JP2971202B2 - ガス回収装置 - Google Patents
ガス回収装置Info
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- JP2971202B2 JP2971202B2 JP3195378A JP19537891A JP2971202B2 JP 2971202 B2 JP2971202 B2 JP 2971202B2 JP 3195378 A JP3195378 A JP 3195378A JP 19537891 A JP19537891 A JP 19537891A JP 2971202 B2 JP2971202 B2 JP 2971202B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガス回収装置に関するも
のである。
のである。
【０００２】
【従来の技術】図６は本件出願人が、さきに平成３年特
許願第１７９５５３号によって出願した回転式ガス回収
装置の縦断面図、図７は図６のＥ−Ｅ断面図、図８は図
６のＦ−Ｆ断面図、図９は図６のＧ−Ｇ断面図である。
許願第１７９５５３号によって出願した回転式ガス回収
装置の縦断面図、図７は図６のＥ−Ｅ断面図、図８は図
６のＦ−Ｆ断面図、図９は図６のＧ−Ｇ断面図である。
【０００３】図において、１４は原料ガス供給用のガス
圧縮機、１５は特定ガス吸引排出用の真空ポンプ、２１
は上記圧縮機１４と真空ポンプ１５とに連り、それぞれ
の連る部分に原料ガスマニホールドと特定ガスマニホー
ルドとがそれぞれ形成されている上部固定マニホール
ド、２２は同マニホールドの下方に設けられ回転が阻止
され上下方向にのみ可動の可動シール板、８は同可動シ
ール板に設けられている原料ガス流入口、８Ｘは同流入
口に連る溝、９は前記可動シール板に設けられている特
定ガス排出口、９Ｘは同排出口に連る溝、２３は上部固
定マニホールド２１の原料ガスマニホールドと原料ガス
流入口８、あるいは同上部固定マニホールド２１の特定
ガスマニホールドと特定ガス排出口９とを連通させるベ
ローズ、２４は上部固定マニホールド２１と可動シール
板２２との間に設けられているばね、２５は可動シール
板２２の回転を阻止する回り止めピンである。
圧縮機、１５は特定ガス吸引排出用の真空ポンプ、２１
は上記圧縮機１４と真空ポンプ１５とに連り、それぞれ
の連る部分に原料ガスマニホールドと特定ガスマニホー
ルドとがそれぞれ形成されている上部固定マニホール
ド、２２は同マニホールドの下方に設けられ回転が阻止
され上下方向にのみ可動の可動シール板、８は同可動シ
ール板に設けられている原料ガス流入口、８Ｘは同流入
口に連る溝、９は前記可動シール板に設けられている特
定ガス排出口、９Ｘは同排出口に連る溝、２３は上部固
定マニホールド２１の原料ガスマニホールドと原料ガス
流入口８、あるいは同上部固定マニホールド２１の特定
ガスマニホールドと特定ガス排出口９とを連通させるベ
ローズ、２４は上部固定マニホールド２１と可動シール
板２２との間に設けられているばね、２５は可動シール
板２２の回転を阻止する回り止めピンである。
【０００４】２６は製品ガスマニホールドとパージガス
マニホールドとがそれぞれ形成されている下部固定マニ
ホールド、２７は同マニホールドの上方に設けられ回転
が阻止され上下方向にのみ可動の可動シール板、１０は
同可動シール板に設けられている製品ガス排出口、１０
Ｘは同排出口に連る溝、１１は前記可動シール板に設け
られているパージガス流入用微小孔、１１Ｘは同微小孔
に連る溝、２８は下部固定マニホールド２６の製品ガス
マニホールドと製品ガス排出口１０、あるいは同下部固
定マニホールド２６のパージガスマニホールドとパージ
ガス流入用微小孔１１とを連通させるベローズ、２９は
下部固定マニホールド２６と可動シール板２７との間に
設けられているばね、３０は可動シール板２７の回転を
阻止する回り止めピンである。
マニホールドとがそれぞれ形成されている下部固定マニ
ホールド、２７は同マニホールドの上方に設けられ回転
が阻止され上下方向にのみ可動の可動シール板、１０は
同可動シール板に設けられている製品ガス排出口、１０
Ｘは同排出口に連る溝、１１は前記可動シール板に設け
られているパージガス流入用微小孔、１１Ｘは同微小孔
に連る溝、２８は下部固定マニホールド２６の製品ガス
マニホールドと製品ガス排出口１０、あるいは同下部固
定マニホールド２６のパージガスマニホールドとパージ
ガス流入用微小孔１１とを連通させるベローズ、２９は
下部固定マニホールド２６と可動シール板２７との間に
