CN1670548A

CN1670548A - 光波导及其制造方法

Info

Publication number: CN1670548A
Application number: CNA2005100090403A
Authority: CN
Inventors: 中川洋平; 林伸彦; 蔵本庆一; 松本光晴; 平野均
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 2004-03-17
Filing date: 2005-02-17
Publication date: 2005-09-21
Anticipated expiration: 2025-02-17
Also published as: CN100437172C; US20050205885A1; US7521725B2; JP4067504B2; JP2005266066A

Abstract

本发明提供一种光波导，具备成为光传输区域的芯层、覆盖该芯层的上部包层以及下部包层，其特征在于在所述下部包层下，所述下部包层和所述上部包层之间的界面、以及所述上部包层上的任意一处设置有用于控制紫外线入射的紫外线控制区域。根据本发明的光波导，能够不受基板厚度等的影响、以折射率一定的方式形成包层和/或芯层。

Description

光波导及其制造方法

技术领域

本发明涉及光波导及其制造方法。

背景技术

近年来，随着英特网的宽带化，为了普及FTTH等的访问(access)，需要使光通信用器件的成本大幅度降低。作为光通信用器件，在光通信用设备的末端使用将光变换为电信号的光发送接收模块。为了使该光发送接收模块小型化和低成本化，提出了用有机高分子材料形成作为模块内的构件的光波导的方法(宫寺信生，光波导用聚合物材料，光alliance，p13、2、(1999))。

例如，在基板上形成下部包层，在该下部包层上形成由有机高分子材料构成的光传输层。该光传输层使用光刻法通过RIE或UV照射形成图形，除去不要的部分。在通过这种方式形成的光传输层上形成上部包层。在多数情况下，下部包层和上部包层均由有机高分子材料形成。

在成为光传输层的芯层、以及下部包层和上部包层由光(紫外线)固化性树脂形成时，由于根据紫外线的照射量，各层的折射率发生变化，有必要以高精度控制照射的紫外线的量。但是，本发明人等在通过紫外线照射使包层或芯层固化时，受到基板厚度等的影响，固化后的包层或芯层的折射率发生变化的问题。

例如在对上部包层照射紫外线使之固化时，照射在上部包层上的部分紫外线通过下部包层浸入基板内，在基板的底面发射，然后再通过下部包层达到上部包层，即使通过该紫外线，上部包层也进行固化。因此，由于基板厚度的不同，在基板上反射达到下部包层的紫外线量发生变化，由此导致照射在上部包层上的紫外线量发生变化。其结果，上部包层的固化状态不同，其折射率产生偏差。因此，产生以下问题，即受到基板厚度偏差等的影响，包层或芯层的折射率产生偏差，不能按照所设计的折射率设定各层的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种不受基板厚度等的影响、能够以折射率一定的方式形成包层和/或芯层的光波导及其制造方法。

本发明的光波导是具备成为光传输区域的芯层、覆盖该芯层的上部包层以及下部包层的光波导，其特征在于，在下部包层下、下部包层和上部包层之间的界面、以及上部包层上的任意一处以上设置有用于控制紫外线入射的紫外线控制区域。

根据本发明，通过设置紫外线控制区域，在为了使树脂固化而照射紫外线时，可以控制紫外线向紫外线控制区域的下层入射。因此，例如通过在下部包层下设置紫外线控制区域，则可以抑制在存在于紫外线控制区域下的基板上紫外线入射。因此，可以降低为以往问题的基于在基板底面反射的紫外线造成的固化的影响。因此，在对下部包层照射紫外线使其固化时，可以抑制在基板底面反射的紫外线向下部包层入射，从而可以不受基板厚度影响并且使折射率一定地使下部包层固化。另外，即使在使上部包层或芯层固化时，由于可以抑制通过下部包层在基板底面上反射的紫外线的量，因此也可以不受基板厚度等的影响并且使折射率一定地使上部包层固化。

在下部包层和上部包层之间的界面处设置紫外线控制区域时，在通过紫外线照射使上部包层固化时，由于可以抑制通过下部包层在基板底面上反射的紫外线的量，因此也能够使上部包层的折射率一定地使上部包层固化。

在使用上部基板在上部基板上依次形成上部包层、芯层、下部包层时，通过在上部包层上设置紫外线控制区域，在上部包层上照射紫外线使其固化时，由于能够抑制在上部基板的上面反射的紫外线的量，因此能够以上部包层的折射率为一定的方式使上部包层固化。同样，在使形成下部包层时，由于也能够控制通过上部包层在上部基板的上面反射的紫外线的量，因此能够以下部包层的折射率为一定的方式形成下部包层。另外，在形成芯层时，也同样能够使折射率一定的方式形成芯层。另外，在很难在衬底上形成紫外线控制区域时，也可以在以不导致基板或成为衬底的层热损坏的温度范围内，通过热使上部包层、芯层、下部包层的一部分固化而形成紫外线控制区域。具体地说，只要是在基板或成为衬底的层的玻璃化温度以下，就可以通过加热固化。

在本发明中，优选在紫外线控制区域的至少单面上形成凹凸。通过形成这种凹凸，可以更加有效地使紫外线在紫外线控制区域的表面上散射，从而抑制紫外线的入射。通过形成这种凹凸，即使在与紫外线控制区域的界面上的折射率在0.01以下的情况下，也可以有效地使紫外线散射。作为凹凸，优选每250μm的长度的表面粗糙度Rz(JISB0601)在50nm以上，更优选在100nm以上，进一步优选在400nm以上。

此外，在本发明中，也可以在紫外线控制区域含有光吸收成分以及光散射成分中的至少一方。作为光吸收成分例如可以举出碳粒子。此外，作为光散射成分，可以举出玻璃粒子等的具有与紫外线控制区域的折射率不同的折射率的粒子。通过含有光吸收成分或光散射成分，可以使紫外线吸收或者散射，从而能够进一步抑制紫外线的入射。

在本发明中，紫外线控制区域可以叠层折射率不同的2层以上的薄膜而形成。通过叠层两层以上的折射率不同的薄膜，可以在其界面使紫外线反射或散射。优选折射率在0.002以上并且不同。另外，优选折射率在紫外线入射侧一方较低。

此外，在本发明中，也可以由与邻接于该紫外线控制区域的层的折射率不同的薄膜来形成紫外线控制区域。通过这种方式由折射率不同的薄膜形成紫外线控制区域，能够在上层与紫外线控制区域之间的界面上使紫外线反射或者散射。在这种情况下，优选比上层的折射率高0.002以上。

