CN1681576A - 干燥空气供给装置及处理装置 - Google Patents

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Abstract

内装有担载吸附剂的蜂窝结构体(25)的二个转子(18a、18b)由共同的马达(19)驱动转动。隔离部件(17)依靠该隔离部件(17)与对应该隔离部件(17)的转子之间的转动位置关系，在该转子上划分出吸附区域(S)、再生区域(U)。在吸附区域(S)，吸附剂从通过其中的空气中除去水分及有机物。在再生区域(U)，使用加热后的干燥空气进行吸附了水分及有机物而老化的吸收剂的再生。从处理装置(1)的传送空间(10)吸引的空气经过循环路径(20)，依次通过两转子的吸附区域，之后返回前述目标空间。通过两转子的吸附区域后的清洁干燥空气的一部分导入排气路径(21)，利用加热器加热并通过两转子的再生区域。

Description

干燥空气供给装置及处理装置
技术领域
本发明涉及干燥空气供给装置及处理装置。
技术背景
在半导体装置的制造中，有对被处理体、例如半导体晶片进行氧化、扩散、CVD等各种处理的工序，为了实施这些工序要使用各种处理装置，例如热处理装置。纵型的热处理装置具有在收容多枚、例如25枚晶片的搬运容器、与收容前述晶片而进行既定处理的处理容器之间进行晶片的传送的传送空间(也叫做装载区)。
为了抑制前述传送空间内在晶片的表面生成自然氧化膜，向传送空间大量(250～400升/分)提供惰性气体、例如氮气，使传送空间的氧浓度达到30ppm以下。又，为了除去前述传送空间内的有机类的气体，设置有化学过滤器。
又，为了防止自然氧化膜的生成，也发表过向传送空间提供低露点的干燥气体的方案(例如参照特开平6-267933号公报)，并且，也发表过可获得低露点的干燥气体的干式除湿装置(例如参照特开2000-296309号公报、特开昭63-50047号公报等)。
但是，在提供氮气时，必须大量提供高价的氮气，所以不仅运行费高，而且存在氮气引起的缺氧的危险性。又，也存在难以除去附着在化学过滤器上的有机物而使化学过滤器再生的问题。并且，制造干燥空气的装置存在构造复杂而导致成本上升的问题。
发明内容
本发明是考虑前述情况而作出的。
本发明的第1目的在于，提供通过使用干燥空气代替惰性气体而避免缺氧的危险性且可抑制被处理体的自然氧化膜的生成的干燥空气供给装置及处理装置。
本发明的第2目的在于，提供紧凑且构造简单的干燥空气供给装置及处理装置。
本发明的第3目的在于，提供产生颗粒少的干燥空气供给装置，以及可避免颗粒污染被处理体的处理装置。
为了达到上述目的，本发明提供的干燥空气供给装置具有：分别可转动地支承在支承架上且具有担载吸附剂的部件的二个转子；设置在前述各支承架上的隔离部件，是依靠该隔离部件与对应该隔离部件的转子之间的转动位置关系，在该转子上至少划分出利用前述吸附剂从通过其中的空气中除去水分和有机物的吸附区域、和使吸附了水分及有机物而老化的前述吸收剂再生的再生区域的隔离部件；驱动两转子转动的共同的驱动机构；为了将从目标空间(传送空间)吸引的空气中除去水分及有机物而使该空气依次通过两转子的吸附区域，之后再返回前述目标空间地进行引导的循环路径；设置有加热机构的排气路径，是使通过两转子的吸附区域后的空气的一部分通过前述加热机构之后，使其通过两转子的再生区域从而使水分及有机物脱离两转子的吸附剂地进行引导的排气路径。
