CN1751886A - 液体喷头的制造方法和制造装置以及液体喷头 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种制造液体喷头的装置。该装置包括：第一模具，所述第一模具包括以预定间距平行排列的突起条纹部分和形成在相邻突起条纹部分之间的间隙部分，其中所述第一模具适于通过将所述突起条纹部分挤压到金属板来形成所述沟槽状凹入部分；和第二模具，用于支撑所述第一模具的所述突起条纹部分所挤压到的所述金属板。所述突起条纹部分中的每一个都包括：内壁形成部分，用于形成相应沟槽状凹入部分在相应沟槽状凹入部分的深度方向上延伸的内壁；连接面部分；和倾斜面部分，所述倾斜面部分经由所述连接面部分与所述内壁形成部分相连，用于将相应沟槽状凹入部分的底部形成为大致V形。

Description

液体喷头的制造方法和制造装置以及液体喷头

技术领域

本发明涉及液体喷头的制造方法和制造装置以及液体喷头。

背景技术

已知这样的液体喷头，每种都用于从喷嘴口喷射作为由各种液体构成其对象的液滴的受压液体，并且作为其中的代表性的一种，可以提出喷墨式记录头。因此，将喷墨式记录头作为示例来说明背景技术。

喷墨式记录头(以后称为“记录头”)设有多组从公共墨水腔经由与喷嘴口对应的压力产生腔到达这些喷嘴口的流动通道。此外，考虑到小尺寸成形的要求，必须以对应于记录密度的精细间距来形成各个压力产生腔。因此，用于分隔相邻压力产生腔的分隔壁部分的壁厚极薄。此外，为了高效地利用压力产生腔内的墨水压力来传输墨滴，与压力产生腔和公共墨水腔连通的墨水供应端口的流动通道宽度比压力产生腔的流动通道宽度还要更窄。

此外，通过使金属制成的压力产生腔形成板受到模压来形成压力产生腔。

此外，考虑到可加工性等的要求，用金属板制造形成有喷嘴口的喷嘴板。此外，用于改变压力产生腔容积的隔膜部分用弹性板形成。该弹性板由将树脂膜粘结到金属制成的支撑板上的双层结构构成，并通过去除支撑板中与压力产生腔相对应的一部分来制造。

专利文献1：JP-A-2004-98166

同时，根据背景技术的记录头，为了形成包括在其中的压力产生腔，使金属制成的压力产生腔形成板受到作为锻造的压制。在压制中，当模具的形状不适合于所要加工部分的形状时，加工表面变差。例如，在通过将模具压到金属材料板而形成用于形成压力产生腔的沟槽状凹入部分的情况下，当在模具的一部分处有成角度的部分时，该成角度的部分进入与金属材料板激烈摩擦的状态，由此该金属材料板的表面部分进入被切除的状态，并且会担心精加工沟槽状凹入部分内面的质量变差。

另一方面，根据背景技术的记录头，分隔壁部分的壁厚极薄，由此难以通过精确地提供压力产生腔的凹入形状来均一地设定压力产生腔等的液体容纳容积。凹入形状一般由经常是细长的形状构成，分隔壁部分的长度被该量延长，由此从均一地确保液体容纳容积的角度，重要的是在其整个长度上精确地制造分隔壁部分。特别是，为了提供合适形状的凹入形状，在制造阶段充分确保分隔壁部分在凹入形状之间的高度被认为是重要的。

发明内容

为了解决该问题做出了本发明，其目的是提供一种制造液体喷头的装置和方法以及一种液体喷头，其能够光滑地精加工用于形成压力产生腔的沟槽状凹入部分的内面。

为了实现上述目的，根据本发明的制造液体喷头的装置通过这样一种制造液体喷头的装置来构成其要旨，所述液体喷头包括：由金属制成的压力产生腔形成板，其排列有形成压力产生腔的沟槽状凹入部分并在所述沟槽状凹入部分的一端处形成有在板厚方向上穿透的连通端口；喷嘴板，其在与所述连通端口相对应的位置处钻有喷嘴口；和由金属制成并用于密封所述沟槽状凹入部分的开口面的密封板，并且分别将所述密封板结合到所述压力产生腔形成板的所述沟槽状凹入部分一侧以及将所述喷嘴板结合到其相反侧上，其中所述装置包括：第一模具，所述第一模具至少设有以预定间距平行排列的突起条纹部分和形成在相邻突起条纹部分之间的间隙部分，用于通过将所述突起条纹部分挤压到金属材料板来形成所述沟槽状凹入部分；和第二模具，用于支撑用所述第一模具所挤压的所述金属材料板，所述突起部分设有用于在沟槽状凹入部分的深度方向上形成内壁的内壁形成部分、和通过将沟槽状凹入部分的底部凹入成与内壁形成部分相连的大致V形而形成的倾斜面部分，并设有用于连接内壁形成部分和倾斜面部分的连接面部分。

此外，为了实现上述目的，根据本发明的制造液体喷头的方法通过这样一种制造液体喷头的方法来构成其要旨，所述液体喷头包括：由金属制成的压力产生腔形成板，其排列有用于构成压力产生腔的沟槽状凹入部分并在每个沟槽状凹入部分的一端处形成有在板厚方向上穿透的连通端口；喷嘴板，其在与所述连通端口相对应的位置处钻有喷嘴口；和由金属制成并用于密封所述沟槽状凹入部分的开口面的密封板，并且分别将所述密封板结合到所述压力产生腔形成板的所述沟槽状凹入部分一侧以及将所述喷嘴板结合到其相反侧上，其中准备：第一模具至少设有以预定间距平行排列的突起条纹部分和形成在相邻突起条纹部分之间的间隙部分，用于通过将所述突起条纹部分挤压到金属材料板来形成所述沟槽状凹入部分；以及用于支撑用所述第一模具所挤压的所述金属材料板的第二模具，并且所述突起条纹部分设有用于在沟槽状凹入部分的深度方向上形成内壁的内壁形成部分、和用于将沟槽状凹入部分的底部凹入形成为与内壁形成部分相连的大致V形的倾斜面部分，并设有用于连接内壁形成部分和倾斜面部分的连接面部分，所述突起条纹部分挤压到金属材料板。

此外，为了实现上述目的，根据本发明的液体喷头通过这样一种液体喷头来构成其要旨，所述液体喷头包括：由金属制成的压力产生腔形成板，其排列有用于构成压力产生腔的沟槽状凹入部分并在所述沟槽状凹入部分的一端处形成有在板厚方向上穿透的连通端口；喷嘴板，其在与所述连通端口相对应的位置处钻有喷嘴口；和由金属制成并用于密封所述沟槽状凹入部分的开口面的密封板，并且分别将所述密封板结合到所述压力产生腔形成板的所述沟槽状凹入部分一侧以及将所述喷嘴板结合到其相反侧上，其中沟槽状凹入部分设有在深度方向上形成的内壁、凹入形成大致V形的底部、以及使所述内壁和所述底部以光滑面状态相连的连续面。

就是说，根据本发明的制造液体喷头的装置，突起条纹部分设有用于在沟槽状凹入部分的深度方向上形成内壁的内壁形成部分、和用于将沟槽状凹入部分的底部凹入形成为与内壁形成部分相连的大致V形的倾斜面部分，并设有用于连接内壁形成部分和倾斜面部分的连接面部分。因此，当将突起条纹部分挤压到金属材料板时，大量的金属材料被位于前端部分处的倾斜面部分挤压分开，但是在连接面部分处，被挤压分开的金属的变形量减小。因此，金属材料在连接面部分处承受的压缩力、剪切力等减小，并且不会发生切掉金属材料的现象。通过这样的金属材料的变形现象，在沟槽状凹入部分的内面处不会形成异常凹入和突起或者在挤压突起条纹部分的方向上的刮痕。此外，通过连接面部分平滑地实现了金属材料的流动性，从而促使材料移动到形成在各个突起条纹部分之间的间隙部分，并且形成在间隙部分处的分隔壁部分可以形成足够的高度。此外，不会由于安装连接面部分而大大减小沟槽状凹入部分容积，从而不会妨碍液体喷头的液体喷射量。

在根据本发明的制造液体喷头的装置中，在与突起条纹部分的纵向正交的假想截面上，当由内壁形成部分的延伸面和倾斜面部分的延伸面彼此相交处的相交部分、连接面部分的内壁形成部分侧端部、以及连接面部分的倾斜面部分侧端部所形成的三角形是底边由连接面部分构成的大致等腰三角形构成时，可以使金属材料在连接面部分处承受的压缩力、剪切力等最小化。另一方面，当等腰三角形的模式变化时，构成底边的连接面部分被移动到直立侧或移动到斜侧。当移动到直立侧时，形成减小倾斜面部分和连接面部分相交角度的角部，并构成上述异常内面。此外，当移动到斜侧时，形成减小内壁形成部分和连接面部分相交角度的角部，并构成上述异常内面。因此，通过保持基本等腰三角形，可以在该处形成相交角度不过分减小的角部，从而解决了异常内面的问题。

在本发明的制造液体喷头的装置中，当由挤压突起条纹部分的方向和连接面部分所成的夹角为8至40度时，可以适当地设定连接面部分的倾斜状态，并可以可靠地防止出现异常内面。在本发明的制造液体喷头的装置中，当由突起条纹部分的挤压方向和倾斜面部分所成的夹角为40至50度时，通过将突起条纹部分挤压到金属材料板而使得金属材料以优异的流动性变形。此外，倾斜面部分和连接面部分的相交角度不会变得异常地小，从而不会出现由角度导致的不利效果。

在本发明的制造液体喷头的装置中，当连接面部分的倾斜面部分侧端部和内壁形成部分之间在突起条纹部分的宽度方向上的尺寸相对于突起条纹部分的宽度尺寸的比例为0.05至0.15时，可以使倾斜面部分的长度合适，并且可以控制当大量金属材料被位于前端部分处的倾斜面部分挤压分开时的金属移动量相对于连接面部分处的金属变形量不会过大或过小。由此，解决了异常内面等的问题。

在本发明的制造液体喷头的装置中，当连接面部分的倾斜面部分侧端部和内壁形成部分之间在突起条纹部分的宽度方向上的尺寸相对于间隙部分的宽度尺寸的比例为0.06至0.45时，可以使倾斜面部分的长度合适，并且可以控制当大量金属材料被位于前端部分处的倾斜面部分挤压分开时的金属移动量相对于连接面部分处的金属变形量不会过大或过小。由此，解决了异常内面等的问题。

在本发明的制造液体喷头的装置中，当连接面部分是平面时，使得连接面部分与倾斜面部分和内壁形成部分之间的边界部分容易确定，并且可以精确设定连接面部分的尺寸和倾斜度。在本发明的制造液体喷头的装置中，当连接面部分是曲面时，使得曲面与倾斜面部分和内壁形成部分之间的边界部分光滑连续，从而可以使金属材料的流动性平滑。此外，可以使沟槽状凹入部分容积的减小最小化。

