JP2000275652A - 液晶表示パネル装置の製造方法及びその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スペーサをガラス基板上に均一に分散させて
散布する液晶表示パネル装置の製造方法及びその製造装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明の液晶表示パネル装置の製造装置
は、液晶セルを構成する一対の対向基板のうちの一方の
基板としてのガラス基板２を、スペーサを吐出する吐出
部としての散布ノズル３と対向配置されたステージ１に
設置し、ステージ１と散布ノズル３との間に高電圧をか
けてスペーサを吐出して帯電させたスペーサをガラス基
板２に散布して液晶表示パネル装置を製造する液晶表示
パネル装置の製造装置であって、ステージ１を複数に分
割した分割ステージ５，６をそれぞれ異なる電位に設定
する電位制御手段７を設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネル装
置の製造工程に関し、特に、スペーサ分散工程でのスペ
ーサの分散の不均一性を改善する液晶表示パネル装置の
製造方法及びその製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Cry
stal Display）は、液晶分子の特定な初期分子配列を、
電場印加などの作用で他の分子配列状態に変化させ、こ
の分子配列に伴う液晶セルの光学的性質の変化を利用し
画像表示させるものである。このＬＣＤは、他の表示素
子に比べ薄型・軽量，低電圧・低電力動作などの利点を
兼ね備えていることから、パソコンに代表されるＯＡ
（Office Automation ）分野から家電・産業機器の分野
まで多岐にわたって使用されている。特に、ＯＡ分野に
おけるＬＣＤ市場においては、高精細化，大容量化，大
画面化などの要求が高まっている状況であり、これに伴
い表示均一性も求められている。

【０００３】この表示均一性の要因の一つに液晶パネル
（セル）の液晶層の厚みがあるが、これを均一にするこ
とにより表示均一性の向上が図れる。この液晶層の厚み
を均一にさせるために、液晶パネル製造工程においてス
ペーサ分散工程が設けられているが、そのスペーサ分散
方法としては、図６に示すように、フロンやアルコール
などの低沸点有機溶媒に、超音波などでスペーサを分散
させておき、このスペーサ分散液を噴霧したのちに乾燥
して有機溶媒を飛ばす湿式法がある。

【０００４】このような従来の湿式法では、スペーサの
分散性はよいが、有機溶媒と同時に多量のスペーサを分
散してしまいスペーサの消費が激しい。また最近では、
有機溶媒使用の規制も厳しくなりつつありその使用にも
多くの問題が生じている。そこで、従来の湿式法とは異
なる方法としての溶媒を使用しない乾式法を用いる。こ
の乾式法には、例えば静電方式があるが、これは図７に
示すように電極間に高電圧をかけてコロナ放電をさせた
空間にスペーサを吐出し、マイナス帯電させ、そしてス
テージ１をプラスに帯電させることによりこのステージ
１に設置されたガラス基板２の上にスペーサを分散させ
散布する方式である。また従来散布装置には、ステージ
１に＋５０ｋＶ、スペーサに−１００ｋＶまたはステー
ジ１に−５０ｋＶ、スペーサに＋１００ｋＶ付近の電圧
を与えている。

【０００５】このように従来の乾式法では、有機溶媒を
不必要とすることができ、前述の湿式法に比べてスペー
サの消費を低減することができるが、スペーサがその吐
出口である散布ノズル３を出る際に、スペーサが均一に
分散されず、その分散性に問題が指摘されている。この
ように現在、スペーサ分散工程において分散の均一性・
使用材料のコストなどの面においての改善が求められて
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように前述の従来
のスペーサ乾式散布方法では、スペーサが吐出されガラ
ス基板上に散布されるまでにスペーサの分散が均一にな
らず、散布されたガラス基板上のスペーサ密度が不均一
になるという問題がある。本発明は、スペーサをガラス
基板上に均一に分散させて散布する液晶表示パネル装置
の製造方法及びその製造装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示パネル
装置の製造方法は、液晶セルを構成する一対の対向基板
のうちの一方の基板を、スペーサを吐出する吐出部と対
向配置されたステージに設置し、前記のステージと吐出
部との間に高電圧をかけてスペーサを吐出して帯電させ
たスペーサを前記基板に散布して液晶表示パネル装置を
製造するに際し、前記ステージを複数に分割した分割ス
テージをそれぞれ異なる電位または幾つかのグループで
異なる電位に設定して前記基板にスペーサを散布するも
のである。