此外，在本发明中，也可以由金属薄膜形成紫外线控制区域。通过由金属薄膜形成紫外线控制区域，能够使紫外线几乎全反射。作为这种金属薄膜，例如可以举出Ag、Al、Au、Cd、Cu、Ni、Pt、Rh、Sn等。

在本发明中，优选紫外线控制区域的厚度在100nm～2μm的范围内，更优选在500nm～2μm的范围内。若紫外线控制区域的厚度过薄，则由于其效果降低，因此难以将紫外线的照射量控制为一定。另外，若厚度过厚，则难以形成均匀的膜厚，由于膜厚的分布等而难以将紫外线的照射量控制为一定。

在本发明中，优选芯层、上部包层以及下部包层中的至少一层由有机无机复合体形成。通过由有机无机复合体形成，能够很容易地制作光波导。

在本发明中，有机无机复合体例如可以由有机聚合体和金属烷氧化物形成。另外，有机无机复合体也可以由至少一种的金属完氧化物形成。在这种情况下，优选至少由两种的金属烷氧化物形成。

在上述有机无机复合体中，通过适宜调整有机聚合体与金属烷氧化物的组合或至少两种金属烷氧化物的组合，能够调整最终形成的有机无机复合体的折射率。

作为金属烷氧化物，可以使用具有通过光(紫外线)或热而聚合的聚合性基团的金属烷氧化物。在这种情况下，优选组合使用具有通过光或热而聚合的聚合性基团的金属烷氧化物和不具有该聚合性基团的金属烷氧化物。作为上述聚合性基团可以举出甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、乙烯基以及苯乙烯基等。在通过紫外线照射而固化的包层或芯层由含有金属烷氧化物的有机无机复合体形成的情况下，作为金属烷氧化物优选含有具有通过光(紫外线)而聚合的聚合性基团的金属烷氧化物。

在使用具有聚合性基团的金属烷氧化物时，优选通过光或热使金属烷氧化物的聚合性基团聚合。

作为金属烷氧化物可以举出Si、Ti、Zr、Al、Sn、Zn、Nb等的烷氧化物。特别优选Si、Ti或Zr的烷氧化物。所以，优选使用烷氧基硅烷、钛烷氧化物、锆烷氧化物，特别优选使用烷氧基硅烷。

作为烷氧基硅烷，可以举出四乙氧基硅烷、四甲氧基硅烷、四正丙氧基硅烷、四异丙氧基硅烷、四正丁氧基硅烷、四异丁氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷(PhTES)、苯基三甲氧基硅烷(PhTMS)、二苯氧基二甲氧基硅烷(DphDMS)等。

作为具有上述聚合性基团的烷氧基硅烷，可以举出3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷(MPTES)、3-甲基丙烯酰氧基丙基三己氧基硅烷(MPTMS)、3-甲基丙烯酰氧基甲基二甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、对苯乙烯基三乙氧基硅烷、对苯乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷等。

作为钛烷氧化物可以举出钛异丙氧化物、钛丁氧化物等。作为锆烷氧化物，可以举出锆异丙氧化物、锆丁氧化物等。作为铌烷氧化物可以举出五乙氧基铌等。

作为金属烷氧化物可以使用上述的物质，但是一般能够使用式M(OP)_n、R_□M(OR)_n-1以及R_□2M(OR)_n-2(这里M表示金属，n表示2、3、4或5，R以及R□表示有机基团)表示的金属金属烷氧化物。作为有机基团可以举出烷基、芳基、具有上述聚合性基团的有机基团等。作为M如上述可以举出Si、Ti、Zr、Al、Sn、Zn等。另外作为烷基优选碳数1～5的烷基。

在由有机聚合物以及金属烷氧化物形成有机无机复合体的情况下的有机聚合体只要是能够与金属烷氧化物形成有机无机复合体的物质，就没有特别限定。作为有机聚合体，例如可以举出具有羰基的高分子聚合体、具有苯环的高分子聚合体以及具有萘环的高分子聚合体。

作为有机聚合体的具体例子，例如可以举出聚乙烯吡咯烷酮、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、环氧树脂、酚醛树脂、丙烯酸树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂等。从形成光学透明性优良的有机无机复合体的观点来看，优选使用聚乙烯吡咯烷酮、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、环氧树脂以及它们的混合物。

在通过照射光(紫外线)使有机无机复合体固化时，优选在有机无机复合体中含有光聚合引发剂。通过含有光聚合引发剂，可以通过很少的光(紫外线)的照射量就能够使之固化。

作为光聚合引发剂的具体例，例如可以举出苄基缩酮、α-羟基苯乙酮、α-氨基苯乙酮、烯丙基膦化氧、1-羟基环己基苯基酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1、三氯甲基三吖嗪、二苯基碘鎓盐、三苯基鋶盐、亚酰胺基磺酸盐等。

本发明中的芯层、上部包层以及下部包层可以通过UV固化树脂形成。作为这种UV固化树脂例如可以举出以环氧树脂为主成分的环氧系UV固化树脂、丙烯酸系UV固化树脂、环氧基丙烯酸酯系UV固化树脂、聚氨酯系等的UV固化树脂。

本发明的光波导优选在基板上形成。

本发明的制造方法之一是在基板上形成具有作为光传输区域的芯层、覆盖该芯层的上部包层以及下部包层并且在下部包层上设置有用于抑制紫外线入射的紫外线控制区域的光波导而进行制造的方法，其特征在于，具备以下工序：在基板上形成由用于形成紫外线控制区域的材料构成的具有流动性的层的工序；在以将具有凹凸面的模具的该凹凸面按压在具有流动性的层的表面上的状态照射紫外线，使具有流动性的层固化而在表面上形成具有凹凸的紫外线控制区域的工序；在取下紫外线控制区域上的模具后，在紫外线控制区域上形成具有流动性的包层材料层的工序；以具有对应于芯层图形的凸部的模具按压在包层材料层的状态照射紫外线，使包层材料层固化形成具有对应于凸部的芯层图形的槽的下部包层的工序；在下部包层的槽内形成芯层的工序；在芯层以及下部包层上涂布包层材料照射紫外线使之固化，形成上部包层的工序。