此外，根据本发明的制造液体喷头的方法，突起条纹部分设有用于在沟槽状凹入部分的深度方向上形成内壁的内壁形成部分、和用于将沟槽状凹入部分的底部凹入形成为与内壁形成部分相连的大致V形的倾斜面部分，并设有用于连接内壁形成部分和倾斜面部分的连接面部分。因此，当将突起条纹部分挤压到金属材料板时，尽管大量的金属材料被位于前端部分处的倾斜面部分挤压分开，但是在连接面部分处，被挤压分开的金属的变形量减小。因此，金属材料在连接面部分处承受的压缩力、剪切力等减小，并且不会出现切掉金属材料的现象。通过这样的金属材料的变形现象，在沟槽状凹入部分的内面处不会形成异常凹入和突起或者在挤压突起条纹部分的方向上的刮痕。此外，通过连接面部分平滑地实现了金属材料的流动性，从而促使材料移动到形成在各个突起条纹部分之间的间隙部分，并且形成在间隙部分处的分隔壁部分可以形成足够的高度。此外，不会由于安装连接面部分而大大减小沟槽状凹入部分的容积，从而不会妨碍液体喷头的液体喷射量。

此外，根据本发明的液体喷头，沟槽状凹入部分设有在深度方向上形成的内壁、通过凹入成大致V形而形成的底部、以及内壁和底部在光滑面状态下相连的连续面。因此，形成在各个沟槽状凹入部分之间的分隔壁部分的根部的刚度由于连续面而增大，从而可以避免其中压力产生腔中的墨水压力变化影响另一个压力产生腔的所谓串扰。此外，因为压力产生腔的内面是光滑的，所以混入墨水中的气泡不会被内面拦住，这对于排出气泡是优选的。

本公开涉及日本专利申请No.2004-274623(2004年9月22日递交)中所包含的主题，其整个内容通过引用而被明确包括于此。

附图说明

图1是喷墨式记录头的分解立体图。

图2是喷墨式记录头的剖视图。

图3(a)和图3(b)是用于解释振动器单元的视图。

图4是压力产生腔形成板的平面图。

图5图示了压力产生腔形成板的说明图，图5(a)是放大图4中部分X的视图，图5(b)是沿图5(a)的线A-A所取的剖视图，而图5(c)是沿图5(a)的线B-B所取的剖视图。

图6是弹性板的平面图。

图7图示了弹性板的说明图，图7(a)是放大图6中部分Y的视图，图7(b)是沿图7(a)的线C-C所取的剖视图。

图8(a)和8(b)是用于解释在形成沟槽状凹入部分时使用的阳模的视图。

图9(a)和9(b)是用于解释在形成沟槽状凹入部分时使用的阴模的视图。

图10(a)到图10(c)是用于解释沟槽状凹入部分的形成的示意图。

图11是示出模具和材料关系的立体图。

图12(A)到图12(E)图示了示出进行初步成形的状态的立体图和剖视图。

图13(A)到图13(D)图示了示出进行精整成形的状态的立体图和剖视图。

图14(A)、图14(A1)和图14(A2)图示了示出条纹状突起的凹入部分形状的侧视图和剖视图。

图15是示出条纹状突起的凹入部分的各个部分的尺寸的侧视图。

图16(A)和图16(B)是示出条纹状突起的凹入部分的改进示例的侧视图。

图17(A)到图17(F)图示了示出条纹状突起的凹入部分的其他改进示例的侧视图。

图18(A)和图18(B)图示了示出精整模具的凹入部分的改进示例的侧视图。

图19是示出精整模具的凹入部分的改进示例的侧视图。

图20(A)到图20(C)图示了示出结合压力产生腔形成板和喷嘴板的一部分的剖视图和局部平面图。

图21是示出在精整成形中精整挤压的状态的剖视图。

图22是示出恰在精整成形之前的状态的剖视图。

图23(A)和图23(B)图示了示出在精整成形之后沟槽状凹入部分的内面的剖视图。

图24是放大示出突起条纹部分形状的剖视图。

图25是进一步放大示出突起条纹部分形状的剖视图。

图26是示出形成连接面部分的方式的剖视图。

图27是当连接面部分由曲面构成时的局部剖视图。

图28是用于解释改进示例的喷墨式记录头的剖视图。

具体实施方式

以下将说明根据本发明实施液体喷头的制造装置和制造方法以及液体喷头的最佳方式。

如以上以及举例说明的实施例中所述，通过将各种液体作为对象可以使构成根据本发明的制造对象的液体喷头起作用，作为代表性情况，示出了将液体喷头应用于喷墨式记录头的示例。

[实施例1]

如图1和图2所示，记录头1大致由壳体2、包含在壳体2内部的振动器单元3、结合到壳体2的前端面的流动通道单元4、布置在壳体2与前端面相对一侧的附装面上的连接板5、附装到壳体2的附装面这一侧的供应针单元6等构成。

如图3所示，振动器单元3大致由压电振动器组7、与压电振动器组7相结合的固定板8和用于向压电振动器组7提供驱动信号的柔性电缆9。

压电振动器组7设有形成为行状的多个压电振动器10...。各个压电振动器10...是一种压力产生元件并且还是一种机电转换元件。各个压电振动器10...由布置在行两端的一对伪振动器10a、10a和排列在伪振动器10a、10a之间的多个驱动振动器10b...构成。此外，各个驱动振动器10b被分割成具有极细的宽度(例如大约50μm到100μm)的梳齿状，并提供有180个。此外，伪振动器10a具有比驱动振动器10b足够宽的宽度，并且具有保护驱动振动器10b免受撞击等的保护功能以及将振动器单元3定位在预定位置处的引导功能。

按照各个压电振动器10...，通过将其固定端部分结合到固定板8上，使其自由端部分从固定板8的前端面向外突起到一侧。就是说，各个压电振动器10...以所谓悬臂的状态被支撑在固定板8上。此外，各个压电振动器10...的自由端部分由交替层叠的压电构件和内电极构成，并且通过在彼此相对的电极之间施加电势差而在元件的纵向上延伸和收缩。

柔性电缆9在压电振动器10的固定端部分中构成与固定板8相对一侧的侧面处电连接到压电振动器10。此外，柔性电缆9的一个表面安装有控制IC11，用于控制驱动压电振动器10。此外，用于支撑各个压电振动器10...的固定板8是板状构件，其具有能够承受来自压电振动器10的反作用力的刚度，为此优选使用不锈钢板等的金属板。

壳体2是由例如环氧类树脂等的热塑性树脂模制成型的块状构件。这里，由热塑性树脂模制成型壳体2的原因在于，热塑性树脂具有高于普通树脂的机械强度，其线性膨胀系数小于普通树脂，并且随环境温度变化的形变更小。此外，壳体2的内部形成有能够容纳振动器单元3的容纳用中空部分12和构成墨水流动通道的一部分的墨水供应通道13。此外，壳体2的前端面由用于构成公共墨水腔(池)14的前端凹入部分15形成。

容纳用中空部分12是具有能容纳振动器单元3的尺寸的中空部分。在容纳用中空部分12的前端侧上的一部分处，壳体的内壁部分地突起指向侧面方向，并且该突起部分的上表面用作与固定板接触的面。此外，振动器单元3在中空部分12从其开口朝向各个压电振动器10的前端的状态下容纳在容纳用中空部分12中。在容纳状态下，固定板8的前端面以与接触固定板的面进行接触的状态粘结到该面。

通过使壳体2的前端面部分地凹入来制造前端凹入部分15。本实施例的前端凹入部分15是在容纳用中空部分12的左右外侧上形成的基本为梯形的凹入部分，并被形成为使得梯形的下底边位于容纳用中空部分12这一侧上。

墨水供应通道13被形成为沿着壳体2的高度方向穿透壳体2，并且其前端与墨水存储腔14连通，如后所述。此外，墨水供应通道13在附装面这一侧上的端部被形成在从附装面突起的连接端口16中。

连接板5是形成有向记录头1提供各种信号的电线的布线板，并且附装有能够连接信号电缆的连接器17。此外，连接板5被布置在壳体2的附装面上，并且通过焊接等与柔性电缆9的电线相连接。此外，来自控制装置(未示出)的信号电缆的前端插入连接器17。

供应针单元6是与墨盒(未示出)相连接的部分，并大致由针座18、墨水供应针19和过滤器20构成。

墨水供应针19是插入到墨盒中用于引入存储在墨盒中的墨水的部分。墨水供应针19的前端部分被削尖成圆锥状以便于插进墨盒中。此外，前端部分钻有多个用于连通墨水供应针19的内部和外部的墨水引入孔。此外，本实施例的记录头1可以喷射两种类型的墨水，所以记录头1提供了两个墨水供应针19。

针座18是用于安装墨水供应针19的构件，并且其表面形成有两个基座21，所述基座21用于固定地安装墨水供应针19的根部以横向对齐。此外，基座底面的大致中心处形成有在针座18的板厚方向上穿透的墨水排出端口22。此外，在针座18中的侧向上延伸有凸缘部分。

过滤器20是用来阻止墨水中的异物(如灰尘、模制成型中的毛刺等)通过的构件，并且由例如具有精细网眼的金属网构成。过滤器20粘结在形成于基座21中的过滤器支撑槽上。

此外，如图2所示，供应针单元6被布置在壳体2的附装面上。在这种布置状态下，供应针单元6的墨水排出端口22和壳体2的连接端口16经由密封件23在液密状态下连通。

接着，将解释流动通道单元4。流动通道单元4是这样构成的，即将喷嘴板31结合到压力产生腔形成板30的一个面上，并将弹性板32结合到压力产生腔形成板30的另一个面上。

如图4所示，压力产生腔形成板30是由金属制成的板状构件，此板状构件形成有沟槽状凹入部分33、连通端口34以及溢出凹入部分35。根据本实施例，压力产生腔形成板30是通过加工由镍制成的厚度为0.35mm的基板而制造的。

此处将解释选择镍作为基板的原因。第一个原因是镍的线性膨胀系数基本上等于构成喷嘴板31和弹性板32的主要部分的金属的线性膨胀系数。就是说，当构成流动通道单元4的压力产生腔形成板30、弹性板32和喷嘴板31的线性膨胀系数相等时，在加热粘结各个构件的情况下，各个构件是均一膨胀的。因此，难以产生由膨胀率的差异引起的翘曲等机械应力。结果，即使当粘结温度被设定为高温时，各个构件仍可以无妨碍地粘结。此外，即使当在操作记录头1时压电振动器10产生热量，并且流动通道单元4被热量所加热时，构成流动通道单元4的各个构件30、31和32仍均一膨胀。因此，即使当操作记录头1的加热和停止记录头1的冷却反复进行时，也难以在构成流动通道单元4的各个构件30、31和32中引起剥落等的缺陷。

第二个原因是镍具有优异的抗锈蚀性。就是说，在这种记录头1中，优选使用水性墨水，所以重要的是即使当与水长时间接触时仍不会引起锈蚀等变性。在这方面，镍类似于不锈钢，具有优异的抗锈蚀性，并且锈蚀等变性难以发生。

第三个原因是镍具有良好的延展性。就是说在制造压力产生腔形成板30时，通过塑性加工(例如压制)来进行制造压力产生腔形成板30，如后根据本实施例所述。此外，形成在压力产生腔形成板30处的沟槽状凹入部分33和连通端口34由极小的形状构成，并为此要求高尺寸精度。此外，当镍用作基板时，因为镍的延展性好，所以沟槽状凹入部分33和连通端口34即使通过塑性加工也可以以高尺寸精度来形成。