設けられているばね、３０は可動シール板２７の回転を
阻止する回り止めピンである。
【０００５】３は上部固定マニホールドに設けられてい
る軸受、３２は本装置下方の固定部、４は同固定部３２
に設けられている軸受、３１は同固定部に設けられてい
るスラスト軸受、５は前記軸受３，４によって支承され
回転する回転軸、６は同回転軸に設けられているキー、
７は同キーによって前記回転軸５に固定され、上部の可
動シール板２２と下部の可動シール板２７との間におい
て、その下部をスラスト軸受３１で支承されて、回転軸
５と共に回転する回転式吸脱着器、３３は前記回転軸５
を駆動するモータである。
る軸受、３２は本装置下方の固定部、４は同固定部３２
に設けられている軸受、３１は同固定部に設けられてい
るスラスト軸受、５は前記軸受３，４によって支承され
回転する回転軸、６は同回転軸に設けられているキー、
７は同キーによって前記回転軸５に固定され、上部の可
動シール板２２と下部の可動シール板２７との間におい
て、その下部をスラスト軸受３１で支承されて、回転軸
５と共に回転する回転式吸脱着器、３３は前記回転軸５
を駆動するモータである。
【０００６】吸脱着器７には、図８（図６のＦ−Ｆ断面
図）に示されるように複数の区画室１２（本例では８区
画）が設けられ、その中には吸着剤１３が充填されてい
る。この吸脱着器７の端面にばねで押されている上下の
可動シール板２２および２７には、図７および図９に示
されるように、それぞれ回転軸に対して対称な位置にあ
る複数個の区画室（本例では各３区画）をカバーする溝
８Ｘ，９Ｘ，あるいは１０Ｘ，１１Ｘが設けられてい
る。
図）に示されるように複数の区画室１２（本例では８区
画）が設けられ、その中には吸着剤１３が充填されてい
る。この吸脱着器７の端面にばねで押されている上下の
可動シール板２２および２７には、図７および図９に示
されるように、それぞれ回転軸に対して対称な位置にあ
る複数個の区画室（本例では各３区画）をカバーする溝
８Ｘ，９Ｘ，あるいは１０Ｘ，１１Ｘが設けられてい
る。
【０００７】上記装置において、原料ガスはガス圧縮機
１４によって原料ガス流入口８および溝８Ｘを経て、回
転式吸脱着器７の原料ガス流入口８に連る区画室１２に
入り、そこに充填されている吸着剤１３によって特定ガ
スが吸着され、吸着されなかったガス、すなわち製品ガ
スが、製品ガス排出溝１０Ｘおよび排出口１０を経て排
出される。一方吸脱着器７の回転によって、特定ガスを
吸着した吸着剤を有する区画室が、特定ガス排出溝９Ｘ
および排出口９に連なった時、特定ガスは真空ポンプ１
５の減圧作用によって吸着剤１３から離脱して排出回収
される。この状態の時、特定ガスの離脱を容易にするた
めに、パージガス流入用微小孔１１および溝１１Ｘから
パージガスが注入される。このように、上記装置によっ
て、吸脱着器７の回転によって連続的に製品ガスが作ら
れ、特定ガスが回収される。
１４によって原料ガス流入口８および溝８Ｘを経て、回
転式吸脱着器７の原料ガス流入口８に連る区画室１２に
入り、そこに充填されている吸着剤１３によって特定ガ
スが吸着され、吸着されなかったガス、すなわち製品ガ
スが、製品ガス排出溝１０Ｘおよび排出口１０を経て排
出される。一方吸脱着器７の回転によって、特定ガスを
吸着した吸着剤を有する区画室が、特定ガス排出溝９Ｘ
および排出口９に連なった時、特定ガスは真空ポンプ１
５の減圧作用によって吸着剤１３から離脱して排出回収
される。この状態の時、特定ガスの離脱を容易にするた
めに、パージガス流入用微小孔１１および溝１１Ｘから
パージガスが注入される。このように、上記装置によっ
て、吸脱着器７の回転によって連続的に製品ガスが作ら
れ、特定ガスが回収される。
【０００８】この装置の性能は、回転摺動しているシー
ル面３４および３５（図６）からのガス漏洩量に支配さ
れるので、これを少くする必要がある。このため、上下
の可動シール板、２２および２７を、それぞればね２４
および２９によって、回転式吸脱着器７の端面に押しつ
けるようにしてシール面の摩耗補償をしながらシール面
すき間を小さくする構造となっている。
ル面３４および３５（図６）からのガス漏洩量に支配さ
れるので、これを少くする必要がある。このため、上下
の可動シール板、２２および２７を、それぞればね２４
および２９によって、回転式吸脱着器７の端面に押しつ
けるようにしてシール面の摩耗補償をしながらシール面
すき間を小さくする構造となっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】極めて大量のガス、例