本发明的制造方法之二是在基板上形成具有作为光传输区域的芯层、覆盖该芯层的上部包层以及下部包层并且在下部包层和上部包层的界面设置有用于抑制紫外线入射的紫外线控制区域的光波导而进行制造的方法，其特征在于，具备以下工序：在基板上形成具有流动性的包层材料层的工序；以具有对应于芯层图形的凸部的模具按压在包层材料层的状态照射紫外线，使包层材料层固化形成具有对应于凸部的芯层图形的槽的下部包层的工序；在下部包层上以及上部包层的槽内涂布芯层材料形成具有流动性的芯层材料层的工序；在以将具有凹凸面的模具的该凹凸面按压在芯层材料层的表面上的状态照射紫外线，使芯层材料层固化而在下部包层的槽内形成芯层，同时在下部包层上形成由表面具有凹凸的芯层材料构成的紫外线控制区域的工序；在紫外线控制区域上涂布包层材料，照射紫外线使之固化，以形成上部包层的工序。

本发明的制造方法之三是在上部基板上，以上部包层、芯层、下部包层的顺序形成具有作为光传输区域的芯层、和覆盖该芯层的上部包层以及下部包层，并且在上部包层上设置有用于抑制紫外线入射的紫外线控制区域的光波导而进行制造的方法，其特征在于，具备以下工序：在上部基板上形成由用于形成紫外线控制区域的材料构成的具有流动性的层的工序；在以将具有凹凸面的模具的该凹凸面按压在具有流动性的层的表面上的状态照射紫外线，使具有流动性的层固化而在表面上形成具有凹凸的紫外线控制区域的工序；在取下紫外线控制区域上的模具后，在紫外线控制区域上涂布包层材料层，照射紫外线使其固化而形成上部包层的工序；在上部包层上以规定的图形形成芯层的工序；在芯层以及上部包层上涂布包层材料，照射紫外线使其固化而形成下部包层的工序。

本发明的光通信器件之一，其特征在于，将上述本发明的光波导或通过本发明的方法制造的光波导用作光信号的发送和/或接收的介质。

本发明的光通信器件之二，其特征在于，将上述本发明的光波导或通过本发明的方法制造的光波导用作光信号的分支和/或耦合的介质。

根据本发可以不受基板的厚度等的影响而使折射率一定的方式形成包层和/或芯层。因此，在将本发明的光波导用于光通信用器件等时，能够减少插入损耗的不均。

本发明的光波导可以用于发送接收模块或光开关、光调制器等的光通信器件、光纤、透镜阵列等的光传输结构以及含有它们的光束分裂器等的器件、积分透镜、微透镜阵列、反射板、导光板、透射用屏幕等的显示器件(显示器或者液晶投影仪等)相关光元件、眼镜、CCD用光学系、透镜、光学滤波器、衍射光栅、干涉计、光耦合器、光合分波器、光传感器、全息光学元件、其它的光学零件、隐形眼镜、发光二极管等。

附图说明

图1是表示本发明的一实施例的光波导的剖面图。

图2是表示本发明的其它实施例的光波导的剖面图。

图3是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。

图4是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。

图5是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。

图6是表示在紫外线控制区域上形成的凹凸的一例的立体图。

图7是表示在紫外线控制区域上形成的凹凸的又一例的立体图。

图8是表示图1所示的实施例的制造工序的剖面图。

图9是表示图1所示的实施例的制造工序的剖面图。

图10是表示用切具将图1所示的实施例的光波导的端部进行切断的状态的侧方剖面图。

图11是表示图4所示的实施例的制造工序的剖面图。

图12是表示图4所示的实施例的制造工序的剖面图。

图13是表示图5所示的实施例的制造工序的剖面图。

图14是表示图5所示的实施例的制造工序的剖面图。

图15是表示在制造本发明的实施例4中的4分支光波导时使用的模具的俯视图。

图16是表示测定4分支光波导的插入损耗的装置的模式图。

图17是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。

图18是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。

图19是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。

图20是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。

图21是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。

图22是表示使用了本发明的光波导的光发送接收模块的一例模式图。

图23是表示使用了本发明的光波导的光耦合模块的一例模式图。

图24是表示以往的光波导的剖面图。

图25是表示用于说明测定有机无机复合体的折射率的方法的剖面图。

具体实施方式

以下根据实施例来说明本发明，本发明不限于以下的实施例，在不脱离本发明的技术构思的范围内可以进行适当的变更而实施。

图1是表示本发明的一实施例的光波导的剖面图。如图1所示，在基板1上设置有紫外线控制区域2。在紫外线控制区域2上设置有下部包层3。在下部包层3的中心部上形成有槽3a，在槽3a内形成有作为光传输区域的芯层4。在芯层4以及下部包层3上设置有上部包层5。下部包层3和上部包层5由折射率比芯层4低的材料形成。芯层4通过上部包层5和下部包层3覆盖其周围，在其内部能够使光进行传输。

在紫外线控制区域2和基板1之间的界面上，形成有凹凸2b。另外在与下部包层3的界面上形成有凹凸2a。凹凸2a和凹凸2b是具有如图6所示的凸部2c的凹凸。即，凹部2c在纵方向和横方向具有配置为矩阵状的凹凸形状。紫外线控制区域2由折射率比下部包层3高的材料形成。因此，能够使来自下部包层3侧入射的紫外线在与下部包层3的界面上反射。另外，由于在界面处形成有凹凸2a，因此可以抑制紫外线向基板1入射。另外，由于在紫外线控制区域2与基板1的界面也形成有凹凸2b，因此，即使通过该凹凸2b也能够使紫外线散射，从而能够进一步抑制紫外线向基板1入射。

如上所述，在本实施例中，由于紫外线控制区域2设置在于基板1和下部包层3之间，因此通过该紫外线控制区域2，可以抑制紫外线向基板1的入射。因此，为了使下部包层3固化，在向下部包层3照射紫外线时，能够抑制紫外线向基板1入射。因此，根据本发明的光波导的结构，在使下部包层3固化时，可以减少从基板反射的紫外线的影响。因此，可以不受基板1的厚度等的影响，使下部包层3固化，从而能够使下部包层3的折射率一定。