此外，只要上述各个条件，即线性膨胀系数的条件、抗锈蚀性的条件和延展性的条件得到满足，压力产生腔形成板30也可以由镍之外的金属构成。

沟槽状凹入部分33是构成压力产生腔29的沟槽状的凹入部分，并由直线形的沟槽构成，如在图5中放大所述沟槽所示。根据本实施例，在槽宽方向上排列180个宽约0.1mm、长约1.5mm并深约0.1mm的沟槽。沟槽状凹入部分33的底面宽度随着在深度方向(即深度侧)上的行进而收缩凹入成V形。将底面凹入成V形，提高了用于分隔彼此相邻压力产生腔29、29的分隔壁部分28的刚度。就是说，通过将底面凹入成V形，分隔壁部分28根部(在底面侧上的部分)的壁厚被加厚，并且分隔壁部分28的刚度被提高。此外，当分隔壁部分28的刚度提高时，来自相邻的压力产生腔29的压力变化的影响就难以起作用。就是说，来自相邻的压力产生腔29的墨水压力的变化难以传递。此外，通过将底面凹入成V形，沟槽状凹入部分33可以通过塑性加工以优异的尺寸精度来形成(以后将提到)。此外，尽管字母V的角度是由加工条件所调整的，但该角度为例如90度左右。此外，因为分隔壁部分28的前端部分的壁厚极薄，所以即使密集地形成压力产生腔29，也可以保证所需的容积。

此外，对于根据本实施例的沟槽状凹入部分33，其纵向上的两个端部在向深度侧行进时都向下朝内侧倾斜。就是说，沟槽状凹入部分在纵向上的两个端部形成为面对的形状。因为通过这样构成，所以通过塑性加工以优异的尺寸精度来形成沟槽状凹入部分33。

此外，与两端部分处的沟槽状凹入部分33、33相邻，形成有具有宽于沟槽状凹入部分33的宽度的伪凹入部分36。伪凹入部分36是沟槽状的凹入部分，用于构成与墨滴的喷射无关的伪压力产生腔。根据本实施例的伪凹入部分36由宽约0.2mm、长约1.5mm并深约0.1mm的沟槽构成。此外，伪凹入部分36的底面凹入成W形。这是为了提高分隔壁部分28的刚度，并通过塑性加工以优异的尺寸精度形成伪凹入部分36。

此外，一行33a的沟槽状凹入部分由各个沟槽状凹入部分33...和一对伪凹入部分36、36构成。根据本实施例，横向形成两行的行33a。

连通端口34形成为从沟槽状凹入部分33的一端在板厚方向上穿透的通孔。对每个沟槽状凹入部分33形成连通端口34，并且单个凹入部分行形成有180个凹入部分。根据本实施例的连通端口34，其开口形状由矩形构成，并且由第一连通端口37和第二连通端口38构成，第一连通端口37从压力产生腔形成板30的沟槽状凹入部分33这一侧形成至其在板厚方向上的中部，第二连通端口38从其与沟槽状凹入部分33相反侧的表面形成至其在板厚方向上的中部。第一连通端口37形成为有底凹入部分，构成第二连通端口38的有底凹入部分形成在该凹入部分的底部处，并且该底部呈现为在与沟槽状凹入部分33相反侧的表面处凸起的部分。第二连通端口38通过抛光等切去该凸起部分而开口。

此外，第一连通端口37和第二连通端口38的截面面积彼此不同，并且第二连通端口38的内部尺寸被设成比第一连通端口37的内部尺寸稍小。这是由于通过压制来制造连通端口34而引起的。就是说，压力产生腔形成板30通过加工厚度为0.35mm的镍板来制造，因此即使减去凹槽部分33的深度，连通端口34的长度也变得等于或者大于0.25mm。此外，连通端口34的宽度被设为小于0.1mm，因为需要使该宽度比沟槽状凹入部分33的沟槽宽度更窄。所以，在将要通过一次加工冲制连通端口34时，阳模(冲头)由于其深宽比而被弄弯。因此，根据本实施例，加工分为两次，在第一次加工中第一连通端口37形成直到板厚方向上的中部处，并且在第二次加工中形成第二连通端口38。此外，后面将解释连通端口34的加工过程。

此外，伪凹入部分36形成有伪连通端口39。与连通端口34相似，伪连通端口39由第一伪连通端口40和第二伪连通端口41构成，并且第二伪连通端口41的内部尺寸被设定为小于第一伪连通端口40的内部尺寸。

此外，虽然根据本实施例，举例说明了连通端口34和伪连通端口39的开口形状是由矩形通孔构成的，但该形状并不限于矩形。此外，该开口形状可以由圆形开口的通孔构成。

溢出凹入部分35形成用于在公共墨水池14中加工柔性部分的空间。根据本实施例，溢出凹入部分35由梯形形状的凹入部分构成，其形状与壳体2的前端凹入部分15的形状基本相同，并且其深度等于沟槽状凹入部分33的深度。

接下来，将解释弹性板32。弹性板32是一种密封板，并由将弹性膜43层叠到支撑板42上的双层结构的复合材料(本发明的一种金属材料)制造。根据本实施例，不锈钢板用作支撑板42，并且PPS(聚苯硫醚)用作弹性膜43。

如图6所示，弹性板32形成有隔膜部分44、墨水供应端口45和柔性部分46。

隔膜部分44是用来分隔压力产生腔29的一部分的部分。就是说，隔膜部分44密封沟槽状凹入部分33的开口面，并且与沟槽状凹入部分33一起分隔形成压力产生腔29。如图7(a)所示，隔膜部分44具有与沟槽状凹入部分33对应的细长形状，并对每一个沟槽状凹入部分33...都形成为一个密封区域来密封沟槽状凹入部分33。具体地说，隔膜部分44的宽度被设定为基本上等于沟槽状凹入部分33的槽宽，并且隔膜部分44的长度被设定为比沟槽状凹入部分33的长度或多或少地要短。就长度而言，根据本实施例，长度被设定为沟槽状凹入部分33的长度的大约2/3。此外，如图2所示，就形成位置而言，隔膜部分44的一端与沟槽状凹入部分33的一端(连通端口34一侧上的端部)对齐。

如图7(b)所示，通过蚀刻等方法以环形的形状去除支撑板42中与沟槽状凹入部分33对应的部分以仅仅留下弹性膜43，来制造隔膜部分44，并且在环中形成岛状部分47。岛状部分47是与压电振动器10的前端面相结合的部分。

墨水供应端口45是用来连通压力产生腔29和公共墨水腔14的孔，并且在弹性板32的板厚方向上穿透。在类似于隔膜部分44对应于沟槽状凹入部分33的位置处，也在各个沟槽状凹入部分33...处形成墨水供应端口45。如图2所示，墨水供应端口45在对应于沟槽状凹入部分33的与连通端口34相对一侧上的另一端的位置处钻孔而成。此外，墨水供应端口45的直径被设定为比沟槽状凹入部分33的槽宽小得多。根据本实施例，墨水供应端口45由23微米的小通孔构成。

用小通孔构成墨水供应端口45的原因是，在压力产生腔29和公共墨水腔14之间提供流动通道阻力。就是说，根据记录头1，通过利用向压力产生腔29内的墨水施加的压力变化来喷射墨滴。因此，为了高效地喷射墨滴，很重要的是尽可能阻止压力产生腔29内的墨水压力泄漏到公共墨水腔14的一侧。从这点考虑，根据本实施例，墨水供应端口45由小通孔构成。

此外，当如实施例中墨水供应端口45由通孔构成时，具有易于加工且获得高尺寸精度的优点。就是说，因为墨水供应端口45是通孔，所以可以通过激光加工来制造墨水供应端口45。因此，即使小直径也能够以高精度进行制造，并且操作也容易。

柔性部分46是用于分隔公共墨水腔14的一部分的部分。就是说，公共墨水腔14由柔性部分46和前端凹入部分15分隔形成。柔性部分46是基本上与前端凹入部分15的开口形状相同的梯形形状，并且通过蚀刻或类似方法来去除支撑板42的一部分而只留下弹性膜43来制造柔性部分46。

此外，构成弹性板32的支撑板42和弹性膜43并不限于示例中的这些。例如，聚酰亚胺可以被用作弹性膜43。此外，弹性板32可以由如下的金属板构成，所述金属板设有构成隔膜部分44的厚壁部分、在所述厚壁部分周围的薄壁部分以及构成柔性部分46的薄壁部分。

接着，将解释喷嘴板31。喷嘴板31是排列有喷嘴口48的金属制板状构件。根据本实施例，将不锈钢板用于此，并且多个喷嘴口48...以对应于点形成密度的间距开口。根据本实施例，通过将总共180个喷嘴口48...进行排列来构成喷嘴行，并且两行喷嘴行形成为横向排列。此外，当将喷嘴板31结合到压力产生腔形成板30的另一表面，即在与弹性板32相反一侧的表面时，各个喷嘴口48...面向相应的连通端口34。

此外，当弹性板32被结合到压力产生腔形成板30的一个表面，即其用于形成沟槽状凹入部分33的面时，通过由隔膜部分44密封沟槽状凹入部分33的开口面，来分隔形成压力产生腔29。类似地，密封伪凹入部分36的开口面，以分隔形成伪压力产生腔。此外，当喷嘴板31被结合到压力产生腔形成板30的另一表面时，喷嘴口48面向对应的连通端口34。当结合到岛状部分47的压电振动器10在该状态下被伸展或收缩时，在岛状部分47周围的弹性膜43发生形变，岛状部分47被推向沟槽状凹入部分33一侧或者在远离沟槽状凹入部分33一侧的方向上受拉。通过使弹性膜43发生形变，压力产生腔29被扩展或收缩，以向压力产生腔29内的墨水提供压力变化。

此外，当将弹性板32(即，流动通道单元4)结合到壳体2上时，柔性部分46密封前端凹入部分15。柔性部分46吸收存储在公共墨水腔14中的墨水的压力变化。就是说，弹性膜43根据所存储墨水的压力而扩展或收缩而形变。此外，溢出凹入部分35形成在扩展弹性膜43时用于扩展弹性膜43的空间。此外，溢出凹入部分35还可以通过去除柔性部分46并收缩公共墨水腔14的容积而实现墨水的存储池功能。此外，不通过凹入部分而通过穿透部分来构成溢出凹入部分35的区域，可以使该空间构成存储池。

具有上述构造的记录头1包括从墨水供应针19到公共墨水腔14的公共墨水流动通道、以及从公共墨水腔14通过压力产生腔29到达每个喷嘴口48...的单独墨水流动通道。此外，存储在墨盒中的墨水从墨水供应针19被引入，并通过公共墨水流动通道而被存储在公共墨水腔14中。存储在公共墨水腔14中的墨水通过单独墨水通道从喷嘴口48喷射出去。

例如，当压电振动器10被收缩的时候，隔膜部分44被拉向振动器单元3一侧以使压力产生腔29膨胀。通过此膨胀，压力产生腔29内部处于负压之下，由此使公共墨水腔14内的墨水通过墨水供应端口45流进每个压力产生腔29。此后，当压电振动器10被伸展的时候，隔膜部分44被推向压力产生腔形成板30一侧以使压力产生腔29收缩。通过此收缩，压力产生腔29内的墨水压力上升，并从对应的喷嘴口48喷射出墨滴。