えば５０〜１００万ｍ3 ／ｈを処理するには、装置の大
型化を図らなければならないが、その際当然吸脱着器も
大型、大重量化する。ところが従来のガス回収装置では
吸脱着器は回転式であるから、これを駆動するためのモ
ータ、減速機、駆動軸等からなる駆動系も大型化し、そ
の製作コストが上昇するのみならず、運転の際の消費電
力も大となり、ランニングコストの上昇の問題が生じ
る。
えば５０〜１００万ｍ3 ／ｈを処理するには、装置の大
型化を図らなければならないが、その際当然吸脱着器も
大型、大重量化する。ところが従来のガス回収装置では
吸脱着器は回転式であるから、これを駆動するためのモ
ータ、減速機、駆動軸等からなる駆動系も大型化し、そ
の製作コストが上昇するのみならず、運転の際の消費電
力も大となり、ランニングコストの上昇の問題が生じ
る。
【００１０】本発明は、大重量の吸脱着器は固定式と
し、軽量の回転弁板を設けることによって駆動系を小型
化し、ランニングコストの低いガス回収装置を提供しよ
うとするものである。
し、軽量の回転弁板を設けることによって駆動系を小型
化し、ランニングコストの低いガス回収装置を提供しよ
うとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】内部にその中心軸に沿う
複数の区画室を有しその中に吸着剤が充填されている固
定式吸脱着器、原料ガス用開口と特定ガス用開口とを有
しその一面が前記吸脱着器の一端面に接し前記軸方向に
可動でかつ同軸まわりに回転する第１の回転弁板、原料
ガス用全周溝と特定ガス用全周溝とを有しその面が前記
回転弁板の他の面に接し前記軸方向に可動であるが、同
軸まわりに回転しない第１のシール板、製品ガス用開口
とパージガス用溝とを有しその面が前記吸脱着器の他の
端面に接し前記軸方向に可動でかつ同軸まわりに前記第
１の回転弁板と同速度で回転する第２の回転弁板、およ
び製品ガス用全周溝とパージガス用全周溝とを有しその
面が前記第２の回転弁板の他の面に接し前記軸方向に可
動であるが同軸まわりに回転しない第２のシール板を備
え、さらに上記各シール板と上記各回転弁板とを共に上
記吸脱着器のそれぞれの側の端面に押付ける与荷重機構
を備えたことを特徴とするガス回収装置に関するもので
ある。
複数の区画室を有しその中に吸着剤が充填されている固
定式吸脱着器、原料ガス用開口と特定ガス用開口とを有
しその一面が前記吸脱着器の一端面に接し前記軸方向に
可動でかつ同軸まわりに回転する第１の回転弁板、原料
ガス用全周溝と特定ガス用全周溝とを有しその面が前記
回転弁板の他の面に接し前記軸方向に可動であるが、同
軸まわりに回転しない第１のシール板、製品ガス用開口
とパージガス用溝とを有しその面が前記吸脱着器の他の
端面に接し前記軸方向に可動でかつ同軸まわりに前記第
１の回転弁板と同速度で回転する第２の回転弁板、およ
び製品ガス用全周溝とパージガス用全周溝とを有しその
面が前記第２の回転弁板の他の面に接し前記軸方向に可
動であるが同軸まわりに回転しない第２のシール板を備
え、さらに上記各シール板と上記各回転弁板とを共に上
記吸脱着器のそれぞれの側の端面に押付ける与荷重機構
を備えたことを特徴とするガス回収装置に関するもので
ある。
【００１２】
【作用】第１のシール板の原料ガス用全周溝と特定ガス
用全周溝とは同心円状に設けられている。第１の回転弁
板の原料ガス用開口と特定ガス用開口とは、前記の対応
する全周溝と同じ半径で重なるように設けられている。
したがって回転弁板が回転することによって、原料ガス
用全周溝側から供給された原料ガスは、固定式吸脱着器
の複数の区画室へ順次供給され、特定ガス用全周溝側か
ら吸引されると各区画室から順次特定ガスが吸引され
る。上記の関係は第２の回転弁板と第２のシール板にお
いても同様になり立っている。
用全周溝とは同心円状に設けられている。第１の回転弁
板の原料ガス用開口と特定ガス用開口とは、前記の対応
する全周溝と同じ半径で重なるように設けられている。
したがって回転弁板が回転することによって、原料ガス
用全周溝側から供給された原料ガスは、固定式吸脱着器
の複数の区画室へ順次供給され、特定ガス用全周溝側か
ら吸引されると各区画室から順次特定ガスが吸引され
る。上記の関係は第２の回転弁板と第２のシール板にお
いても同様になり立っている。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の一実施例の縦断面図、図２は
