CN1737671A - 隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及液晶面板 - Google Patents

Abstract

一种能够在基板上的液晶形成区域均匀地撒布隔离子的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及液晶面板。用预先设定了尺寸的载物台本体(3a)和保持在载物台本体(3a)上可以滑动的载物台辅助部(3b)或者具有可与载物台本体(3a)连接的结构的载物台辅助部(3b)来构成载物台(3)，根据载物台(3)上放置的基板(10)的尺寸，相应地滑动或连接载物台辅助部(3b)，使载物台尺寸可变，从而使载物台(3)的端部和其附近的液晶面板形成区域(10a)的距离处在预先设定的范围内。这样就能够提高隔离子撒布密度的均匀性，能够以高成品率、低成本来制造对置的一对基板间的间隙得到均匀控制的高显示品位的液晶面板。

Description

隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及液晶面板

技术领域

本发明涉及隔离子(スペ一サ)撒布装置和隔离子撒布方法以及液晶面板，特别涉及在液晶面板用基板上撒布隔离子的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及具备该液晶面板用基板的液晶面板。

背景技术

作为AV设备或OA设备的显示装置，由于薄、轻、功耗低等优点，液晶面板得到了广泛的应用。该液晶显示面板具有矩阵状地形成了TFT(Thin Film Transistor)等开关元件的TFT基板和形成了滤色器、黑色矩阵等的对置基板，在两个基板之间配置预定尺寸的聚合物有孔玻璃珠、石英有孔玻璃珠等绝缘性的隔离子，形成预定的间隙，并在该间隙内注入液晶后密封而形成。并且，对在对置的一对基板或一个基板上形成的电极施加电压，使之产生电场，由该电场来控制液晶的取向方向，从而改变光的透过率，显示图像。对于这种结构的液晶面板，为了提高显示品位，使对置的基板之间的间隔保持均匀至关重要，因此，需要在基板上均匀地撒布用来形成间隙的隔离子。

作为在基板上撒布隔离子的方法，有将隔离子分散在氟利昂、酒精、纯水等溶剂中，将该溶剂从喷嘴进行喷雾的湿式撒布方法和通过静电枪或摩擦等使隔离子带电，将该带电后的隔离子从喷嘴喷出的干式撒布方法，在湿式撒布方法中，必须对氟利昂或酒精等进行回收，另外，隔离子在溶剂中容易凝聚，不容易在基板面内均匀地撒布隔离子，因此，近年来，干式撒布方法得到广泛应用。

在该干式撒布方法中，通常隔离子以正电位带电，由于隔离子相互之间有排斥力发生作用，所以隔离子不会有局部的凝聚，但是，由于喷嘴与隔离子的位置关系而呈现以下的趋势：载物台的中央部分因为位于喷嘴的正下方，隔离子的撒布量就多，另一方面，载物台的边缘部分因为离喷嘴的距离变大，隔离子的撒布量变少，在载物台整体上隔离子的撒布密度上就会产生偏差。

为了降低这种起因于喷嘴与载物台的位置关系的隔离子撒布密度分布的偏差，有以下的方法：使隔离子撒布装置的工作室与隔离子带相同符号电位(通常为正电位)的电，使向工作室壁面方向射出的隔离子向载物台方向弹回，以此来实现隔离子撒布密度的均匀化。例如，在特开2002-148635号公报中，公开了使放置基板的撒布工作室形成为各层进行了电绝缘的积层结构，从外部对工作室的最内层面施加与隔离子同符号的电压，以此靠静电力使向工作室壁面行进的隔离子弹回，以此来抑制基板边缘部的隔离子撒布量下降的结构。

[专利文献1]特开2002-148635号公报(第3-10页，图1)

发明内容

通过采用上述专利文献1所记载的隔离子撒布装置，能够改善上述起因于喷嘴与载物台的位置关系的隔离子撒布密度分布的偏差，但是，在该装置中，反而是被工作室壁面弹回后飞到载物台边缘部分的隔离子的量变得太多。在此，可通过对在工作室壁面上施加的电压进行调整，或改善撒布隔离子的喷嘴的形状或撒布图形等来调整工作室壁面附近的载物台边缘部分的隔离子撒布量，但是，即使进行了这种调整，也不能使基板上的隔离子的撒布密度变均匀。

其原因是，隔离子的撒布密度分布不仅随喷嘴与载物台的位置关系、工作室壁面与载物台的位置关系，而且随载物台与其上面放置的基板的位置关系而发生变化。具体地讲，是因为：在载物台的中央部分，电场大致是一定的，而在载物台的端部，由于边沿效应，电场集中，这样一来，离载物台端部较近的基板的边缘部分的隔离子的撒布量就会增加。