又，本发明提供的处理装置具有：在被处理体上实施既定处理的处理设备，传送需要利用前述处理设备处理的被处理体或已被前述处理设备处理过的被处理体的传送空间，以及向前述处理空间提供除去了水分及有机物的空气的干燥空气供给装置；前述干燥空气供给装置具有：分别可转动地支承在支承架上且具有担载吸附剂的部件的二个转子；设置在前述各支承架上的隔离部件，是依靠该隔离部件与对应该隔离部件的转子之间的转动位置关系，在该转子上至少划分出利用前述吸附剂从通过其中的空气中除去水分和有机物的吸附区域、和使吸附了水分及有机物而老化的前述吸收剂再生的再生区域的隔离部件；驱动两转子转动的共同的驱动机构；为了从前述传送空间吸引的空气中除去水分及有机物而使该空气依次通过两转子的吸附区域，之后再返回前述传送空间地进行引导的循环路径；以及设置有加热机构的排气路径，是使通过两转子的吸附区域后的空气的一部分通过前述加热机构，之后使其通过两转子的再生区域从而使水分及有机物脱离两转子的吸附剂地进行引导的排气路径。
在优选的一实施方式中，在前述循环路径上，在前述二个转子中的前级转子与前述二个转子中的后级转子之间设置有用于冷却通过前述前级转子的吸附区域后的空气的冷却机构；与前述后级转子对应的隔离部件形成为在前述后级转子上除了前述吸附区域及前述再生区域外还划分出冷却担载有前述吸附剂的部件的冷却区域；前述排气路径对通过了前述前级转子、前述冷却机构及前述后级转子的空气进行引导，使该空气在通过前述前级及后级转子的再生区域及前述加热机构之前，通过前述后级转子的冷却区域。
优选地在前述循环路径的连通前述传送空间的出口部分设置有用于除去从前述转子与前述隔离部件的接触部产生的颗粒的过滤器。这样，可防止传送空间的颗粒污染。
在优选的一实施方式中，前述驱动机构具有通过循环皮带分别驱动前述二个转子转动的二个皮带轮，前述二个皮带轮的直径相互不同，从而使前述二个转子以相互不同的速度转动。这样，能够以简单的构造使二个转子以不同的速度转动。
从降低装置成本的角度，可在前述排气路径上设置共同的加热机构，用于加热分别提供给前述二个转子的再生区域的空气。
上述处理装置还可以具有测试前述传送空间的氛围气的露点的露点计、和干燥空气控制部，该干燥空气控制部用于根据前述露点计的测试结果控制前述干燥空气供给装置维持前述传送空间在既定的露点。
在优选的一实施方式中，前述隔离部件具有与转子端部的周缘部对应的环状的周向部件、和从前述周向部件的中心延伸至周向部件且将前述周向部件包围的空间分割成多个区域的多个径向部件，在前述各径向部件上安装有按压在相向的转子的端面上的可挠性的翼片状的密封部件，前述各密封部件是其前端以朝向相向的转子的转动方向地弹性弯曲的状态在相向的转子的端面上滑动，这样，防止通过了各转子的不同区域的空气相互混合。通过使用上述的密封部件，不仅切实进行区域间的密封，而且密封部件与转子之间活动的摩擦力减小，并且可望减少密封部件与转子之间滑动产生的颗粒。
此时，优选地在前述各隔离部件的周向部件上设置有按压在相对的转子的端缘或外周面上的环状的填充部件，并在各填充部件上与对应的转子相向的接触面上粘贴滑片。这样，不仅切实密封周向部件与转子之间，而且可望减小填充部件与转子之间活动的摩擦力，以及填充部件与转子之间滑动产生的颗粒。
在其他优选的一实施方式中，前述驱动机构间歇地转动前述二个转子，前述隔离部件在相向的转子转动时离开该转子的端面，转动停止时抵接在转子的端面上。这样，隔离部件与转子不会相互滑动，所以几乎可完全防止由于隔离部件与转子的接触引起的颗粒的产生。
前述干燥空气供给装置也可与其它的处理装置的传送空间连接。通过在多个处理装置上共用干燥空气供给装置，可望降低包含多个处理装置的系统整体的成本。
附图说明
图1是表示具有本发明的干燥空气供给装置的处理装置构成的简图。
图2是表示图1所示的干燥空气供给装置的转子的立体图。
图3是表示在支承架上组装有图2所示的转子的状态的立体图。
图4是简单表示图2所示的转于的隔离部件的构造的立体图。
图5是图4所示的隔离部件的沿A-A线的放大截面图。
