CN1746765A - 光源装置与投影机 - Google Patents

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Abstract

提供了能有效冷却同时能以高亮度照明的光源装置以及配备了这种光源装置的投影机。此光源装置(1)具有固体光源(11)与透镜(12);其特征是包括有:通过与此固体光源(11)接近地流动而吸收该固体光源所发的热的第一液体;与此第一液体接近地流动而吸收流第一液体热量的第二液体。

Description

光源装置与投影机
技术领域
本发明涉及光源装置与投影机。
背景技术
以往于投影机(投射型显示装置)中一直是把卤素灯用作其光源,近年来则已多采用高亮度高效率的高压汞灯(UHP)。采用放电型灯UHP的光源需要高压的电源电路,大型与笨重已妨碍了投影机的小型轻量化。此外,UHP虽然比卤素灯的寿命长但仍属短寿命的,而且光源的控制(高速亮灯、熄灯、调制)不可能简单,起动需要数分钟的长时间。
为此,作为新的光源最近特别重视LED(发光二极管)发光体。LED是超小型、超轻量与长寿命的发光体,而且通过控制驱动电流,还能自由地调整亮灯、熄灯与出射光量。但到目前,还难以在以LED为光源的投影机中获得充分的亮度。这是由于LED的发光效率还只是UHP的约1/2-1/3,即便注入额定的全额电流也只能得到很小的光量。通过出色的技术革新,上述效率已逐年地稳步提高,几年之后是有可能达到与当前的UHP相同的水平,但至少在最近的将来,估计在可商品化的LED光源投影机中,状况会依旧。此外虽有将LED阵列化来增大光量的方法,但由于这种增大发光点的光学系统导致照明效率降低,未能取得较好的效果。
此外,能想到的剩余方法是增大LED的发光量,但这如之前所述受到LED的额定功率制约,而最大光量则由额定功率与效率自动地决定。由于决定LED的额定电流的主要是发热量,从而提出了在以往的LED的封装内充装导热性高的流体来冷却的技术(例如参考专利文献1)。
专利文献1:特开2001-36148号公报
但即便是采用上述技术,仍然存在着难有充分散热效果的问题。因此,由于发热会使芯片受损就不能加大额定电流,最大的光输出也较小。
发明内容
本发明还是鉴于上述问题而提出的,目的在于提供能有效地冷却同时可有高亮度照明的光源装置以及配备有这种装置的投影机。
为了达到上述目的,本发明采用以下结构。本发明的光源装置是具有固体光源与透镜的装置,其特征在于此装置具有通过进行接近于上述固体光源的流动以吸收此固体光源的发热的第一液体;通过进行接近于此第一液体的流动而吸收此第一液体热量的第二液体。
这里的固体光源是指LED芯片或半导体激光器等。
根据本发明,由于具有接近固体光源流动的第一液体,此第一液体将吸收固体光源的发热。于是,第一液体的热量会增多,但由于具有与该第一液体接近的流动的第二液体,可使第一液体冷却。这样,冷却了的第一液体再度连续地吸收固体光源所发的热,同时第一液体的热量通过第二液体而可取出到光源装置的外部,也就是可通过第一液体与第二液体两者的流动来冷却固体光源。
因此,于在固体光源近旁仅停滞地设定第一液体的情形相比,由于通过液体的流动主动地冷却固体光源,故可提高冷却效率。
在上述光源装置中,最好是使上述第一液体于所述固体光源和透镜之间流动。
周知,一般在固体光源中,特别是在其发光部附近,发热量大,因而该发光部的温度上升。因此,为了有效地从透镜侧取出固体光源所发的光,多数情形下将固体光源设置成使发光部与透镜相对峙。
因此,通过使第一液体于固体光源和透镜侧之间流动,例如就能有效地吸收固体光源的透镜侧例如发光部处产生的热。
在上述光源装置中,上述第一液体最好是在与上述固体光源中上述透镜所在一侧的相反侧流动。
这样,就能直接地在不妨碍固体光源发光的部分吸收产生的热。
本发明的光源装置中,上述第一液体最好覆盖上述固定光源的周围流动。
另外,在本发明的光源装置中,上述第一液体优选覆盖上述固体光源的周围地流动。
这样,第一液体不仅在固体光源的发光部流动而且沿固体光源本身的周围流动,使固体光源表面整个地冷却,从而能防止例如局部性的发热。