在此，当液晶面板的尺寸较小时，或者基板的切割位置有富余时(即，用一张基板制造多张的液晶面板时，液晶面板之间的间隔较宽的情况)，可以增加从基板的端部到液晶面板形成区域的距离，所以即使由于边沿效应，载物台端部附近的隔离子的撒布量增加了，在液晶面板形成区域，也能够减小其影响，但是，当液晶面板的尺寸大型化，为了降低成本而在基板上密集配置多张液晶面板时，基板的切割位置必然没有富余，结果，边沿效应的影响就会扩大到位于载物台端部附近的液晶面板形成区域。

为了降低该边沿效应的影响，也可以考虑扩大工作室或载物台的尺寸，使基板远离载物台端部，但是，如果工作室的尺寸增加，进行一次隔离子撒布所使用的隔离子的量就会相应增加，这样就浪费了昂贵的隔离子，从而导致液晶面板的成本增加。另外，液晶面板的尺寸按照需求的产品，是各式各样的，如果载物台端部和其附近的液晶面板形成区域的距离因产品而异，那么隔离子撒布密度也会因不同的产品而发生变化，结果，产品的性能就会产生偏差。

本发明正是鉴于上述问题点而提出来的，其主要的目的在于，提供一种无论液晶面板的尺寸或基板上的液晶面板的配置如何，均能在液晶面板形成区域均匀撒布隔离子的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及用该隔离子撒布装置制造的液晶面板。

为了实现上述目的，本发明的隔离子撒布装置是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布装置，在该隔离子撒布装置中，上述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和支承在上述载物台本体上，使上述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部构成。

另外，本发明的隔离子撒布装置是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布装置，在该隔离子撒布装置中，上述载物台由在外缘部的至少一部分上具有相互结合的连接装置的一方的、预先设定了尺寸的载物台本体和在内缘部的至少一部分上具有与上述连接装置的一方结合的上述连接装置的另一方的、多种尺寸的载物台辅助部构成，通过将上述载物台本体和从上述多种尺寸中选择的尺寸的上述载物台辅助部连接起来，使上述载物台的面方向的尺寸能够变更。

另外，本发明的隔离子撒布装置是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布装置，在该隔离子撒布装置中，上述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和保持在上述载物台本体上，可在该载物台本体的面方向滑动的载物台辅助部构成，通过滑动上述载物台辅助部，使上述载物台的面方向的尺寸能够变更。

在本发明中，可以构成为：上述载物台辅助部被保持成其上面与上述载物台本体下面大致抵接(当接する)的状态，通过在上述载物台本体方向滑动上述载物台辅助部来去除上述载物台辅助部上面堆积的上述隔离子。

在本发明中，上述载物台本体和上述载物台辅助部之间具有绝缘部件，还可以把上述载物台本体和上述载物台辅助部设定成不同的电位。

另外，在本发明中，优选的是，在上述基板上设有多个形成液晶面板的区域，滑动或选择上述载物台辅助部，使从上述载物台的端部到该载物台端部附近的上述区域的距离处在预先设定的范围内。

另外，本发明的隔离子撒布方法是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布方法，在该隔离子撒布方法中，由预先设定了尺寸的载物台本体和使上述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部来构成上述载物台，由上述载物台本体来支承上述载物台辅助部，从而按照上述基板的尺寸来变更上述载物台的面方向的尺寸，控制上述隔离子的撒布密度分布。

另外，本发明的隔离子撒布方法是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布方法，在该隔离子撒布方法中，由在外缘部的至少一部分上具有相互结合的连接装置的一方的、预先设定了尺寸的载物台本体和在内缘部的至少一部分上具有与上述连接装置的一方结合的上述连接装置的另一方的、多种尺寸的载物台辅助部来构成上述载物台，将上述载物台本体和从上述多种尺寸中选择的尺寸的上述载物台辅助部连接起来，从而按照上述基板的尺寸来变更上述载物台的面方向的尺寸，控制上述隔离子的撒布密度分布。

另外，本发明的隔离子撒布方法是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布方法，该隔离子撒布方法可以构成为，由预先设定了尺寸的载物台本体和保持在上述载物台本体上，并可在该载物台本体的面方向滑动的载物台辅助部构成上述载物台，通过滑动上述载物台辅助部，使上述载物台的面方向的尺寸按照上述基板的尺寸来变更，控制上述隔离子撒布密度分布，将上述载物台辅助部保持成其上面与上述载物台本体下面大致抵接的状态，在撒布上述隔离子之后，通过在上述载物台本体方向滑动上述载物台辅助部来去除上述载物台辅助部上面堆积的上述隔离子，进行接下来的上述隔离子的撒布。