图6(a)是图4所示的隔离部件的沿B-B线的放大截面图。图6(b)是图6(a)所示的实施方式的变形例的图。
图7是简单表示图1所示处理装置的变形实施方式的结构的图。
图8是简单表示图1所示处理装置的变形实施方式的结构的图。
图9是表示图1至图6所示的干燥空气供给装置的变形实施方式的立体图。
图10是简单表示图9所示干燥空气供给装置的结构的截面图。
具体实施方式
以下，根据附图说明本发明的实施方式。
在图1中，附图标记1是处理装置例如纵型热处理装置，该热处理装置1具有构成其外围的筐体2。在筐体2的前部设置有传送出入口4，用于将收纳有多枚、例如25枚左右的被处理体、例如半导体晶片w的搬运容器(也叫做搬运器)3搬入搬出热处理装置1。在该传送出入口4的前部设置有载置搬运容器3的载置台5。搬运容器3优选可在封闭状态下收纳晶片w的所谓封闭型搬运器，这样的搬运器具有封闭其前面的开口的可拆装的盖3a。
在筐体2内的前部设置有传送搬运容器3的搬运机构6、用于保存搬运容器3的保存间7及为了晶片w的移置而用于载置搬运容器3的移置台8(移置部)。在筐体2内的后部上方设置有收容多枚、例如100枚左右的晶片w且用于实施既定处理、例如CVD处理的处理容器9(在图示的实施方式中是纵型热处理炉)。在处理容器9的下方设置有装载区10。该装载区是在移置台8上的搬运容器3与后述的舟皿12之间传送晶片w的空间，以下叫做传送空间10。传送空间10是后述的干燥空气供给装置15进行空调的目标空间。
在传送空间10设置有封闭处理容器9的炉口的盖体11，盖体11可利用升降机构(未图示)升降。在盖体11上，载置有在上下方向以既定间隔保持多枚、例如100枚左右晶片w的舟皿12。从而利用升降机构将舟皿12搬入(加载)搬出(卸载)处理容器9。
在传送空间10设置有门13。在门13上设置有可取下移置台8上载置的搬运容器3的盖3a而使搬运容器3的开口向传送空间10露出的机构。在传送空间10设置有在移置台8上的搬运容器3与卸载后的舟皿12之间移置晶片w的移置机构14。
在处理装置1上连接有用于向传送空间10提供低露点的干燥空气(干风)的干燥空气供给装置15。该干燥空气供给装置15如图1、图2及图3所示具有：分别可转动地支承在支承架16上的二个转子18a、18b；驱动两转子18a、18b转动的共同的驱动机构、例如电动马达19；用于使从传送空间10吸引的空气顺序通过转子18a、18b的吸附区域S，并且将在两转子18a、18b的吸附区域S除去了水分及有机物的干燥空气导入传送空间10的循环路径20；为了使水分及有机物脱离吸附剂而加热前述干燥空气的一部分且使其通过各转子18a、18b的再生区域U的排气路径21。各转子18a、18b具有担载有吸附剂的结构体。在各转子18a、18b的两端设置有隔离部件17。隔离部件17依靠转子相对隔离部件17的角度位置，在转子18a、18b上划分出多个区域(吸附区域S、再生区域U)。
转子18a、18b主要由以下部分构成：两端开口的圆筒体22；配置在该圆筒体22的中心的转动轴23；从该转动轴23放射状延伸而固定在圆筒体22的内周面上并将圆筒体22内隔成多个、例如8个截面为扇形的室的板状辐条24；安装在各室内的截面为扇形的蜂窝结构体25。蜂窝结构体25由担载吸附剂的基体材料构成。空气可沿圆筒体22内的轴向通过蜂窝结构体25内。
作为前述吸附剂，从可有效除去水分及有机物的角度，优选使用以稀土类元素置换亲水性沸石中的一部分钠后的稀土类置换硅酸铝。该稀土类置换硅酸铝以结构式“aMxOy·bNa2O·cAl2O3·dSiO2·eH2O(其中M是稀土类元素，a，b，c，d，e是正数”表示。该稀土类置换硅酸铝既也可只含有一种稀土类元素。也可含有多种稀土类元素。在前述结构式中，优选MxOy为La2O3、Nd2O3、CeO3或者Pr6O11。优选该稀土类置换硅酸铝含有1重量％以上的MxOy。更优选MxOy为La2O3。优选该稀土类置换硅酸铝中的La2O3的含有量为4～10重量％，这样可具有更好的吸附效果。
