐出口７１１ａと同様
の役割を果たし、第２吐出口群７１ｂは第２の実施の形
態における第２吐出部５２ｂの一群の吐出口７１１ｂと
同様の役割を果たす（図１２において吐出口に上記符号
を付している。）。すなわち、第３の実施の形態におけ
る吐出部５２は第２の実施の形態における第１吐出部５
２ａおよび第２吐出部５２ｂを一体としたものとなって
いる。また、隔壁形成装置の動作も吐出部５２が１つで
あるという点を除いて図１０と同様であり、形成される
隔壁は光照射部５３からの紫外線により一括して硬化さ
れる。

【００５４】図１２に示す吐出部５２では、第１吐出口
群７１ａと第２吐出口群７１ｂとは同様の揺動を同時に
行うこととなる。したがって、図１２に示すように揺動
の中心から１／４周期移動するごとに吐出口が基板９上
に描く第１ないし第４軌跡９２１〜９２４を考えた場
合、第１軌跡９２１と第２軌跡９２２とは第１軌跡９２
１の終点を中心にＹ方向（揺動方向）に関して対称とさ
れ、第２軌跡９２２と第３軌跡９２３とは第２軌跡９２
２の終点を中心に点対称とされ、第３軌跡９２３と第４
軌跡９２４とは第３軌跡９２３の終点を中心にＹ方向に
関して対称とされ、第４軌跡９２４と次の周期の第１軌
跡９２１とは第４軌跡９２４の終点を中心に点対称とさ
れる。さらに、第１吐出口群７１ａと第２吐出口群７１
ｂとの間の距離Ｌ２は吐出部５２が整数倍の周期と半周
期との和だけ揺動する間に吐出部５２が移動する距離に
ほぼ等しくされる。

【００５５】これにより、第１吐出口群７１ａにより形
成される複数の隔壁９２ａのそれぞれが、第２吐出口群
７１ｂにより形成される複数の隔壁９２ｂのそれぞれに
隣接し、かつ、Ｘ方向（基板９に対するヘッド部５の相
対的移動方向）に関して対称となる。なお、隔壁９２ａ
と隔壁９２ｂとはＸ方向に関して厳密に対称とされる必
要はないことから、上述の軌跡の条件および距離Ｌ２の
条件は緩やかに満たされるのみで足りる。

【００５６】以上のように、第３の実施の形態に係る隔
壁形成装置では、１つの吐出部５２のみを用いてステー
ジ３の１回の移動により（すなわち、ヘッド部５が基板
９に対して相対的に１回移動することにより）、ヘッド
部５が走査する領域に必要な全ての波形の隔壁を形成す
ることができる。これにより、隔壁形成装置の製造コス
トの削減を図りつつ、非発光領域を縮小することができ
る隔壁を短時間で形成することが実現される。

【００５７】＜４． 第４の実施の形態＞図１３は第４
の実施の形態に係る隔壁形成装置の吐出部５２の先端を
示す図である。なお、装置の他の構成は第１の実施の形
態と同様であり、装置の動作は図６におけるステップＳ
１１〜Ｓ１８と同様である。

【００５８】第４の実施の形態に係る隔壁形成装置で
は、吐出部５２の先端に第１ノズル５２７ａと第２ノズ
ル５２７ｂとが交互に形成されており、第１ノズル５２
７ａの先端に第１吐出口７１１ａが形成され、第２ノズ
ル５２７ｂの先端に第２吐出口７１１ｂが形成される。
各ノズルはＰＺＴ等のピエゾ素子により形成されてお
り、各ノズルの側面には１対の電極５２８が形成され
る。

【００５９】一群の第１ノズル５２７ａ（以下、「第１
ノズル群」という。）のそれぞれには制御部６（図１参
照）により同様の電圧が電極間に付与され、第１ノズル
群がＹ方向（すなわち、基板９に対してヘッド部５が相
対的に移動する方向に垂直な方向）に一様に揺動する。
一群の第２ノズル５２７ｂ（以下、「第２ノズル群」と
いう。））のそれぞれにも同様の電圧が電極間に付与さ
れ、第２ノズル群もＹ方向に一様に揺動する。これによ
り、第１ノズル群と第２ノズル群とが個別に揺動制御さ
れる。

