CN1637989A - 电触点构件和其制造方法及使用其的真空阀和真空断路器 - Google Patents

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Abstract

本发明的电触点构件具有由高导电性金属制成的基体材料与由耐火性金属和高导电性金属制成的触点层,上述触点层包括按多层形成的喷镀层。这样,可提供一种耐电压性能和耐熔接性能优良、批量生产性优良的电触点构件和其制造方法及使用其的真空阀和真空断路器及路边设置变压器用的负荷开关。

Description

电触点构件和其制造方法及 使用其的真空阀和真空断路器
技术领域
本发明涉及一种新型电触点构件和其制造方法及使用其的真空阀、真空断路器和负荷开关等。
背景技术
在用于真空断路器等的真空阀用电触点构件所要求的条件中可列举出耐电压性能和耐熔接性能。为了满足这些条件,使触点构件的材料组织微细均匀化较有效,作为其手段,在专利文献1中公开了在电触点表面照射电子束和激光束等的高能量使其熔化并急冷而微细化的手法。另外,作为伴随着熔化并急冷的过程的电触点构件的制造方法,在专利文献2中公开了喷镀法。
(专利文献1)日本特开平10-223075号公报
(专利文献2)日本特开2000-235825号公报
在专利文献1的用电子束和激光束等使电触点表面熔化并急冷而微细化的方法中,需要用于发生各种束的气氛控制,为此需要相应的腔室容器等设备。另外,由于在制作电触点的母材后对其表面进行处理,所以,工序成为2阶段,导致成本增大。另外,各种束径的大小存在限度,所以,大面积的处理需要较多时间,生产率差。
在利用专利文献2的喷镀法的制造方法中,虽然生产率优良,但成为触点构件的喷镀层的组织仅由较大的扁平形状粒子构成,所以,在保持喷镀原样的触点表面状态下耐电压性能不足。为此,在装入到真空阀后,需要在电极间设置间隙使其放电、除去低耐电压部分的调整处理,成为降低成本的障碍。
发明内容
本发明的目的在于提供一种耐电压性能和耐熔接性能优良、批量生产性优良的电触点构件和其制造方法及使用其的真空阀和真空断路器。
本发明的电触点构件具有由高导电性金属制成的基体材料与由耐火性金属和高导电性金属制成的触点层,上述触点层包括按多层形成的喷镀层。喷镀层最好按多条线形成。
上述喷镀层最好为5~30层,每1条的宽度为5~30cm,另外,上述耐火性金属包含其90重量%或其以上为相对上述喷镀层的堆积方向呈扁平形状的扁平粒子和2~5重量%的粒径5μm或其以下的微粒子。
扁平形状的扁平粒子最好直径相对其厚度的比为5~40的值,另外,扁平形状的粒子的直径方向最好相对触点面在+40°~40°的角度范围取向。
另外,本发明的触点层最好包括15~40重量%的耐火性金属和60~85重量%的高导电性金属,上述耐火性金属为Cr、W、Mo、Ta、Nb、Be、Hf、Ir、Pt·Zr、Ti、Si、Rh及Ru的1种或2种或2种以上的混合物或其合金,高导电性金属为Cu或以Cu为主的Cu合金的高导电性合金。
作为耐火性金属,特别是Cr较好,另外,含1~10重量%的Nb、V、Fe、Co的1种以上时较好。本发明的触点层作为耐熔接性金属,可包含0.1~1重量%的Pb、Bi、Te、及Sb的1种或2种或其以上。
如上述那样,最好本发明的电触点构件具有Cu基体材料与由耐火性金属和高导电性金属构成的触点层,该触点层具有含耐火性金属的扁平形状粒子和粒径5μm或其以下的微粒子的组织,将该扁平形状粒子平行地配置到触点面。这样,触点面的耐火性金属粒子的露出面积增大,在维持高导电率的同时不增加耐火性金属即可提高耐电压性能,同时,当电流断路时的电弧加热使电极熔接时也可由低操作力剥离开极,所以,还可提高耐熔接性能。另外,通过微粒子均匀分散,成为微细组织,发挥出不需要调整处理的耐电压性能。