在本发明中，也可以构成为，在上述载物台本体和上述载物台辅助部之间设置绝缘部件，通过用预先设置在上述载物台辅助部上的电压施加装置来施加电压，将上述载物台和上述载物台辅助部设定成不同的电位，控制上述载物台面内的上述隔离子的撒布密度分布。

另外，本发明的液晶面板是在对置的一对基板的至少一方上，用上述记载的隔离子撒布装置撒布了上述隔离子的装置。

这样，根据本发明的构成，通过用固定在工作室内的载物台本体和保持在该载物台本体上，可以滑动的或者具有可与载物台本体连接的结构的载物台辅助部来构成液晶面板的制造中所使用的隔离子撒布装置的载物台，使载物台尺寸可根据载物台上放置的基板的尺寸相应地变更，使载物台端部和其附近的液晶面板形成区域的距离处在预定的范围内，能够降低载物台端部的边沿效应的影响。这样一来，能够提高隔离子撒布密度的均匀性，能够以高成品率、低成本来制造对置的一对基板间的间隙得到均匀控制的高显示品位的液晶面板。

根据本发明的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及用该隔离子撒布装置制造的液晶面板，可以在基板上的液晶面板形成区域均匀地撒布隔离子。

其理由是，本发明是用固定在工作室内的载物台本体和保持在该载物台本体上，可以滑动的载物台辅助部来构成液晶面板的制造中所使用的隔离子撒布装置的载物台，或者用固定在工作室内的载物台本体和具有可与该载物台本体连接的结构的载物台辅助部来构成液晶面板的制造中所使用的隔离子撒布装置的载物台，根据载物台上放置的液晶面板用基板的尺寸，相应地滑动载物台辅助部，或者连接载物台辅助部，使载物台尺寸能够变更，从而使载物台端部和其附近的液晶面板形成区域的距离处在预先设定的范围内。

并且，通过采用具有上述结构的隔离子撒布装置，无论液晶面板的尺寸或基板上的液晶面板的配置如何，都能够提高液晶面板形成区域的隔离子撒布密度的均匀性，因此能够以高成品率、低成本来制造对置的一对基板间的间隙得到均匀控制的高显示品位的液晶面板。

附图说明

图1是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置结构的示意图。

图2是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台结构(将载物台辅助部收进去后的状态)的示意图。

图3是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台结构(将载物台辅助部滑动后的状态)的示意图。

图4是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台结构(放置基板后的状态)的示意图。

图5是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台的结构变化的图。

图6是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台的结构变化的图。

图7是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台的结构变化的图。

图8是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台的结构变化的图。

图9是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置上堆积的隔离子的去除方法的示意图。

图10是用来说明本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置的效果的图，是表示从载物台端部到基板端部的距离和隔离子分布的相关关系的图。

图11是表示本发明的第二个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台结构的示意图。

图12是表示本发明的第二个实施例所涉及的隔离子撒布装置的载物台的结构变化的图。

图13是用来说明现有隔离子撒布装置中的工作室、载物台和基板之间的位置关系以及撒布模式的图。

图14是表示现有隔离子撒布装置中的工作室壁面电压以及撒布模式与基板上的隔离子的分布的相关关系的图。

具体实施方式

如背景技术所示，在液晶面板的制造方法中，使对置的一对基板间的间隙保持均匀至关重要，因此，需要在基板面内均匀地撒布用来形成间隙的隔离子。对此，在对工作室施加电压的类型的隔离子撒布装置中，是通过调整在工作室内壁上施加的电压，或者改善喷射隔离子的喷嘴的形状或撒布图形等来降低隔离子撒布密度的偏差。

例如，在图13(a)所示的尺寸的隔离子撒布装置中，将在工作室内壁上施加的电压设定为4.0kV、7.0kV、10kV，将各种电压下的撒布模式设定为图13(b)所示的模式2和模式3时，相对于从基板端部的距离，隔离子的撒布密度如图14所示，通过改变施加电压、撒布模式，就可以改变其分布，当工作室壁面的电压增加时(例如，图中的X标记或*标记)，基板端部的撒布密度增加，另外，当工作室壁面的电压减小时(图中黑三角标记)，基板端部的撒布密度能够稍微减少一点，但是，其内侧(例如离基板端200至300mm)的位置的撒布密度会下降，哪种电压下都不能得到均匀的分布，另外，改变撒布模式也不能改变这种趋势。其理由是，改善在工作室内壁施加的电压或喷嘴的形状、撒布图形的方法，只能抑制起因于喷嘴与载物台的位置关系或者工作室壁面与载物台的位置关系的撒布密度的偏差，而不能降低起因于载物台与其上面放置的基板的位置关系的偏差，即由于载物台端部的电场的集中而导致的隔离子撒布密度的偏差。