此外，根据记录头，使压力产生腔29的底面(沟槽状凹入部分33)凹入成V形。此外，根据用来分隔相邻压力产生腔29、29的分隔壁部分28，根部的壁厚形成为比其前端部分的壁厚更厚。从而，与背景技术相比，分隔壁部分28的刚度可以增加地更大。因此，在喷射墨滴的时候，即使当压力产生腔29内的墨水压力产生变化时，也可以使此压力变化很难被传递到相邻的压力产生腔29。结果，可以防止所谓的相邻串扰，并且可以稳定墨滴的喷射。

此外，根据本实施例，用于连通公共墨水腔14和压力产生腔29的墨水供应端口45由在弹性板32的板厚方向上穿透的小孔构成，由此通过激光加工或类似方法容易实现高尺寸精度。因此，可以使得到各个压力产生腔29...中的墨水流动特性(流速、流量等)高度一致。此外，当通过激光束来加工小孔时，也方便了制造。

此外，根据本实施例，与位于行端部的压力产生腔29、29相邻地设置与墨滴喷射无关的伪压力产生腔(即，由伪凹入部分36和弹性板32分隔出的中空部分)，因此对于在两端的压力产生腔29、29，其一侧形成有相邻的压力产生腔29，其相对一侧形成有伪压力产生腔。所以，对于位于行端部的压力产生腔29、29，可以使分隔压力产生腔29的分隔壁的刚度与行中间的其它压力产生腔29...的分隔壁的刚度相等。结果，可以使一行中的所有压力产生腔29的墨滴喷射特性相等。

此外，对于伪压力产生腔，使得在排列方向这一侧上的宽度比每个压力产生腔29...的宽度更宽。换言之，使伪凹入部分36的宽度比沟槽状凹入部分33的宽度更宽。因此，可以使行端部的压力产生腔29和行中间的压力产生腔29的喷射特性以更高精度相等。

此外，根据本实施例，通过使壳体2的前端面局部凹入来形成前端凹入部分15，由前端凹入部分15和弹性板32分隔形成公共墨水腔14，因此不不需要专用构件来形成公共墨水腔14，从而实现了构造的简化。此外，通过树脂模制来制造壳体2，使前端凹入部分15的制造也相对容易。

接下来，将解释制造记录头1的方法。此外，所述制造方法的特征在于制造压力产生腔形成板30的步骤，所以将主要给出对制造压力产生腔形成板30的步骤的解释。此外，通过由相继地给送模具(successivelyfeeding die)进行锻造来制造压力产生腔形成板30。此外，用作压力产生腔形成板30的材料的条板如上所述地由镍制成。

制造压力产生腔形成板30的步骤包括形成沟槽状凹入部分33的沟槽状凹入部分形成步骤和形成连通端口34的连通端口形成步骤，其是由相继地给送模具来进行的。

在沟槽状凹入部分形成步骤中，使用了如图8所示的阳模51以及如图9所示的阴模52。阳模51是用于形成沟槽状凹入部分33的模具。阳模51上排列有用于形成沟槽状凹入部分33的、且数目与沟槽状凹入部分33的数目相同的突起条纹部分53。此外，还设有伪突起条纹部分(未示出)，用于形成与排列方向上两端部分处的突起条纹部分53相邻的伪凹入部分36。突起条纹部分53的前端部分53a由会聚的帽形构成，并且例如如图8(b)所示，从宽度方向上的中部开始以约45度角相对。就是说，由在突起条纹部分53的前端处形成的帽形的倾斜面形成楔形的前端部分53a。因此，从纵向看，前端部分53a削尖成V形。此外，如图8(a)所示，前端部分53a在纵向上的两端以约45度角相对。因此，突起条纹部分53的前端部分53a由三棱柱两端相对的形状构成。

此外，阴模52在其上表面处形成有多个条纹状突起54。

条纹状突起54用于辅助形成分隔相邻压力产生腔29、29的分隔壁，并且位于与突起条纹部分53相对的位置处。条纹状突起54由楔形构成，并且其长度被设为与沟槽状凹入部分33(突起条纹部分53)的长度大致相同。

此外，在沟槽状凹入部分形成步骤中，首先，如图10(a)所示，构成压力产生腔形成板的材料的条板55安放在阴模52的上表面上，并且第一阳模51被布置在条板55上方。接着，如图10(b)所示，通过向下移动阳模51来将突起条纹部分53的前端部分挤压到条板55中。此时，因为突起条纹部分53的前端部分53a被削尖成V形，所以前端部分53a可以被可靠地挤压到条板55中而不会使突起条纹部分53弯曲。如图10(c)所示，突起条纹部分53被向上压到条板55板厚方向上的中部。

通过挤压突起条纹部分53，条板55的一部分变形并形成沟槽状凹入部分33。在此，因为突起条纹部分53的前端部分53a削尖成V形，所以即使具有很小形状的沟槽状凹入部分33也可以以高尺寸精度形成。就是说，被前端部分53a挤压的部分平滑地变形，所要形成的沟槽状凹入部分33依照突起条纹部分53的形状被形成。此时，变形受压而被前端部分53a分开的材料变形进入位于突起条纹部分53之间的间隙部分53b中，并形成分隔壁部分28。此外，因为前端部分53a的纵向上的两端相对，所以由该部分挤压的条板55也平滑地变形。因此，沟槽状凹入部分33的纵向上的两端部分也可以以高尺寸精度形成。

此外，因为突起条纹部分53的挤压在板厚方向上的中间处停止，所以可以使用厚于形成通孔情况下的条板55。因此，压力产生腔形成板30的刚度可以增加，并且喷射墨滴的特性可以得到提高。此外，可以容易地处置压力产生腔形成板30。

此外，条板55的一部分通过突起条纹部分53的挤压而上升到相邻的突起条纹部分53、53之间的空隙中。在此，位于阴模52上的条纹状突起54被布置在与突起条纹部分53相对的位置处，因此条纹状突起54帮助了条板55到空隙中的变形。因此，条板55可以有效地被引入突起条纹部分53之间的空隙，并且升高部分可以形成为很高。

构成本发明前提的沟槽状凹入部分33的形成基本上如上所述。在此，形成沟槽状凹入部分33的精度，首先是形成分隔壁部分28的处理变得很重要。为了满足要求，根据本实施例，通过对锻造冲头提供第一模具以及包括初步成形模具和精整模具的第二模具，并对第二模具提供特殊形状，来形成合适的分隔壁部分28。

图11至图14示出了包括上述模具的制造记录头的装置和制造液体喷头的方法的实施例。此外，实现与已经解释的那些部分相同的功能的部分在附图中用相同的标号描述。

此外，当在正常温度条件下通过阳模51和阴模52使条板(材料)55塑性形变时，而且类似地还在下述塑性形变中，在正常温度条件下进行塑性形变。

阳模51a(即第一模具)排列有多个成形冲头51b。为了形成沟槽状凹入部分33，成形冲头51b细长地变形来构成突起条纹部分53c。此外，突起条纹部分53c以预定间距平行排列。此外，为了形成分隔壁部分28，在成形冲头51b之间设置间隙部分53b(参考图8、图10)。图12(C)示出了将第一模具51a挤压到构成材料的压力产生腔形成板30(55)的状态。

另一方面，阴模52a(即第二模具)在其与突起条纹部分53c的纵向上的中部相应的位置处设有在排列突起条纹部分53c的方向上延伸的凹入部分54a。此外，准备第二模具52a的两种模具，初步成形模具56和精整模具57。

第二模具52a设有用于初步成形的初步成形模具56和用于在由初步成形模具56初步成形之后精整加工的精整模具57，因此由初步成形模具56使材料55变形进入间隙部分53b，之后通过精整模具57使材料55在间隙部分53b中的分布尽可能接近于正常状态，并因此使材料变形进入间隙部分53b的量进入在间隙部分53b的长度方向上基本笔直的状态，这在使该部分用作例如液体喷头1的压力产生腔29的分隔壁部分28时是优选的。

下面将详细描述第二模具52a的构造和操作。

初步成形模具56形成有与突起条纹部分53c相对并具有与突起条纹部分53c基本相同长度的条纹状突起54。此外，条纹状突起54设有凹入部分54a，其长度方向上的中部的高度被设定为较低。图14图示了放大图12所示条纹状突起54的一部分的侧视图和剖视图。凹入部分54a基本形成在条纹状突起54的长度方向上的中心部分处，除凹入部分54a之外的一部分的剖面在(A1)中示出，并且凹入部分54a的中心部分处的剖面在(A2)中示出。

虽然图9和图10所示的条纹状突起54由如同具有较低高度的突起条纹中那样的构件形状构成，但是为了形成凹入部分54a，需要如图12、图14所示的用于条纹状突起54的所需高度。因此，作为形成有凹入部分54a的条纹状突起54，具有一定高度的多个“突起条纹”平行排列，由此在图12中，其截面形状由具有尖前端的楔形构成。楔形部分的楔角由等于或小于90度的锐角构成。此外，波谷部分56a通过排列条纹状突起54而形成。此外，通过后述初步成形步骤形成的升高部分55a图示在压力产生腔形成板55的后表面处。

如图10、图12(B)、(C)等所示，条纹状突起54被布置成与突起条纹部分53c相对，并且使被条纹状突起54挤压的材料塑性变形到间隙部分53b一侧。如图12所示，通过将条纹状突起54布置成与突起条纹部分53c相对，使挤压在条纹状突起54和突起条纹部分53c之间的材料变形的量增大地最多，并因此使得该部分处的材料变形到每个条纹状突起54的斜上侧，以被挤压进入间隙部分53b。就是说，使材料从左右两侧变形到单个间隙部分53b，以实现与图10等中的那些等同的成形精度。

凹入部分54a在条纹状突起54纵向上的长度被设定为等于或小于条纹状突起54的长度的约2/3，并优选地等于或小于1/2。此外，条纹状突起54的间距为0.14mm。对于条纹状突起54的间距，通过使得该间距等于或小于0.3mm，在加工液体喷头等的一部分时，进一步优选地预备形成该部分。该间距优选地等于或小于0.2mm，进一步优选地等于或小于0.15mm。此外，至少条纹状突起54的凹入部分54a的一部分的表面被光滑精整。虽然作为精整，镜面精整是优选的，或者也可以使该表面镀铬。

图15是示出条纹状突起54等的各个部分的尺寸的侧视图。如上所述，凹入部分54a的长度L2与条纹状突起54的长度L1相比(即L2/L1)等于或小于2/3，优选地等于或小于1/2。此外，标注H表示从凹入部分56a到条纹状突起54的长度，即条纹状突起54的高度，而标注D表示凹入部分54a的深度。如后所述，为了在间隙部分53b处实现材料的优异的塑性变形，在各个部分的尺寸之间设定预定的尺寸比例。

就是说，凹入部分54a的深度D与长度L2相比的比例为约0.05至约0.3。对于此示例中L2、D的实际尺寸，L2为0.5mm至1mm，D为0.05mm至0.15mm。此外，凹入部分54a的深度D与条纹状突起54的高度H相比的比例为约0.5至约1。此示例中H的实际尺寸为0.5mm至1.5mm。此外，在此示例中，条纹状突起54的长度L1为1.6mm，并且如上所述L2/L1为0.31至0.62。