【００６０】第１ノズル５２７ａと第２ノズル５２７ｂ
とは制御部６により互いに反対方向に揺動するように制
御される。その結果、第１ノズル群と第２ノズル群とが
個別に揺動制御されつつ複数の第１吐出口７１１ａおよ
び複数の第２吐出口７１１ｂから隔壁材料が基板９に向
けて吐出されることにより、Ｘ方向に移動する基板９上
に図８に例示するように隔壁が形成される。すなわち、
第１ノズル群により形成される複数の隔壁のそれぞれ
が、第２ノズル群により形成される複数の隔壁のそれぞ
れに隣接し、かつ、Ｘ方向に関して対称とされる。

【００６１】以上のように、第４の実施の形態に係る隔
壁形成装置では、１つの吐出口が形成された微小なノズ
ルを揺動させることにより、１つの吐出部５２のみを用
いてステージ３の１回の移動により（すなわち、ヘッド
部５が基板９に対して相対的に１回移動することによ
り）、ヘッド部５が走査する領域に必要な全ての波形の
隔壁を形成することができる。これにより、隔壁形成装
置の小型化を図りつつ非発光領域を縮小することができ
る隔壁を短時間で形成することが実現される。

【００６２】なお、各ノズルの揺動は独立に制御するこ
とも可能であることから、第１ノズル群および第２ノズ
ル群がＹ方向に関して直線状に設けられる必要はない。
もちろん、第１ノズル群と第２ノズル群とをＹ方向（揺
動方向）に一直線状に設けることにより、隔壁材料の吐
出制御を各ノズルに対して独立に行うことなく全ての隔
壁の始端と終端とを一致させることができる。

【００６３】＜５． 変形例＞以上、本発明の実施の形
態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に
限定されるものではなく、様々な変形が可能である。

【００６４】隔壁形成装置はプラズマ表示装置に用いら
れるパネルの製造のみならず、有機ＥＬ表示装置等の他
の平面表示装置（ＦＰＤ）に用いられる隔壁を有するパ
ネルの製造に利用することができ、これにより平面表示
装置の輝度を向上することができる。なお、基板９もガ
ラス基板には限定されない。

【００６５】上記実施の形態では、ステージ３が移動す
ることによりヘッド部５が基板９に対して相対的に移動
するが、ステージ３が固定され、ヘッド部５が移動して
もよい。また、吐出部の幅は基板９を横切る長さ以下で
あってもよく、この場合、吐出部の基板９に対する移動
方向に垂直な方向（図１におけるＹ方向）に吐出部が移
動して他の領域に対して繰り返し隔壁材料の吐出が行わ
れる。

【００６６】さらに、ヘッド部５の基板９に対する移動
方向は一方向に限定されるものではなく、隔壁材料を吐
出しながら往復移動が行われてもよい。この場合、例え
ば、吐出部５２の両側に光照射部５３を配置して移動方
向の後方の光照射部５３のみが点灯されたり、あるい
は、移動方向に応じてヘッド部５の回転が行われる。

【００６７】また、吐出部の揺動も基板９に対して相対
的に行われてよい。例えば、第１の実施の形態や第３の
実施の形態においてヘッド部５を移動させながらステー
ジ３が揺動してもよい。

【００６８】図８に示すパネル９０では表示装置の組立
において他のパネルと封着される際の排気を速やかに行
うために隔壁９２が互いに離れているが、図１４に示す
ように互いに隣接する隔壁９２ａ，９２ｂが接してもよ
い。

【００６９】上記実施の形態の説明に用いた図ではサイ
ンカーブ状の隔壁を例示したが、隔壁により擬似的な格
子模様が形成されるのであるならば、他の形状（例え
ば、半周期が台形、三角形等の折線状）であってもよ
く、隣接する隔壁同士が隔壁の伸びる方向に対して完全
に対称である必要もない。図１５は、隔壁がサインカー
ブとなっている場合に、隔壁９２ａに対して隔壁９２ｂ
を僅かに隔壁の形成方向にずらすことにより、意図的に
互いに隣接する隔壁９２ａと隔壁９２ｂとの間に確実に
隙間が設けられる様子を例示する図である。

【００７０】上記実施の形態では、紫外線により吐出直
後の基板９上の隔壁を硬化させているが、隔壁の硬化は
紫外線や他の種類の光によるものに限定されず、例え
ば、隔壁に熱、酸素ガス、多湿ガス等を付与することに
より硬化が行われてもよい。