作为蜂窝结构体25的基体材料，从耐热性及耐磨损性优良的角度，优选使用无机纤维纸。蜂窝结构体25是通过将无机纤维纸形成蜂窝构造地适当成形而形成。要在基体材料上担载上述的稀土类置换硅酸铝，利用喷雾器或刷涂等使包含有稀土类置换硅酸铝和无机粘合剂、例如硅溶胶的浆料浸渍在基体材料上并干燥即可。
支承架16是可收容转子18a、18b的尺寸的箱形部件。在支承架16两端，形成对应于转子18a、18b的两端开口的形状及位置的圆形的开口16a。在开口16a的中央设置有转动自由地支承转动轴23的两端的轴承26，轴承26利用支承柱27及隔离部件17支承。另外，对应后级转子18b的隔离部件17除吸附区域S及再生区域U之外还划分出冷却区域T。
隔离部件17例如图4所示，由对应转子乃至圆筒体22的端部的周缘部的环状的周向部件17a、和从周向部件17a的中心、例如轴承26延伸至周向部件17a的多个径向部件17b构成。如图5所示，在径向部件17b上安装有挠性的翼片(薄板)状的密封部件28。密封部件28按压在蜂窝结构体25的端面(即转子18a、18b的端面)上，这样防止通过不同的区域的空气相互混合。密封部件28利用具有弹性及耐热性的材料、例如橡胶或软质树脂形成。密封部件28，其前端朝向转子的转动方向地弹性弯曲。因此，可减少蜂窝结构体25在密封部件28上滑动时的密封部件28及蜂窝结构体25间的摩擦阻力以及密封部件28及蜂窝结构体25的磨损。
如图6(a)所示在转子乃至圆筒体22的端缘设置有突缘22a时，在周向部件17a上安装有按压在突缘22a上的环状的填充部件29。为了减小与突缘22a滑动连接的填充部件29的摩擦阻力，优选在该填充部件29上粘贴滑片30。另外，在圆筒体22的端缘没有设置突缘22a时，如图6(b)所示，周向部件17a形成比圆筒体更大直径的圆筒状，并在其前端侧安装有按压在圆筒体22的外周的环状的填充部件29a。此时也优选在填充部件29a上粘贴滑片30a。这样，可确保周向部件17a与转于乃至圆筒体22的端缘或外周之间的密封性，并且可减少作用在填充部件29、29a上的摩擦力及填充部件29、29a的磨损。另外，如图9所示，在隔离部件17上设置有覆盖其表面的覆盖部件31，并在该覆盖部件31上连结与各区域S、U连通的配管。
循环路径20由以下部分构成：从处理装置1的传送空间10吸引作为被处理气体的传送空间的氛围气(空气)并导入前级转子18a的吸附区域S的吸引配管20a；将通过前级转子18a的吸附区域S且除去了水分及有机物的低露点的干燥空气导入后级转子18b的吸附区域S的中间配管20b；将通过后级转子18b的吸附区域S且进一步除去了水分及有机物的低露点的干燥空气提供给(导入)前述传送空间的供给配管20c。
为了不使从传送空间10取出的空气的全部循环返回传送空间10，而进行使从传送空间10取出的空气的一部分作为再生用气体利用的后排气，优选在吸引配管20a上设置用于取入与其排气量相当的空气的空气取入部32。在中间配管20b上顺序设置有风扇33和冷却器34，其中风扇33用于从上游侧(前级转子侧)向下游侧(后级转子侧)输送空气，而冷却器34用于将通过前级转子18a的吸附区域S而除去了水分及有机物的低露点的干燥空气冷却到既定的温度、例如15℃左右。为了防止干燥空气供给装置15引起的传送空间中的晶片w的颗粒污染，优选在循环路径20的出口侧、供给配管20c上设置过滤器35，用于除去从转子18a、18b与隔离部件17的接触部等产生的颗粒。