図１のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ−Ｂ断面図、図４
は図１のＣ−Ｃ断面図、図５は図１のＤ−Ｄ断面図であ
る。図１において４１はその中心軸を鉛直にして設置さ
れている外観が筒状の固定式吸脱着器、４２は同吸脱着
器を固定部に対して取付ける固定用脚である。従来の吸
脱着器が回転式であったのに対し、本実施例の吸脱着器
は固定式であるという点が従来のものとは異る。
図１のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ−Ｂ断面図、図４
は図１のＣ−Ｃ断面図、図５は図１のＤ−Ｄ断面図であ
る。図１において４１はその中心軸を鉛直にして設置さ
れている外観が筒状の固定式吸脱着器、４２は同吸脱着
器を固定部に対して取付ける固定用脚である。従来の吸
脱着器が回転式であったのに対し、本実施例の吸脱着器
は固定式であるという点が従来のものとは異る。
【００１４】吸脱着器４１の内部構造は、図４（図１の
Ｃ−Ｃ断面図）に示されるように従来のものと同じで、
複数の区画室１２が設けられ、その中には吸着剤が充填
されている。吸脱着器４１の中心には、軸受３，４を介
して回転軸５が設けられている。３３は同回転軸を駆動
するモータである。
Ｃ−Ｃ断面図）に示されるように従来のものと同じで、
複数の区画室１２が設けられ、その中には吸着剤が充填
されている。吸脱着器４１の中心には、軸受３，４を介
して回転軸５が設けられている。３３は同回転軸を駆動
するモータである。
【００１５】５１は上部固定マニホールド、５２は同マ
ニホールドの下方に設けられ、回り止めピン２５によっ
て回転を抑止され、上下方向にのみ可動のシール板であ
る。５３は同シール板と前記固定式吸脱着器４１とに挟
まれ、上下方向に可動、かつ回転も可能な回転弁板であ
る。この回転弁板は、キー６を介して前記回転軸５にそ
の軸方向に摺動可能に取付けられている。上部固定マニ
ホールド５１には、原料ガス用マニホールドと特定ガス
用マニホールドとがそれぞれ形成されている。２３は上
部固定マニホールド５１のそれらのマニホールドと上下
方向に可動の可動シール板５２とを連通するベローズ、
２４は上部固定マニホールド５１と可動シール板５２と
の間に設けられ、回転摺動面のガス漏れを防ぐために荷
重をかけるばねである。
ニホールドの下方に設けられ、回り止めピン２５によっ
て回転を抑止され、上下方向にのみ可動のシール板であ
る。５３は同シール板と前記固定式吸脱着器４１とに挟
まれ、上下方向に可動、かつ回転も可能な回転弁板であ
る。この回転弁板は、キー６を介して前記回転軸５にそ
の軸方向に摺動可能に取付けられている。上部固定マニ
ホールド５１には、原料ガス用マニホールドと特定ガス
用マニホールドとがそれぞれ形成されている。２３は上
部固定マニホールド５１のそれらのマニホールドと上下
方向に可動の可動シール板５２とを連通するベローズ、
２４は上部固定マニホールド５１と可動シール板５２と
の間に設けられ、回転摺動面のガス漏れを防ぐために荷
重をかけるばねである。
【００１６】６１は下部固定マニホールド、６２はその
上方に設けられ、回り止めピン３０によって回転を抑止
され、上下方向にのみ可動のシール板である。６３は同
シール板と前記固定式吸脱着器４１とに挟まれ、上下方
向に可動、かつ回転も可能な回転弁板である。この回転
弁板６３は、キー６を介して回転軸５に摺動可能に取付
けられている。下部固定マニホールド６１には、製品ガ
ス用マニホールドと特定ガス用マニホールドとがそれぞ
れ形成されている。２８は下部固定マニホールドのそれ
らのマニホールドと可動シール板６２とを連通するベロ
ーズ、２９は下部固定マニホールド６１と可動シール板
６２との間に設けられ、回転摺動面のガス漏れを防ぐた
めに荷重をかけるばねである。
上方に設けられ、回り止めピン３０によって回転を抑止
され、上下方向にのみ可動のシール板である。６３は同
シール板と前記固定式吸脱着器４１とに挟まれ、上下方
向に可動、かつ回転も可能な回転弁板である。この回転
弁板６３は、キー６を介して回転軸５に摺動可能に取付
けられている。下部固定マニホールド６１には、製品ガ
ス用マニホールドと特定ガス用マニホールドとがそれぞ
れ形成されている。２８は下部固定マニホールドのそれ
らのマニホールドと可動シール板６２とを連通するベロ
ーズ、２９は下部固定マニホールド６１と可動シール板
６２との間に設けられ、回転摺動面のガス漏れを防ぐた
めに荷重をかけるばねである。
【００１７】図２は上部の可動シール板５２の断面（図
