CN1672302A

CN1672302A - 谐振器

Info

Publication number: CN1672302A
Application number: CNA038130181A
Authority: CN
Inventors: 肯尼斯·维尔赫尔姆森
Original assignee: Alfa Exx AB
Current assignee: Alfa Exx AB
Priority date: 2002-06-06
Filing date: 2003-06-06
Publication date: 2005-09-21
Anticipated expiration: 2023-06-06
Also published as: EP1509980A1; SE524828C2; EP1509980B1; HK1083042A1; SE0201732L; DE60325208D1; AU2003245199A1; WO2003105296A1; ATE417390T1; JP2005529498A; US20040004751A1; CN100355163C; US7822081B2; SE0201732D0

Abstract

本发明涉及一种波长可调光源，包括：有第一反射镜端面和第二反射镜端面的主谐振器，这两个限定端面有效光腔长度，即，光腔谐振模式的光束程长；有相对第一端面和第二端面的光增益元件，所述第二端面的位置是在沿所述主谐振器内；构成所述第二反射镜端面的反射镜元件；和色散聚焦谐振器元件，它的位置是在沿光束路径的所述第二端面与所述反射镜元件之间，其中所述主谐振器的所述有效光腔长度是可变的。

Description

谐振器

技术领域

本发明涉及波长可调光源。

技术背景

波长可调光源，主要是波长可调激光源，当前正在快速地增长，而且这种光源的使用发生在诸如远程通信的领域。因此，在现有技术中，多种不同波长可调光源是众所周知的。

JP-0 6021549公开这样一种光源。这个文件公开一种可调半导体激光器，包括：有反射镜端面和外部第二反射镜端面的半导体增益元件，两个所述反射镜端面限定一个光腔。在所述光腔内排列两个聚光透镜，而在这两个聚光透镜之间排列一个可转动滤光片。通过转动所述滤光片，可以改变主激光模的波长。然而，这个结构包含多个元件，因此，它对于失调是相当灵敏，以及制造成本昂贵。我们很难使该谐振器在长时间内保持机械和光学稳定。此外，实现没有模式跳变的波长调谐是复杂的。

在“OFC′98/Wednesday poster/124 WQ27，Interference-filtertuning of a semiconductor laser in a misalignment-tolerant degenerateexternal cavity，P.Zorabedian，W.R.Trutna Jr.”中公开一种利用相同基本原理的第二个现有技术装置。即使这种结构对于外部反射镜的角度失调是不灵敏的，然而，这种类型波长可调光源有如下的缺点，它们的结构很复杂，而且该结构对于各个元件的单独位置是灵敏的，因此，元件位置失调可以造成光源的功能下降。如同以上的结构一样，这种结构也包含多个元件，因此，它不仅对于元件位置失调很灵敏，即，由于元件沿系统光轴相对运动造成的失调，而且制造成本昂贵。此外，实现没有模式跳变的波长调谐是复杂的。

在“Conjugate-Concentric laser resonator，R.V.Pole，Journal ofthe Optical Society of America，Vol.55，No.3，pages 254-260”中公开一种有较简单结构的谐振器结构。这个文件公开一种激光谐振器，它是球形谐振器，其中激活增益媒体放置在光腔的中央，其作用像一个透镜，从而实现共轭同心谐振器。然而，这种光源是不可调谐的，从而限制它在当代应用中的使用。此外，由于透镜元件与光增益元件是一致的，这种结构不能用于半导体激光器。

其他例子的可调外腔式结构是专业人员熟知的所谓Littman结构和Litrow结构。然而，这两种结构对于失调是灵敏的，从而需要更稳定的结构。此外，许多现有技术结构包含多个元件，因此具有与失调损耗有关的缺点。此外，由于在光腔内存在几个元件表面，以上描述的不同光腔遭受很大的谐振器损耗，从而导致降低的光功率输出。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种波长可调光源，它至少克服现有技术中上述的一些缺点，并提供一种有简单和稳定结构的光源，此外，它可以按照经济有效的方式实现。