本发明的光源装置中,上述第一液体最好为透明材料组成。
这样,可不减少固体光源发光的光量,使所发的光透射第一液体而从透镜侧出射。
特别有效的是把这种透明材料用作于透镜和固体光源之间流动的第一液体。
本发明的光源装置中,上述第一液体的折射率最好与上述透镜的折射率相同。
这样,即使是固体光源发出的光透射第一液体也不会散射,而能让此发出的光良好地从透镜侧出射。
特别有效的是把这种透明材料用作于透镜和固体光源之间流动的第一液体。
本发明的光源装置中,上述第一液体的种类最好应根据上述固体光源的发射光的波长选择。
这里所谓“根据发射光的波长”选择,意思是指根据例如红(R)、绿(G)、蓝(B)为代表的光的色波长(色光的波段)来选择第一液体的种类。
这样,对于依赖于色光波长的液体的特性,例如与相对于蓝光的透射性相比,相对于红光或绿光的透射性高等的情形下,通过将相对于预定色光的波长透射性优越的液体材料选用作第一液体,这样就能使不降低相对于预定色光波长的发光特性的固体光源发光。
本发明的光源装置中,上述第二液体优选沿上述固体光源的周围流动。
这样,由于吸收了固体光源的发热的第一液体与第二液体进行热交换的部分增大,故能进一步提高冷却效率。
本发明的光源装置中最好具备使上述第一液体流动的泵装置。
这样,由于能借助泵装置使第一液体流动,就能有效地吸收固体光源的发热,也即可以进一步提高冷却效率。
本发明的光源装置中,上述泵装置最好能使上述第一液体往复流动。
这样,例如通过使第一液体沿预定方向流动,在流动的部分固体光源冷却,然后通过使第一液体沿与该预定方向相反的方向流动,于返回的部分由第二液体冷却第一液体。经过这样地进行往复流动,就能连续和有效地进行第一液体对固体光源的发热吸收以及第二液体同第一液体的热交换。
本发明的光源装置中,上述泵装置最好配置于上述第一液体的流路的两端。
这样,与设置一个泵装置的情形相比,排出压力升高,因而第一液体能不停滞地流动,这就特别有效于例如当把高粘性流体用作第一液体,由于使该第一液体流好地流动需要有高的排出压力时。
本发明的光源装置中,上述泵装置最好能使上述第一液体循环流动。
这样,由于通过循环流动,第一液体能常时地流过固体光源的发热部,固体光源发出的热量便能连续地传递给第一液体。由此可以稳定地保持第一液体对固体光源的冷却能力。此外,这时也可设置多个泵装置。为了使流动方向只沿预定的一个方向流动,还可采用具有止回阀的结构。
本发明的光源装置中,上述泵装置最好是压电元件。
上述压电元件由于与一般所知的离心泵相比,具有排出压力高出一个数量级的性能,故可以以高的排出压力使第一液体流动。
此外,本发明的投影机的特征在于它具有前面所述的光源装置和为该光源装置照射的光入射的光调制装置。
这样的投影机由于具有可提高冷却效率的光源装置,结果就能谋求增大投入固体光源的电功率,而可增加该固体光源的出射光量。这样,从小型光源发射出极高亮度的光,所发出的光由于光源范围适当而能有效地进入光调制装置,调制了的光作为明亮的图像投射到屏上。
也就是能获得小型高亮度的投影机。
附图说明
图1是示明本发明的光源装置的第一实施形式的侧视剖面图。
图2是用于说明图1中光源装置的第二致冷剂流路的透视图。
图3是本发明光源装置第二实施形式的侧视剖面图。
图4是本发明光源装置第三实施形式的侧视剖面图。
图5是本发明光源装置第四实施形式的侧视剖面图。
图6是本发明光源装置第五实施形式的侧视剖面图。
图7是本发明光源装置第六实施形式的侧视剖面图。
图8是本发明光源装置第六实施形式的侧视剖面图。
图9是本发明光源装置第七实施形式的侧视剖面图。
图10是具有本发明的光源装置的投影机的说明图。
标号说明:
1、2、3、4、5、6、7、512、513、514,光源装置;
11、11R、11G、11B,LED芯片(固体光源);
12,透镜;
15,压电元件(泵装置);
17,第一致冷剂(第一液体);
522、523、524,液晶光阀(光调制装置)。
具体实施方式
下面参考附图说明本发明的实施形式。
此外,在以下用于说明的各附图中,为使各部件达到可识别的大小,对各部件的缩小比例尺作了适当的变更。