前述排气路径21由以下部分构成：从循环路径20上的紧接后级转子18b之后的供给配管20c上分支而取出低露点的清洁干燥空气的一部分作为冷却用气体导入后级转子18b的冷却区域T的第1配管21a；将通过了该冷却区域T的干燥空气作为再生用气体导入再生区域U的第2配管21b；将通过了该再生区域U的空气导入前级转子18a的再生区域U的第3配管21c；将通过了该再生区域U的空气向例如工厂排气系统排气的第4配管21d。为了将空气作为再生气体而在第2配管21b及第3配管21c上分别设置有加热到既定温度的加热机构、例如加热器36a、36b，在第4配管21d上设置有排气用的风扇39。
在通常运行时，利用加热器36a、36b将再生用的空气加热到130～200℃左右的温度提供给再生区域U，从而使吸附在吸附剂上的水分或气体状杂质(有机物)从其上脱离。但是，为了使高沸点有机化合物脱离吸附剂，也优选定期利用加热器36a、36b将再生用的空气加热到250～400℃左右的高温提供给再生区域U。
二个转子18a、18b隔着马达19平行配置。在马达19的转动轴上安装有用于通过循环皮带37a、37b分别驱动转子18a、18b转动的二个皮带轮(也叫做滑轮)38a、38b。在各转子18a、18b与皮带轮38a、38b之间绕装循环皮带37a、37b。而且二个皮带轮38a、38b的直径相互不同，这样，二个转子18a、18b的转速被设定为不同的值。为了更有效地使水分及有机物吸附在担载于前后的转子18b中的蜂窝结构体25上的吸附剂上，且使水分及有机物脱离吸附了水分及有机物的吸附剂而更有效地再生吸附剂，在图示例的情况下，设定前级转子18a的转速为每小时10转，后级转子18b的转速为每小时0.5转。各转子的转速优选考虑前级转子18a的吸附区域S与再生区域U的面积比(在图例中为3∶1)及后级转子18b的吸附区域S与再生区域U与冷却区域T的面积比(在图例中为2∶1∶1)、吸附区域上的吸附效率及再生区域U上的再生效率而设定为最佳值。
优选具有配置在处理装置1的传送空间10内检测传送空间10内的氛围气的露点(露点温度)的露点计40、和干燥空气控制部41，而干燥空气控制部41用于根据检测的露点控制维持传送空间10内的氛围气在既定的露点的干燥空气供给装置15、具体为控制马达19、风扇33、39、加热器35、冷却器34等，从而可自动维持传送空间10常在既定的露点、例如-80℃的低露点温度。这时，干燥空气控制部41优选具有例如不能控制在既定的露点时发出报警，或停止干燥空气供给装置15的运行的功能。
又，优选设置根据预先设定的运行程序检测来自处理装置1或干燥空气供给装置15等的信号并控制这些处理装置1及干燥空气供给装置15的装置控制部42。并且，在具有多组处理装置及干燥空气供给装置15的工厂，优选具有控制这些多组的处理装置1及干燥空气供给装置15的主控制部43。
在以上的结构中，处理装置1的传送空间10内的空气(温度为23℃左右，露点为1.96℃左右)通过循环路径20的吸引配管20a导入前级转子18a的吸附区域S，并利用转子18a上担载的吸附剂除湿及净化(除去水分及有机物)。此时，该清洁干燥空气的温度达到45℃左右，露点达到-20℃左右。然后，清洁干燥空气利用冷却器34冷却到15℃左右后，导入后级转子18b的吸附区域S，进一步除湿及净化，温度为23℃、露点为-80℃的清洁干燥空气通过供给配管20c提供到处理装置1的传送空间10。
又，在后级转子18b上，低露点的净化干燥空气的一部分，通过作为分支管的排气路径21的第1配管21a导入冷却区域T作为冷却用气体使用，之后利用第2配管21b的加热器36a加热作为再生用的加热气体导入再生区域U，使转子18b的吸附剂上吸附的水分及有机物蒸发而除去(脱离)。从再生区域U排出的空气(再生用气体)利用第3配管21c的加热器36b再次加热并导入前级转子18a的再生区域U，该高温再生用气体使转子18a的吸附剂上吸附的水分及有机物蒸发而除去(脱离)，之后通过第4配管21d排气。