实现以上的目的是利用波长可调光源，包括：有第一反射镜端面和第二反射镜端面的主谐振器，这两个端面限定有效光腔长度，即，光腔激光模式的光束程长；有相对第一端面和第二端面的光增益元件，所述第二端面的位置是在所述主谐振器内；构成所述第二反射镜端面的反射镜元件；和色散聚焦谐振器元件，它的位置是在沿光束路径的所述第二端面与所述反射镜元件之间，其中所述主谐振器的所述有效光腔长度是可变的。因此，可以实现对失调不灵敏的稳定可调谐振器，与此同时还具有简单的结构。此外，可以在没有模式跳变下实现调谐。而且，谐振器有低的损耗。此外，由于该谐振器的结构，可以实现对谐振器内表面上抗反射涂层质量较不灵敏的谐振器，从而实现适合于低成本批量生产的谐振器。

按照本发明具体优选实施例，光增益元件是表面发射元件。在这种情况下，谐振器基本上是自调谐的，例如，它便于容易制造和保证稳定运行。更好的是，在光纤的纤芯端面上还有第二反射镜端面。在这种情况下，谐振器结构便于自调准，从而使输出的激光束自动地耦合进入光纤。

根据权利要求书和以下的描述，本发明的其他优选实施例及其优点对于专业人员是显而易见的。

附图说明

以下参照附图描述本发明当前优选的实施例。

图1是本发明第一个主要实施例第一方案的示意图。

图2是本发明工作原理的示意图。

图3是本发明第一个主要实施例第二方案的示意图。

图4是本发明第一个主要实施例第三方案的示意图。

图5是本发明第二个主要实施例第一方案的示意图。

图6是本发明第二个主要实施例第二方案的示意图。

图7是本发明第三个主要实施例的示意图。

图8a是在现有技术谐振器中光束循环多次的往返路径示意图。

图8b是在本发明第一个主要实施例的谐振器中光束循环多次的往返路径示意图。

图8c是在本发明第二个主要实施例的谐振器中光束循环多次的往返路径示意图。

具体实施方式

图1中公开本发明第一个主要实施例的第一方案。图1公开的一种激光源，包括：第一反射镜端面1和第二反射镜端面2限定的主谐振腔M。在主谐振器内安排光增益元件3，此处为边缘发射半导体元件。术语“边缘发射半导体元件”解释为这样的光增益元件，其中光基本沿垂直于外延层表面法线的方向传播，该外延层构成光增益元件的激活材料。光增益元件3有相对的第一端面3a和第二端面3b，其中所述第一端面3a在这种情况下构成所述谐振腔的第一反射镜端面1。第二端面3b是在谐振腔内，可能有或没有抗反射涂层，如以下所描述的。在这种情况下，谐振腔的第二反射镜端面2在反射镜元件4上有部分透射的宽带反射涂层，其反射率是这样的，在所有相关的波长下，从所述反射镜元件4发射主谐振器M的两个反射镜端面之间所需预定比例功率。

按照本发明，在边缘发射半导体元件3的所述第二端面3b与反射镜元件4之间的谐振腔内还安排色散聚焦元件5。以下描述色散聚焦元件的结构。该色散聚焦元件展示波长有关的焦距，它产生光增益元件第二端面的图像平面与波长有关位置，如在图2中所指出的。图2表示有第一波长λ₁的光聚焦到第一平面z₃₁，有第二波长λ₂的光聚焦到第二平面z₃₂，和有第三波长λ₃的光聚焦到第三平面z₃₃。因此，在不同的纵向位置之间移动反射镜元件4，即，沿谐振模的光束路径，可以改变谐振腔的有效长度，从而使光源发射不同波长的激光。色散聚焦元件能够使谐振器有高Q值，即，对于反射镜元件4的每个选取位置，在窄波长间隔内有小的损耗。因此，沿图1或图2所示情况下所述谐振器的z轴方向仅仅移动反射镜元件4，可以使谐振器在不同波长下调谐成谐振。此外，这种运动可以在不改变主谐振器内总相移的条件下完成，即，没有模式跳变。