触点层的扁平形状粒子直径相对厚度的比(直径/厚度)最好为5~40的值。如比5小,则不易获得上述效果,当超过40时,通电性能下降,制造也困难。另外,扁平形状的粒子的直径方向最好相对触点面在+40°~-40°的角度的范围取向。这样,可获得上述的耐电压性能和耐熔接性能提高的效果。耐火性金属与高导电性金属的配比为耐火性金属15~40重量%、高导电性金属60~85重量%,从而可获得相对断路性能、耐电压性能优良的电触点构件。
电触点构件的触点层的厚度最好为0.2~3mm。比0.2mm薄时,难以发挥出作为触点层的功能,比3mm厚时制造时的残余应力大,容易剥离。另外,最好触点层的含氧量在4重量%或其以下,为0.3~4重量%时更理想。当比4重量%多时,电流断路时的氧气放出量增多,导致不能断路和耐电压性能下降等问题的可能性增大。
本发明的电触点构件的制造方法通过将具有耐火性金属和高导电性金属的混合粉末喷镀到高导电性金属(最好是喷镀Cu基体材料上的成为触点的面)而形成。按照该制造方法,耐火性金属和高导电性金属以均匀熔化的状态喷镀并急冷,所以,可获得包含上述那样的耐火性金属的扁平形粒子和粒径5μm或其以下的微粒子的组织的触点层。另外,喷镀的气氛通过形成为大气或减压气氛,从而可控制以氧为主的气体含量的控制。
具体地说,本发明的电触点构件的制造方法由喷镀按多条线在由高导电性金属制成的基体材料形成多层具有耐火性金属和高导电性金属的混合粉末。最好在大气中或减压气氛中进行喷镀。
本发明的电触点构件通过在真空中按800~1000℃进行热处理,从而可使固溶于高导电性金属中的氧和杂质析出,进一步提高导电率。将本发明的电触点构件作为固定侧电极和可动侧电极装入到真空阀中,进而将该真空阀搭载于真空断路器,从而可获得耐电压性能和耐熔接性能优良的低成本的真空断路器和各种真空开关装置。
本发明的电触点构件在其中心部设置贯通孔,在固定侧电极与可动侧电极相互接触的电极中央部设置正圆的凹部。该电触点构件通过设于电极杆的突起由焊料接合设在中心部的贯通孔。另外,本发明的电触点构件形成包括多条螺旋状或直线状的贯通槽的狭槽,在固定侧电极与可动侧电极的相对面具有叶轮状的平面形状,最好设置3~6条的狭槽。通过该狭槽的形成,可不停留于电极面的一点地使电流断路时发生的电弧从中心部行走到外周部,提高电极的耐久性。
本发明的真空阀特征在于:在真空容器内具有固定侧电极和可动侧电极,该固定侧电极和可动侧电极各个的相互相对的面如上述那样由上述的电触点构件构成。
上述固定侧电极与可动侧电极最好通过相对面在无负荷状态下反复开闭而进行挤压塑性加工。
本发明的真空断路器特征在于:具有真空阀和开关单元;该真空阀在真空容器内具有固定侧电极和可动侧电极;该开关单元在该真空阀内的上述固定侧电极和可动侧电极的各个上通过连接于上述真空阀外的绝缘杆驱动上述可动侧电极;上述真空阀由上述记载的真空阀构成。
另外,本发明的路边设置变压器用的负荷开关的特征在于:包括3个真空阀、外侧真空容器、及柔性导体;该3个真空阀在真空容器内具有固定侧电极和可动侧电极;该外侧真空容器将该3个真空阀的各可动侧电极分别连接到外侧波纹管的同时将上述真空阀的各固定侧电极连接到绝缘性套筒并收容;该柔性导体相互电连接上述3个真空阀;上述真空阀包括上述真空阀。
最好至少实施:对于上述固定侧电极与可动侧电极的相互相对的面的、由于在无负荷状态下的反复开闭的挤压塑性加工和由于在负荷状态下的反复开闭的调整处理的至少一方。
按照本发明,可提供耐电压性能和耐熔接性能优良、批量生产性优良的电触点构件和其制造方法及使用其的真空阀和真空断路器。
附图说明
图1为本发明的真空阀用电极的截面图。
图2为本发明的真空阀的截面图。
图3为本发明的真空断路器的构成图。