如以上说明那样，干燥空气装置15具有：分别可转动地支承在支承架16上且具有担载吸附剂的部件25的二个转子18a、18b；设置在前述各支承架16上的隔离部件17，是依靠该隔离部件17与对应该隔离部件17的转子18a、18b之间的转动位置关系，在该转子18a、18b上至少划分出利用前述吸附剂从通过其中的空气中除去水分和有机物的吸附区域S、和使吸附了水分及有机物而劣化的前述吸收剂再生的再生区域U的隔离部件17；转动两转子18a、18b驱动的共同的驱动机构19；为了将从目标空间(传送空间10)吸引的空气除去水分及有机物而使该空气依次通过两转子18a、18b的吸附区域S，之后再返回前述目标空间10地进行引导的循环路径20；设置有加热机构36a、36b的排气路径21，是使通过两转子18a、18b的吸附区域S的空气的一部分通过前述加热机构36a、36b之后，为了使水分及有机物脱离两转子18a、18b的吸附剂而使其通过两转子18a、18b的再生区域U地进行引导的排气路径21。因此，可从目标空间10除去水分及有机物，并且可望简化干燥空气装置15的构造及降低制造成本。
又，处理装置1具有在被处理体上实施既定处理的处理设备9、传送需要利用前述处理设备9处理的被处理体w或已被前述处理设备处理过的被处理体w的传送空间10、以及向前述处理空间提供除去了水分及有机物的空气的干燥空气供给装置15，前述干燥空气供给装置15具有：分别可转动地支承在支承架16上且具有担载吸附剂的部件25的二个转子18a、18b；设置在前述各支承架16上的隔离部件17，是依靠该隔离部件17与对应该隔离部件17的转子18a、18b之间的转动位置关系，在该转子18a、18b上至少划分出利用前述吸附剂从通过它的空气中除去水分和有机物的吸附区域S、和使吸附了水分及有机物而劣化的前述吸收剂再生的再生区域U的隔离部件17；驱动两转子18a、18b转动的共同的驱动机构19；为了将从传送空间10吸引的空气除去水分及有机物而使该空气依次通过两转子18a、18b的吸附区域S，之后再返回前述目标空间10地进行引导的循环路径20；设置有加热机构36a、36b的排气路径21，是使通过两转子18a、18b的吸附区域S的空气的一部分通过前述加热机构36a、36b之后，为了使水分及有机物脱离两转子18a、18b的吸附剂而使其通过两转子18a、18b的再生区域U地进行引导的排气路径21。因此，可除去传送空间10内的水分及有机物，可抑制晶片w的自然氧化膜的生成，可避免缺氧的危险性，并且可望简化处理槽的构造及降低制造成本。
又，在前述循环路径21上，在前述二个转子中的前级转子18a与前述二个转子中的后级转子18b之间，设置有用于冷却通过了前述前级转子18a的吸附区域S的空气的冷却机构34，与前述后级转子18b对应的隔离部件17形成为在前述后级转子18b上除了前述吸附区域S及前述再生区域U外，还划分出冷却担载有前述吸附剂的部件25的冷却区域T，前述排气路径21对通过了前述前级转子18a、前述冷却器34及前述后级转子18b的空气进行引导，使其在通过前述前级及后级转子18a、18b的再生区域U及前述加热机构34之前通过前述后级转子18b的冷却区域T。因此，在后级转子18b上，作为设为高温的再生区域U使用的部分接着用作冷却部分T从而被冷却，之后该部分被用作吸附区域S。因此，从后级转子18b的再生区域U出来而提供给传送空间10的空气的温度不会上升。
又，在前述循环路径20的连通前述传送空间10的出口部分设置有用于除去从前述转子18a、18b与前述隔离部件17的接触部产生的颗粒的过滤器35，所以，可防止干燥空气供给装置15引起的传送空间10上的晶片w的颗粒污染。