同样，在通过紫外线照射而使芯层4和上部包层5固化时，也能够减少在基板1上反射的紫外线的影响，不受基板厚度等的影响而使折射率一定。

图8和图9是表示图1所示的实施例的光波导的制造工序的剖面图。

如图8(a)所示，在玻璃基板1上形成有对应于紫外线控制区域2的凹凸2b的凹凸1a。然后，如图8(b)所示，准备具有对应于紫外线控制区域2的凹凸2a的凹凸6a的模具6，在玻璃基板1上滴下有机无机复合体的前体的液体，然后按压该模具6的凹凸面6a，在该状态下照射紫外线，使其固化而形成紫外线控制区域2。在紫外线控制区域2的与基板1的界面上形成凹凸2b，在其表面上形成凹凸2a。另外，在本实施例中所用的模具6由硅形成。

然后，如图8(c)所示，在紫外线控制区域2上滴下有机无机复合体的前体的包层材料液后，按压模具7，在该状态下照射紫外线，形成下部包层3。在模具7上形成对应于芯层的图形的凸部7a，在下部包层3上形成对应于该凸部7a的槽3a。另外，在本实施例中的模具7是由硅酮橡胶形成的。

然后，如图9(d)所示，在下部包层3的槽3a上流入芯层材料的液体后，对其照射紫外线使其固化，形成芯层4。然后如图9(e)所示，在芯层4和下部包层3上涂布包层材料液，对其照射紫外线使其固化，形成上部包层5。

如图10是表示将通过上述方式制作的光波导的端部进行切断的状态的侧方剖面图。如图10所示，通过用切具将光波导的端部进行切断，从而能够使露出良好的端面。

如上所述，在本实施例中，由于在基板1和包层3之间设置有紫外线控制区域2，因此可以通过紫外线控制区域2抑制紫外线向基板1入射。因此，在照射紫外线使下部包层3、芯层4以及上部包层5固化时，可以减少在基板1上反射的紫外线的影响。因此，能够不受基板1的厚度等的影响而使各层的折射率一定。

图2是表示本发明的其它实施例的光波导的剖面图。在图2所示的实施例中，基板1不设置在紫外线控制区域2下。这种结构的光波导例如在图1所示的实施例中，在形成紫外线控制区域2、下部包层3、芯层4以及上部包层5之后，通过从紫外线控制区域2取下基板1而形成。即使在这种实施例中，在通过紫外线照射而使下部包层3、芯层4以及上部包层5固化时，能够不受基板厚度等的影响而以折射率一定的方式形成。

图3是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。在图3所示的实施例中，在上部包层5上设置有上部基板11。作为该上部基板11可以举出由石英、TEMPAX、Pyrex(注册商标)玻璃、氟化聚酰亚胺等构成的基板。

图3所示的光波导，例如可以通过在图1所示的实施例的制造工序中，在使上部包层5固化前，载置上部基板11，然后使上部包层5固化的方法而获得。

即使在图3所示的实施例中，也能够通过设置紫外线控制区域2而在对下部包层3、芯层4以及上部包层5照射紫外线使之固化时，不受基板1的厚度等的影响并且以各层的折射率一定的方式而形成。

图4是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。在图4所示的实施例中，在上部基板11与上部包层5之间设置有紫外线控制区域2。另外在下部包层3下没有设置基板。这种光波导例如可以通过在上部基板11上依次形成紫外线控制区域2、上部包层5、芯层4以及下部包层3而制造。

图11以及图12是表示图4所示的实施例的光波导的制造工序的剖面图。

如图11(a)所示，在上部基板11的表面上形成对应于紫外线控制区域2的凹凸2a的凹凸11a。然后，如图11(b)所示，在上部基板11上滴下有机无机复合体的前体液体后，以按压模具6的状态照射紫外线使其紫外线控制区域2固化。在模具6上形成对应于紫外线控制区域2的凹凸2b的凹凸6a。在本实施例中，模具6由Si形成。

然后，如图11(c)所示，在紫外线控制区域2上滴下由有机无机复合体的前体构成的液体，在旋涂后，照射紫外线使之固化，形成上部包层5。

然后，如图12(d)所示，在上部包层5上滴下由有机无机复合体的前体构成的液体后，按压形成有对应于芯层的图形的槽18a的模具18，在槽18a内照射紫外线使之固化，形成芯层4。然后，取下模具18，如图12(e)所示，在芯层4以及上部包层5上滴下由有机无机复合体的前体构成的液体，旋涂后，照射紫外线形成下部包层3。

在本实施例中，由于在上部基板11与上部包层5之间设置有紫外线控制区域2，因此在照射紫外线而使上部包层5、芯层4以及下部包层3固化时，能够抑制在上部基板11反射再入射的紫外线。因此能够不受基板厚度等的影响而以折射率一定的方式形成各层。

图5是表示本发明的又一实施例的光波导的剖面图。在本实施例中，在下部包层3和上部包层5之间形成有紫外线控制区域2。在紫外线控制区域2的与上部包层邻接的面上形成凹凸2a。由于在芯层4以及下部包层3上设置有紫外线控制区域2，因此在对上部包层5照射紫外线而使其固化时，能够抑制紫外线向芯层4、下部包层3以及基板1入射。因此，在使上部包层5固化时，能够不受基板1的厚度等的影响而以折射率一定的方式使上部包层5固化。

图13和图14是表示图5所示实施例的光波导的制造工序的剖面图。

在如图13(a)所示的基板1上，滴下由有机无机复合体的前体构成的液体后，如图13(b)所示，以按压具有对应于芯层图形而形成的凸部7a的模具的状态，照射紫外线使之固化，形成下部包层3。在下部包层3上形成对应于模具7的凸部7a的槽3a。

然后如图13(c)所示，在下部包层的槽3a内以及下部包层3上滴下由有机无机复合体的前体构成的液体。

然后如图14(d)所示，以按压具有对应于紫外线控制区域2的凹凸2a的凹凸6a的模具6的状态，照射紫外线使之固化，形成芯层4以及紫外线控制区域2。因此，在本实施例中，紫外线控制区域2的表面形成对应于模具6的凹凸6a的凹凸2a。在本实施例中，模具6由Si形成。

然后，如图14(e)所示，在紫外线控制区域2上滴下由有机无机复合体的前体构成的包层材料，在旋涂后，照射紫外线使其固化，形成上部包层5。

在本实施例中，由于在芯层4和下部包层3上设置有紫外线控制区域2，因此，在使上部包层5固化时，能够抑制紫外线向芯层4、下部包层3以及基板1入射。因此在使上部包层5固化时，能够抑制从基板1反射的紫外线的影响，能够以折射率一定的方式形成上部包层5。

在以下实施例中用于形成各层的形成中所用的有机无机复合体的溶液，通过如下方式调制。

[包层形成用溶液]