【０００８】本発明によると、スペーサをガラス基板上
に均一に分散させて散布することができ、液晶表示部の
表示品位を向上させることができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、液晶セルを構成する一対の対向基板のうちの一方の
基板を、スペーサを吐出する吐出部と対向配置されたス
テージに設置し、前記のステージと吐出部との間に高電
圧をかけてスペーサを吐出して帯電させたスペーサを前
記基板に散布して液晶表示パネル装置を製造するに際
し、前記ステージを複数に分割した分割ステージをそれ
ぞれ異なる電位または幾つかのグループで異なる電位に
設定して前記基板にスペーサを散布する液晶表示パネル
装置の製造方法としたものであり、乾式スペーサ散布工
程におけるスペーサ分散の不均一性を改善することがで
き、液晶表示パネルの安定したギャップを保つことがで
きる。これにより表示に対して優れた品位を持つ液晶表
示パネルを実現できる。

【００１０】本発明の請求項２に記載の発明は、液晶セ
ルを構成する一対の対向基板のうちの一方の基板を、ス
ペーサを吐出する吐出部と対向配置されたステージに設
置し、前記のステージと吐出部との間に高電圧をかけて
スペーサを吐出して帯電させたスペーサを前記基板に散
布して液晶表示パネル装置を製造する液晶表示パネル装
置の製造装置において、前記ステージを複数に分割した
分割ステージをそれぞれ異なる電位または幾つかのグル
ープで異なる電位に設定する電位制御手段を設けた液晶
表示パネル装置の製造装置としたものであり、前述の請
求項１に記載の液晶表示パネル装置の製造方法を実現す
ることができる。

【００１１】本発明の請求項３に記載の発明は、基板を
設置するステージを、前記基板の中央部分が位置する中
央部分とこの中央部分の外側の周辺部分とに分割する請
求項１記載の液晶表示パネル装置の製造方法としたもの
であり、ステージの中央部分とその外側の周辺部分にお
けるスペーサ分散の不均一性を改善することができ、液
晶表示パネルの安定したギャップを保つことができる。
これにより表示に対して優れた品位を持つ液晶表示パネ
ルを実現できる。

【００１２】本発明の請求項４に記載の発明は、基板を
設置するステージを、前記基板の各部がそれぞれ位置す
るよう均等の大きさに複数分割する請求項１記載の液晶
表示パネル装置の製造方法としたものであり、乾式スペ
ーサ散布工程におけるスペーサ分散の不均一性に関する
様々なパターンに対処することができ、スペーサ分散の
不均一性を改善することができる。

【００１３】本発明の請求項５に記載の発明は、基板を
設置するステージを、前記基板の各部がそれぞれ位置す
るよう縦方向に４つ横方向に４つに均等の大きさに１６
分割する請求項１記載の液晶表示パネル装置の製造方法
としたものであり、乾式スペーサ散布工程におけるスペ
ーサ分散の不均一性に関する様々なパターンに対処する
ことができ、スペーサ分散の不均一性を改善することが
できる。

【００１４】本発明の請求項６に記載の発明は、基板を
設置するステージを、前記基板の各部がそれぞれ位置す
るよう同心円状に複数に分割する請求項１記載の液晶表
示パネル装置の製造方法としたものであり、ステージの
中央部分とその外側の周辺部分におけるスペーサ分散の
不均一性を前述の請求項３に記載の液晶表示パネル装置
の製造方法に比べてさらに改善することができ、液晶表
示パネルの安定したギャップを保つことができる。これ
により表示に対して優れた品位を持つ液晶表示パネルを
実現できる。

【００１５】以下、本発明の液晶表示パネル装置の製造
方法及びその製造装置を具体的な実施の形態に基づいて
説明する。 （実施の形態１）図１に示した本実施の形態１の液晶表
示パネル装置の製造装置は、図７に示した従来例と同様
に、液晶セルを構成する一対の対向基板のうちの一方の
基板としてのガラス基板２を、スペーサを吐出する吐出
部としての散布ノズル３と対向配置されたステージ１に
設置し、ステージ１と散布ノズル３との間に高電圧をか
けてスペーサを吐出して帯電させたスペーサをガラス基
板２に散布して液晶表示パネル装置を製造する液晶表示
パネル装置の製造装置であって、ステージ１を複数に分
割した分割ステージ５，６をそれぞれ異なる電位に設定
する電位制御手段７を設けた点が従来例とは異なってい
る。