图16示出了设置到图15所示条纹状突起54上的加强措施，在图16(A)中，加强升高部分54d设置在凹入部分54a的中部，或在图示示例中设置在条纹状突起54的中心部分处。由此，在挤压成形时，伸展凹入部分54a的力被操作到初步成形模具56，从而应力集中在凹入部分54a的最深部分上，裂纹易于在该部分处产生，但是，通过布置加强升高部分54d，应力集中不会发生并且还解决了产生裂纹的担心。

此外，在图16(B)中，溢出凹入部分54e设置在凹入部分54a的中部，或在图示示例中设置在条纹状突起54的中心部分处。由此，虽然变形进入凹入部分54a的材料挤压凹入部分54a的最深部分，并且裂纹易于在该部分处产生，但是，通过形成溢出凹入部分54e，可以避免最深部分受压并且还解决了产生裂纹的担心。

图17示出了条纹状突起54的凹入部分54a的改进示例。图17(A)示出了由平面构成的凹入部分的形状，图17(B)示出了其中其两端部分由小的曲面构成并且大部分凹入部分由平面构成的凹入部分的形状，图17(C)示出了其中两端部分由倾斜面构成并且中心部分由平面构成的凹入部分的形状，图17(D)、(E)示出了其中每个在凹入部分的中部处设置升高形状部分54b的凹入部分的形状。凹入部分54a通过切去如上所述的楔形部分的脊线部分而形成，并由此凹入部分54a的底面在如图14(A2)所示观察其截面时变成平面，并且在整个凹入部分处变成细长的圆弧面。

虽然条纹状突起54由楔形构成并且前端部分被削尖，如图17(F)所示，但是条纹状突起54可以由如图17(F)所示的平坦顶面54c或圆整的前端部分形状构成。

接着，如图13所示，因为在初步成形模具56的初步成形之后使用第二模具52a的精整模具57，所以精整模具57形成有去除初步成形模具56的条纹状突起54的平坦面57a，此外容纳凹入部分57b形成在与初步成形模具56的凹入部分54a相应的部分处。就是说，从精整模具57的成形面的宽度方向观察，中心部分形成有容纳凹入部分57b并且平坦面57a设置在容纳凹入部分57b的两侧上。

平坦面57a由这样的表面形状构成，其中其位于排列突起条纹部分53的方向上的端部附近的一部分变得低于端部。图13(A)所示的表面形状由与平坦面57a相连续的倾斜面57c构成。

图18示出了设置到图13(A)所示容纳凹入部分57b上的加强措施，在图18(A)中，加强升高部分57d设置在容纳凹入部分57b的中部，或在图示示例中设置在精整模具57宽度方向上的中心部分处。由此，在挤压成形时，伸展容纳凹入部分57b的力被操作到精整模具57，从而应力集中在容纳凹入部分57b的最深部分上，裂纹易于在该部分处产生，但是，通过布置加强升高部分57d，应力不会集中在其上并且还解决了产生裂纹的担心。

此外，图18(B)示出了溢出凹入部分57e位于容纳凹入部分57b的中部，或在图示示例中位于精整模具57宽度方向上的中心部分处。由此，虽然变形进入容纳凹入部分57b的材料挤压容纳凹入部分57b的最深部分，并且裂纹易于在该部分处产生，但是，通过布置溢出凹入部分57e，可以避免最深部分受压并且还解决了产生裂纹的担心。

在其中精整模具57的容纳凹入部分57b的深度尺寸和长度尺寸分别为0.05至0.15mm和0.5至1mm的情况下，在精整加工时，可以在考虑优化间隙部分53b中材料的尺寸、挤压行程和变形时使材料在与挤压方向基本正交的方向上的变形量与用于接纳该量的凹入部分的空间适当地权衡。

根据图19所示的精整模具57的形状，对于其中介入容纳凹入部分57b而平行布置的平坦面57a，在靠近压力产生腔29的连通端口34这一侧上的一侧平坦面57a被布置在从另一侧平坦面57a沿远离压力产生腔形成板30的方向向后移动了的位置处。就是说，在两个平坦面57a、57a之间设有台阶差T。因此，由靠近连通端口34这一侧上的一侧平坦面57a挤压材料的挤压量变得小于由另一侧平坦面57a挤压材料的挤压量。因此，在挤压量小的这一侧上的塑性形变程度更小，从而与挤压量大的一侧相比，在挤压之后回弹的量表现得大，并且在靠近连通端口这一侧上的沟槽状凹入部分33的深度变得比远离连通端口这一侧上的更浅。当在连通端口34附近的沟槽状凹入部分33底部处通过挤压力提供塑性形变的同时，连通端口34以此方式在沟槽状凹入部分33的浅侧上开口时，沟槽状凹入部分33在连通端口34附近的深度变深，并且最后沟槽状凹入部分33的深度变成在整个长度上基本均匀。通过成形过程形成的压力产生腔29的深度在整个长度上变成均匀的深度，从而使各个压力产生腔29中的墨水量均匀，进而，异常流动通道阻力不对墨水流起作用，并且从喷嘴口喷出墨滴变得正常。此外，靠近连通端口34一侧的材料的加工硬化的密度和程度变得小于另一侧的。因此，减小了在形成连通端口34时对成形冲头起作用的加工阻力，增大了成形冲头的耐久性，进而该构造对提高加工精度也是有利的。

初步成形模具56的条纹状突起54的纵向上的宽度尺寸和与精整模具57的容纳凹入部分57b正交的方向上的宽度尺寸，变成与压力产生腔29在长度方向上的尺寸基本相同。因此，因为初步成形模具56和精整模具57的两个宽度尺寸由与压力产生腔29的长度尺寸基本相同的最小尺寸构成，所以通过减小初步成形模具56和精整模具57的大小而提供了适合于加工小部分的模具。

图20图示了示出记录头1的局部结构的剖视图和平面图，其示出了这样的示例，其中在凹入部分63位于喷嘴板31这一侧的压力产生腔形成板30处的状态下用粘结剂64结合压力产生腔形成板30和喷嘴板31。虽然在此示例中如图12所示有各种方法来布置凹入部分63，但是在初步形成沟槽状凹入部分33时，突起条纹部分53c和条纹状突起54被挤压进入压力产生腔形成板30，并且凹入部分63由通过挤压条纹状突起54得到的压痕构成。虽然实际上条纹状突起54的压痕由沟槽状形状构成，但是在连通端口34开口的部分处的材料复杂地改变变形，从而似乎在精整之后，压痕保持在连通端口34附近。

当压力产生腔形成板30和喷嘴板31用粘结剂64结合时，多余的粘结剂64容纳在如上所述布置的凹入部分63中。因此，粘结剂64的膜厚变成为增大粘结强度而最优化的厚度，并且结合压力产生腔形成板30和喷嘴板31的强度可以增强。

图20(B)示出了当条纹状突起54与第一模具51a的间隙部分53b相对时凹入部分63的布置，图20(C)示出了当条纹状突起54与第一模具51a的突起条纹部分53c相对时凹入部分63的布置，在这两种情况下，凹入部分63的间距都变成与压力产生腔29(沟槽状凹入部分33)基本相同的间距，此外，凹入部分63被布置在连通端口34的开口部分附近。

通过构成该间距状态，凹入部分63以恒定间隔分布在压力产生腔形成板30位于喷嘴板31一侧的结合面处，从而通过均匀地容纳多余的粘结剂64使得粘结剂64的膜厚在宽的范围上合适，并且粘结强度增大。此外，因为凹入部分63形成在连通端口34附近，所以多余的粘结剂64容纳在连通端口34附近的凹入部分63中，并且不被挤压突出到连通端口34的流动通道空间。因此，气泡不会停留在突出部分处，并确保了优异的墨水流动。

接着，将解释由第一模具51a、第二模具52a构成的锻造冲头的加工操作。

根据挤压在两个模具51a、52a之间的金属材料板55，材料55移动变形以挤压进入第一模具51a的间隙部分53b中。在此情况下，第二模具52a设有其中部高度较低的凹入部分54a，并因此设有靠近第二模具52a在凹入部分54a两侧上的端部的部分56b、56b(参考图12(D))，并使得两个模具51a、52a之间的间距D1窄于其中部(凹入部分)的间距D2，并且挤压材料的量在窄部处增大。以此方式挤压的金属材料板55被制成在与挤压方向基本正交的方向上变形突出，并且较多的材料被移动到凹入部分54a的一侧，所述一侧在两个模具51a、52a之间具有更宽的间隔并具有小的挤压量。换言之，在材料变形时，凹入部分54a实现了提供使材料55溢出的位置的功能。材料主要沿着突起条纹部分53c或间隙部分53b的纵向变形，进而，材料55的一部分构成凸出到凹入部分54a一侧的升高部分55a。

因此，在具有大的挤压量的部分56b处，通过强力挤压材料，材料肯定更多地变形到具有小的挤压量的凹入部分54a，从而很多材料变形到与凹入部分54a相对应的一部分的间隙部分53b。这样，在两侧56b、56b处将材料的变形导向到凹入部分54a的一侧时，使得材料在间隙部分的整个区域上变形。此外，因为突起条纹部分53以预定间距排列，所以使得通过由各个突起部分53挤压而使材料在排列方向(突起条纹部分的宽度方向)上变形的现象在变形方向和变形量两者上都均匀。材料55基于预定间距的变形对于使材料均匀变形到各个间隙部分53b做出了贡献，而且没有干扰在空气间隙部分53b的纵向上的变形现象。

变形进入空气间隙部分53b的材料55构成了沟槽状凹入部分33的分隔壁部分28，从而可以精确形成沟槽状凹入部分33的空间形状。此外，在成形加工小结构时，一般采用各向异性刻蚀方法，但是根据该方法，增加了加工步骤的数量，从而考虑到制造成本该方法是不利的。与此相反，当将锻造冲头用于由镍等金属制成的材料时，大大减少了加工步骤的数量，这对于成本极其有利。此外，可以均匀加工各个沟槽状凹入部分33的容积，从而在形成液体喷头的压力产生腔时，该方法对于稳定液体喷头的喷射特性非常有效。

尽管通过将重点放在第二模具52a的凹入部分54a的操作功能上而解释了上述加工操作，但由图示条纹状突起54和凹入部分54a得到的操作功能如下。图12(B)示出了恰在第一模具51a和第二模具52a之间挤压材料55之前的状态。当挤压条纹状突起54以刺入材料55中的同时，材料55从该状态而如图12(C)、(D)所示被挤压在第一模具51a和第二模具52a之间时，使得材料变形进入间隙部分53b并且初步形成分隔壁部分28。

在初步成形的阶段中，类似于上述情况，通过条纹状突起54的凹入部分54a，使很多材料55变形到挤压量较小处的凹入部分54a侧，从而使很多材料也变形到与凹入部分54a相对应的一部分处的间隙部分53b。这样，在凹入部分54a的两侧56b、56b处将材料的变形导向到凹入部分一侧时，使得很多材料在间隙部分53b的整个区域上变形，同时。此外，通过协同操作条纹状突起54本身的突起高度，更多的材料55肯定被挤压进入间隙部分53b中。对于在初步成形状态中的分隔壁部分28的高度，如图12(D)所示，形成低部28a、28a和高部28b。产生这样的高度差是因为在靠近端部的部分56b、56b处挤压的材料55更多地变形到凹入部分54a的一部分，并且在此情况下很多材料变形进入间隙部分53b中。