又，前述驱动机构19具有通过循环皮带37a、37b分别驱动前述二个转子18a、18b转动的二个皮带轮38a、38b，前述二个皮带轮38a、38b的直径相互不同，从而使前述二个转子18a、18b以相互不同的速度转动。因此，可容易以简单的构造将二个转子18a、18b的转速设为不同的值。
又，在前述传送空间10上设置有露点计40，并设置有用于控制前述干燥空气供给装置15的干燥空气控制部41，而干燥空气供给装置15应维持传送空间10在既定的露点，所以，可始终自动维持传送空间10的氛围气为既定的露点。
图7是表示具有干燥空气供给装置的处理装置的变形实施方式的结构图。
在图7所示的实施方式中，与图1的实施方式同样的部分采用同一附图标记而省略说明，而说明不同的部分。如图7所示，在排气路径21上设置有用于加热分别提供给二个转子18a、18b的再生区域U的干燥空气(再生用气体)的共同的加热机构、例如加热器36a、36b。即，第2配管21b与第3配管21c具有相互接近配置的部分，并在该接近部分绕装一个共同的加热器36a。这样，利用一个加热器36a加热分别提供给二个转子18a、18b的再生区域U的干燥空气，从而可望装置构造的简化、装置的紧凑及降低制造成本。
图8也与图7一样展示了设置有用于加热分别提供给二个转子18a、18b的再生区域U的干燥空气(再生用气体)的共同的加热机构、例如加热器36a的例子。在本例中，在加热器36a的下游侧从第2配管21b分出绕过后级转子18b的分支管44，分支管44与第3配管21c合流。在本例中，也可望装置构造的简化、装置的紧凑及降低制造成本。
图9及图10所示为干燥空气供给装置的变形例。在这些图中，与前述实施方式同样的部分采用同一附图标记而省略说明，而说明不同的部分。图中，省略了转子18a的转动轴。转子18a也可没有转动轴，此时，使转子18a可转动地支承转子18a的外周面。转子18a间歇转动。在转子18a转动时隔离部件17离开转子18a的端面(参照图10的左侧部分)，转动停止时隔离部件17抵接在转子18a的端面上(参照图10的左侧部分)。
在具有覆盖部件31的隔离部件上设置有向使其接近或离开转子18a的端面的方向驱动的机构、例如气缸45。又，为了使转子18a如转轮手枪那样按既定转动角度间歇地转动，设置有用于检测转子18a的转动角度的传感器46。根据该传感器46的检测信号间歇驱动马达19。
如果采用图9及图10所示的干燥空气供给装置15，则前述转子18a间歇转动，前述隔离部件17在转子18a转动时离开转子18a的端面，转动停止时抵接在转子18a的端面上，所以，没有了转子18a与隔离部件17间的滑动，可防止从转子18a与隔离部件17的接触部产生颗粒。
以上参照图面详述了本发明的实施方式，但本发明不限于前述实施方式，可在不脱离本发明的宗旨的范围进行各种设计的变更等。例如，在图1所示的排气系统路径21上设置有二个加热器36a、36b，但也可去掉第3配管21c的加热器36b而只设一个加热器。又，也可多个处理装置1共用干燥空气供给装置15。换言之，也可使干燥空气供给装置15向其他的处理装置1提供干燥空气。如果这样，可望进一步简化装置构造及降低制造成本。

Claims (11)

1、一种干燥空气供给装置，其特征在于，具有：
分别可转动地支承在支承架上且具有担载吸附剂的部件的二个转子；
设置在前述各支承架上的隔离部件，是依靠该隔离部件与对应该隔离部件的转子之间的转动位置关系，在该转子上至少划分出利用前述吸附剂从通过其中的空气中除去水分及有机物的吸附区域、和使吸附了水分及有机物而老化的前述吸收剂再生的再生区域的隔离部件；
驱动两转子转动的共同的驱动机构；
为了将从目标空间吸引的空气中除去水分及有机物而使该空气依次通过两转子的吸附区域，之后再返回前述目标空间地进行引导的循环路径；