[光源装置的第一实施形式]
图1是示明第一实施形式的光源装置的侧视剖面图,图2是用于说明第二致冷剂流路的透视图。
如图1所示,本实施形式的光源装置1包括安装基板10、LED芯片(固定光源)11、透镜12、第一致冷剂流路13、第二致冷剂流路14与压电元件(泵装置)15。
此外,如图2所示,在光源装置1的外部设有通过第二致冷剂流路14连接的冷却器16。
安装基板10是光源装置1的基体部件,它通过封装密封LED芯片11的整体。用于给LED芯片11供电的引线架则引出到封装的外部(未图示),能从外部通电。作为这种安装基板10的材料可以由环氧树脂等热固化树脂形成。
LED芯片11主要具有p型半导体与n型半导体相接合的结构,由Al等导电材料组成的一对电极和树脂等透明材料组成的封装构成。LED芯片11一方的端面与一对电极之中一方的电极的上表面形成面接合,而LED芯片的另一端面与一对电极之中另一方电极的上表面则通过引线接合连接。此外,本实施形式中作为固体光源是采用LED芯片11,但也可采用半导体激光器等光源。
下面详述LED芯片11,此LED芯片11是在有电流流过结时发光的所谓发光二极管。单纯的同质结的LED是p型半导体与n型半导体的晶体为相同的材料所构成的。对同质结的LED施加正向偏压后,n型半导体的电子移向p型半导体,从能级高的导带落到能级低的价带,与空穴再结合。此时失去的能量作为光释出而LED发光,释出的光的颜色则由导带与价带的能量差(带隙)确定,带隙则由所用半导体材料决定,例如,使用AlGaAs等时发红光,使用GaP等时发绿光,使用InGaN等时发蓝光。这样,LED即成为单色固体光源。
再有,同质结结构的LED发光效率低,因而最好是对LED芯片11采用双异质结与量子阱结等的LED。双异质结的LED是在P型半导体与n型半导体之间夹设带隙小的激活层而成。对双异质结构的LED施加正向偏压后电子与空穴封闭到激活层中,密度升高。由此进行高效的复合而得到高的发光效率。量子阱结的LED则是在P型半导体与n型半导体之间夹设薄约电子波长(约10nm)的多个半导体层所成。对量子阱结构的LED施加正向偏压后,则能在接合区只聚集具有预定能量的电子与空穴。由此能高效率地进行复合而获得高的发光效率。此外可获得波长小的近似单色光。这样,通过将发光效率高的LED用作投影机等投射型显示装置的固体光源,就能提高图像的亮度和降低电功率的消耗。
透镜12是用于从LED芯片11取出其所发的光的元件。作为这种透镜,最好采用透明材料如玻璃与树脂等。
其次说明成为本实施形式特征内容的第一致冷剂流路13,第二致冷剂流路14与压电元件(泵装置)15。
第一致冷剂流路13设于LED芯片11与透镜12之间,还设于图1所示安装基板10的扩展方向中,在它的一端设置压电元件15。此外,在透镜12与压电元件之间上下交错地设有第二流路14。
在此第一致冷剂流路13中,相当于本发明第一液体的第一致冷剂随着压电元件15的驱动而往复流动。然后,通过第一致冷剂流动,在与第二致冷剂流路14的交差部分A中,与沿第二致冷剂流路14流动的第二致冷剂进行热交换,这里的第二致冷剂相当于本发明的第二液体。
再如图2所示,由于设有通过光源装置1外部所设的第二致冷剂流路14相连接的冷却器16,在交差部A中由于热交换而温度上升的第二致冷剂在冷却器16中冷却,而于第二致冷剂流路14内循环。
作为第一致冷剂材料,具体地说最好采用硅的匹配油等透明材料,而其折射率则最好与LED芯片11的封装或透镜12的折射率相同。此外也可采用硅胶这种高粘度的材料。作为本发明可用的液体材料例如除上述硅系之外,尚有联苯基二苯醚系、烷基苯系、烷基联苯系、三芳基二甲烷系、烷基萘系、氢化三联苯系以及二芳基烷系等作为有机热媒体一般所用的。此外,也可采用氟系等各种液体,从其中再加上光源装置的用途.,要求性能与环保性等加以选定。
作为第二致冷剂的材料,采用水是适当的。虽然也可采用水以外的材料,但是水用起来特别方便,同时还有冷却本领高的优点,此外,如图2所示,对于第二致冷剂流路14的路径长的情形,由于担心管路阻力会降低冷却效率。为了减小管路阻力,最好采用低粘度液体,而在这方面又是以水为最合适。