当已结束了图12(C)、(D)所示的初步成形时，如图13(B)所示，在初步成形状态下的材料55被转移到第一模具51a和精整模具57之间，在该处材料55被如图12(C)所示的两个模具51a、52a挤压。精整模具57在容纳凹入部分57b的两侧上形成有平坦面57a，从而使得材料55在分隔壁部分的低部28a、28a处变形进入空气间隙部分53b的量增大并且部分28a、28a的高度增高。在此情况下，升高部分55a容纳在容纳凹入部分57b中并且未从精整模具57施加挤压力，从而高部28b的高度很难改变。因此，最后如图12(D)所示，分隔壁部分28的高度变成基本上均匀的高度。

此外，在精整成形的阶段，因为形成了倾斜面57c，所以使得变形进入各个间隙部分53b的材料55的量在所有间隙部分53b中尽可能地均匀。就是说，在排列突起条纹部分53的方向上变形的材料55从排列突起条纹部分53的中部向着端部两侧逐渐变形，以产生整体偏离的状态，并且使端部附近进入所谓的大壁状态。这样整体偏离的材料被降低的倾斜面57c挤压，从而防止处于大壁状态的材料过分地变形进入间隙部分53b。因此，可以使变形进入各个间隙部分53b的材料55的量在所有间隙部分53b中尽可能地均匀。

条纹状突起54由具有削尖前端的楔形构成，从而该楔形部分可靠地咬入材料55，因此在与间隙部分53b相对部分处的材料55可以被精确挤压，并且使材料可靠地变形到间隙部分53b。此外，通过由等于或小于90度的所谓锐角构成楔角，进一步可靠地实现楔形部分对材料55的咬入。通过使条纹状突起54的间距等于或小于0.3mm，通过由锻造冲头进行极其精细的锻造，可以制造喷墨式记录头的压力产生腔。

此外，材料在突起条纹部分53c和条纹状突起54之间被挤压最大量，从而通过使与突起条纹部分53c相对的条纹状突起54本身的突起高度协同作用，更多的材料55被确定地挤压到间隙部分53b侧。就是说，通过与类似于上述情况使材料从具有大挤压量的部分变形到凹入部分54a中具有小挤压量的一侧的现象协同的模式，由条纹状突起54将材料挤压进入间隙部分53b，从而使很多材料也变形到与凹入部分54a相对应的一部分处的间隙部分53b。这样，通过在凹入部分54a两侧上将材料的变形导向到凹入部分54a一侧，而使更多材料在间隙部分53b的整个区域上变形。

通过由圆弧形的凹入部分的形状构成凹入部分54a，逐渐改变第二模具的中部的高度，从而在从间隙部分53b的长度方向观察时，使变形进入间隙部分53b的材料55的量尽可能均匀。此外，通过由多个平面组成的凹入部分的形状来构成凹入部分54a并选择倾斜平面的角度，可以使第二模具的中部的高度逐渐改变，并可以使得在从间隙部分53b的长度方向观察时，变形进入间隙部分53b的材料55的量尽可能均匀。

当在凹入部分54a的中部处设置升高形状部分54b时，在靠近升高形状部分54b和第二模具52a端部的部分处，两个模具51a、52a之间的间距(对应于间距D1)变窄，凹入部分54a由多个部分构成，因此交替布置多个具有大挤压量的部分和具有小挤压量的部分。因此，逐渐交替布置具有大挤压量的部分(对应于侧56b)和构成材料55变形目的地的凹入部分54a，从而在从空气间隙部分53b的长度方向观察时，变形进入间隙部分53b的材料55的量基本均匀。

各个中部基本上布置在突起条纹部分53c和条纹状突起54的长度方向上的中心部分处，从而使材料在中心部分的两侧上基本均匀地变形，并使材料从两侧基本均匀地变形到具有小挤压量的凹入部分54a。因此，使得材料在凹入部分54a处的变形量在凹入部分54a的整个长度上均匀，例如在形成压力产生腔29的分隔壁部分28的情况下，可以以高精度提供分隔壁部分28的形状。

通过将凹入部分54a在条纹状突起54纵向上的长度设定为等于或小于条纹状突起54长度的约2/3，可以在考虑优化间隙部分53b中材料变形、挤压行程的尺寸的情况下使材料在与挤压方向基本正交的方向上的变形量与接纳该量的凹入部分54a的空间适当地权衡。当条纹状突起54的深度尺寸与凹入部分54a的长度方向相比的比例为约0.05至约0.3时，或者当条纹状突起54的凹入部分54a的深度尺寸与条纹状突起54的高度尺寸相比的比例为约0.03至约0.3时，可以在考虑优化间隙部分53b中材料变形、挤压行程的尺寸的情况下使材料在与挤压方向基本正交的方向上的变形量与接纳该量的凹入部分的空间适当地权衡。

通过镜面精整或镀铬等来光滑精整条纹状突起54的至少凹入部分54a的部分表面，从而在与挤压方向基本正交的方向上变形的材料55肯定通过光滑表面状态转入凹入部分54a中，并且使材料进一步肯定变形进入间隙部分53b。

第一模具51a和第二模具52a被固定到用于操作来前/后移动模具的常规锻造装置(未示出)，并且压力产生腔形成板30(55)布置在两个模具51a、52a之间来相继进行加工。此外通过将初步成形模具56和精整模具57组成一组来构成第二模具52a，因此合适的是将初步成形模具56和精整模具57彼此相邻排列并相继移动压力产生腔形成板30(55)。

形成液体喷头的装置至少设有：第一模具51a，其设有以预定间距平行排列的突起条纹部分和形成在各个突起条纹部分53c之间的间隙部分57b；第二模具52a，其用于从第一模具51a和第二模具52a之间的两个面锻造金属材料板55，并在与突起条纹部分53c纵向上的中部相应的部分处设有在排列突起条纹部分53c的方向上延伸的凹入部分54a，从而挤压在两个模具51a、52a之间的材料板55移动变形而挤压进入第一模具51a的间隙部分53b。在此情况下，因为第二模具52a在中部设有凹入部分54a，所以在凹入部分54a两侧上的部分处，两个模具51a、52a之间的间距变得比中部(凹入部分54a)处的间距更窄，并且在窄部处材料55的挤压量增大。使这样挤压的金属材料板55在与挤压方向基本正交的方向上变形突出，并且更多材料移动到加宽两个模具51a、52a之间的间距并减小挤压量的凹入部分54a侧。换言之，在材料变形时，凹入部分54a实现提供溢出材料55的位置的功能。材料主要沿着突起条纹部分53c或间隙部分53b的纵向移动，此外，材料55的一部分构成凸出到凹入部分侧的升高部分。

因此，在具有大挤压量的部分处，通过强力挤压材料，材料肯定变形到间隙部分53b，此外，使更多材料55变形到具有小挤压量的凹入部分54a侧，从而使很多材料变形到与凹入部分54a相对应的一部分处的间隙部分53b。这样，在凹入部分54a两侧处将材料55的变形导向到凹入部分54a的一侧时，使很多材料在间隙部分53b的整个区域上变形。此外，因为突起条纹部分53以预定间距排列，所以使得通过由各个突起部分53c挤压而使材料在排列方向(突起部分53c的宽度方向)上变形的现象在变形方向或变形量中任一个上都均匀。材料55基于预定间距的变形对于使材料均匀变形到各个间隙部分53b做出了贡献，而且没有干扰在间隙部分53b的纵向上使材料变形的现象。

当变形到间隙部分53b的材料55构成凹入形状部分的分隔壁部分28时，可以精确地形成凹入空间的形状。此外，虽然作为成形加工小结构的方法，一般采用各向异性刻蚀方法，但是通过该方法增加了加工步骤的数量，从而考虑到制造成本该方法是不利的。与此相反，当将锻造冲头用于由金属制成的材料55时，大大减少了加工步骤的数量，这对于成本极其有利。此外，可以均匀加工各个凹入部分的容积，从而例如在形成记录头1的压力产生腔29等时，锻造冲头对于稳定记录头1的墨滴喷射特性非常有效。

此外，因为第二模具52a由用于初步成形材料来执行前面的加工操作的初步成形模具56和用于接着初步成形模具56的初步成形而精整加工材料的精整模具57构成。提供了一种能够在接着初步成形来相继给送的状态下执行精整加工的高效操作的装置。此外，由于加工操作具有连续性，所以可以以高精度设定各个步骤中要加工的对象的定位，这对提高加工精度是有效的。

可以使用上述锻造冲头来执行精细锻造方法。根据此，作为第一步骤，金属材料板55预制形成在第一模具51a和初步成形模具56之间，并且作为第二步骤，在第一模具51a和精整模具57之间精整加工金属材料板55。在第一步骤和第二步骤中出现的顺序加工使材料55形变的状态类似于在锻造冲头中所描述的。

因此，当变形进入间隙部分53b的材料55构成记录头1的沟槽状凹入部分33的分隔壁部分28时，可以精确地形成沟槽状凹入部分33的形状。此外，虽然对于成形加工这样的精细结构，一般采用各向异性刻蚀方法，但是根据该方法，大大增加了加工步骤的数量，从而考虑到制造成本该方法是不利的。与此相反，根据用金属制成的材料构成对象的精细锻造方法，大大减少了加工步骤的数量，这对于成本极其有利。此外，因为可以均匀加工各个凹入部分的容积，所以例如在精细形成液体喷头的压力产生腔等时，该方法对于稳定液体喷头的喷射特性非常有效。

此外，本实施例的制造液体喷头的方法通过这样的构造来构成制造对象，其包括：由金属制成的压力产生腔形成板30，其排列有构成压力产生腔29的沟槽状凹入部分33并在各个沟槽状凹入部分33的一端处形成有在板厚方向上穿透的连通端口34；由金属制成的喷嘴板31，其在与连通端口34相对应的位置处钻有喷嘴口48；和由金属制成的密封板，其用于密封沟槽状凹入部分33的开口面并在与沟槽状凹入部分33的另一端相对应的位置处钻有墨水供应端口45，其中分别在压力产生腔形成板30的沟槽状凹入部分33的一侧上结合密封板(43)并在相反侧上与喷嘴板结合。

作为具体方法，第一模具51a设有平行排列的突起条纹部分53c和形成在突起条纹部分53c之间的间隙部分53b，作为第二模具52a，准备了初步成形模具56和精整模具57，初步成形模具56设有与突起条纹部分53c相对并具有与突起条纹部分53c基本相同长度的条纹状突起54，条纹状突起54设有其中长度方向上的中部的高度被设为较低的凹入部分54a，精整模具57通过去除条纹状突起54构成平坦面57a并在与凹入部分54a相对应的部分处设有容纳凹入部分57b，在第一步骤中，压力产生腔形成板30预制形成在第一模具51a和初步成形模具56之间，并且在第二步骤中，压力产生腔形成板30精整形成在第一模具51a和精整模具57之间，以由此在压力产生腔形成板30处形成沟槽状凹入部分33。