另外，还提出了一种通过改变在放置基板的载物台上施加的电压来降低隔离子撒布密度的偏差的方法。例如，特开2000-275652号公报中，公开了将载物台分割成多份，对每份分割后的载物台设定成不同的电位或者分成几组，设定不同电压的方法。但是，上述公报记载的方法能改善载物台整体的面内分布，但仍然不能抑制起因于载物台与其上面放置的基板的位置关系的隔离子撒布密度偏差，即由于载物台端部的电场的集中而导致的隔离子撒布密度的偏差。

针对这个问题，本申请发明人着眼于载物台和其上面放置的基板的位置关系，发现如果使从载物台端部到基板上的液晶面板形成的区域之间的距离在预定的范围之内，就能够降低起因于载物台端部的电场的集中的隔离子撒布密度的偏差，并根据这一发现，提出了能根据基板的尺寸，相应地改变载物台尺寸的结构。下面，参照附图，说明其具体结构。

实施例1

首先，参照图1至图10，说明本发明第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及用该隔离子撒布装置制造的液晶面板。图1是表示本发明的第一个实施例所涉及的隔离子撒布装置构成的示意图，图2和图3是表示隔离子撒布装置的载物台结构的示意图，图4是表示在载物台上放置基板后的状态的示意图。另外，图5至图8是表示载物台的结构变化的图，图9是表示去除载物台上堆积的隔离子的方法的示意图。另外，图10是表示本实施例的隔离子撒布装置的效果的图，是表示隔离子撒布密度相对于载物台上的玻璃基板的放置位置而变化的图。

如图1所示，本实施例的隔离子撒布装置1的主要构成要件如下：通过调节器8和排气管道9等使内部保持减压状态的工作室2；属于本实施例的特征部分的、面方向的尺寸能够变更的载物台3；在放置在载物台3上的试料(例如，构成液晶面板的TFT基板或对置基板等，以下简称基板10)上撒布以正电位或负电位带电的隔离子的喷嘴4；用来向喷嘴4供给隔离子的隔离子供给部6和输送配管5；和用来使工作室2保持预定电位的高压电源7。并且，将撒布隔离子的基板10放置在载物台3上之后，用调节器8和排气管道9对工作室2内部进行减压，根据需要，用高压电源7对工作室2施加与隔离子相同极性的电压，并将从隔离子供给部6通过输送配管5供给的隔离子用喷嘴4喷出，使之在基板10上堆积。另外，在图1中，表示的隔离子撒布装置1是在工作室2上施加电压的类型，但是也可以采用在工作室2上不施加电压的类型的隔离子撒布装置，这种情况下，不需要设置高压电源7。

在此，通常，隔离子以正电位带电，喷出隔离子的喷嘴4也是正电位，而载物台3接地，所以喷嘴4和载物台3之间会产生电场，在此电场作用下，隔离子被引到载物台3上的基板10上，而电场的强度在载物台3是不均匀的，在载物台3的端部，由于边沿效应的影响，电场比较集中，因此隔离子的撒布量较多，而且，当工作室2上施加的是正电位时，经工作室2弹回的隔离子也会飞到载物台3上，所以载物台3的边缘部分就成为隔离子的撒布量较多的区域(称之为隔离子撒布量过多区域)。

根据本申请发明人的实验，该隔离子撒布量过多区域是从载物台3的端部到预定的范围内，所以如果使基板10的液晶面板形成区域从载物台3的端部离开一定距离，就能够降低液晶面板形成区域的隔离子撒布量的偏差。因此，在本实施例中，是在载物台3上设置能够使其尺寸变更的结构，配合放置的基板10的尺寸来变更载物台3的尺寸，使上述隔离子撒布量过多区域与基板10的液晶面板形成区域不要重叠。关于该载物台3的具体结构，参照图2和图3进行说明。图2和图3的(a)是从上方(喷嘴4一侧)看载物台3的俯视图，(b)是分别沿A-A’、B-B’线的侧面剖视图，(c)是分别从箭头方向所看的透视图。

如图2所示，本实施例的载物台3，可以构成为，由固定在工作室2上的载物台本体3a和可在载物台本体3a的面方向滑动地被收纳的载物台辅助部3b构成，如图3所示，通过滑动载物台辅助部3b，将其从载物台本体3a抽出，从而能够将载物台3变更为所希望的尺寸。