混合3-甲基丙酰氧基丙基三乙氧基硅烷(MPTES)5.5ml、乙醇20.5ml、盐酸(2N)1.65ml以及苯基三甲氧基硅烷4.5ml，在24℃放置72小时后，为了促进紫外线固化添加了作为光聚合引发剂的1-羟基环己基苯基酮1重量％。将其装在4ml小瓶中后，在100℃下加热1小时得到1g的粘性液体。在该粘性液体中混合三甲基乙氧基硅烷3ml、三氟醋酸酐0.8ml，放置24小时后，通过在100℃下加热干燥，蒸发除去过剩的三甲基乙氧基硅烷以及三氟醋酸酐，得到包层形成用溶液A。

如图25(a)所示，在1.1mm厚度的TEMPAX玻璃19上滴下溶液A，放置30μm的隔件20，以相同厚度的TEMPAX玻璃19夹入。然后利用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯，在24℃的氮气气氛中对其照射30分钟使其固化。然后，去除一方的TEMPAX玻璃，如图25(b)所示，形成有机无机复合体21，在波长630nm处测定其折射率，结果为1.515。

[芯层形成用溶液]

混合3-甲基丙酰氧基丙基三乙氧基硅烷(MPTES)5.5ml、乙醇20.5ml、盐酸(2N)1.65ml以及苯基三甲氧基硅烷5.75ml，在24℃放置72小时后，为了促进紫外线固化添加了作为光聚合引发剂的1-羟基环己基苯基酮1重量％。将其装在4ml小瓶中后，在100℃下加热1小时得到1g的粘性液体。在该粘性液体中混合三甲基乙氧基硅烷3ml、三氟醋酸酐0.8ml，放置24小时后，通过在100℃下加热干燥，蒸发除去过剩的三甲基乙氧基硅烷以及三氟醋酸酐，得到芯层形成用溶液B。

通过与上述同样的方式测定由B溶液形成的有机无机复合体的折射率，结果为1.519。

[紫外线控制区域形成用溶液1]

混合3-甲基丙酰氧基丙基三乙氧基硅烷(MPTES)5.5ml、乙醇20.5ml、盐酸(2N)1.65ml以及苯基三甲氧基硅烷6.0ml，在24℃放置72小时后，为了促进紫外线固化添加了作为光聚合引发剂的1-羟基环己基苯基酮1重量％。将其装在4ml小瓶中后，在100℃下加热1小时得到1g的粘性液体。在该粘性液体中混合三甲基乙氧基硅烷3ml、三氟醋酸酐0.8ml，放置24小时后，通过在100℃下加热干燥，蒸发除去过剩的三甲基乙氧基硅烷以及三氟醋酸酐，得到紫外线控制区域形成用溶液C。

通过与上述同样的方式测定由溶液C形成的有机无机复合体的折射率，结果为1.522。

[紫外线控制区域形成用溶液2]

混合3-甲基丙酰氧基丙基三乙氧基硅烷(MPTES)5.5ml、乙醇20.5ml、盐酸(2N)1.65ml以及苯基三甲氧基硅烷7.0ml，在24℃放置72小时后，为了促进紫外线固化添加了作为光聚合引发剂的1-羟基环己基苯基酮1重量％。将其装在4m1小瓶中后，在100℃下加热1小时得到1g的粘性液体。在该粘性液体中混合三甲基乙氧基硅烷3ml、三氟醋酸酐0.8ml，放置24小时后，通过在100℃下加热干燥，蒸发除去过剩的三甲基乙氧基硅烷以及三氟醋酸酐，得到紫外线控制区域形成用溶液D。

通过与上述同样的方式测定由溶液D形成的有机无机复合体的折射率，结果为1.524。

<实施例1>

[折射率的测定]

在图1所示的实施例中，为了评价基于设置了紫外线控制区域2的下部包层3的折射率控制的效果，在图1所示的实施例中，使用厚度不同的基板1，在各基板1上形成紫外线控制区域2，在其上形成下部包层3，测定下部包层3的折射率。具体地说，作为基板1分别使用了厚度0.5mm、1.1mm、1.6mm以及2.1mm的基板。在基板1的表面上使用切具以400nm的间距形成400nm的宽度以及深度的槽，以形成凹部1a(参照图8(a))。在其上滴下溶液C后，如图8(b)所示，按压具有每250μm的长度表面粗糙度Rz为100nm的凹凸6a的模具6，使用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯来照射紫外线30分钟，使其固化，以形成紫外线控制区域2。另外，紫外线固化是在氮气气氛中进行的。以下说明的工序中的紫外线固化均是在氮气气氛中进行的。紫外线控制区域2的厚度为2μm。

利用触针式表面粗糙度测定器测定紫外线控制区域2的表面的表面粗糙度，结果每250μm长度的表面粗糙度Rz为100nm。

然后在紫外线控制区域2上滴下溶液A，利用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯照射30分钟的紫外线使之固化，形成下部包层3。下部包层3的厚度为30μm。

对于通过以上方式形成的下部包层3的各样品测定了折射率，结果在厚度不同的任一样品中，折射率为1.5155，为一定值。

作为比较，制作了不形成紫外线控制区域2，在基板1上直接利用溶液A形成下部包层3的样品。下部包层3的厚度与上述相同为30μm。对于所得的各样品测定了折射率，结果，在基板厚度为2.1mm的样品中为1.5155，基板厚度为1.6mm的样品中为1.5153，基板厚度为1.1mm的样品中为1.5150，基板厚度为0.5mm的样品中为1.5148。因此确认了在不设置紫外线控制区域2的情况下，根据基板厚度不同，折射率产生偏差。

根据以上结果可知通过设置紫外线控制区域，能够不受基板厚度影响并且能够将下部包层的折射率控制为一定值。

[4分支光波导的制作]

与上述同样，在厚度不同的基板上形成紫外线控制区域2后，在该紫外线控制区域2上滴下溶液A，如图15所示，按压芯层图形7a为4分支图形的模具7形成下部包层3。下部包层3通过与上述相同的条件照射紫外线使之固化。在下部包层3上如图8(c)所示，形成对应于凸部7a的槽3a的图形。

然后，如图9(d)所示，在下部包层3的槽3a上流入溶液B，使用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯照射紫外线30分钟，使之固化，形成芯层4。

然后如图9(e)所示，在芯层4和下部包层3上滴下溶液A后，使用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯照射紫外线30分钟使之固化，形成上部包层5。

通过以上方式，制作了具有图1所示的剖面，并且具有与图15所示的凸部7a相同的芯层图形的4分支光波导。紫外线控制区域的厚度为2μm，下部包层3和上部包层5的厚度为30μm，芯层4的厚度为7μm，芯层4的宽度为7μm.