因此，通过与精细锻造方法中相似的步骤顺序，在压力产生腔形成板30处加工沟槽状凹入部分33。总而言之，在构成第一步骤的预制成形中，在凹入部分54a两侧上将压力产生腔形成板30的材料的变形导向到凹入部分54a的一侧时，使更多材料在间隙部分53b的整个区域上变形。顺序地，在构成精细成形的第二步骤中，通过由平坦面57a进一步将压力产生腔形成板30挤压到间隙部分这一侧，使得材料55变形进入间隙部分53b的高度在间隙部分53b的长度方向上尽可能均匀。在此情况下，因为升高部分55a容纳在容纳凹入部分57b中，所以对应于升高部分55a的量的材料不移动进入间隙部分53b，并且有效实现了变形高度的均匀成形。

如上所述，具有精整分隔壁部分28的沟槽状凹入部分33在压力产生腔形成板30处形成。根据该成形方法，与各向异性刻蚀方法等相比大大减少了加工步骤的数量，这对于成本极其有利。此外，因为可以均匀加工各个沟槽状凹入部分33的容积，所以在精细形成液体喷头1的压力产生腔29等时，该方法是最优的制造方法，并且对正常确保液体喷射特性是有效的。

在接着其初步成形精整加工沟槽状凹入部分33时，发现有以下问题。

就是说，图21是放大示出其中第一模具51a的突起条纹部分53c为精整加工沟槽状凹入部分33而到达最大挤压位置的状态的剖视图，并且图13(C)图示了类似状态。在图21中，标号57表示精整模具，其作为用于支撑用第一模具51a挤压的金属材料板55的第二模具52a。此外，图22是示出恰在通过将突起条纹部分53c挤压到初步形成的沟槽状凹入部分33而精整加工沟槽状凹入部分33之前的状态的剖视图。虽然在初步成形阶段，如图中粗线所示，沟槽状凹入部分33的深度比较浅，在精整加工沟槽状凹入部分33时，将突起条纹部分53c挤压到由双点划线所示的深度。

如图22所示，根据沟槽状凹入部分33，在深度方向上的内壁28c、28c在平行状态下彼此相对，并且凹入成V状形状的底部33a形成为与两个内壁28c、28c相连。为了形成具有这样形状的沟槽状凹入部分33，突起条纹部分53c形成有用于在沿着挤压突起条纹部分53c的方向的状态下形成内壁28c的内壁形成部分53d、53d。此外，用于形成底部33a的倾斜面部分53e、53e在与内壁部分形成部分53d、53d相连的状态下形成。倾斜面部分53e、53e的倾斜角θ1被制成相对于挤压突起条纹部分53c的方向上的直线成45度，即相对于示为包括突起条纹部分53c中心线在内的突起条纹部分53c的纵向上的假想平面O-O成45度。此外，为了方便解释将假想平面O-O表述为挤压突起条纹部分53c的方向。

在与内壁部分形成部分53d和倾斜面部分53e相交的部分处，角部53f形成为沿着突起条纹部分53c纵向的脊线的形状。

当具有角部53f的突起条纹部分53c被挤压到图22所示双点划线所指示的位置以精整加工沟槽状凹入部分33时，产生了如下现象：由角部53f切掉沟槽状凹入部分33的内面以形成小的凹入和突起的面的形状或者从内壁28c覆到底部33a沿着挤压突起条纹部分53c方向的切痕。这样的异常内面由图23(A)中的标号33b表示。此外，图23(B)是示出由通过后述根据本发明的制造装置得到的突起条纹部分53c形成的正常精整面的形状的剖视图。

为了解决上述异常内面33b的问题，提供了下述应对措施。

用于应对措施的结构在图24和图25中示出，并且相同的标号被赋予实现与图21至图23中相似功能的部分。为了防止由角部形成异常内面33b，设置了用于连接内壁形成部分53d和倾斜面部分53e的连接面部分53g。根据该示例，连接面部分53g是平面。在与突起条纹部分53c的纵向正交的假想截面上，由内壁形成部分53d的延伸面和倾斜面部分53e的延伸面彼此相交处的相交部分a、连接面部分53g的内壁形成部分侧端部b、以及连接面部分53g的倾斜面部分侧端部c所形成的三角形是底边由连接面部分53g构成的大致等腰三角形abc。

优选的是由突起条纹部分53c的挤压方向O-O(假想平面)和倾斜面部分53e所成的角度，即倾斜角θ1从40至50度的范围中选择，并且最优的是将该角度设为如上所述的45度。通过构成这样的角度范围，优异地实现了金属材料板55的材料的流动性，并且精确地形成了底部33a的形状。

此外，由突起条纹部分53c的挤压方向O-O(假想平面)和连接面部分53g所成的角度θ2为8至40度，优选地为10至35度，更优选地为15至30度，最优选地为23度左右。通过设定这样的角度，可以可靠地防止出现异常内面33b。

连接面部分53g的倾斜面部分侧端部c和内壁形成部分53d之间在突起条纹部分53c的宽度方向上的尺寸W1相对于突起条纹部分53c的宽度尺寸W2的比例为0.05至0.15，优选地为0.06至0.13，更优选地为0.08至0.10。通过设定这样的比例，可以可靠地防止出现异常内面33b。

连接面部分53g的倾斜面部分侧端部c和内壁形成部分53d之间在突起条纹部分53c的宽度方向上的尺寸W1相对于间隙部分53b的宽度尺寸W3的比例为0.06至0.45，优选地为0.10至0.40，更优选地为0.15至0.30。通过构成这样的比例，可以可靠地防止出现异常内面33b。

作为在突起条纹部分53c处设置连接面部分53g的方法，可以采用各种方法。这里示例给出的方法主要是通过研磨。作为材料，例如使用超硬的合金，首先通过仿形磨床连续形成倾斜面部分53e。之后，如图26所示，通过抛光角部53f形成连接面部分53g。用于抛光的抛光工具70的截面形状由双点划线示出，两个抛光面70a、70a布置成楔形，并且两个抛光面70a、70a相交成约50度的角。

当通过抛光形成了连接面部分53g时，接着，为了去除残留在加工部分的毛刺或凹入和突起，用分散有小的研磨剂的液体进行液体研磨。此外，最后，为了形成预定硬度的表面，进行DLC加工(类金刚石涂层)。

虽然上述连接面部分53g由平面构成，但是图27所示的示例是用曲面构成连接面部分53g的情况。图中的标号b、c表示与图25所示连接面部分53g的端部相对应的部分。同样在图27的情况下，可以设定类似于图25的尺寸W1，并且其与W2和W3相比的比例与图25中的情况相同。

图23(B)示出了使用具有连接面部分53g的突起条纹部分53c来精整加工沟槽状凹入部分33的状态。根据这里示出的正常内面，内壁28c和底部33a被光滑连续面33c连接，并且在沟槽状凹入部分33的内面处未出现例如异常凹入和突起或者突起条纹部分53c(角部53f)的刮痕之类的表面状态。

本实施例的操作和效果，即对异常内面的应对措施示例罗列如下。

就是说，根据制造记录头1的装置，突起条纹部分53c设有用于在突起条纹部分53c的深度方向上形成内壁28c的内壁形成部分53d、和通过将沟槽状凹入部分33的底部33a凹入成与内壁形成部分53d相连的大致V形而形成的倾斜面部分53e，并设有用于连接内壁形成部分53d和倾斜面部分53e的连接面部分53g。因此，当将突起条纹部分53c挤压到金属材料板55时，大量的金属材料被位于前端部分处的倾斜面部分53e挤压分开，但是在连接面部分53g处，被挤压分开的金属的变形量减小。因此，金属材料在连接面部分53g处承受的压缩力、剪切力等减小，并且不会出现切掉金属材料的现象。通过这样的金属材料的变形现象，在沟槽状凹入部分33的内面处不会形成异常凹入和突起或者在挤压突起条纹部分的方向上的刮痕。此外，通过连接面部分53g平滑地实现了金属材料的流动性，从而促使材料移动到形成在各个突起条纹部分53c之间的间隙部分53b，并且形成在间隙部分53b处的分隔壁部分28可以形成足够的高度。此外，不会由于安装连接面部分53g而大大减小沟槽状凹入部分33的容积，从而不会妨碍记录头1的喷射墨滴的特性。

在与突起条纹部分53c的纵向正交的假想截面上，由内壁形成部分53d的延伸面和倾斜面部分53e的延伸面相交处的相交部分a、连接面部分53g的内壁形成部分侧端部b、以及连接面部分53g的倾斜面部分侧端部c所形成的三角形是底边由连接面部分53g构成的大致等腰三角形，从而可以使金属材料在连接面部分53g处承受的压缩力、剪切力等最小化。另一方面，当等腰三角形的模式变化时，构成底边的连接面部分53g被移动到直立侧或移动到斜侧。当移动到直立侧时，形成减小倾斜面部分53e和连接面部分53g相交角度的角部，并构成上述异常内面。此外，当移动到斜侧时，形成减小内壁形成部分53d和连接面部分53g相交角度的角部，并构成上述异常内面。因此，通过保持基本等腰三角形，可以形成相交角度不过分减小的角部，从而解决了异常内面的问题。

由突起条纹部分53c的挤压方向O-O(假想平面)和连接面部分53g所成的窄的角度为8至40度，从而可以适当地设定连接面部分53g的倾斜状态，并可以可靠地防止出现异常内面33b。

由突起条纹部分53c的挤压方向O-O(假想平面)和倾斜面部分53e所成的角度为40至50度，从而通过将突起部分53c挤压到金属材料板55使得金属材料以优异的流动性变形。此外，倾斜面部分53e和连接面部分53g的相交角度不会异常减小，从而不会出现由角部导致的不利效果。

因为连接面部分53g的倾斜面部分侧端部c和内壁形成部分53d之间在突起条纹部分53c的宽度方向上的尺寸W1相对于突起条纹部分53c的宽度尺寸W2的比例为0.05至0.15，所以可以使倾斜面部分53e的长度合适，并且可以控制当大量金属材料被位于前端部分的倾斜面部分53e挤压分开时的金属移动量相对于连接面部分53g处的金属变形量不会过大或过小。由此，解决了上述异常内面33b等的问题。

因为连接面部分53g的倾斜面部分侧端部c和内壁形成部分53d之间在突起条纹部分53c的宽度方向上的尺寸W1相对于间隙部分53b的宽度尺寸W3的比例为0.06至0.45，所以可以使倾斜面部分53e的长度合适，并且可以控制当大量金属材料被位于前端部分的倾斜面部分53e挤压分开时的金属移动量相对于连接面部分53g处的金属变形量不会过大或过小。由此，解决了上述异常内面33b等的问题。

因为连接面部分53g是平面，所以使得连接面部分53g、倾斜面部分53e和内壁形成部分53d之间的边界部分(b、c)容易确定，并且可以精确设定连接面部分53g的尺寸和倾斜度。

因为连接面部分53g是曲面，所以使得连接面部分53g、倾斜面部分53e和内壁形成部分53d之间的边界部分(b、c)光滑连续，从而可以使金属材料的流动性平滑。此外，可以使沟槽状凹入部分33容积的减小最小化。