１のＡ−Ａ断面）図である。図において、５４は原料ガ
ス流入口、５５は原料ガス用全周溝、５７は特定ガス排
出口、５８は特定ガス用全周溝である。原料ガス用全周
溝５５は、原料ガス流入口５４と前記ベローズ２３とを
介して上部固定マニホールド５１の原料ガス用マニホー
ルドと連通し、さらに従来技術の場合と同様に原料供給
用のガス圧縮機と連通している。特定ガス用全周溝５８
は、特定ガス排出口５７と前記ベローズ２３とを介して
上部固定マニホールド５１の特定ガス用マニホールドと
連通し、さらに従来技術の場合と同様に特定ガス吸引排
出用の真空ポンプと連通している。
１のＡ−Ａ断面）図である。図において、５４は原料ガ
ス流入口、５５は原料ガス用全周溝、５７は特定ガス排
出口、５８は特定ガス用全周溝である。原料ガス用全周
溝５５は、原料ガス流入口５４と前記ベローズ２３とを
介して上部固定マニホールド５１の原料ガス用マニホー
ルドと連通し、さらに従来技術の場合と同様に原料供給
用のガス圧縮機と連通している。特定ガス用全周溝５８
は、特定ガス排出口５７と前記ベローズ２３とを介して
上部固定マニホールド５１の特定ガス用マニホールドと
連通し、さらに従来技術の場合と同様に特定ガス吸引排
出用の真空ポンプと連通している。
【００１８】図３は上部の回転弁板５３の断面（図１の
Ｂ−Ｂ断面）図である。図において、５６は原料ガス用
開口、５９は特定ガス用開口である。可動シール板５２
の原料ガス用全周溝５５と回転弁板５３の原料ガス用開
口５６とは、その半径は共にＲ1 、その幅は共にＷ1 と
なるように作られ、重なり合うようになっている。可動
シール板５２の特定ガス用全周溝５８と回転弁板５３の
特定ガス用開口５９とにおいても、それぞれその半径Ｒ
2 、その幅Ｗ2 が等しく作られ、重なり合うようになっ
ている。原料ガス用開口５６および特定ガス用開口５９
の張角は共にαである。また二つの開口の間の、閉鎖部
分の張角は両方共にβである。図示のように、αとβの
和は１８０度となるように作られているので、原料ガス
用開口５６と特定ガス用開口５９とは位相が１８０度ず
れたところに位置しているといえる。開口の張角αは、
図４に示されるように、固定式吸脱着器４１の複数個の
区画室１２をカバーする角度αとなっている。また、閉
鎖部分の張角βは、少くとも１個の区画室１２をカバー
する角度βとなっている。
Ｂ−Ｂ断面）図である。図において、５６は原料ガス用
開口、５９は特定ガス用開口である。可動シール板５２
の原料ガス用全周溝５５と回転弁板５３の原料ガス用開
口５６とは、その半径は共にＲ1 、その幅は共にＷ1 と
なるように作られ、重なり合うようになっている。可動
シール板５２の特定ガス用全周溝５８と回転弁板５３の
特定ガス用開口５９とにおいても、それぞれその半径Ｒ
2 、その幅Ｗ2 が等しく作られ、重なり合うようになっ
ている。原料ガス用開口５６および特定ガス用開口５９
の張角は共にαである。また二つの開口の間の、閉鎖部
分の張角は両方共にβである。図示のように、αとβの
和は１８０度となるように作られているので、原料ガス
用開口５６と特定ガス用開口５９とは位相が１８０度ず
れたところに位置しているといえる。開口の張角αは、
図４に示されるように、固定式吸脱着器４１の複数個の
区画室１２をカバーする角度αとなっている。また、閉
鎖部分の張角βは、少くとも１個の区画室１２をカバー
する角度βとなっている。
【００１９】図１の、下部に設けられている可動シール
板６２において、６４は製品ガス排出口、６５は製品ガ
ス用全周溝、６７はパージガス入口、６８はパージガス
用全周溝である。可動シール板６２の断面の図示は省略
されているが、その形状は図２と同様であり、図２にお
いて原料ガス流入口５４、原料ガス用全周溝５５をそれ
ぞれ製品ガス排出口６４、製品ガス用全周溝６５と、ま
た、特定ガス排出口５７、特定ガス用全周溝５８をそれ
ぞれパージガス入口６７、パージガス用全周溝６８と読
み換えたものとなっている。製品ガス用全周溝６５は製
品ガス排出口６４とベローズ２８とを介して下部固定マ
ニホールド６１の製品ガスマニホールドと連通し、パー
ジガス用全周溝６８はパージガス入口６７とベローズ２
８とを介して、下部固定マニホールド６５のパージガス
マニホールドと連通している。
板６２において、６４は製品ガス排出口、６５は製品ガ
ス用全周溝、６７はパージガス入口、６８はパージガス
用全周溝である。可動シール板６２の断面の図示は省略
されているが、その形状は図２と同様であり、図２にお
いて原料ガス流入口５４、原料ガス用全周溝５５をそれ
ぞれ製品ガス排出口６４、製品ガス用全周溝６５と、ま