因此，在选取的波长下发射激光时，反射镜元件4移动到这样的位置，它是在给定波长下色散聚焦元件5的图像平面位置。因此，在反射镜元件4保持固定位置的同时，也可以移动谐振器中的其他元件以实现相同的效应，例如，光增益元件3本身相对于色散聚焦元件的移动。还可以相对于反射镜元件4移动光增益元件和色散聚焦元件以实现所需的效应。

按照本发明第一个主要实施例中第一方案的变型，上述实施例中的反射镜元件4可以与有反射面的反射元件交换，其截面上的反射率是按照这样的方式发生变化，谐振腔的主要最低级模式是高反射的，而高级模式有低的反射率。因此，除了所需的激光波长以外，谐振器Q值对于腔中所有的波长是减小的。最高反射率是在反射镜元件的中心区域，而在这个区域之外有较低的镜面反射率。可以这样选取高反射面的区域，它基本上对应于反射镜上主模的延伸。按照这种方法，可以抑制其谐振频率不同于主模和高级空间模谐振频率的两个轴向模。可以按照各种方法设计反射镜元件，只要主谐振模比主谐振模以外波长的光有较高的镜面反射率。通过加抗反射涂层，吸收层，扩展的光散射层或主模高反射区以外相对于反射镜区的反射或透射衍射表面浮雕，可以实现以上的效应。还应当注意，可以利用有这种反射率的反射镜元件，它在横截面上的反射率是按照其他方式变化的。在一般情况下，它可以是R＝R(x，y)，其中R是反射镜元件的反射率，而x和y确定描述反射镜元件反射面的坐标系统。通过正确地设计反射镜元件的反射率图形，可以在谐振腔内选取任何的模式，它不一定是主模。然而，在这种情况下，需要选取一种允许传播所需模式的增益元件，否则损耗是相当严重的。

按照本发明第一个主要实施例第二方案，如图3所示，反射镜元件可以直接安排在光纤的一个端面上。因此，光源输出的光可以直接耦合到单模或多模类型的光纤中。

按照本发明第一个主要实施例第三方案，如图4所示，半导体增益元件3的第二端面3b可以有高反射率，例如，在20-40％之间，通常是约30％，它是半导体材料与空气之间界面通常具有的反射率，即，没有抗反射涂层等。这个实施例还包括用于改变增益元件光程的装置6，此处为加热装置，例如，加热增益元件3热电元件或的电阻器，从而改变它的光程。此处，主谐振器包括两个耦合谐振器，一个是光增益元件3的两个端面3a，3b确定的谐振器，而另一个是光增益元件3的第二端面3b和反射镜元件4确定的谐振器。在这个实施例中，需要控制这两个谐振器之间的相位关系，其中所述加热装置6用于改变所述光增益元件的波导光程作为所需激光波长的函数。应当注意，在这个实施例中，反射镜元件4可以是上述任何类型元件。还应当注意，在半导体增益元件3第二端面3b的反射率是在以上20-40％间隔之外的情况下，也可以利用按照这个方案光增益元件中的模式相位控制。例如，当半导体增益元件3第二端面3b的反射率是在10-3-10-2的范围内时，可以利用另一个优选实施例中的相位控制，为的是能够在较宽的波长范围内调谐光源。在这种语境下，应当注意改变有效光腔长度的其他方法是可能的，这是通过改变光腔中元件的折射率，例如，光腔内单独的光学板，借助于温度变化或改变电场，可以改变光学板的折射率。另一种可能性是利用被分成增益部分和相位部分的增益元件，沿光腔中的光程相继地排列这两个部分。因此，增益部分安排成产生增益并可以利用增益电流进行控制，相位部分不提供增益，而仅能改变相位部分的折射率，这是借助于相位电流进行控制。因此，通过改变相位部分的光程，可以改变增益元件的光程。