[插入损耗的测定]

对于上述的4分支光波导，测定了插入损耗。如图16所示，由光电二极管16使用光纤15a向4分支光波导14入射波长1300nm的光，利用光纤15b以光电二极管检测出射的光，测定输出。μm其结果，4分支光波导14的插入损耗为由8.3dB到8.5dB，各分支的偏差为0.2dB。

作为比较，制作了具有图24所示结构的光波导。即，除了不形成紫外线控制区域2以外，其余通过与上述相同分别使用厚度不同的基板制作了4分支光波导。对于所得的光波导，通过与上述同样的方式测定了插入损耗。其结果，对于各分支的插入损耗的偏差：在基板厚度为2.1mm的光波导中为0.6dB，在基板厚度为1.6mm的光波导中为0.4dB，在基板厚度为1.1mm的光波导中为0.2dB，在基板厚度为0.5mm的光波导中为0.4dB。

由以上结果可以看出，通过在下部包层3下设置紫外线控制区域2，能够不受基板厚度等的影响并且以折射率一定的方式形成包层，作为其结果，光波导的插入损失也能够控制为一定值。

<实施例2>

除了在实施例1中作为用于在紫外线控制区域2的表面上形成凹凸的模具6使用表面粗糙度Rz具有400nm的凹凸的模具6之外，其余的通过与实施例1相同的方式制作了4分支光波导。

对于制作的4分支光波导利用光学显微镜进行了观察，结果基板的表面、以及下部包层与紫外线控制区域之间的界面处的凹凸均为250μm长度上的表面粗造度Rz为400nm。

另外，通过与实施例1相同的方式测定了4分支光波导的插入损耗，结果是即使使用各不同厚度的基板，对于各分支光波导的插入损耗的偏差为0.2dB。

从以上结果可以看出即使在将紫外线控制区域与下部包层之间的界面处的凹凸设置为表面粗糙度Rz400nm时，也可以获得与实施例1相同的结果。

<实施例3>

作为用于在紫外线控制区域2的表面形成凹凸的模具6，使用了图7所示的具有带状的凸部2d的带状凹凸形成的模具。此外，该凹凸的表面粗糙度Rz为100nm。

除了使用上述模具6之外，与实施例1相同制作了4分支光波导。对于制作的光波导，利用光学显微镜观察的结果，在下部包层与紫外线控制区域之间的界面处的凹凸的250μm长度上的表面粗糙度Rz为100nm。

通过与实施例1相同的方式测定了4分支光波导的插入损耗，结果是即使使用各不同厚度的基板，对于各分支光波导的插入损耗的偏差为0.2dB。

从以上结果可以看出即使在将紫外线控制区域与下部包层之间的界面处的凹凸设置为带状时，也可以获得与实施例1相同的结果。

<实施例4>

制作了在上部包层与下部包层之间的界面上形成有紫外线控制区域的具有图5所示的剖面结构的光波导。

与实施例1一样使用了不同厚度的基板。另外，在这些基板1上不形成凹凸。在基板1上滴下溶液A后，使用具有如图15所示的凸部7a的图形的模具7，如图13(b)所示，按压模具7，利用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯照射紫外线30分钟使之固化，形成下部包层3。

然后，如图13(c)所示，在下部包层3以及槽3a内滴下溶液B，然后如图14(d)所示，以按压具有250μm的长度上的表面粗糙度Rz为100nm的凹凸6a的模具6的状态，利用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯照射紫外线30分钟使之固化，形成紫外线控制区域2以及芯层4。在该实施例中，芯层材料和紫外线控制区域的材料使用相同的材料。

然后，如图14(e)所示，在紫外线控制区域2上滴下溶液A后，利用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯照射紫外线30分钟使之固化，形成上部包层5。

在所得的4分支光波导中，紫外线控制区域2的厚度为2μm，下部包层3以及上部包层5的厚度为30μm，芯层4的厚度为7μm，芯层4的宽度为7μm。

对于所得的4分支光波导，利用光学显微镜观察的结果为，在紫外线控制区域2与上部包层5之间的界面上形成的凹凸的250μm的长度上的表面粗糙度Rz为100nm。

对于所得的4分支光波导，通过与实施例1相同的方式测定了插入损耗，结果对于任一厚度不同的基板，在各分支间的插入损耗的偏差为0.2dB。

由以上结果可知，即使将紫外线控制区域2设置在下部包层3与上部包层5之间的界面上，也可以获得与实施例1相同的结果。

<实施例5>

通过以下方式制作了具有图4所示的剖面结构的4分支光波导。

作为上部基板使用厚度0.5mm、1.1mm、1.6mm、2.1mm的4种基板，在基板11的表面上利用切具形成间距400nm以及400nm的宽度和深度的槽。在这种基板11的凹凸面上滴下溶液C后，如图11(b)所示，按压具有250μm的长度上的表面粗糙度Rz为100nm的凹凸6a的模具6，在该状态下利用具有365nm的中心波长的强度150Mw/cm²的紫外线灯照射紫外线30分钟使之固化，形成了紫外线控制区域2。

然后，如图11(c)所示，在紫外线控制区域2上滴下溶液A，旋涂后，使用与上述同样的紫外线灯照射紫外线30分钟使之固化，形成上部包层5。

然后，如图12(d)所示，在上部包层5上滴下溶液B后，按压形成有芯层图形的槽18a的模具18，利用与上述相同的紫外线灯照射紫外线30分钟使其固化，形成芯层4。另外，模具18的槽18a以与图15所示的模具7a相同的芯层图形形成。

然后，如图12(e)所示，在芯层4和上部包层5上滴下溶液A后，利用与上述同样的紫外线灯照射紫外线30分钟使其固化，形成下部包层3。

在通过上述方式制作的4分支光波导中，紫外线控制区域2的厚度为2μm，下部包层3以及上部包层5的厚度为30μm，芯层4的厚度为7μm，芯层4的宽度为7μm。

对于所得的4分支光波导，利用光学显微镜观察的结果为，上部基板表面的凹凸的在250μm的长度上的表面粗糙度Rz为400nm，在紫外线控制区域与上部包层之间的界面的凹凸的在250μm的长度上的表面粗糙度Rz为100nm。