设置有加热机构的排气路径，是使通过两转子的吸附区域后的空气的一部分通过前述加热机构，之后使其通过两转子的再生区域从而使水分及有机物脱离两转子的吸附剂地进行引导的排气路径。
2、一种处理装置，其特征在于，
具有：在被处理体上实施既定处理的处理设备，传送需要利用前述处理设备处理的被处理体或已被前述处理设备处理过的被处理体的传送空间，以及向前述处理空间提供除去了水分及有机物的空气的干燥空气供给装置；前述干燥空气供给装置具有：分别可转动地支承在支承架上且具有担载吸附剂的部件的二个转子；设置在前述各支承架上的隔离部件，是依靠该隔离部件与对应该隔离部件的转子之间的转动位置关系，在该转子上至少划分出利用前述吸附剂从通过其中的空气中除去水分及有机物的吸附区域、和使吸附水分及有机物而老化的前述吸收剂再生的再生区域的隔离部件；驱动两转子转动的共同的驱动机构；为了从前述传送空间吸引的空气中除去水分及有机物而使该空气依次通过两转子的吸附区域，之后再返回前述传送空间地进行引导的循环路径；以及设置有加热机构的排气路径，是使通过两转子的吸附区域后的空气的一部分通过前述加热机构，之后使其通过两转子的再生区域从而使水分及有机物脱离两转子的吸附剂地进行引导的排气路径。
3、如权利要求2所述的处理装置，其特征在于，
在前述循环路径上，在前述二个转子中的前级转子与前述二个转子中的后级转子之间设置有用于冷却通过前述前级转子的吸附区域后的空气的冷却机构；
与前述后级转子对应的隔离部件形成为在前述后级转子上除了前述吸附区域及前述再生区域外还划分出冷却担载有前述吸附剂的部件的冷却区域；
前述排气路径对通过了前述前级转子、前述冷却机构及前述后级转子的空气进行引导，使该空气在通过前述前级及后级转子的再生区域及前述加热机构之前，通过前述后级转子的冷却区域。
4、如权利要求2所述的处理装置，其特征在于，在前述循环路径的连通前述传送空间的出口部分设置有用于除去从前述转子与前述隔离部件的接触部产生的颗粒的过滤器。
5、如权利要求2所述的处理装置，其特征在于，前述驱动机构具有通过循环皮带分别驱动前述二个转子转动的二个皮带轮，前述二个皮带轮的直径相互不同，从而使前述二个转子以相互不同的速度转动。
6、如权利要求2所述的处理装置，其特征在于，在前述排气路径上设置有用于加热分别提供给前述二个转子的再生区域的空气的共同的加热机构。
7、如权利要求2所述的处理装置，其特征在于，还具有：
测试前述传送空间的氛围气的露点的露点计、
用于根据前述露点计的测试结果控制前述干燥空气供给装置，维持前述传送空间在既定的露点的干燥空气控制部。
8、如权利要求2所述的处理装置，其特征在于：
前述隔离部件具有与转子端部的周缘部对应的环状的周向部件、和从前述周向部件的中心延伸至周向部件且将前述周向部件包围的空间分割成多个区域的多个径向部件；
在前述各径向部件上安装有按压在相向的转子的端面上的可挠性的翼片状的密封部件，前述各密封部件是其前端以朝向相向的转子的转动方向地弹性弯曲的状态在相向的转子的端面上滑动；
这样，防止通过各转子的不同区域的空气相互混合。
9、如权利要求8所述的处理装置，其特征在于，在前述各隔离部件的周向部件上设置有按压在相对的转子的端缘或外周面上的环状的填充部件，并在各填充部件上与对应的转子相向的接触面上粘贴有滑片。
10、如权利要求2所述的处理装置，其特征在于，
前述驱动机构间歇地转动前述二个转子；
前述隔离部件在相向的转子转动时离开该转子的端面，转动停止时抵接在转子的端面上。
11、如权利要求2所述的处理装置，其特征在于，前述干燥空气供给装置也与其它的处理装置的传送空间连接。
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