按照本发明第一个主要实施例的另一方案，激光束可以耦合出通过主谐振腔的第一反射镜端面，即，在这种情况下是光增益元件的第一端面。在这个实施例中，反射镜元件4安排成反射和部分透射宽带反射镜，而第一端面3a安排成发射激光束的部分功率。这个方案还可用于以上描述的任何其他实施例。

以下参照图5描述本发明第二个主要实施例的第一方案。图5公开的一种激光源，包括：第一反射镜端面11和第二反射镜端面12确定的主谐振腔M。在主谐振腔M内，安排光增益元件13，此处为表面发射半导体增益元件。术语“表面发射半导体元件”解释为这样的光增益元件，其中光束基本沿平行于外延层表面法线的方向传播，该外延层构成光增益元件的激活材料。光增益元件有相对的第一端面部分13a和第二端面部分13b，其中所述第一端面部分13a在这种情况下构成所述谐振腔的第一反射镜端面11。第二端面部分13b是在谐振腔内，它可以有或没有抗反射涂层。谐振腔的第二反射镜端面12在反射镜元件14上有部分透射的宽带反射涂层，其反射率是这样选取的，谐振器中产生所有波长的预定比例总光功率是从第二反射镜端面发射的。按照本发明，上述的色散聚焦元件是安排在表面发射半导体增益元件13的所述第二端面与反射镜元件14之间的光腔内。以下描述色散聚焦元件的结构。色散聚焦元件与它的图像平面之间具有与波长有关的距离，如图2所示。图2表示有第一波长λ1的光聚焦到第一平面z₃₁，有第二波长λ2的光聚焦到第二平面z₃₂，和有第三波长λ3的光聚焦到第三平面z₃₃的示意图。因此，如上所述，在沿谐振器光束路径的不同位置之间移动反射镜元件14，可以改变光腔的有效长度，而光源可以安排成发射不同波长的激光。色散聚焦元件能够使谐振器有高的Q值，即，对于反射镜元件14的每个选取位置，在窄波长间隔下有小的损耗。因此，在图5所示的情况下，仅仅沿谐振器的z轴移动反射镜元件14，可以在不同波长下使所述谐振器调谐到谐振。此外，可以在不改变主谐振器内总相移的条件下完成这种移动，即，没有模式跳变。

所以，在选取的波长下发射激光时，反射镜元件14移动到色散聚焦元件15在所选波长下的图像平面位置。此外，还可以移动光腔中的其他元件以实现相同的效应。

按照第二个实施例的另一方案，反射镜元件12可以有反射面，其反射率是在它的横截面上按照上述的方式变化。在这种情况下，当反射镜元件沿横向和/或纵向移动时，即，当反射镜元件沿垂直于和/或沿谐振模式的光束路径移动时，谐振器波长的调谐是可能的，而没有未对准谐振器。

按照本发明第二个主要实施例的第二方案，如图6所示，以上第二个主要实施例的反射镜元件可以安排在光纤纤芯区的端面上，因此，光源输出的光可以直接耦合进入光纤，该光纤可以是单模或多模型光纤。这种结构能够自对准激光进入光纤。由于允许激光模式在表面发射增益元件中沿横向移动，并按照上述安排所述第二反射镜元件到纤芯上，激光模式自动地调整到纤芯的位置，因为这是谐振器损耗最小的位置。

按照所述第二个主要实施例的另一方案，激光束可以耦合出通过主谐振腔的第一反射镜端面，即，在这种情况下是通过光增益元件的第一端面。在这个实施例中，反射镜元件14最好是高反射宽带反射镜，而安排第一端面13a发射所需预定部分功率的激光束。