由以上结果可知，即使将紫外线控制区域设置在上部包层与基板之间，也可以获得与实施例1相同的结果。

<实施例6>

制作了图17所示的4分支光波导。

在与实施例1同样的厚度不同的基板1上滴下添加了直径1μm的玻璃粒子并且使其浓度为1mg/ml的溶液C，在旋涂后，利用上述紫外线灯，照射紫外线30分钟使其固化，形成了含有作为光散射成分的玻璃粒子9的紫外线控制区域2。

在下部包层3、芯层4以及上部包层5通过与实施例1相同的方法形成。

在制作的4分支光波导中，紫外线控制区域2的厚度为2μm，下部包层3以及上部包层5的厚度为30μm，芯层4的厚度为7μm，芯层4的宽度为7μm。

通过与实施例1相同的方式测定了插入损耗，结果对于任一厚度不同的基板，在各分支间的插入损耗的偏差为0.2dB，没有发现基于基板厚度不同的影响。

<实施例7>

制作了图18所示的实施例的4分支光波导。除了使用添加了碳粒子13并且使其浓度为1mg/ml的溶液C形成之外，其余的通过与实施例6相同的方式制作了4分支光波导。

通过与实施例1相同的方式测定了各分支间的插入损耗的偏差，结果没有发现基于基板厚度影响，为一定值0.2dB。

<实施例8>

制作了图19所示的实施例的4分支光波导。

使用与实施例1相同的厚度不同的基板，紫外线控制区域2由两层2e以及2f形成。第一层2f由溶液C形成，第二层2e由溶液D形成。它们的厚度为2μm。

此外，通过与上述实施例6相同的方式制作了4分支光波导。测定插入损耗的结果为，不受基板厚度的影响，各分支间的插入损耗的偏差为一定值0.2dB。

<实施例9>

制作了图20所示的实施例的4分支光波导。

除了将紫外线控制区域2由溶液C形成之外，其余的通过与上述实施例相同的方式制作了光波导。紫外线控制区域2的厚度为2μm。

对于制作的4分支光波导，测定了各分支间的插入损耗的偏差，结果不受基板厚度的影响，全部为一定值0.2dB。

<实施例10>

制作了图21所示的实施例的4分支光波导。

除了将紫外线控制区域2由厚度1μm的铝蒸镀膜形成之外，其余的通过与上述实施例6相同的方式制作。

测定了制作的4分支光波导的各分支间的插入损耗的偏差，结果不受基板厚度的影响，全部为一定值0.2dB。

<实施例11>

使用市售的紫外线固化型环氧树脂，形成下部包层、芯层、上部包层以及紫外线控制区域，制作了与实施例1相同结构的4分支光波导。

作为包层形成用溶液A，使用了固化物的折射率为1.494的市售的紫外线固化型环氧树脂。作为芯层形成用溶液B，使用了固化物的折射率为1.498的市售的紫外线固化型环氧树脂。作为紫外线控制区域形成用溶液C，使用了固化物的折射率为1.520的市售的紫外线固化型环氧树脂。

除了作为溶液A～C使用上述溶液，以及紫外线照射时间设为10分钟以外，其余的通过与实施例1相同的方式制作了4分支光波导。对于制作的4分支光波导，以光学显微镜进行了观察，结果基板表面以及下部包层与紫外线控制区域的界面的凹凸的在250nm的长度上的表面粗糙度Rz为100nm。

另外，通过与实施例1相同的方式对各分支间的插入损耗的偏差进行了测定，结果与基板的厚度没有关系，都为0.2dB。

从以上结果可以看出，在使用UV固化环氧树脂制作的情况下，也能够获得与实施例1相同的结果。

<实施例12>

在本实施例中，示例紫外线固化型丙烯酸树脂形成了下部包层、芯层、上部包层以及紫外线控制区域。

作为包层形成用溶液A使用了固化物的折射率为1.494的市售的紫外线固化型丙烯酸树脂。作为芯层形成用溶液B使用了固化物的折射率为1.498的市售的紫外线固化型丙烯酸树脂。作为紫外线控制区域形成用溶液C使用了固化物的折射率为1.520的市售的紫外线固化型丙烯酸树脂。

除了作为溶液A～C使用上述溶液之外，通过与实施例11相同的方式制作了4分支光波导。

对于制作的4分支光波导，以光学显微镜进行了观察，结果基板表面以及下部包层与紫外线控制区域的界面的凹凸的在250nm的长度上的表面粗糙度Rz为100nm。

对于制作的4分支光波导，通过与实施例1相同的方式对各分支间的插入损耗的偏差进行了测定，结果与基板的厚度没有关系，都为0.2dB。

从以上结果可以看出，在使用UV固化丙烯酸树脂制作的情况下，也能够获得与实施例1相同的结果。

<实施例12-1>

在本实施例中，将实施例1中的苯基三甲氧基癸烷变更为二苯基二甲氧基硅烷。

包层形成用溶液由苯基三甲氧基硅烷4.5ml变更为二苯基二甲氧基硅烷3.7ml。折射率为1.543。

芯层形成用溶液由苯基三甲氧基硅烷7.0ml变更为二苯基二甲氧基硅烷4.64ml。折射率为1.547。其它工序与实施例1的[4分支光波导的制作]相同。

其结果获得了与实施例1的插入损耗的测定相同的结果。

[玻璃化温度测定]

作为样品使用实施例1以及实施例12-1制作的下部包层，测定了玻璃化温度。

使用动态粘弹性测定装置评价了玻璃化温度，结果可知对于实施例1的下部包层，具有300℃以上的高玻璃化温度。另外，即使对于实施例12-1的下部包层也具有250℃以上的高玻璃化温度。

因此，通过使用该材料在真空蒸镀法或溅射法等进行基板加热，膜特性良好，可以叠层具有高的附着力的金属层或电介质材料，通过该叠层可以形成防反射膜。另外，由于具有焊锡的熔点以上的耐热性，因此也能够形成电路，本发明的光波导也可以与电路复合化。

<实施例13>

通过与实施例1相同的方式制作了图22所示的2分支光波导14a以及14b。将它们分别用作光发送接收模块14a以及14b，如图22所示，在光发送接收模块14a上分别连接激光二极管16a以及光电二极管17a，在光发送接收模块14b上也同样连接激光二极管16b以及光电二极管17b，在光发送接收模块14a与14b之间通过光纤15连接。