另外，在图2和图3中，作为载物台3的最简单的结构，采取的是将载物台辅助部3b收在载物台本体3a内设置的空间内，用手将载物台辅助部3b抽出的结构，但是，载物台3的结构不仅限于图中的记载，只要是载物台辅助部3b的至少一部分支承在载物台本体3a上，而且由载物台本体3a和载物台辅助部3b可形成希望尺寸的载物台3的结构即可，载物台辅助部3b的收纳结构、收纳位置、滑动结构、有无挡板、载物台本体3a和载物台辅助部3b的宽度或长度、厚度等都可以适当地进行变更，例如，也可以是后述的如图7所示的通过旋转齿轮12b，使载物台辅助部3b滑动的结构。另外，在图中，在图的上下方向两边设置了载物台辅助部3b，但是，载物台辅助部3b只要设置在载物台本体3a的至少一边上即可，另外，也可以在图的上下方向和左右方向均设置载物台辅助部3b。

另外，在本实施例中，对载物台本体3a进行了接地，以便能够将以正电位带电的隔离子有效地引到载物台3上，所以载物台辅助部3b也用金属材料(优选的是和载物台本体3a相同的材料)制作，并对载物台本体3a和载物台辅助部3b进行了电连接，使载物台辅助部3b和载物台本体3a形成相同的电位，但是，载物台本体3a和载物台辅助部3b并不一定要直接连接，也可以是将载物台本体3a和载物台辅助部3b分别接地的构成。

下面，参照图4，说明在具有上述尺寸变更结构的载物台3上放置基板10后的状态。图4(a)是表示在载物台辅助部3b收在里面的载物台本体3a上放置基板10后的状态的俯视图，(b)是表示将载物台辅助部3b抽出后的状态的俯视图。

例如，考虑液晶面板形成区域10a为长方形，在该液晶面板形成区域10a呈3行3列而配置有9个的基板10上撒布隔离子的情况，如图4(a)所示，如果载物台本体3a为正方形，在液晶面板形成区域10a的短边方向的载物台本体3a的端部和其附近的液晶面板形成区域10a边缘部的距离足够长，所以不会产生隔离子撒布密度分布不均匀的问题，但是，在长边方向的载物台本体3a的端部和其附近的液晶面板形成区域10a边缘部的距离较短，因此会产生隔离子撒布密度分布不均匀的问题。对此，在这种情况下，如图4(b)所示，将载物台辅助部3b从载物台本体3a抽出，使载物台3整体向液晶面板形成区域10a的长边方向伸长。这样一来，就能够充分增加在长边方向的载物台本体3a的端部和其附近的液晶面板形成区域10a边缘部的距离，从而能够降低隔离子撒布密度分布不均匀的问题。

为了确认上述载物台3的尺寸变更的效果，改变从载物台3的端部到基板10的端部的间隔，测量了各种状态下的基板10上的隔离子撒布数量。其结果如图10所示。图10表示的是在工作室2的尺寸为1680mm×1680mm、载物台3的尺寸为1330mm×1330mm的隔离子撒布装置1中，从载物台3的端部到基板10的端部的距离设定为10mm、30mm、50mm时的隔离子撒布数量的分布。

从图10可知，当从载物台3的端部到基板10的端部的距离为10mm(黑三角标记、一点链状线)时，在距离基板10的端部10mm的位置，单位面积的隔离子撒布数量非常多，有348个，并且，随着距离基板10的端部越远，隔离子撒布数量慢慢地减少，但是，当设定了隔离子撒布数量的目标值为大约200个、下限为大约150个、上限为大约250个时，从基板10的端部到50mm的位置就会超过容许范围。另外，当从载物台3的端部到基板10的端部的距离为30mm(黑方框标记、虚线)时，距离基板10的端部10mm的位置的隔离子撒布数量减少为298个，但是，从基板10的端部到30mm的位置会超过容许范围。而当从载物台3的端部到基板10的端部的距离为50mm(黑圆圈标记、实线)时，距离基板10的端部10mm的位置的隔离子撒布数量是254个，大致在容许范围内。只要抽出载物台辅助部3b，使隔离子的撒布数量在实际的产品所需要的容许范围内，就能够将载物台3的端部的影响降低到没有实质性问题的程度。

另外，载物台3的端部和其附近的液晶面板形成区域10a的端部的优选的距离，因为会由于隔离子撒布装置1的工作室2或喷嘴4的形状、隔离子的撒布图形、对工作室2施加的电压、隔离子的带电电压、载物台3的形状等的不同而变化，所以难以严格地进行规定，但是已经得到确认的是，例如，对于从喷嘴4到载物台3的距离为1550mm、从载物台3的端部到工作室2的内壁的距离为175mm的隔离子撒布装置1的情况，如果从载物台3的端部到液晶面板形成区域10a的端部的距离设定为大约50mm至大约130mm，在基板10内的所有的液晶面板形成区域10a，隔离子的撒布数量都能够控制在所希望的范围内。