应当注意，在本发明第一个主要实施例的装置中，光增益元件的第二端面成像到谐振器的第二反射镜端面，而在第二个主要实施例中，第一反射镜端面成像到谐振器的第二反射镜端面，所述成像使谐振器装置很稳定。因此，一个反射镜平面上的任何物点成像到其他反射镜平面上。图8b表示第一个主要实施例的工作原理，其中反射镜元件4是角度失准的(图8a公开一种现有技术谐振器的参考例子)。图8中标记为1的光束入射到反射镜元件4，并沿标记为2的光束路径重新返回到谐振器。当标记为2的光束到达表面3b时，该模式与光增益元件的波导模卷绕，和继续前进到第一反射镜端面3a，并在光增益元件内反射，再次入射到表面3b，此后重复以上的过程。这种情况可以看作是环形谐振器模式在波导/增益元件中被空间滤波，在谐振器的每个往返行程中滤波一次。在按照本发明装置的第二个主要实施例情况下，图8c表示具有角度失准反射镜元件4的谐振器稳定性。其基本原理与以上图8b中描述的原理大致相同。

第一反射镜元件1也可以是反射型啁啾光栅，即，有交替高反射率和低反射率的反射叠层，其中整个叠层中各层的厚度是不同的。利用这种啁啾反射镜元件，可以获得宽带波长特征。在光增益元件波导的末端利用这种啁啾光栅还有这样的优点，它允许光增益元件的波导长度是随波长而变化。例如，可以设计这样的啁啾光栅反射镜，其波导长度随波长而增大/减小合适的量，因此，光增益元件的总有效相移变成与波长无关的恒定值。这可以看作是图4所示实施例的另一方案。

以下详细地描述上述实施例中的色散聚焦元件。按照直接法，色散聚焦元件是由具有色散和聚焦特征的单个正折射率透镜元件构成。折射型元件的折射率与入射光波长有关，从而产生色散效应。或者，色散聚焦元件可以由折射型透镜的组合构成，它的作用是正透镜，即使该组合中的一个或多个透镜是负透镜。在这种情况下，透镜组合的焦距随入射光的波长而变化。在透镜组合中选取合适的材料组合，可以调整它的色散量以补偿由于波长变化造成谐振器光程变化，从而提供一种没有模式跳变的谐振器。此外，色散聚焦元件可以由一个折射型元件和一个衍射型元件构成。例如，这可以借助于这样一个透镜构成，该透镜有一个折射面和具有衍射表面浮雕的相反折射面。这种元件也可以是折射型透镜元件和分开的衍射元件，例如，它可以安排成在具有第二反射镜端面的元件上衍射表面浮雕(例如，具有衍射表面浮雕的元件上玻璃板和在相对的表面上有反射镜)。这种分开的衍射元件也可以与第二反射镜端面分开。然而，应当注意，在反射镜与衍射表面浮雕之间一定存在某个距离以实现所需的功能。在非直线腔几何结构的情况下，例如，折叠腔，色散聚焦元件可以是有衍射表面浮雕的聚焦反射面。作为另一个方案，色散聚焦元件可以是所谓的GRIN元件(梯度型折射率元件)，最好是，在它的一个表面上有衍射表面浮雕。作为另一个方案，色散聚焦元件可以由平面或曲面上的衍射表面浮雕构成，它是具有反射镜元件2的部分主体。然而，可以利用全息光学元件作为色散聚焦元件，或单独地或与上述任何一个元件进行组合。

关于上述的色散聚焦元件，应当注意，只要聚焦元件有合适的色散，激光器就变成可调谐的，它与色散的符号无关。然而，在某些情况下，模式跳变可能是一个问题。通过补偿使谐振器的Q值在波长有关的谐振器长度中是最大，则可以实现没有模式跳变的激光器，谐振器长度对应于谐振器内的恒定相移。色散的选择是使模腰的移动与波节图形沿腔光轴伸展有相同的速度。可以控制不同波长长下模腰的移动速度，例如，为了得到一定的透镜色散，可以调整光增益元件与色散聚焦元件之间的距离。