【００７１】第４の実施の形態では、ピエゾ素子により
ノズルを揺動させるようにしているが、ノズルは他の種
類の電歪材料により揺動してもよく、バイメタル等のよ
うに熱により変形する材料に電流を流して抵抗熱と放熱
とを繰り返すことによりノズルが揺動してもよい。さら
には、磁歪材料がノズルに用いられてもよい。

【００７２】吐出口の形状も適宜変更されてよく、例え
ば、吐出口の形状が楕円、三角形、多角形等であっても
よい。

【００７３】

【発明の効果】請求項１の発明では、基板上に周期的な
波形の隔壁を形成することができる。

【００７４】請求項２ないし１１の発明では、平面表示
装置の非発光領域を抑えることにより、表面表示装置の
輝度を向上することができる。

【００７５】また、請求項３、並びに、請求項７ないし
９の発明では、隔壁を短時間で形成することができる。

【００７６】また、請求項４および１０の発明では、基
板に付着する部位の長さに対する高さの比が大きい隔壁
を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係る隔壁形成装置の概略構
成を示す図である。

【図２】吐出部の底面図である。

【図３】基板上に隔壁が形成される様子を示す側面図で
ある。

【図４】基板上に隔壁が形成される様子を示す平面図で
ある。

【図５】図４中に示す矢印Ａ−Ａの位置での基板の断面
を示す図である。

【図６】隔壁形成装置の動作の流れを示す図である。

【図７】２回目のステージの移動により隔壁が形成され
る様子を示す平面図である。

【図８】パネルを示す図である。

【図９】第２の実施の形態に係る隔壁形成装置の揺動機
構およびヘッド部を示す図である。

【図１０】隔壁形成装置の動作の流れを示す図である。

【図１１】隔壁が形成される様子を示す平面図である。

【図１２】第３の実施の形態における吐出部が基板に隔
壁材料を吐出する様子を示す平面図である。

【図１３】第４の実施の形態に係る隔壁形成装置の吐出
部の先端を示す図である。

【図１４】隔壁の他の様子を示す図である。

【図１５】隔壁の他の様子を示す図である。

【符号の説明】

１ 隔壁形成装置 ２ 移動機構 ４ 揺動機構 ４ａ，４ｂ 揺動機構要素 ６ 制御部 ９ 基板 ５２，５２ａ，５２ｂ 吐出部 ５３ 光照射部 ７１ 吐出口群 ７１ａ 第１吐出口群 ７１ｂ 第２吐出口群 ９０ パネル ９２，９２ａ，９２ｂ 隔壁 ５２７ａ 第１ノズル ５２７ｂ 第２ノズル ５２８ 電極 ７１１ａ 第１吐出口 ７１１ｂ 第２吐出口 Ｓ１１〜Ｓ１９，Ｓ２２〜Ｓ２９ ステップ