た、特定ガス排出口５７、特定ガス用全周溝５８をそれ
ぞれパージガス入口６７、パージガス用全周溝６８と読
み換えたものとなっている。製品ガス用全周溝６５は製
品ガス排出口６４とベローズ２８とを介して下部固定マ
ニホールド６１の製品ガスマニホールドと連通し、パー
ジガス用全周溝６８はパージガス入口６７とベローズ２
８とを介して、下部固定マニホールド６５のパージガス
マニホールドと連通している。
【００２０】図５は下部の回転弁板６３の断面（図１の
Ｄ−Ｄ断面）図である。図において、６６は製品ガス用
開口、６９はパージガス流入用微小孔、７０はパージガ
ス用溝である。この断面は図３に示した上部の回転弁板
５３の断面と対応した形状、寸法、角度となっている
が、パージガスに関する部分がパージガス流入用微小孔
６９とパージガス用溝７０とから構成されている点が上
部の回転弁板５３と異っている。
Ｄ−Ｄ断面）図である。図において、６６は製品ガス用
開口、６９はパージガス流入用微小孔、７０はパージガ
ス用溝である。この断面は図３に示した上部の回転弁板
５３の断面と対応した形状、寸法、角度となっている
が、パージガスに関する部分がパージガス流入用微小孔
６９とパージガス用溝７０とから構成されている点が上
部の回転弁板５３と異っている。
【００２１】上記装置において、原料ガスはガス圧縮機
によって原料ガス流入口５４、原料ガス用全周溝５５、
および原料ガス用開口５６を経て固定式吸脱着器４１の
区画室１２に入り、そこに充填されている吸着剤１３に
よって特定ガスが吸着され、吸着されなかったガス、す
なわち製品ガスが、製品ガス用開口６６、製品ガス用全
周溝６５、および製品ガス排出口６４を経て排出され
る。本装置においては吸脱着器４１は固定されている。
モータ３３によって回転軸５が駆動されると、同回転軸
にキー６で連結されている上下の回転弁板５３、６３は
同じ速度で回転する。回転弁板が１８０度回転すると、
上記の特定ガスを吸着している区画室の上下に、特定ガ
ス用開口５９とパージガス用溝７０が到来する。この
時、特定ガスは真空ポンプの減圧作用によって吸着剤か
ら離脱し特定ガス用開口５９、特定ガス用全周溝５８、
および特定ガス排出口５７を経て排出回収される。この
状態の時、特定ガスの離脱を容易にするために、パージ
ガス入口６７、パージガス用全周溝６８、パージガス流
入用微小孔６９、およびパージガス用溝７０を経てパー
ジガスが注入される。上記のプロセスは回転弁板の回転
によって固定式吸脱着器の各区画室で順次行われるの
で、連続的に製品ガスが作られ、特定ガスが回収され
る。なお上記装置においては、可動シール板５２、回転
弁板５３、固定式吸脱着器４１、回転弁板６３、可動シ
ール板６２の間に、それぞれ回転摺動するシール面があ
るが、ばね２４、２９が、固定マニホールドの側から可
動シール板５２、６２、回転弁板５３、６３を吸脱着器
４１に押付けているので、ガスの漏洩は防がれている。
によって原料ガス流入口５４、原料ガス用全周溝５５、
および原料ガス用開口５６を経て固定式吸脱着器４１の
区画室１２に入り、そこに充填されている吸着剤１３に
よって特定ガスが吸着され、吸着されなかったガス、す
なわち製品ガスが、製品ガス用開口６６、製品ガス用全
周溝６５、および製品ガス排出口６４を経て排出され
る。本装置においては吸脱着器４１は固定されている。
モータ３３によって回転軸５が駆動されると、同回転軸
にキー６で連結されている上下の回転弁板５３、６３は
同じ速度で回転する。回転弁板が１８０度回転すると、
上記の特定ガスを吸着している区画室の上下に、特定ガ
ス用開口５９とパージガス用溝７０が到来する。この
時、特定ガスは真空ポンプの減圧作用によって吸着剤か
ら離脱し特定ガス用開口５９、特定ガス用全周溝５８、
および特定ガス排出口５７を経て排出回収される。この
状態の時、特定ガスの離脱を容易にするために、パージ
ガス入口６７、パージガス用全周溝６８、パージガス流
入用微小孔６９、およびパージガス用溝７０を経てパー
ジガスが注入される。上記のプロセスは回転弁板の回転
によって固定式吸脱着器の各区画室で順次行われるの
で、連続的に製品ガスが作られ、特定ガスが回収され
る。なお上記装置においては、可動シール板５２、回転
弁板５３、固定式吸脱着器４１、回転弁板６３、可動シ
ール板６２の間に、それぞれ回転摺動するシール面があ
るが、ばね２４、２９が、固定マニホールドの側から可
動シール板５２、６２、回転弁板５３、６３を吸脱着器
４１に押付けているので、ガスの漏洩は防がれている。
