JPH05211363A - レーザ発振装置 - Google Patents

レーザ発振装置

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JPH05211363A
JPH05211363A JP34565891A JP34565891A JPH05211363A JP H05211363 A JPH05211363 A JP H05211363A JP 34565891 A JP34565891 A JP 34565891A JP 34565891 A JP34565891 A JP 34565891A JP H05211363 A JPH05211363 A JP H05211363A
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JP
Japan
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laser
oscillation
frequency
piezoelectric element
spectrum
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP34565891A
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English (en)
Inventor
Tetsuo Hosokawa
哲夫 細川
Kazumitsu Nakajima
一光 中島
Takao Kobayashi
喬郎 小林
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Publication of JPH05211363A publication Critical patent/JPH05211363A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【構成】片面に反射膜を蒸着した固体レーザ発振素子1
と、励起用レーザ発振器2と、圧電素子4により駆動さ
れる反射鏡5とからなり、素子1の厚さと反射鏡5まで
の距離で決まる自由スペクトル間隔がスペクトル幅程度
となるように素子1を薄くし、反射鏡5と素子1との間
隔を近づけた。 【効果】スペクトル幅より自由スペクトル間隔が長いた
め必ず単一周波数発振となる。更に外部鏡の位置を変え
ることにより所要の周波数で発振させたり、周波数変調
を行うことが出来る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振装置に関
し、特に発振周波数可変の固体レーザ発振装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、固体レーザを用いて発振周波数を
僅かに変える場合、まず単一周波数で発振させる為に、
レーザ共振器内にエタロン板等を挿入する必要があっ
た。これはレーザ発振に必要な素子の長さを長くする必
要がある為、レーザ反射鏡の間隔で決まる自由スペクト
ル間隔が狭くなってしまい、発振可能な周波数(モー
ド)がスペクトル幅内に何本か存在し、不要なモードを
抑制するための方策を用いない限り、2本以上のモード
が発振するのでやむを得ず用いている方策である。また
発振周波数を変える為に、反射鏡等を動かしレーザ共振
器間隔を変える際に、このエタロン板の間隔についても
考慮する必要があった。特に周波数変調した発振を行わ
せる場合は、応答性も関連して、複雑なものとならざる
を得なかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の固体レ
ーザ発振装置に於いて、周波数可変発振を行うに先立っ
てエタロン板その他のモード選択素子を利用しての単一
周波数発振が必要であり、発振周波数可変の際に反射鏡
間隔を変える以外にこの素子の間隔も制御する必要があ
った。周波数変調をも考慮すると応答性も関連して複雑
なものとなっていた。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明による、レーザ発
振器は、片面に反射膜を蒸着した固体レーザ発振素子
と、この素子を励起する半導体レーザ発振器と、圧電素
子により駆動される反射鏡を有し、素子の厚さと反射鏡
までの距離で決まる自由スペクトル間隔がスペクトル幅
と等しいか広くなる程に発振素子が薄く、反射鏡と素子
の間隔が近いことを特徴としている。
【0005】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明による固体レーザ発振装置を示す図で
ある。図でレーザ発振素子1の片面にはレーザ発振波長
に対して高い反射率を有する誘電体多層膜等からなる反
射膜1aが蒸着されている。他の面は反射による周波数
選択作用を防止するために僅かに傾けてカットされてい
る。半導体レーザ発振器2からの出力レーザ光は集光光
学系3により集光され、レーザ発振素子1に照射され
る。
【0006】図1のように反射膜1aを通して励起用半
導体レーザ光を照射する場合は、この反射膜1aは発振
させるレーザの波長に対して高い反射率を有すると共
に、半導体レーザの波長に対して高い透過率を有するも
のであることは申すまでもないことである。レーザ発振
周波数はレーザ発振素子1に蒸着された反射膜1aと圧
電素子4により駆動される反射膜5との間隔により決定
される。レーザ発振周波数の可変および周波数変調は、
圧電素子4に印加する電圧等を変化させることにより容
易に実現出来る。また特定の波長で最大の出力を得るに
は、レーザ発振素子1をヒータ等により加熱してスペク
トルの中心を所要の周波数に合わせた後に圧電素子4に
より反射鏡5を駆動すれば、スペクトルの中心と発振周
波数が一致するので容易に実現出来る。
【0007】図2はスペクトル幅,自由スペクトル間隔
等を説明する図である。単一周波数発振を行うために自
由スペクトル間隔をレーザ発振素子1のスペクトル幅よ
り広くするための条件は次のようになる。
【0008】屈折率をn,レーザ発振素子の厚さをL,
素子と反射鏡の間隔をdとすると、 自由スペクトル間隔≧C/2(nL+d)……C;光速
度 自由スペクトル間隔を300GHz,n≒2,d=10
μmとするとL<0.24mmとなる。
【0009】通常の固体レーザ発振素子は、励起波長に
対する吸収係数が小さいので、1往復当りのゲインが十
分でなく、この程度の長さでレーザ発振を行わせること
は困難であり、従来は本発明のような発想は無意味であ
った。しかし、励起波長に対して吸収係数が大きいN
d;YVO4 結晶等を用いることにより、本発明の方法
による単一周波数発振が可能となった。また結晶の厚み
は製作誤差等が考えられるが、圧電素子4により反射鏡
5を駆動することによりレーザ共振器長を変えられるの
で所要の周波数の発振を行う上の障害はない。
【0010】常温での発振スペクトルの中心は所要の周
波数と必ずしも一致しないので、最大の発振出力が得る
ためには、ヒータ等による加熱に伴うスペクトル中心の
移動等を行うが必要もあるが、他のレーザのインジェク
ションロッキング用に用いる場合は出力をそれほど必要
とせず、周波数の安定等の方が重要な場合が多いので、
加熱手段は重要な要件とはならない。また周波数変調を
行う場合で、中心周波数を厳密に制御する必要がない場
合等でも加熱手段は必要としない。
【0011】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、吸収係数
が大きくレーザ発振させるにあたってのゲインを高く出
来る結晶を用い、スペクトル幅よりも自由スペクトル間
隔の方が広くなるようなレーザ共振器とすることによ
り、簡単に単一周波数発振させると共に、圧電素子等に
より反射鏡間隔を変えるだけで発振周波数の可変あるい
は周波数変調が容易に出来るものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す図である。
【図2】本発明におけるスペクトル幅,自由スペクトル
間隔等についての関係を示す図である。
【符号の説明】
1 固体レーザ発振素子 2 半導体レーザ発振器 3 集光光学系 4 圧電素子 1a 反射膜 5 反射鏡
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 喬郎 福井県福井市文京5丁目13番7号

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 片面に反射膜を蒸着した固体レーザ発振
    素子と、この素子を励起する半導体レーザ発振器と、圧
    電素子により駆動される反射鏡とからなり、前記素子の
    厚さと反射鏡までの距離で決まる自由スペクトル間隔が
    スペクトル幅と等しいか広くなる程に発振素子が薄く、
    反射鏡と素子の間隔が近いことを特徴とするレーザ発振
    装置。
  2. 【請求項2】 前記圧電素子の駆動制御により発振周波
    数を変えることを特徴とする請求項1記載のレーザ発振
    装置。
JP34565891A 1991-12-26 1991-12-26 レーザ発振装置 Withdrawn JPH05211363A (ja)

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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990311