在此，图2和图3中，由于是将载物台辅助部3b从载物台本体3a抽出的结构，所以有可能会在载物台本体3a和载物台辅助部3b之间产生台阶，而电场在该台阶部分集中，导致隔离子的撒布密度产生偏差。对此，为了防止产生这种台阶，也可以如图5(a)所示，在载物台本体3a的端部设置锥形部10，或者如图5(b)所示，在载物台辅助部3b的端部设置锥形部11，如果是这种构成，就能够消除多出的台阶，从而抑制电场的集中。另外，锥形部11的形状、锥角等不限，在图中，锥形部11的截面形状为直线状，但是也可以赋予一定的圆形，使其厚度有小倾度的变化，也可以在不设置载物台辅助部3b的边上也同样地设置锥形部11。

另外，在图2至图5中，是将载物台辅助部3b从载物台本体3a抽出的结构，也可以是例如，将载物台辅助部3b以合叶支承在载物台本体3a上，使之能够旋转，增加载物台3的尺寸时，以合叶为轴，旋转载物台辅助部3b，将载物台辅助部3b与载物台本体3a的侧面连接的结构。这种结构的情况，其特征在于，虽然不能连续地调整载物台3的尺寸，但是能够消除载物台本体3a和载物台辅助部3b的台阶，使载物台3平坦化。

另外，作为载物台3的尺寸变更结构，也可以是例如图6所示，在载物台本体3a上设置凸部(引导部12a)，使之成为抽出载物台辅助部3b时的引导件，而在载物台辅助部3b上，在与该凸部对应的位置设置预定的凹部的结构。如果采用这种结构，由于能够使载物台辅助部3b与载物台本体3a的边为相同的尺寸，所以能够使载物台3成为矩形形状，从而能够抑制电场的偏置。另外，在图2至图6中，是用手抽出载物台辅助部3b的结构，但是也可以是如图7所示，在载物台本体3a的侧面等处安装齿轮12b，使之能够旋转，而在载物台辅助部3b底面的与齿轮12b抵接的部分，设置与齿轮12b咬合的形状的凹凸，通过旋转齿轮12b，使载物台辅助部3b在载物台3的面方向滑动的结构。通过采取这种结构，能够准确地控制载物台辅助部3b的抽出量，同时，通过用电机等使齿轮12b旋转，还能够自动地调整载物台尺寸。

另外，可以想象在抽出载物台辅助部3b时，电场分布会发生变化，隔离子的撒布密度的分布也会随之发生变化，所以也可以在形成了液晶面板的基板10上撒布隔离子之前，先测量隔离子的撒布密度的分布，并根据其结果，对载物台辅助部3b的抽出量进行微调。此时，隔离子的撒布密度可以随便用任何方法测量，例如，可以采用以下的方法：在载物台3的附近以预定的间隔设置好探针，用该探针捕获带电的隔离子，根据探针的电位来推测该位置的隔离子的撒布密度，或者用霍尔器件等来测量因带电的隔离子移动而产生的磁场，根据霍尔器件的电流值来推测该位置的隔离子的撒布密度，或者从载物台上方照射光，用光检测装置来测量从载物台或试验用基板的反射光，从光检测装置的输出来求取隔离子的撒布密度等。这样，通过在隔离子撒布装置1上预先设置上述探针或霍尔器件等隔离子撒布密度测量装置，就能够更准确地设定载物台辅助部3b的抽出量。

另外，在图2至图7中，对载物台本体3a和载物台辅助部3b进行了电连接，将载物台本体3a和载物台辅助部3b设定成了相同的电位(在此是地电位)，但是，载物台本体3a和载物台辅助部3b也可以设定成不同的电位。例如，也可以如图8所示，对载物台本体3a和载物台辅助部3b用绝缘体14进行绝缘，将载物台本体3a接地，用预先设置的电压调整部13设定载物台辅助部3b的电位。并且，用上述方法等来求隔离子的撒布密度，结果，基板10端部的隔离子撒布密度较大时，可以使载物台辅助部3b的电压向隔离子的电位靠近等，来进一步提高隔离子撒布密度的均匀性。

另外，反复使用隔离子撒布装置1时，载物台3上面，特别是载物台辅助部3b上面每次撒布时都会有隔离子堆积，因此，载物台3就会被绝缘体覆盖，结果，可以想象载物台3的电场分布会发生变化，从而最后可能会得不到隔离子的分布的再现性。但是，在图2至图8的结构中，由于载物台辅助部3b保持成能够在载物台本体3a上收进抽出的状态，所以只要设定成载物台辅助部3b的上面和载物台本体3a的下面(图8中是绝缘体14)大致抵接的尺寸，那么，当如图9(a)所示，一旦隔离子15的撒布结束之后，只要如图9(b)所示，将载物台辅助部3b收进载物台本体3a，就能够将载物台辅助部3b上堆积的隔离子15集中后从载物台辅助部3b上去除，因此，能够简单地清洁载物台辅助部3b表面，从而能够更准确地控制隔离子的撒布密度。