【００２２】以上詳述したように、本実施例では大容量
化して大型化した場合の吸脱着器は回転させないで固定
し、新に軽量の回転弁板を設けて連続処理を可能とした
ので、駆動系のコンパクト化、ガス回収時のランニング
コスト（特に消費電力）低減及び従来の吸脱着器を回転
支持していたスラスト軸受が不用になる等の効果があ
る。
化して大型化した場合の吸脱着器は回転させないで固定
し、新に軽量の回転弁板を設けて連続処理を可能とした
ので、駆動系のコンパクト化、ガス回収時のランニング
コスト（特に消費電力）低減及び従来の吸脱着器を回転
支持していたスラスト軸受が不用になる等の効果があ
る。
【００２３】
【発明の効果】本発明のガス回収装置は、内部にその中
心軸に沿う複数の区画室を有しその中に吸着剤が充填さ
れている固定式吸脱着器、原料ガス用開口と特定ガス用
開口とを有し回転する第１の回転弁板、原料ガス用全周
溝と特定ガス用全周溝とを有し回転しない第１のシール
板、製品ガス用開口とパージガス用溝とを有し前記第１
の回転弁板と同速度で回転する第２の回転弁板、および
製品ガス用全周溝とパージガス用全周溝とを有し回転し
ない第２のシール板を備え、さらに上記各シール板と上
記各回転弁板とを共に上記吸脱着器のそれぞれの端面に
押付ける与荷重機構を備えているので、駆動系が小型化
するので製作コストが低減し、消費電力が少くなり、ラ
ンニングコストも低下させることができる。
心軸に沿う複数の区画室を有しその中に吸着剤が充填さ
れている固定式吸脱着器、原料ガス用開口と特定ガス用
開口とを有し回転する第１の回転弁板、原料ガス用全周
溝と特定ガス用全周溝とを有し回転しない第１のシール
板、製品ガス用開口とパージガス用溝とを有し前記第１
の回転弁板と同速度で回転する第２の回転弁板、および
製品ガス用全周溝とパージガス用全周溝とを有し回転し
ない第２のシール板を備え、さらに上記各シール板と上
記各回転弁板とを共に上記吸脱着器のそれぞれの端面に
押付ける与荷重機構を備えているので、駆動系が小型化
するので製作コストが低減し、消費電力が少くなり、ラ
ンニングコストも低下させることができる。
【図１】本発明のガス回収装置の一実施例の縦断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図
【図４】図１のＣ−Ｃ断面図
【図５】図１のＤ−Ｄ断面図
【図６】従来のガス回収装置の縦断面図
【図７】図６のＥ−Ｅ断面図
【図８】図６のＦ−Ｆ断面図
【図９】図６のＧ−Ｇ断面図
３ 軸受 ４ 軸受 ５ 回転軸 ６ キー ７ 回転式吸脱着器 ８ 原料ガス流入口 ８Ｘ 溝 ９ 特定ガス排出口 ９Ｘ 溝 １０ 製品ガス排出口 １０Ｘ 溝 １１ パージガス流入用微小孔 １１Ｘ 溝 １２ 区画室 １３ 吸着剤 １４ ガス圧縮機 １５ 真空ポンプ ２１ 上部固定マニホールド ２２ 可動シール板 ２３ ベローズ ２４ ばね ２５ 回り止めピン ２６ 下部固定マニホールド ２７ 可動シール板 ２８ ベローズ ２９ ばね ３０ 回り止めピン ３１ スラスト軸受 ３２ 固定部 ３３ モータ ３４ シール面 ３５ シール面 ４１ 固定式吸脱着器 ４２ 固定用脚 ５１ 上部固定マニホールド ５２ 可動シール板 ５３ 回転弁板 ５４ 原料ガス流入口 ５５ 原料ガス用全周溝 ５６ 原料ガス用開口 ５７ 特定ガス排出口 ５８ 特定ガス用全周溝 ５９ 特定ガス用開口 ６１ 下部固定マニホールド ６２ 可動シール板 ６３ 回転弁板 ６４ 製品ガス排出口 ６５ 製品ガス用全周溝 ６６ 製品ガス用開口 ６７ パージガス入口 ６８ パージガス用全周溝 ６９ パージガス流入用微小孔 ７０ パージガス用溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 泉 順 長崎市飽の浦町１番１号 三菱重工業株 式会社長崎研究所内 (72)発明者 大嶋 一晃 長崎市飽の浦町１番１号 三菱重工業株 式会社長崎造船所内 (72)発明者 縄田 秀夫 東京都千代田区丸の内二丁目５番１号 三菱重工業株式会社内 (72)発明者 石崎 安良 東京都千代田区丸の内二丁目５番１号 三菱重工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−23526（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−200225（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B01D 53/04
Claims (1)