图4为本发明的路边设置变压器用负荷开关的截面图。
具体实施方式
下面,根据具体的实施例详细说明用于实施本发明的最佳形式,但本发明不限于这些实施例。
(实施例1)
图1为使用本发明的电触点构件的真空阀用电极的截面图。如图1所示那样,真空阀用电极包括触点层1、用于对电弧施加驱动力不使其停滞的螺旋槽2、非磁性不锈钢制的加强板3、电极杆4、焊料5、Cu基体材料50、形成使得不在电极中央产生电弧的凹部的中央孔51。该真空阀用电极是使用具有在Cu基体材料50的表面上喷镀高导电性金属Cu和耐火性金属Cr而形成的触点层1的电触点构件制作而成的。电极杆4具有比与外部的连接部的直径小的内导体44。
电触点构件的制作方法如下。按成为所期望的触点组成的那样的配比由V型混合器混合粒径61μm或其以下的Cu粉末(45μm或其以下为89%)和粒径104μm或其以下的Cr粉末(45μm或其以下为58%)。由等离子喷镀法将该混合粉末在大气或减压气氛中喷镀到预先进行机械加工成所期望的触点构件形状的Cu基体材料50,形成触点层1。此时,获得所期望的触点组织、含氧量、厚度地调整等离子体输出、气体流量、粉末供给量、气氛等的喷镀条件。
按表1所示那样的配比由V混合器按150rpm、1小时混合粒径61μm或其以下、纯度99.99%的电解铜粉末和粒径104μm或其以下、纯度99.99%的铬粉末,用等离子喷镀法将该混合后获得的粉末喷镀到无氧铜制板材的Cu基体材料50。喷镀条件为按等离子气体Ar+H2、等离子电流600A、等离子电压60V、粉末供给量36g/min、喷镀距离100mm、膜厚(0.1~0.5mm/层)、宽(2~3cm/条(pass))形成1~40层的喷镀层。喷镀后的触点层1和Cu基体材料50在1.3×10-3Pa的真空中按处理温度800~1000℃进行1小时的热处理。
表1
    No.                                     触点层     调整(间隙6mm、65kV)              断路试验结果
厚度(mm)     配合组成(重量%)   含氧量(重量%)   扁平形的粒子的直径/厚度   粒径5μm或其以下的微粒子   断路性能   耐电压性能   耐熔接性能
    Cu     Cr
    1     2     75     25     3     7~35     有     无     1     1     1
    2     2     85     15     3     8~30     有     无     1     0.9     0.9
    3     2     60     40     3     7~35     有     无     0.95     1.2     1.2
    4     2     75     25     4     45以上     有     无     0.7     1.4     1.2
    5     2     75     25     1.5     2~4     无     无     1     0.8     0.7
    6     2     75     25     0.8     5~10     无     无     1     0.8     0.9
    7     2     75     25     0.8     5~10     无     有     1     1     0.9
    8     0.1     75     25     3     7~35     有     无     1     0.8     0.8