压电元件15与离心泵相比,排出压力高出一个量级,还由于极端紧凑能内置于安装基板10中,特别适合用作泵装置。因此,例如即使将高粘性流体用作第一致冷剂,也有利于能进行良好的流动。这种压力元件15的特征是能对应于供给电压的ON/OFF使驱动板处于弯曲状态和解除弯曲状态两者间反复工作,因而通过将此压电元件15设于第一致冷剂流路的端部,就能伴随驱动板弯曲的发生与解除而使第一致冷剂于第一致冷剂流路13内往复流动。此外,压电元件15的驱动既可以定期地进行也可以根据安装基板中所设温度传感器的探测结果进行。通过采用这种压电元件,也有利于在伴随第一致冷剂流动取出所发的光之际产生的损耗。
再有,作为泵装置也不限于压电元件15,也可采用静电元件等小型驱动元件。
以下说明取上述结构的光源装置1的工作。
首先从安装基板10的外部供给用于使LED芯片11发光的电功率,再从LED芯片11的发光部经透镜12取出所发的光。此时,LED芯片11通过发光,自身发热而温度上升。在此状态下驱动压电元件15,于是第一致冷剂流路13内加第一致冷剂便沿图1中安装基板10的延展方向往复流动。详细地说,通过压电元件15的驱动,第一致冷剂便压出到LED芯片11上面吸收LED芯片11所发的热。进一步,通过压电元件15的驱动继续,第一致冷剂便返回到与第二致冷剂流路14的交差部A,在交差部A,第一致冷剂与第二致冷剂进行热交换。换言之,第一致冷剂的热量为第二致冷剂吸收。随着压电元件15的继续驱动,第一致冷剂再压出到LED芯片上,与前述相同地吸收LED芯片11的发热,而吸收了第一致冷剂热量的第二致冷剂则沿第二致冷剂流路14循环,于冷却器16内冷却,再次返回到交差部A。
通过第一与第二致冷剂这样地共同流动,光源装置1在冷却的同时发光。
如上所述,光源装置1中通过使第一致冷剂与第二致冷剂共同流动,就能有效地冷却LED芯片11。因此,与在固体光源附近仅仅以停滞方式只设置第一液体的情形相比,通过第一液体的流动,就能主动地冷却固体光源,提高冷却效率。
再有,由于采用了使第一致冷剂在透镜12与LED芯片11之间流动的结构,就能有效地冷却发热量大的透镜12侧的发光部附近。
由于第一致冷剂是透明材料,所不会使LED芯片11的发光光量减少而让所发的光透射第一致冷剂从透镜12侧出射。
此外,由于第一致冷剂的折射率与透镜12或LED芯片11的封装的折射率相同,因此,即便LED芯片11所发的光透射第一致冷剂,也不会散射而能良好地从透镜12侧出射。
又由于将压电元件15用作泵装置,就能以高的排出压力使第一冷动剂流动,还由于第一致冷剂是反复流动,就能良好地冷却LED芯片11。
在本实施形式中是取于光源装置1中设置一个LED芯片11的结构,但也可以取由多个LED芯片11形成所谓的阵列结构。这种情形下,此多个LED芯片11共同由第一致冷剂冷却。
[光源装置的第二实施形式]
图3是第二实施形式的光源装置的侧视剖面图。
本实施形式的与上述第一实施形式相同的结构附以相同的标号而省略其说明。
下面说明本实施形式与第一实施形式的不同处。在第一实施形式中,取第一致冷剂在LED芯片11与透镜12之间流动的结构,本实施形式中则如图3所示,取第一致冷剂于LED芯片11下方流动的结构。
这就是说,在图3所示的光源装置2中能够直接在不妨碍LED芯片11发光部分吸收所产生的热。
此外也能通过将第一实施形式与第二实施形式相组合,从LED芯片11的上面与下面吸收LED芯片11的发热。
[光源装置的第三实施形式]
图4是第三实施形式的光源装置的侧视剖面图。
本实施形式的与上述第一实施形式相同的结构附以相同的标号而略去其说明。
下面说明本实施形式与第一实施形式的不同处。在第一实施形式中取于LED芯片11和压电元件15之间设置第一致冷剂流路13与第二致冷剂流路14交差的交差部A的结构,而在本实施形式中如图中所示取设有两个交差部A的夹持LED芯片11的结构。
这样,在图4所示光源装置3中,由于吸收了LED芯片11所发的热的第一致冷剂与第二致冷剂进行热交换的部分增大,能进一步提高冷却效率。
[光源装置的第四实施形式]