【００１６】ステージ１は、例えば、ガラス基板２の中
央部分が位置する中央部分とこの中央部分の外側の周辺
部分とに分割した分割ステージ５，６で構成されてお
り、中央部分の分割ステージ５と周辺部分の分割ステー
ジ６との境界部分には絶縁部材が介装され、中央部分の
分割ステージ５と周辺部分の分割ステージ６とは相互に
絶縁されている。

【００１７】電位制御手段７は、例えば、図１に示すよ
うに、高圧電源８と抵抗Ｒ１，Ｒ２とを有し、中央部分
の分割ステージ５と周辺部分の分割ステージ６とをそれ
ぞれ異なる電位に設定するように構成されている。この
ようにステージ１は、従来一体であったガラス基板２を
設置するためのステージ１を中央とその周辺とに分割し
異なる電位に帯電させることができるように構成されて
いる。

【００１８】ここで、この実施の形態１の液晶表示パネ
ル装置の製造装置でスペーサをガラス基板２に散布する
動作について説明する。ここで従来においては、ガラス
基板２に散布するスペーサは、ステージ１の中央の方が
そのステージ１の周辺に比べて密度が疎になって降って
くるものとする。例えば、中央部分の分割ステージ５を
従来のステージ１の１５０％の電圧（７５ｋＶ）に、周
辺部分の分割ステージ６を従来のステージ１の７０％の
電圧（３５ｋＶ）となるように、予め高圧電源８と抵抗
Ｒ１，Ｒ２とを設定している。なお、スペーサには従来
例と同様に−１００ｋＶ付近の電圧を与えている。

【００１９】このように分割ステージ５，６の電圧をそ
れぞれ設定して乾式法でスペーサを散布すると、スペー
サの密度が中央が疎になって降ってくるものに対して、
マイナスに帯電したスペーサをステージ１の中央に多く
引き寄せることができた。従来例では中央と周辺のスペ
ーサの密度差が５：７（１００：１４０）であったもの
を、本実施の形態１のスペーサの散布では、２３：２５
（１１５：１２５）にまで均一にガラス基板２の上に分
散させて散布することができた。

【００２０】このように構成したため、スペーサをガラ
ス基板２の上に均一に分散させて散布することができ、
液晶表示パネルの安定したギャップを保つことができ、
特性の変動や表示ムラを抑制することができ、液晶表示
部の表示品位を向上させることができる。また、この実
施の形態１では、ガラス基板２に散布するスペーサがス
テージ１の周辺に比べてこのステージ１の中央の方がそ
の密度が疎になって降ってくるような従来例に対して、
中央部分の分割ステージ５を従来のステージの１５０％
の電圧に、周辺部分の分割ステージ６を従来のステージ
の７０％の電圧に設定してステージ１の中央にスペーサ
を多く引き寄せているが、スペーサがステージ１の中央
に比べてこのステージ１の周辺の方がその密度が疎にな
って降ってくる場合では、周辺部分の分割ステージ６を
従来ステージの１５０％の電圧に、中央部分の分割ステ
ージ５を従来ステージの７０％の電圧に設定してスペー
サをステージ１の周辺に多く引き寄せてガラス基板２の
上に均一に分散させることもできる。

【００２１】なお、この実施の形態１では、具体的な一
例として、中央部分の分割ステージ５を従来のステージ
の１５０％の電圧に、周辺部分の分割ステージ６を従来
のステージの７０％の電圧にそれぞれ設定しているが、
これらの設定電圧値に限定されるものではなく、スペー
サをガラス基板２の上に均一に分散するよう各分割ステ
ージ５，６の電圧値を適宜適切な電圧値に設定しても良
い。

【００２２】（実施の形態２）本発明の実施の形態２の
液晶表示パネル装置の製造装置は、図２に示すように、
前述の実施の形態１のガラス基板２を設置するステージ
１を、ガラス基板２の各部がそれぞれ位置するよう縦方
向に４つ横方向に４つに均等の大きさに１６分割したも
のとし、前述の実施の形態１の電位制御手段７を、前記
の１６分割した分割ステージ１０を幾つかの（例えば、
２つの）グループ１１ａ，１１ｂで異なる電位に設定す
る電位制御手段９としたものである。

【００２３】ステージ１は、例えば、ガラス基板２の各
部がそれぞれ位置するよう均等に４×４に分割した１６
個の分割ステージ１０で構成されており、各分割ステー
ジ１０の境界部分には絶縁部材が介装されている。電位
制御手段９は、例えば、高圧電源８と抵抗Ｒ１，Ｒ２と
を有し、１６個の分割ステージ１０を２つのグループ１
１ａ，１１ｂに分け、この２つのグループ１１ａ，１１
ｂで異なる電位に設定するように構成されている。