    9     4     75     25     3     8~40     有     无     -     -     -
    10     2     75     25     4.5     20~40     有     无     0.8     0.7     1
    11     2     90     10     3     8~35     有     无     0.9     0.8     0.8
    12     2     55     45     3     7~37     有     无     0.85     1.3     1.25
    13     2     75     25     0.2     1~1.3     无     有     1     0.9     0.9
表1示出由喷镀法形成的电触点构件(No.1~No.12)的触点层的厚度、组成、组织、含氧量、Cr粒子的扁平形的粒子的直径相对厚度的比(直径/厚度)和由后述的断路试验获得的结果。在本实施例中,制作具有Cr粒子的扁平形状的扁平粒子的直径相对厚度的比(直径/厚度)为2~50、含氧量为0.2~4.5重量%、厚度为0.1~4mm的基于喷镀法获得的No.1~12和基于烧结法获得的No.13的触点层1的电触点构件。No.1~4、8~12由大气中的喷镀获得,No.5~7由减压下的喷镀获得。另外,如表1所示那样,用高倍的显微镜观察粒径5μm或其以下的微细的Cr粒子,结果具有2~5重量%的表示为“有”,将低于其的表示为“无”。“无”的都在减压下喷镀,每层的厚度大,喷镀的喷射速度和冷却速度小,为此,Cr粒子的扁平形状的比小。
另外,在本实施例中,通过将各喷镀层形成得较薄,可使各层急剧冷却,为此,粒径5μm或其以下的微细的Cr粒子更多地形成,可相对作为耐火金属的全Cr量显著提高其强度,同时,可提高相对于作为耐火金属的全Cr量的在相对的电极面表面的Cr量的表面浓度,可获得优良的耐电压性能和耐熔接性能。
而且,在由喷镀法制作的No.1~No.12的所有触点层,耐火金属的扁平形状粒子都相对触点面在+40°~-40°的角度范围取向。
在本实施例中,使用Cr作为耐火性金属,但在耐火性金属为Cr以外的W、Mo、Ta、Nb、Be、Hf、Ir、Pt、Zr、Ti、Si、Rh、及Ru的1种、或2种或其以上的混合物或其合金和高导电性金属为Cu的合金的场合,也可由上述方法制作电极。
(实施例2)
电极的组装方法如下。从由实施例1获得的电触点构件由切削加工形成具有图1的螺旋槽2和中央孔的、预定的平面形状的电触点构件。另外,触点层1的电极面为保持喷镀状态的表面。电极杆4使用无氧铜,加强板3使用SUS304,预先由机械加工如图1所示那样制作,在具有如上述那样获得的触点层1的由Cu基体材料50制成的电触点构件的中央孔51通过加强板3的中央孔51插入电极杆4的凸部,通过焊料5嵌合,另外,在Cu基体材料50与加强板3之间载置焊料5,在8.2×10-4Pa或其以下的真空中对其加热980℃×8分钟,制作图1所示电极。该电极为在额定电压7.2kV、额定电流600A、额定断路电流20kA用的真空阀中使用的电极。如Cu基体材料50的强度足够,则加强板3也可省去。
图2为示出本实施例的真空阀的构造的截面图。使用如上述那样制作的电极制作真空阀。真空阀的规格为额定电压7.2kV、额定电流600A、额定断路电流20kA。如图2所示那样,真空阀具有固定侧电触点1a、可动侧电触点1b、加强板3a、3b、固定侧电极杆4a、可动侧电极杆4b,分别具有固定侧电极6a、可动侧电极6b。可动侧电极6b通过防止断路时的金属蒸汽等的飞溅的可动侧防护构件8用钎焊接合到可动侧支架12。它们由固定侧端板9a、可动侧端板9b、及绝缘筒13在高真空中用钎焊密封,由固定侧电极6a和可动侧支架12的螺纹部与外部导体连接。在绝缘筒13的内面设置防止断路时的金属蒸气等的飞溅的防护构件7,另外,在可动侧端板9b与可动侧支架12间设置用于支承滑动部分的导向构件11,在可动侧防护构件8与可动侧端板9b之间设置波纹管10,可在将真空阀内保持为真空的状态下使可动侧支架12上下移动,使固定侧电极6a与可动侧电极6b开闭。