这样，本实施例的隔离子撒布装置1的载物台3由固定在工作室2内的载物台本体3a和收在载物台本体3a内，能够滑动的载物台辅助部3b构成，所以能够根据载物台3上放置的基板10的尺寸，抽出载物台辅助部3b，将载物台3的端部和基板10的液晶面板形成区域10a端部的距离设定在预定的范围内，这样一来，就能够避免载物台3端部的影响，从而能够提高隔离子撒布密度的均匀性。另外，可以任意设定载物台3的尺寸，所以无论基板10的尺寸或切割位置如何，始终能够将隔离子的撒布密度设定成最佳状态。

实施例2

下面，参照图11和图12，说明本发明的第二个实施例所涉及的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及用该装置制造的液晶面板。图11和图12是表示隔离子撒布装置的载物台结构的示意图。

在上述的第一个实施例中，是用载物台本体3a和相对于载物台本体3a能够滑动的载物台辅助部3b构成载物台3，而在抽出载物台辅助部3b的结构中，在载物台本体3a和载物台辅助部3b的连接部分容易产生台阶，而且，载物台3的结构比较复杂。另一方面，液晶面板的尺寸和其切割位置的种类不是很多。对此，在本实施例中，不是滑动载物台辅助部3b来任意调整载物台3的尺寸，而是通过在载物台本体3a上连接预先设置的载物台辅助部3b，来变更载物台3的尺寸。

具体地讲，如图11所示，本实施例的载物台3，由固定在工作室2内、在其外缘部的至少一部分上具有可与载物台辅助部3b连接的结构(互相结合的连接装置的一方)的载物台本体3a和在其内缘部的至少一部分上具有可与载物台本体3a连接的结构(上述连接装置的另一方)的一种或多种载物台辅助部3b构成，将载物台辅助部3b从载物台本体3a的上方嵌入，使载物台本体3a和载物台辅助部3b相互连接，从而形成希望尺寸的载物台3。

在此，在图11中，是在载物台本体3a的下部设置凸部，而在载物台辅助部3b的上部也设置凸部，凸部与凸部相互接触后，载物台辅助部3b与载物台本体3a连接的结构，但是，载物台本体3a与载物台辅助部3b的连接结构是任意的，例如，也可以如图12所示，在载物台本体3a的外缘部的至少一部分上设置凸部(或凹部)，在载物台辅助部3b的内缘部的至少一部分上设置与该凸部(或凹部)嵌合的凹部(或凸部)，通过使其们相互嵌合，来连接载物台本体3a和载物台辅助部3b。另外，在图12中，是将载物台辅助部3b连接在载物台本体3a的上下两个边上，但是，只要是载物台辅助部3b连接在载物台本体3a的至少一边上即可，例如，也可以是在载物台本体3a的全周设置凹部，而使载物台辅助部3b与各边对应而形成，仅对需要改变载物台3尺寸的部分连接载物台辅助部3b。

另外，在本实施例中，也可以在隔离子撒布装置1上预先设置上述探针或霍尔器件等隔离子撒布量测量装置，以便测量因安装载物台辅助部3b而导致的隔离子分布的波动。另外，载物台本体3a和载物台辅助部3b可以设定成相同的电位，为了更细地控制载物台3端部的影响，也可以将载物台辅助部3b的电位设定成与载物台本体3a不同的电位。另外，在本实施例中，由于载物台辅助部3b是可拆卸的结构，所以当撒布隔离子之后，可以只将载物台辅助部3b从载物台本体3a上拆下来进行清洁，从而能够抑制因隔离子层叠而导致的电场的紊乱，更准确地控制隔离子的撒布密度。

这样，根据本实施例的结构，也能够将配合载物台3上放置的基板10的尺寸而选择的载物台辅助部3b连接在载物台本体3a上，将载物台3的端部和基板10的液晶面板形成区域10a端部的距离设定在预定的范围内，这样一来，就能够抑制因电场在载物台3端部集中而产生的隔离子密度分度的偏差，另外，无论基板尺寸、切割位置如何，始终能够将隔离子的分布设定成最佳状态。

另外，在将载物台辅助部3b连接在载物台本体3a上的结构的情况下，能够消除载物台本体3a和载物台辅助部3b的台阶，所以不会有电场在载物台本体3a和载物台辅助部3b的连接部分集中的现象，因此能够更准确地控制隔离子的撒布密度。另外，在第一个实施例那样滑动载物台辅助部3b的结构的情况下，其结构决定了在载物台本体3a的角部会存在不能配置载物台辅助部3b的部分，而在连接载物台辅助部3b的结构的情况下，在连接了载物台辅助部3b的状态下，能够使载物台3整体呈矩形形状，因此能够更准确地控制隔离子的撒布密度。