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面表示装置用の基板上に隔壁を形成す
   る隔壁形成方法であって、 基板の主面に沿う第１の方向へと吐出口群を前記基板に
   対して相対的に移動させつつ前記吐出口群から隔壁材料
   の吐出を開始する吐出開始工程と、 前記吐出口群からの隔壁材料の吐出を停止する吐出停止
   工程と、を有し、 前記吐出開始工程から前記吐出停止工程までの間に、前
   記第１の方向に垂直かつ前記主面に平行な第２の方向に
   前記吐出口群が前記基板に対して相対的に揺動すること
   を特徴とする隔壁形成方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の隔壁形成方法であっ
   て、 前記吐出開始工程および前記吐出停止工程を繰り返す繰
   返工程をさらに有し、 １回目の前記吐出開始工程および前記吐出停止工程によ
   り前記基板上に形成された複数の第１隔壁のそれぞれ
   と、２回目の前記吐出開始工程および前記吐出停止工程
   により前記基板上に形成された複数の第２隔壁のそれぞ
   れとが、互いに隣接するとともに前記第１の方向に関し
   てほぼ対称であることを特徴とする隔壁形成方法。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の隔壁形成方法であっ
   て、 もう１つの吐出口群を前記吐出口群とともに移動させつ
   つ前記もう１つの吐出口群から隔壁材料の吐出を開始す
   るもう１つの吐出開始工程と、 前記もう１つの吐出口群からの隔壁材料の吐出を停止す
   るもう１つの吐出停止工程と、を有し、 隔壁材料の吐出が行われている間に、前記吐出口群の揺
   動に同期しつつ前記第２の方向に前記もう１つの吐出口
   群が揺動し、 前記吐出開始工程および前記吐出停止工程により前記基
   板上に形成された複数の第１隔壁のそれぞれと、前記も
   う１つの吐出開始工程および前記もう１つの吐出停止工
   程により前記基板上に形成された複数の第２隔壁のそれ
   ぞれとが、互いに隣接するとともに前記第１の方向に関
   してほぼ対称であることを特徴とする隔壁形成方法。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の隔
   壁形成方法であって、 前記吐出開始工程から前記吐出停止工程までの間におい
   て、前記基板上に吐出された隔壁材料を順次硬化させる
   工程をさらに有することを特徴とする隔壁形成方法。
5. 【請求項５】 平面表示装置用の基板上に隔壁を形成す
   る隔壁形成装置であって、 基板に向けて隔壁材料を吐出する吐出口群が形成された
   吐出部と、 基板の主面に沿う第１の方向へと前記吐出部を前記基板
   に対して相対的に移動させる移動機構と、 前記第１の方向に垂直かつ前記主面に平行な第２の方向
   に、前記吐出部を前記基板に対して相対的に揺動させる
   揺動機構と、を備えることを特徴とする隔壁形成装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の隔壁形成装置であっ
   て、 前記移動機構および前記揺動機構の動作を同期させる制
   御部をさらに備え、 前記吐出部の１回目の移動により複数の第１隔壁が形成
   され、前記吐出部の２回目の移動により複数の第２隔壁
   が形成され、 前記制御部の制御により、前記複数の第２隔壁のそれぞ
   れが、前記複数の第１隔壁のぞれぞれに隣接するととも
   に前記第１の方向に関してほぼ対称に形成されることを
   特徴とする隔壁形成装置。
7. 【請求項７】 請求項５に記載の隔壁形成装置であっ
   て、 前記吐出部に対して前記第１の方向に位置し、前記移動
   機構により前記吐出部とともに移動し、前記揺動機構に
   より揺動するもう１つの吐出部と、 前記移動機構および前記揺動機構の動作を同期させる制
   御部と、をさらに備え、 前記吐出部の揺動と同期して前記もう１つの吐出部が揺
   動し、前記吐出部の移動により複数の第１隔壁が形成さ
   れ、前記もう１つの吐出部の移動により複数の第２隔壁
   が形成され、 前記制御部の制御により、前記複数の第２隔壁のそれぞ
   れが、前記複数の第１隔壁のぞれぞれに隣接するととも
   に前記第１の方向に関してほぼ対称に形成されることを
   特徴とする隔壁形成装置。
8. 【請求項８】 請求項５に記載の隔壁形成装置であっ
   て、 前記移動機構および前記揺動機構の動作を同期させる制
   御部をさらに備え、 前記吐出口群が、前記第２の方向に関して所定のピッチ
   にて配列された第１吐出口群と、前記第１吐出口群に対
   して半ピッチずれて前記第２の方向に所定のピッチにて
   配列された第２吐出口群とを含み、 前記第１吐出口群と前記第２吐出口群との間の距離が、
   前記吐出部が整数倍の周期と半周期との和だけ揺動する
   間に前記吐出部が移動する距離にほぼ等しいことを特徴
   とする隔壁形成装置。
9. 【請求項９】 平面表示装置用の基板上に隔壁を形成す
   る隔壁形成装置であって、 基板に向けて隔壁材料を吐出する第１ノズル群および第
   ２ノズル群を有する吐出部と、 基板の主面に沿う第１の方向に前記吐出部を前記基板に
   対して相対的に移動させる移動機構と、 前記第１の方向に垂直かつ前記主面に平行な第２の方向
   に、前記第１ノズル群と前記第２ノズル群とを個別に揺
   動させる揺動機構と、を備えることを特徴とする隔壁形
   成装置。
10. 【請求項１０】 請求項５ないし９のいずれかに記載の
    隔壁形成装置であって、 前記吐出部により形成された隔壁上を前記吐出部ととも
    に移動し、前記隔壁を順次硬化させる硬化部をさらに備
    えることを特徴とする隔壁形成装置。
11. 【請求項１１】 平面表示装置用のパネルであって、 基板と、 前記基板上において吐出口群から吐出された隔壁材料に
    より形成された複数の隔壁と、を備え、 前記複数の隔壁のそれぞれが所定の方向に伸びる周期的
    な波形となっており、互いに隣接する隔壁が前記所定の
    方向に関してほぼ対称であることを特徴とするパネル。