- 【請求項１】 内部にその中心軸に沿う複数の区画室を
有しその中に吸着剤が充填されている固定式吸脱着器、
原料ガス用開口と特定ガス用開口とを有しその一面が前
記吸脱着器の一端面に接し前記軸方向に可動でかつ同軸
まわりに回転する第１の回転弁板、原料ガス用全周溝と
特定ガス用全周溝とを有しその面が前記回転弁板の他の
面に接し前記軸方向に可動であるが同軸まわりに回転し
ない第１のシール板、製品ガス用開口とパージガス用溝
とを有しその面が前記吸脱着器の他の端面に接し前記軸
方向に可動でかつ同軸まわりに前記第１の回転弁板と同
速度で回転する第２の回転弁板、および製品ガス用全周
溝とパージガス用全周溝とを有しその面が前記第２の回
転弁板の他の面に接し前記軸方向に可動であるが同軸ま
わりに回転しない第２のシール板を備え、さらに上記各
シール板と上記各回転弁板とを共に上記吸脱着器のそれ
ぞれの側の端面に押付ける与荷重機構を備えたことを特
徴とするガス回収装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3195378A JP2971202B2 (ja) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | ガス回収装置 |
| AU16101/92A AU647617B2 (en) | 1991-05-09 | 1992-05-07 | Gas separation system and gas recovery system |
| EP92107694A EP0512534B1 (en) | 1991-05-09 | 1992-05-07 | Gas separating system and gas recovery system |
| DE69213309T DE69213309T2 (de) | 1991-05-09 | 1992-05-07 | Vorrichtung zur Trennung und Zurückgewinnung von Gasen |
| US07/880,130 US5248325A (en) | 1991-05-09 | 1992-05-07 | Gas separating system and gas recovery system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3195378A JP2971202B2 (ja) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | ガス回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0538413A JPH0538413A (ja) | 1993-02-19 |
| JP2971202B2 true JP2971202B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=16340175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3195378A Expired - Fee Related JP2971202B2 (ja) | 1991-05-09 | 1991-08-05 | ガス回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2971202B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004026442A1 (ja) | 2002-09-20 | 2004-04-01 | Tokyo Electron Limited | 乾燥空気供給装置及び処理装置 |
| JP5848958B2 (ja) * | 2011-11-14 | 2016-01-27 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 圧力スイング吸着法によるガス分離装置 |
-
1991
- 1991-08-05 JP JP3195378A patent/JP2971202B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0538413A (ja) | 1993-02-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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