(实施例3)
图3为示出本发明的真空阀和其操作机构的真空断路器的构成图。图3的真空断路器通过搭载在图2中制作的真空阀而制作。真空断路器将操作机构部配置于前面,在背面配置对真空阀14进行支承的3相一体型的3组环氧树脂筒15。真空阀14通过绝缘操作杆16由操作机构进行开闭。
在真空断路器处于闭路状态的场合,电流在触点层1、集电器18、下部端子19流过。电极间的接触力由安装于绝缘操作杆16的接触弹簧20保持。电极间的接触力和短路电流的电磁力由支承杆21和支承构件22保持。当对接通线圈30励磁时,柱塞23从开路状态通过顶杆24抬起滚轮25,使主杆26回转,关闭电极间后,由支承杆21保持。在真空断路器断路的自由状态下,断路线圈27被励磁,断路杆28解除支承构件22的接合,主杆26回转,打开电极间。在断路器开路状态下,打开电极间后,由复位弹簧29使连杆复位,同时,支承构件22接合。当在该状态下对接通线圈30励磁时,成为闭路状态。符号31为排气筒。
在本实施例中,由图3所示真空断路器不加电流电压,进行约50次无负荷状态下的开闭,真空阀14内的固定侧电极杆4a和可动侧电极杆4b的触点层由于反复开闭而受到挤压产生的塑性变形,结果,固定侧电极杆4a和可动侧电极杆4b的触点层的构造比保持喷镀原样的状态更致密,同时,强度也得到强化。另外,触点层的表面与保持喷镀原样的状态相比,变得更平滑,断路特性进一步提高。
然后,使用真空断路器进行额定电压7.2kV、额定电流600A、额定断路电流20kA的断路试验。在上述表1中示出其断路试验结果。在断路试验中,为了比较,用烧结法制作的电触点构件(No.13)也一并用于试验。关于各种性能,将No.1的电触点构件的场合作为1相对地表示。
在Cr为15重量%的No.2和40重量%的No.3中,如Cr少,则耐电压和耐熔接性能下降,如Cr量多,则存在断路性能下降的倾向,但在该范围内实用上没有问题,包含No.1在内可满足特性。而Cr比15重量%少的10重量%的No.11特别是耐电压和耐熔接性能下降,另外,Cr比40重量%多的45重量%的No.12的断路性能下降,存在导致不能断路的危险。
耐火金属的扁平形状粒子的直径相对厚度的比(直径厚度)的值比40大的45或其以上的No.4的通电性能下降,断路性能明显变差。另外,(直径/厚度)的值比5小的2~4的No.5在喷镀时的粉末熔化程度小,微粒子不存在,耐电压和耐熔接性能低。
在触点层中耐火金属的微粒子极少的No.6的耐电压和耐熔接性能下降,如不进行需要较多时间的调整处理,则难以获得可实用的性能。然而,在实施了间隙6mm、65kV、80次的通电和断路的负荷状态下的反复的调整处理的No.7中,耐电压性能提高到1,可获得能够实用的性能。另外,触点层的厚度比0.2mm薄的0.1mm的No.8存在耐电压和耐熔接性能下降、由断路时的电弧加热使基底的Cu基体材料露出的危险。另外,触点层的厚度比3mm厚的4mm的No.9由喷镀后的残余热应力使触点层剥离,未能进行断路试验。
触点层的含氧量比4重量%多的4.5重量%的No.10在电流断路时的气体放出量增多,断路性能为0.8,耐电压性能为0.7,显著下降,但含氧量为0.5~4重量%时,断路性能和耐电压性能的下降少。