如以上所指出的，本发明不局限于直线腔几何结构，事实上，它可以在任意弯曲或折叠光腔中实现。图7表示这种光腔的一个例子。在这种情况下，两个色散聚焦元件5a，5b安排在互相隔开一段距离的光腔内。每个色散聚焦元件相对于原始光束路径方向有倾斜色散，即，该元件提供倾斜传播方向的输出光束，其倾斜角与入射光的波长有关。在两个所述色散聚焦元件之间，安排一个中心可移动反射镜9，来自一个色散聚焦元件的输出光束反射进入另一个色散聚焦元件，而反射镜的位置确定哪个波长的被反射，从而提供一种有可变有效腔长的可调光源。最好是，该装置是这样的，第一反射镜端面的任何物点不但成像到第二反射镜端面，而且还成像到中心可移动反射镜。因此，可以实现十分稳定的谐振器。此外，专业人员可以容易地提出利用本发明概念的其他折叠腔结构。借助于衍射光栅元件或折射型元件，例如，棱镜，可以实现倾斜色散。此外，倾斜色散还可用在非折叠腔中，其中色散元件(例如，旋转对称的透镜)是“离轴”使用，即，进入色散元件的光学模是在不同于元件光轴位置的位置上。

按照本发明的另一方案，可以在光腔内安排第二个色散聚焦元件，其中空间滤波单元放置在第一聚焦元件与第二聚焦元件之间。例如，空间滤波单元可以是有中心孔径的针孔元件，它允许主模，即，最低级模，传输通过针孔元件，而使高级模有较高的损耗。通过改变针孔元件的位置，可以实现可调谐性。

因此，按照本发明，可以实现可调激光源，该激光源的可调间隔仅受光增益元件频谱宽度的限制。与此对比，若不使用色散聚焦元件，则实现的可调激光源仅在窄的有限波长间隔内(其数量级约为谐振器的一个自由频谱宽度)可以调谐。这种激光源具有固有简单的结构，并可以制造成经济有效和小型的激光源。在它的最简单实施方案中，可调光源包含单个衍射元件，它可以有以上描述的各种设计，并放置在与它一起构成谐振器的第一反射面与第二反射面之间。此外，由于第一反射镜端面或光增益元件第二端面上的任何物点可以成像到第二反射镜端面(或相反的情况)，该谐振器是非常稳定且对于失准是不灵敏的。在表面发射元件的情况下，光腔甚至是自调准的，它便于制造并使光腔对于长期使用造成的变化不灵敏。

此外，应当注意，在整个描述中为了简单化，术语“反射和透射”用于描述反射镜元件的特征。专业人员知道，这种元件实际上通常是部分反射和部分透射的，这种部分特征包括在以上定义的“反射”和“透射”中。此外，专业人员容易理解，以上描述的实施例仅仅是如何可以实现本发明的例子。应当特别注意，上述的光源通常有一个或两个光出口，但是，多出口光腔在本发明的范围内也是可行的。然而，光源谐振器通常有两个光输出端，一个输出端输出激光束，另一个输出端输出监测光束，监测光束用于监测和控制激光器的特征，例如，功率和波长。

还应当注意，必须仔细考虑谐振器内数值孔径(NA)的选择，即，传播到第二反射镜元件时模式发散角(θ)的正弦。若NA值是低的，则谐振器的模式选择性也是低的；若NA值是高的，则模式选择性也是高的。最好是，选取的NA值(靠近第二反射镜元件)是在0.1-0.6的范围内，即使NA值是在这个范围以外，在某些应用中仍然适用。

此外，应当注意，光增益元件的第一端面和第二端面可以是平行或非平行的，术语“相对的”可以覆盖所有这些情况，例如，光增益元件有些弯曲，以及它们两端的平面之间形成一个夹角。还应当考虑这样的情况，光增益元件的端面可以是发生内反射的表面，或允许模式从光增益元件输出的表面。

关于光增益元件，应当注意，可以利用各种材料制成，例如，半导体材料，掺杂波导材料，例如，掺铒光纤，或掺杂固态晶体。然而，还可以利用其他的材料。此外，还应当注意，光增益材料的泵激方法可以是电学或光学方法，这对于本发明的内容是不重要的。