【００２４】本実施の形態２のステージ１は、図２に示
すように、ガラス基板２を設置するため従来一体であっ
たステージ１を均等に４×４（１６）に分割した１６個
の分割ステージ１０で構成され、この１６個の分割ステ
ージ１０に対して任意の電圧に制御可能であり、この１
６個の分割ステージ１０を２つのグループ１１ａ，１１
ｂに分けてこのグループ１１ａ，１１ｂを異なる電位に
設定するように構成したものである。本実施の形態２で
は、ステージ１を上下・左右にそれぞれ均等に分割でき
そして中央と周辺にも同時に分割することができる最小
の構成である。

【００２５】ここで、この実施の形態２の液晶表示パネ
ル装置の製造装置でスペーサをガラス基板２に散布する
動作について説明する。例えば、図２に示すように、従
来例においてスペーサの分散がステージ１の上下方向ａ
で不均一でステージ１の下半分の方がそのステージ１の
上半分に比べて密度が疎になって降っていて上下のスペ
ーサ密度差が７：３であった場合には、ステージ１の上
半分のグループ１１ａに属する８個の分割ステージ１０
を従来のステージの６０％の電圧（３０ｋＶ）に、ステ
ージ１の下半分のグループ１１ｂに属する８個の分割ス
テージ１０を従来のステージ１の１２０％（６０ｋＶ）
の電圧となるように、予め高圧電源８と抵抗Ｒ１，Ｒ２
とを設定しておいて、この乾式法でスペーサを散布する
と、スペーサをステージ１の下半分の方に多く引き寄せ
ることができ、従来例では上下のスペーサの密度差が
７：３であったものを、本実施の形態２のスペーサの散
布では、スペーサを５：４にまで均一にガラス基板２の
上に分散させて散布することができた。

【００２６】また、図３に示すように、従来例において
スペーサの分散がステージ１の左右方向ｂで不均一でス
テージ１の右半分の方がそのステージ１の左半分に比べ
て密度が疎になって降っていて、ステージ１の左右のス
ペーサ密度差が７：３であった場合には、ステージ１の
右半分のグループ１２ａに属する８個の分割ステージ１
０を従来のステージ１の１２０％（６０ｋＶ）の電圧
に、ステージ１の左半分のグループ１２ｂに属する８個
の分割ステージ１０を従来のステージ１の６０％の電圧
（３０ｋＶ）となるように、予め高圧電源８と抵抗Ｒ
１，Ｒ２とを設定しておいて、乾式法でスペーサを散布
すると、スペーサをステージ１の右半分の方に多く引き
寄せることができ、従来例では左右のスペーサの密度差
が７：３であったものを、本実施の形態２のスペーサの
散布では、スペーサを５：４にまで均一にガラス基板２
の上に分散させて散布することができた。

【００２７】また、図４に示すように、従来例において
スペーサの分散がステージ１の中央と周辺で不均一でス
テージ１の中央の方がそのステージ１の周辺に比べて密
度が疎になって降っていて、ステージ１の中央と周辺の
スペーサ密度差が５：７であった場合には、ステージ１
の中央のグループ１３ａに属する４個の分割ステージ１
０を従来のステージ１の１５０％（７５ｋＶ）の電圧
に、ステージ１の周辺のグループ１３ｂに属する１２個
の分割ステージ１０を従来のステージ１の７０％の電圧
（３５ｋＶ）となるように、予め高圧電源８と抵抗Ｒ
１，Ｒ２とを設定しておいて、乾式法でスペーサを散布
すると、スペーサをステージ１の中央の方に多く引き寄
せることができ、従来例では中央と周辺のスペーサの密
度差が５：７であったものを、本実施の形態２のスペー
サの散布では、スペーサを２３：２５にまで均一にガラ
ス基板２の上に分散させて散布することができた。

【００２８】このように構成したため、乾式スペーサ散
布工程におけるスペーサ分散の不均一性に関する様々な
パターン（ガラス基板の上下・左右方向などにおけるス
ペーサ分散の不均一なパターン）に対処することがで
き、スペーサをガラス基板２の上に均一に分散させて散
布することができ、液晶表示パネルの安定したギャップ
を保つことができ、特性の変動や表示ムラを抑制するこ
とができ、液晶表示部の表示品位を向上させることがで
きる。