以上说明的各实施例，毋庸置疑，能够适用于在两张对置的基板之间夹持液晶的结构的任意的液晶面板，在各基板上分别设置透明电极并借助基板间的纵向方向的电场驱动液晶的NT方式的液晶面板、在一方电极上设置梳齿状的电极并以梳齿电极间的电场来驱动液晶的IPS方式的液晶面板等各种形式的液晶面板均能适用。另外，上述各实施例的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法，不仅限于液晶面板用基板，对任意的基板也能够同样适用。

Claims (13)

1.一种隔离子撒布装置，在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子，其特征在于：

所述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和支承在所述载物台本体上，使所述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部构成。

2.根据权利要求1所述的隔离子撒布装置，其特征在于：

所述载物台由在外缘部的至少一部分上具有相互结合的连接装置的一方的、预先设定了尺寸的载物台本体和在内缘部的至少一部分上具有与所述连接装置的一方结合的所述连接装置的另一方的、多种尺寸的载物台辅助部构成，

通过将所述载物台本体和从所述多种尺寸中选择的尺寸的所述载物台辅助部连接起来，使所述载物台的面方向的尺寸能够变更。

3.根据权利要求1所述的隔离子撤布装置，其特征在于：

所述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和保持在所述载物台本体上，可在该载物台本体的面方向滑动的载物台辅助部构成，

通过滑动所述载物台辅助部，使所述载物台的面方向的尺寸能够变更。

4.根据权利要求3所述的隔离子撒布装置，其特征在于：

所述载物台辅助部被保持成其上面与所述载物台本体下面大致抵接的状态，通过在所述载物台本体方向滑动所述载物台辅助部来去除所述载物台辅助部上面堆积的所述隔离子。

5.根据权利要求1、2或3所述的隔离子撒布装置，其特征在于：

所述载物台本体和所述载物台辅助部之间具有绝缘部件，使得所述载物台本体和所述载物台辅助部可设定成不同的电位。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的隔离子撒布装置，其特征在于：

所述基板上设有多个形成液晶面板的区域，滑动或选择所述载物台辅助部时，使从所述载物台的端部到该载物台端部附近的所述区域之间的距离处在预先设定的范围内。

7.一种隔离子撒布方法，在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子，其特征在于：

由预先设定了尺寸的载物台本体和使所述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部构成所述载物台，

由所述载物台本体来支承所述载物台辅助部，从而按照所述基板的尺寸来变更所述载物台的面方向的尺寸，控制所述隔离子的撒布密度分布。

8.根据权利要求7所述的隔离子撒布方法，其特征在于：

由在外缘部的至少一部分上具有相互结合的连接装置的一方的、预先设定了尺寸的载物台本体和在内缘部的至少一部分上具有与所述连接装置的一方结合的所述连接装置的另一方的、多种尺寸的载物台辅助部构成所述载物台，

将所述载物台本体和从所述多种尺寸中选择的尺寸的所述载物台辅助部连接起来，从而按照所述基板的尺寸来变更所述载物台的面方向的尺寸，控制所述隔离子的撒布密度分布。

9.根据权利要求7所述的隔离子撒布方法，其特征在于：

由预先设定了尺寸的载物台本体和保持在所述载物台本体上，并可在该载物台本体的面方向滑动的载物台辅助部构成所述载物台，

通过滑动所述载物台辅助部，使所述载物台的面方向的尺寸按照所述基板的尺寸来变更，控制所述隔离子撒布密度分布。

10.根据权利要求9所述的隔离子撒布方法，其特征在于：

将所述载物台辅助部保持成其上面与所述载物台本体下面大致抵接的状态，在撒布所述隔离子之后，通过在所述载物台本体方向滑动所述载物台辅助部来去除所述载物台辅助部上面堆积的所述隔离子，进行接下来的所述隔离子的撒布。

11.根据权利要求7至9中任意一项所述的隔离子撒布方法，其特征在于：

在所述载物台本体和所述载物台辅助部之间设置绝缘部件，通过用预先设置在所述载物台辅助部上的电压施加装置来施加电压，从而将所述载物台和所述载物台辅助部设定成不同的电位，控制所述载物台面内的所述隔离子的撒布密度分布。

12.根据权利要求7至9中任意一项所述的隔离子撒布方法，其特征在于：

所述基板上设有多个形成液晶面板的区域，滑动或选择所述载物台辅助部时，使从所述载物台的端部到该载物台端部附近的所述区域的距离处在预先设定的范围内。

13.一种液晶面板，其特征在于：

在对置的一对基板的至少一方上，用权利要求1至3中任意一项所述的隔离子撒布装置撒布了所述隔离子。

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