此外，根据制造记录头1的方法，第一模具51a的突起条纹部分53c设有用于在沟槽状凹入部分33的深度方向上形成内壁28c的内壁形成部分53d、和通过将沟槽状凹入部分33的底部33a凹入成与内壁形成部分53d相连的大致V形而形成的倾斜面部分53e，并设有用于连接内壁形成部分53d和倾斜面部分53e的连接面部分53g。此外，准备用于支撑金属材料板55的第二模具52a。因此，当将突起条纹部分53c挤压到金属材料板55时，大量的金属材料被位于前端部分处的倾斜面部分53e挤压分开，但是在连接面部分53g处，被挤压分开的金属的变形量减小。此外，金属材料在连接面部分53g处承受的压缩力、剪切力等减小，并且不会出现切掉金属材料的现象。通过这样的金属材料的变形现象，在沟槽状凹入部分33的内面处不会形成异常凹入和突起、在挤压突起条纹部分的方向上的刮痕。此外，通过连接面部分53g平滑地实现了金属材料的流动性，从而促使材料移动到形成在各个突起条纹部分53c之间的间隙部分53b，并且形成在间隙部分53b处的分隔壁部分28可以形成足够的高度。此外，不会由于安装连接面部分53g而大大减小沟槽状凹入部分33的容积，从而不会妨碍记录头1的喷射墨滴的特性。

此外，根据记录头1，沟槽状凹入部分33设有在深度方向上形成的内壁28c、通过凹入成大致V形而形成的底部33a、以及内壁28c和底部33a在光滑面状态下在该处相连的连续面33c。因此，形成在各个沟槽状凹入部分33之间的分隔壁部分28的根部的刚度由于连续面33c而增大，从而可以避免压力产生腔29中的墨水压力变化影响另一个压力产生腔29的所谓串扰。此外，因为压力产生腔29的内面是光滑的，所以混入墨水中的气泡不会被内面拦住，这对于排出气泡是优选的。

图28示例说明的记录头1’是这样的情况，其中可以应用本发明并且热产生元件61作为压力产生元件。根据此示例，使用类似于弹性板32的密封板62，并且压力产生腔形成板30的沟槽状凹入部分33的一侧被密封板62密封。此外，根据此示例，热产生元件61被附装到密封板62在压力产生腔29中的表面。经由电线向热产生元件61供电来产生热。此外，压力产生腔形成板30、喷嘴板31等的其他构造类似于上述实施例，从而将省略其说明。

虽然在上述实施例中，使用单个第一模具51a，即单个突起条纹部分53c来进行初步成形和精整加工，但是还可以分别准备用于初步成形的专用突起条纹部分和用于精整的专用突起条纹部分。

根据记录头1’，通过向热产生元件61供电，压力产生腔29中的墨水被沸腾并且由沸腾产生的气泡对压力产生腔29中的墨水施压。通过该施压从喷嘴口48喷出墨滴。此外，同样在记录头1’中，压力产生腔形成板30由金属的塑性加工制造，从而实现了与上述实施例相似的操作和效果。

此外，对于连通端口34，虽然在上述实施例中，已经说明了将连通端口34设置在沟槽状凹入部分33的一端部分的示例，但是本发明不限于此。例如，通过将连通端口34布置在沟槽状凹入部分33的纵向的基本中心处，墨水供应端口45和与其连通的公共墨水腔14可以布置在沟槽状凹入部分33纵向上的两端。由此，可以防止压力产生腔29中的墨水从墨水供应端口45到达连通端口34的停滞，从而该构造是优选的。

虽然上述各个实施例将喷墨式记录装置作为对象，但是本发明所提供的液体喷头不仅仅包括喷墨记录装置的墨水，还可以喷射胶水、指甲油(manicure)、导电液体(液体金属)等。此外，虽然根据上述实施例，说明了使用墨水作为一种液的喷墨式记录头，但是本发明还可一般地应用于用于喷射液体的液体喷头，例如在打印机等的图像记录装置中使用的记录头，在制造液晶显示器等的彩色滤光片中使用的彩色材料喷头，在形成有机EL显示器、FED(面发光显示器)等的电极时使用的电极材料喷头，或者用于制造生物芯片等的有机活体喷头。

Claims (19)

1.一种制造液体喷头的装置，所述液体喷头包括：由金属制成的压力产生腔形成板，其具有排列形成压力产生腔的沟槽状凹入部分并在所述沟槽状凹入部分的一端处形成有在板厚方向上穿透的连通端口；喷嘴板，其在与所述连通端口相对应的位置处钻有喷嘴口；和由金属制成并用于密封所述沟槽状凹入部分的开口面的密封板，通过将所述密封板结合到所述压力产生腔形成板中形成有所述沟槽状凹入部分的一侧并且还将所述喷嘴板结合到所述压力产生腔形成板的相反侧来构成所述液体喷头，所述装置包括：

第一模具，所述第一模具包括以预定间距平行排列的突起条纹部分和形成在相邻突起条纹部分之间的间隙部分，其中所述第一模具适于通过使所述突起条纹部分挤压金属板来形成所述沟槽状凹入部分；和

第二模具，用于支撑所述第一模具的所述突起条纹部分所挤压到的所述金属板，

其中所述突起条纹部分中的每一个都包括：

内壁形成部分，用于形成所述相应沟槽状凹入部分在所述相应沟槽状凹入部分的深度方向上延伸的内壁；

连接面部分；和

倾斜面部分，其经由所述连接面部分与所述内壁形成部分相连，用于将所述相应沟槽状凹入部分的底部形成为大致V形。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，如在与所述突起条纹部分的纵向正交的假想截面上观察到的，由所述内壁形成部分的延伸面和所述倾斜面部分的延伸面相交处的相交部分、所述连接面部分的内壁形成部分侧端部、以及所述连接面部分的倾斜面部分侧端部所形成的三角形是底边由所述连接面部分构成的大致等腰三角形。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，挤压所述突起条纹部分的方向和所述连接面部分之间的内角为8至40度。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，挤压所述突起条纹部分的方向和所述倾斜面部分之间的内角为40至50度。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述连接面部分的倾斜面部分侧端部和所述内壁形成部分之间在所述突起条纹部分的宽度方向上的尺寸相对于所述突起条纹部分的宽度尺寸的比例为0.05至0.15。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述连接面部分的倾斜面部分侧端部和所述内壁形成部分之间在所述突起条纹部分的宽度方向上的尺寸相对于所述间隙部分的宽度尺寸的比例为0.06至0.45。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述连接面部分是平面。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述连接面部分是曲面。

9.一种制造液体喷头的方法，所述液体喷头包括：由金属制成的压力产生腔形成板，其具有排列形成压力产生腔的沟槽状凹入部分并在所述沟槽状凹入部分的一端处形成有在板厚方向上穿透的连通端口；喷嘴板，其在与所述连通端口相对应的位置处钻有喷嘴口；和由金属制成并用于密封所述沟槽状凹入部分的开口面的密封板，通过将所述密封板结合到所述压力产生腔形成板中形成有所述沟槽状凹入部分的一侧并且还将所述喷嘴板结合到所述压力产生腔形成板的相反侧来构成所述液体喷头，所述方法包括以下步骤：

准备第一模具，所述第一模具包括以预定间距平行排列的突起条纹部分和形成在相邻突起条纹部分之间的间隙部分，其中所述突起条纹部分中的每一个都包括：内壁形成部分，用于形成所述相应沟槽状凹入部分在所述相应沟槽状凹入部分的深度方向上延伸的内壁；连接面部分；和倾斜面部分，其经由所述连接面部分与所述内壁形成部分相连，用于将所述相应沟槽状凹入部分的底部形成为大致V形；

准备第二模具；以及

使所述第一模具的所述突起条纹部分挤压金属板来形成所述沟槽状凹入部分，同时由所述第二模具支撑所述金属板。

10.一种液体喷头，包括：

由金属制成的压力产生腔形成板，其具有排列形成压力产生腔的沟槽状凹入部分并在所述沟槽状凹入部分的一端处形成有在板厚方向上穿透的连通端口；

喷嘴板，其在与所述连通端口相对应的位置处钻有喷嘴口；和

密封板，其由金属制成并用于密封所述沟槽状凹入部分的开口面，其中：

通过将所述密封板结合到所述压力产生腔形成板中形成有所述沟槽状凹入部分的一侧并且还将所述喷嘴板结合到所述压力产生腔形成板的相反侧来构成所述液体喷头；并且

所述沟槽状凹入部分中的每一个都包括：

在所述沟槽状凹入部分的深度方向上延伸的内壁；

具有大致V形的底部；和

将所述内壁连接到所述底部的连续光滑面。

11.一种模具装置，包括：

第一模具，所述第一模具包括以预定间距平行排列的突起条纹部分和形成在相邻突起条纹部分之间的间隙部分，其中所述第一模具适于通过使所述突起条纹部分挤压金属板来形成沟槽状凹入部分；和

第二模具，用于支撑所述第一模具的所述突起条纹部分所挤压到的所述金属板，

其中所述突起条纹部分中的每一个都包括：

内壁形成部分，用于形成所述相应沟槽状凹入部分在所述相应沟槽状凹入部分的深度方向上延伸的内壁；

连接面部分；和

倾斜面部分，其经由所述连接面部分与所述内壁形成部分相连，用于将所述相应沟槽状凹入部分的底部形成为大致V形。

12.一种金属板，包括：

排列的沟槽状凹入部分，所述沟槽状凹入部分中的每一个都包括：

在所述沟槽状凹入部分的深度方向上延伸的内壁；

具有大致V形的底部；和

将所述内壁连接到所述底部的连续光滑面。

13.一种模具，适于在用作液体喷头的压力产生腔形成板的金属板中挤压形成排列成行的沟槽状凹入部分，所述模具包括：

阳模件，所述阳模件以预定间距在行方向上排列，所述阳模件中的每一个都在与所述行方向垂直的突起方向上突起并且在与所述行方向和所述突起方向两者垂直的纵向上延长；和

在所述行方向上位于相邻阳模件之间的间隙部分，

其中所述阳模件中的每一个都包括：

内壁形成部分，其在所述突起方向上延伸，用于形成所述相应沟槽状凹入部分的内壁；

连接面部分；和

倾斜面部分，其经由所述连接面部分与所述内壁形成部分相连，用于形成所述相应沟槽状凹入部分的V形底部的倾斜面。

14.根据权利要求13所述的模具，其中，如在与所述纵向正交的假想截面上观察到的，由所述内壁形成部分的延伸面和所述倾斜面部分的延伸面相交处的相交部分、所述连接面部分的内壁形成部分侧端部、以及所述连接面部分的倾斜面部分侧端部所形成的三角形是底边由所述连接面部分构成的大致等腰三角形。

15.根据权利要求13所述的模具，其中，所述突起方向和所述连接面部分之间的角度为8至40度。

16.根据权利要求15所述的模具，其中，所述突起方向和所述倾斜面部分之间的角度为40至50度。

17.根据权利要求16所述的模具，其中，所述连接面部分的倾斜面部分侧端部和所述内壁形成部分之间在所述行方向上的尺寸相对于所述阳模件在所述行方向上的尺寸的比例为0.05至0.15。

18.根据权利要求17所述的模具，其中，所述连接面部分的倾斜面部分侧端部和所述内壁形成部分之间在所述行方向上的尺寸相对于所述间隙部分在所述行方向上的尺寸的比例为0.06至0.45。

19.根据权利要求18所述的模具，其中，所述连接面部分是平面或曲面。

Images