从光发送接收模块14a的激光二极管16a入射100kHz的脉冲波时，结果可以由光发送接收模块14b的光电二极管17b再现脉冲波。另外，来自激光二极管16b的信号也可以通过光电二极管17a接收。因此，确认了本发明的光波导能够作为光发送接收模块发挥作用。

<实施例14>

如图23所示，将由实施例1制作的4分支光波导14作为介质制作了光耦合模块。具体地说，用光纤15将激光二极管16与光纤阵列18连接，将该光纤阵列18连接在4分支光波导的输入侧。另外，在4分支光波导的输出侧连接光纤阵列18，在光纤阵列18的4个输出端经由光纤15分别连接了光电二极管17。

在由激光二极管16入射波长1300nm的光时，结果可以通过4个光电二极管17分别检测出。因此，可以将入射的光分波成4个。

本发明的光波导使用了紫外线固化树脂，可以广泛应用于需要高精度控制折射率的元件中。例如积分透镜、微透镜阵列、反射板、导光板、投影用屏幕等的显示器件(显示器或者液晶投影仪等)相关光元件、眼镜、CCD用光学系、透镜、光学滤波器、衍射光栅、干涉计、光耦合器、光合分波器、光传感器、全息光学元件、其它的光学构件、隐形眼镜等。

Claims

1.一种光波导，是具备成为光传输区域的芯层、覆盖该芯层的上部包层以及下部包层的光波导，其特征在于，在所述下部包层下、所述下部包层和所述上部包层之间的界面、以及所述上部包层上的任意一处以上设置有用于控制紫外线入射的紫外线控制区域。

2.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，在所述紫外线控制区域的至少一侧面上形成有凹凸。

3.根据权利要求1或2所述的光波导，其特征在于，在所述紫外线控制区域上含有光吸收成分以及光散射成分中的至少一方。

4.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，所述紫外线控制区域是叠层折射率不同的2层以上的薄膜而形成的。

5.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，所述紫外线控制区域是由折射率与该紫外线控制区域邻接的层的折射率不同的薄膜形成的。

6.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，所述紫外线控制区域是由有机无机复合体形成的。

7.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，所述紫外线控制区域是由金属薄膜形成的。

8.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，所述芯层、所述上部包层以及下部包层中的至少一层是由有机无机复合体形成的。

9.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，在基板上形成了光波导。

10.一种光波导的制造方法，是在基板上形成具有作为光传输区域的芯层、覆盖该芯层的上部包层以及下部包层，并且在所述下部包层上设置有用于抑制紫外线入射的紫外线控制区域的光波导而进行制造的方法，其特征在于，具备以下工序：

在所述基板上形成由用于形成所述紫外线控制区域的材料构成的具有流动性的层的工序；

在以将具有凹凸面的模具的该凹凸面按压在所述具有流动性的层的表面上的状态照射紫外线，使所述具有流动性的层固化而在表面上形成具有凹凸的紫外线控制区域的工序；

在取下所述紫外线控制区域上的所述模具后，在所述紫外线控制区域上形成具有流动性的包层材料层的工序；

以具有对应于芯层图形的凸部的模具按压在所述包层材料层的状态照射紫外线，使所述包层材料层固化后形成具有对应于所述凸部的芯层图形的槽的下部包层的工序；

在所述下部包层的所述槽内形成芯层的工序；

在所述芯层以及所述下部包层上涂布包层材料照射紫外线使之固化，形成上部包层的工序。

11.一种光波导的制造方法，是在基板上形成具有作为光传输区域的芯层、覆盖该芯层的上部包层以及下部包层，并且在所述下部包层和所述上部包层的界面设置有用于抑制紫外线入射的紫外线控制区域的光波导而进行制造的方法，其特征在于，具备以下工序：

在所述基板上形成具有流动性的包层材料层的工序；

以具有对应于芯层图形的凸部的模具按压在包层材料层的状态照射紫外线，使所述包层材料层固化，形成具有对应于所述凸部的芯层图形的槽的下部包层的工序；

在所述下部包层上以及所述上部包层的槽内涂布芯层材料，形成具有流动性的芯层材料层的工序；

在以将具有凹凸面的模具的该凹凸面按压在所述芯层材料层的表面上的状态照射紫外线，使所述芯层材料层固化而在所述下部包层的所述槽内形成芯层，同时在所述下部包层上形成由表面具有凹凸的芯层材料构成的紫外线控制区域的工序；

在所述紫外线控制区域上涂布包层材料，照射紫外线使之固化，以形成上部包层的工序。

12.一种光波导的制造方法，是在上部基板上，以上部包层、芯层、下部包层的顺序形成具有作为光传输区域的芯层、覆盖该芯层的上部包层以及下部包层并且在所述上部包层上设置有用于抑制紫外线入射的紫外线控制区域的光波导而进行制造的方法，其特征在于，具备以下工序：

在所述上部基板上，形成由用于形成所述紫外线控制区域的材料构成的具有流动性的层的工序；

在取下所述紫外线控制区域上的所述模具后，在所述紫外线控制区域上涂布包层材料层，照射紫外线使之固化而形成上部包层的工序；

在所述上部包层上以规定的图形形成芯层的工序；

在所述芯层以及所述上部包层上涂布包层材料，照射紫外线使之固化而形成下部包层的工序。

13.一种光通信器件，其特征在于，将权利要求1所述的光波导用作光信号的发送和/或接收的介质。

14.一种光通信器件，其特征在于，将权利要求1所述的光波导用作光信号的分支或耦合的介质。

15.一种光通信器件，其特征在于，将通过权利要求10所述的方法制造的光波导用作光信号的发送和/或接收的介质。

16.一种光通信器件，其特征在于，将通过权利要求10所述的方法制造的光波导用作光信号的分支或耦合的介质。

17.一种光通信器件，其特征在于，将通过权利要求11所述的方法制造的光波导用作光信号的发送和/或接收的介质。

18.一种光通信器件，其特征在于，将通过权利要求11所述的方法制造的光波导用作光信号的分支或耦合的介质。

19.一种光通信器件，其特征在于，将通过权利要求12所述的方法制造的光波导用作光信号的发送和/或接收的介质。

20.一种光通信器件，其特征在于，将通过权利要求12所述的方法制造的光波导用作光信号的分支或耦合的介质。