【００２９】（実施の形態３）本発明の実施の形態３の
液晶表示パネル装置の製造装置は、図５に示すように、
前述の実施の形態１のガラス基板２を設置するステージ
１をガラス基板２の各部がそれぞれ位置するよう同心円
状に複数（例えば、４個）に分割したものとし、前述の
実施の形態１の電位制御手段７を前記の分割ステージ１
４ａ〜１４ｄをそれぞれ異なる電位に設定する電位制御
手段１５としたものである。

【００３０】ステージ１は、例えば、ガラス基板２の各
部がそれぞれ位置するよう同心円状に分割した４個の分
割ステージ１４ａ〜１４ｄで構成されており、各分割ス
テージ１４ａ〜１４ｄの境界部分には絶縁部材が介装さ
れている。電位制御手段１５は、例えば、高圧電源８と
抵抗Ｒ３〜Ｒ６とを有し、それぞれの分割ステージ１４
ａ〜１４ｄで異なる電位に設定するように構成されてい
る。

【００３１】ここで、この実施の形態３の液晶表示パネ
ル装置の製造装置でスペーサをガラス基板２に散布する
動作について説明する。また、従来例においてスペーサ
の分散がステージ１の中央と周辺で不均一でステージ１
の中央の方がそのステージ１の周辺に比べて密度が疎に
なって降っていて、ステージ１の中央と周辺のスペーサ
密度差が５：７（１００：１４０）であった場合には、
図３に示すように、ステージ１の中央から周辺に向かっ
て順に、分割ステージ１４ａを従来のステージ１の１４
０％の電圧（７０ｋＶ）に、分割ステージ１４ｂを従来
のステージ１の１２０％の電圧（６０ｋＶ）に、分割ス
テージ１４ｃを従来のステージ１の９０％の電圧（４５
ｋＶ）に、分割ステージ１４ｄを従来のステージ１の７
０％の電圧（３５ｋＶ）となるように、予め高圧電源８
と抵抗Ｒ３〜Ｒ６とを設定しておいて、乾式法でスペー
サを散布すると、スペーサをステージ１の中央の方に多
く引き寄せることができ、従来例では中央と周辺のスペ
ーサの密度差が５：７（１００：１４０）であったもの
を、本実施の形態３のスペーサの散布では、スペーサを
１：１（１２０：１２０）にまで均一にガラス基板２の
上に分散させて散布することができ、図１に示した前述
の実施の形態１よりもさらに均一に分散させて散布する
ことができた。

【００３２】このように構成したため、前述の実施の形
態１よりもさらにスペーサをガラス基板２の上に均一に
分散させて散布することができ、液晶表示パネルの安定
したギャップを保つことができ、特性の変動や表示ムラ
を抑制することができ、液晶表示部の表示品位を向上さ
せることができる。なお、前述の各実施の形態では、ス
テージ１を、中央と周辺に分割した分割ステージ５，
６、４×４の１６個の分割ステージ１０または同心円で
４個に分割した分割ステージ１４ａ〜１４ｄで構成して
いるが、このステージ１の分割数及び分割する形に特に
規制は無く、このステージ１を多く分割すればそれだけ
細部にまで電圧を制御することができ、スペーサ分散の
不均一をより改善することができるのは言うまでもな
い。

【００３３】

【発明の効果】以上のように本発明の請求項１に記載の
液晶表示パネル装置の製造方法によれば、ステージを複
数に分割した分割ステージをそれぞれ異なる電位または
幾つかのグループで異なる電位に設定して基板にスペー
サを散布して液晶表示パネル装置を製造することによ
り、乾式スペーサ散布工程におけるスペーサ分散の不均
一性を改善することができ、液晶表示パネルの安定した
ギャップを保つことができる。これにより表示に対して
優れた品位を持つ液晶表示パネルを実現できる。

【００３４】また、本発明の請求項２に記載の液晶表示
パネル装置の製造装置によれば、ステージを複数に分割
した分割ステージをそれぞれ異なる電位または幾つかの
グループで異なる電位に設定する電位制御手段を設けた
ことにより、前述の請求項１に記載の液晶表示パネル装
置の製造方法を実現することができる。また、本発明の
請求項３に記載の液晶表示パネル装置の製造方法によれ
ば、請求項１に記載の基板を設置するステージを、前記
基板の中央部分が位置する中央部分とこの中央部分の外
側の周辺部分とに分割することにより、ステージの中央
部分とその外側の周辺部分におけるスペーサ分散の不均
一性を改善することができ、液晶表示パネルの安定した
ギャップを保つことができる。これにより表示に対して
優れた品位を持つ液晶表示パネルを実現できる。