按照本发明的光源可用在多个应用领域，例如，远程通信，还可以用在诸如信息产生和控制的应用中，或用于元件测试和测量。在后者的情况下，光源可用于测试和测量远程通信领域内元件，子系统和较大系统的波长特征。该光源在WDM领域内是特别有用的，其中光源可以按照ITU网格标准设置在上百个标准化波长信道中的一个信道上。此外，按照本发明的光源还可应用于光谱学领域，例如，用于检测气体，或测量气体的成分。该光源还可应用在计量学领域，例如，用于测量距离和/或速度。

最后，应当注意，在研究这个公开的内容和所附权利要求书之后，本发明的许多改进和变化对于专业人员是显而易见的。

Claims

1.一种波长可调光源，包括：

有第一反射镜端面和第二反射镜端面的主谐振器，这两个端面限定有效的光腔长度，即，光腔谐振模式的光束程长；

有相对第一端面和第二端面的光增益元件，所述第二端面的位置是在所述主谐振器内；

构成所述第二反射镜端面的反射镜元件；和

色散聚焦谐振器元件，它的位置是在沿光束路径的所述第二端面与所述反射镜元件之间；

其中所述主谐振器的所述有效光腔长度是可变的。

2.按照权利要求1的光源，其中所述主谐振器的所述第一反射镜端面是由光增益元件的所述第一端面构成。

3.按照权利要求1或2的光源，其中通过改变沿所述光腔光束路径的所述第一反射镜端面与第二反射镜端面之间的距离，可以改变有效光腔长度。

4.按照权利要求3的光源，其中所述色散聚焦元件与其图像平面的距离与波长有关。

5.按照权利要求4的光源，其中构成所述第二反射镜端面的所述反射镜元件位置是在激光器发射的激光波长下色散聚焦元件的图像平面上。

6.按照权利要求1或2的光源，包括：第二色散聚焦元件，其中空间滤波单元放置在第一聚焦元件与第二聚焦元件之间。

7.按照权利要求1或2的光源，其中色散聚焦元件有与波长有关的倾斜色散。

8.按照权利要求7的光源，还包括：第二色散聚焦元件，其中偏转反射镜安排成在进入另一个所述色散聚焦元件之前反射从一个所述色散聚焦元件输出的光束，所述偏转反射镜是可移动的以改变所述有效光腔长度。

9.按照以上权利要求中任何一个的光源，其中所述光增益元件是由半导体增益元件构成。

10.按照权利要求9的光源，其中所述半导体增益元件是由表面发射半导体增益元件构成。

11.按照权利要求10的光源，它有自动自调整光腔，因此，激光的发射基本上独立于光源中各个固有元件的单独位置。

12.按照权利要求9的光源，其中所述半导体增益元件是由边缘发射半导体元件构成。

13.按照权利要求12的光源，其中所述光源包括：一种装置，用于改变所述光增益元件的光程以控制激光模式的相位。

14.按照权利要求13的光源，其中通过调节增益元件的温度，可以改变所述光增益元件的光程。

15.按照权利要求13的光源，其中反射镜元件1包括：啁啾轴向光栅，它可以设计成改变光增益元件的光程。

16.按照权利要求13的光源，其中光增益元件被分成增益部分和相位部分，它们是相继地沿光腔的光束路径排列，其中通过改变相位部分的光程，可以改变增益元件的光程。

17.按照以上权利要求中任何一个的光源，其中主谐振器的光程是可以改变的，使主谐振腔的总相移量可以保持恒定，它与发射的激光波长无关。

18.按照以上权利要求中任何一个的光源，其中光增益元件的第二表面和第二反射镜端面定义为两个光共轭平面。

19.按照以上权利要求中任何一个的光源，其中在表面发射半导体元件的情况下，所述第二反射镜端面是在光纤的一个端面上，最好是在光纤的纤芯端面上。

20.按照以上权利要求中任何一个的光源，其中色散聚焦元件是由单个成像光学元件构成。

21.按照以上权利要求中任何一个的光源，其中色散聚焦元件是由多个光学元件的组合构成。