图5是第四实施形式的光源装置的侧视剖面图。
本实施形式的与上述第一实施相同的结构附以相同的标号而略去其说明。
下面说明本实施形式与第一实施形式的不同处。在第一实施形式中取将压电元件15与交差部A分别设置一个的结构,但在本实施形式中,如图5所示,取设置两个压电元件15与两个交差部A来夹持LED芯片11的结构。
这就是说,在图5所示的光源装置3中,能起到与上述第三实施形式相同的效果,同时由于设有两个压电元件15就能进一步加大排出压力。因而例如即便是把高粘性液体用作第一致冷剂材料时,也能沿第一致冷剂流路良好地流动。
在设有两个这样的压电元件15的结构中,这种结构的驱动方法最好采用所谓推拉方式进行。也就是最好作这样的驱动:使一个压电元件中的驱动板呈弯曲状态而使另一个压电元件的驱动板取解除弯曲的状态。由此可以提高用于使第一致冷剂流动的排出压力。
[光源装置的第五实施形式]
图6是第五实施形式的光源装置的侧视剖面图。
本实施形式的与上述第一实施形式相同的结构附以相同的标号而略去其说明。
下面说明本实施形式与第一至第四实施形式的不同处。在第一至第四实施形式中是使第一致冷剂于第一致冷剂流路13内沿安装基板10的延展方向往复流动来冷却LED芯片11,但在本实施形式中,如图6所示取这样的结构:以第一致冷剂17覆盖LED芯片11的周围,将压电元件15设于LED芯片的下方,而在第一致冷剂17的周围设置第二致冷剂流路14。
如图6所示,在光源装置5中,由于压电元件15的驱动,第一致冷剂17沿LED芯片11的周围流动。此外,第二致冷剂吸收第一致冷剂17的热量。因此在这样的结构中,LED芯片11周围的第一致冷剂吸收LED芯片11所发的热量,而第二致冷剂则吸收第一致冷剂的热量。这就是说,由于LED芯片11的整个表面冷却,能够防止局部性的发热。
[光源装置的第六实施形式]
图7与图8是第六实施形式的光源装置的侧视剖面图。
本实施形式的与上述第一实施形式相同的结构附以相同的标号而略去其说明。
下面说明本实施形式与第一至第四实施形式的不同处。在第一至第四实施形式中是通过使第一致冷剂于第一致冷剂流路13内沿安装基板10的延展方向往复流动来冷却LED芯片11,但在本实施形式中,如图7与8所示,是使第一致冷剂17沿LED芯片11周围循环流动的。
此图7与图8还是用来说明光源装置6工作的图,图7示明止回阀18开启时第一致冷剂供给予LED芯片11上方的状态,图8示明止回阀19开启时第一致冷剂供给予LED芯片下方的状态。
图7与8分别所示的止回阀18与19是为防止第一致冷剂回流而设置的。通过设置止回阀18、19,于是随着压电元件15的驱动,第一致冷剂17只能沿预定方向流动。
这样,在本实施形式的光源装置6中,由于第一致冷剂17经常性地循环流过LED芯片11的发热部,故可将LED芯片11发生的热量连续地传递给第一致冷剂17。由此可以稳定地保持第一致冷剂17液体对LED芯片11的冷却能力。
[光源装置的第七实施形式]
图9是第七实施形式的光源装置的侧视剖面图。
本实施形式的与上述第一至第六实施形式相同的结构附以相同的标号而略去其说明。
本实施形式的光源装置7的特征内容是根据LED芯片11的发光颜色采用不同种类的第一致冷剂17。
如图9所示,光源装置7包括分别发R、G、B三种颜色的光的LED芯片11R、11G、11B,还包括分别吸收上述各LED芯片所发的热的第一致冷剂17R、17G、17B。
特别是,此第一致冷剂17R、17G与17B的材料相异。
这样,对于依赖于色光波长的液体的特性,例如与相对于蓝(B)光的透射性相比,相对于红(R)光或绿(G)光的透射性高等的情形下,通过将相对于预定色光的波长透射性优越的材料选用作第一液体,这样就能使在相对于预定色光波长的发光特性降低的LED芯片11R、11G、11B各自以高效率发光。
[投影机]
图10是具有本发明的光源装置的投影机的说明图。
图中的标号512、513、514表示光源装置,522、523、524表示液晶光阀(光调制装置),525表示十字分色棱镜(色光合成装置),526表示投影透镜(投影装置)。