【００３５】また、本発明の請求項４に記載の液晶表示
パネル装置の製造方法によれば、請求項１に記載の基板
を設置するステージを、前記基板の各部がそれぞれ位置
するよう均等の大きさに複数分割することにより、乾式
スペーサ散布工程におけるスペーサ分散の不均一性に関
する様々なパターンに対処することができ、スペーサ分
散の不均一性を改善することができる。

【００３６】また、本発明の請求項５に記載の液晶表示
パネル装置の製造方法によれば、請求項１に記載の基板
を設置するステージを、前記基板の各部がそれぞれ位置
するよう縦方向に４つ横方向に４つに均等の大きさに１
６分割することにより、乾式スペーサ散布工程における
スペーサ分散の不均一性に関する様々なパターンに対処
することができ、スペーサ分散の不均一性を改善するこ
とができる。

【００３７】また、本発明の請求項６に記載の液晶表示
パネル装置の製造方法によれば、請求項１に記載の基板
を設置するステージを、前記基板の各部がそれぞれ位置
するよう同心円状に複数に分割することにより、ステー
ジの中央部分とその外側の周辺部分におけるスペーサ分
散の不均一性を前述の請求項３に記載の液晶表示パネル
装置の製造方法に比べてさらに改善することができ、液
晶表示パネルの安定したギャップを保つことができる。
これにより表示に対して優れた品位を持つ液晶表示パネ
ルを実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１のステージを示す平面図

【図２】本発明の実施の形態２の４×４に均等に分割し
たステージを示す平面図

【図３】同実施の形態２の４×４に均等に分割したステ
ージを示す平面図

【図４】同実施の形態２の４×４に均等に分割したステ
ージを示す平面図

【図５】本発明の実施の形態３のステージを示す平面図

【図６】従来の湿式スペーサ散布装置を示す概略側面図

【図７】従来の乾式（静電方式）スペーサ散布装置を示
す概略側面図

【符号の説明】

１ ステージ ２ ガラス基板 ５、６ 分割ステージ ７、９、１５ 電位制御手段 ８ 高圧電源 １０ 分割ステージ １１ａ、１１ｂ グループ １２ａ、１２ｂ グループ １３ａ、１３ｂ グループ １４ａ〜１４ｄ 分割ステージ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液晶セルを構成する一対の対向基板のうち
   の一方の基板を、スペーサを吐出する吐出部と対向配置
   されたステージに設置し、前記のステージと吐出部との
   間に高電圧をかけてスペーサを吐出して帯電させたスペ
   ーサを前記基板に散布して液晶表示パネル装置を製造す
   るに際し、 前記ステージを複数に分割した分割ステージをそれぞれ
   異なる電位または幾つかのグループで異なる電位に設定
   して前記基板にスペーサを散布する液晶表示パネル装置
   の製造方法。
2. 【請求項２】液晶セルを構成する一対の対向基板のうち
   の一方の基板を、スペーサを吐出する吐出部と対向配置
   されたステージに設置し、前記のステージと吐出部との
   間に高電圧をかけてスペーサを吐出して帯電させたスペ
   ーサを前記基板に散布して液晶表示パネル装置を製造す
   る液晶表示パネル装置の製造装置において、 前記ステージを複数に分割した分割ステージをそれぞれ
   異なる電位または幾つかのグループで異なる電位に設定
   する電位制御手段を設けた液晶表示パネル装置の製造装
   置。
3. 【請求項３】基板を設置するステージを、前記基板の中
   央部分が位置する中央部分とこの中央部分の外側の周辺
   部分とに分割する請求項１記載の液晶表示パネル装置の
   製造方法。
4. 【請求項４】基板を設置するステージを、前記基板の各
   部がそれぞれ位置するよう均等の大きさに複数分割する
   請求項１記載の液晶表示パネル装置の製造方法。
5. 【請求項５】基板を設置するステージを、前記基板の各
   部がそれぞれ位置するよう縦方向に４つ横方向に４つに
   均等の大きさに１６分割する請求項１記載の液晶表示パ
   ネル装置の製造方法。
6. 【請求項６】基板を設置するステージを、前記基板の各
   部がそれぞれ位置するよう同心円状に複数に分割する請
   求項１記載の液晶表示パネル装置の製造方法。