图10的投影机具有按本实施形式构成的三个光源装置512、513、514。各光源装置512、513、514的光源分别采用发红(R)、绿(G)、蓝(B)光的LED元件。在各光源装置的后方,作为用于使光源光的照度分布均匀的均匀照明系统,可以设置棒形透镜或蝇眼透镜。
来自红色光源512的光束,通过重叠透镜535R为反射镜517反射,入射到红光用液晶光阀522。从绿色光源513来的光束通过重叠透镜535G入射到绿色光用液晶光阀523。此外,来自蓝色光源512的光束为反射镜516反射,通过重叠透镜535B入射到蓝色光用液晶光阀522。来自各光源的光束通过重叠透镜在液晶光阀的显示区域中重叠,均匀地照明液晶光阀。
在各液晶光阀的入射侧与出射侧设置有偏振片(未图示)。这样,使来自各光源光束中预定方向的线偏振光才透射入射侧的偏振片,入射到各液晶光阀。也可以在入射侧偏振片的前方设置偏振变换装置(未图示)。此时,能把入射侧偏振片所反射的光束再循环而入射到各液晶光阀中,而可以提高光的利用效率。
由各液晶光阀522、523、524调制的三种色光,入射到十字分色棱镜525。此棱镜是将四个直角棱镜贴合,在其内表面上由反射红光的电介质多层膜和反射蓝光的电介质多层膜形成十字状。由这些电介质多层膜将3种色光合成,形成显示彩色图像的光。合成的光由投影光学系统的投影透526投影到投影屏527上,可显示放大的图像。
如上所述,图10所示的投影机由于具有可提高冷却效率的光源装置,结果能谋求加大对固体光源投入的电功率而可增加固定光源的出射光量。这样,由于能从小型光源发射出极高亮度的光,发射出的光由于光源范围适当而能有效地取入光调制装置,可使调制了的光作为明亮的图像而投影到屏上。
也就是说可以获得小型高亮度的投影机。
本发明的技术范围不局限于上述实施形式的内容,还包括不脱离本发明的主旨范围对上述实施形式所作的种种变更。这就是说,各实施形式中所举的具体材料与结构等只不过是这方面的一些例子,是可以作出适当变动的。

Claims (14)

1.一种光源装置,它是具有固体光源与透镜的光源装置,其特征在于,包括:
通过与上述固体光源接近地流动,吸收该固体光源所发出的热的第一液体;以及
通过与该第一液体接近地流动,吸收该第一液体热量的第二液体。
2.如权利要求1所述的光源装置,其特征在于,上述第一液体在上述固体光源与上述透镜之间流动。
3.如权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,上述第一液体在与上述固体光源中的上述透镜配置侧的相反侧流动。
4.如权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,上述第一液体覆盖上述固体光源的周围地流动。
5.如权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,上述第一液体由透明材料组成。
6.如权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,上述第一液体的折射率与上述透镜的折射率相同。
7.如权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,上述第一液体的种类根据上述固体光源发出光的光波长选择。
8.如权利要求1所述的光源装置,其特征在于,上述第二液体沿上述固体光源周围流动。
9.如权利要求1或2所述的光源装置,其特征在于,具备使上述第一液体流动的泵装置。
10.如权利要求9所述的光源装置,其特征在于,上述泵装置使上述第一液体往复流动。
11.如权利要求9所述的光源装置,其特征在于,上述泵装置配置在上述第一液体的流路的两端。
12.如权利要求9所述的光源装置,其特征在于,上述泵装置使上述第一液体循环流动。
13.如权利要求9所述的光源装置,其特征在于,上述泵装置是压电元件。
14.一种投影机,其特征在于,具有:
如权利要求1~13中任一项中所述的光源装置;
和从该光源装置照射的光所入射的光调制装置。
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