用烧结法制作的电触点构件的No.13即使实施需要较多时间的调整处理,也具有与本发明的电触点构件同等的性能。这样,本发明的电触点构件不进行调整处理也可以低成本获得优良的耐电压和耐熔接性能。
另外,在耐火性金属为Cr以外的W、Mo、Ta、Nb、Be、Hf、Ir、Pt、Zr、Ti、Si、Rh、及Ru的1种、或2种或其以上的混合物或其合金、高导电性金属为Cu合金的场合,也具有与使用Cr的场合同样的倾向,证明了本发明的电触点构件具有优良的耐电压和耐熔接性能。
如以上那样按照本实施例,可提供耐电压性能和耐熔接性能优良、批量生产性优良的电触点构件和其制造方法及使用其的真空阀和真空断路器。
(实施例4)
图4为本发明的路边设置变压器用的负荷开关的截面图。本实施例在实施例3的真空断路器设置由实施例1制作的真空阀,在上述无负荷状态下反复约50次的开闭操作后,从真空断路器拆下其真空阀,搭载于路边设置变压器用的负荷开关。该负荷开关是与主电路开关部相当的真空阀14在真空密封的外侧真空容器32内收容多对后的。外侧真空容器32具有上部板材33和下部板材34及侧部板材35,各板材的周围(边缘)由焊接相互接合,同时,与设备主体一起设置。
在上部板材33形成上部贯通孔36,在各上部贯通孔36的边缘覆盖各上部贯通孔36地固定环状的绝缘性的上部基座37。在形成于各上部基座37的中央的圆形空间部可自由往复移动(上下移动)地插入圆柱状的可动侧电极杆4b。即,各上部贯通孔36由上部基座37和可动侧的可动侧电极杆4b闭塞。
可动侧的电极杆4b的轴向端部(上部侧)连接到设置于外侧真空容器32的外部的操作器(电磁操作器)。另外,在上部板材33的下部侧沿各上部贯通孔36的边缘自由往复移动(上下移动)地配置外侧波纹管38,各外侧波纹管38的轴向一端侧固定于上部板材33的下部侧,轴向的另一端侧安装于各可动侧电极杆4b的外周面。即,为了使外侧真空容器32为密闭构造,在各上部贯通孔36的边缘沿各可动侧电极杆4b的轴向配置外侧波纹管38。另外,本实施例的电触点构件的触点层与实施例1同样,其厚度在0.2~3mm和含氧量在0.3~4重量%或其以下。在喷镀后的上部板材33连接排气管(图中省略),通过该排气管对外侧真空容器32内进行真空排气。
另一方面,在下部板材34形成下部贯通孔39,在各下部贯通孔39的边缘覆盖各下部贯通孔39地固定绝缘性套筒40。在各绝缘性套筒40的底部固定环状的绝缘性的下部基座41。在各下部基座41的中央的圆形空间部插入圆柱状的固定侧的固定侧电极杆4a。即,形成于下部板材34的下部贯通孔39分别由绝缘性套筒40、下部基座41、及固定侧的固定侧电极杆4a闭塞。固定侧电极杆4a的轴向的一端侧(下部侧)连接到配置于外侧真空容器32外部的电缆(配电线)。
在外侧真空容器32的内部收容与负荷开关的主电路开关都相当的真空阀14,各可动侧的可动侧电极杆4b通过具有2个弯曲部的柔性导体(可携性导体)42相互连接。该柔性导体42在轴向交替地叠层多片具有2个弯曲部的作为导电性板材的铜板和非磁性不锈钢板而构成。在柔性导体42形成贯通孔43,在各贯通孔43插入各可动侧的可动侧电极杆4b相互连接。
按照本实施例,与实施例3同样,可提供耐电压性能和耐熔接性能优良、批量生产性优良的路边设置变压器用的负荷开关。另外,本实施例的真空阀也可适用于路边设置变压器用的负荷开关,另外,在此外的真空绝缘开关机构等各种真空开关装置也可适用。

Claims (18)

1.一种电触点构件,其特征在于:具有由高导电性金属制成的基体材料、和由耐火性金属及高导电性金属制成的触点层,上述触点层包括按多层形成的喷镀层。
2.根据权利要求1所述的电触点构件,其特征在于:上述耐火性金属包含其90重量%或其以上为相对上述喷镀层的堆积方向呈扁平形状的扁平粒子和2~5重量%的粒径5μm或其以下的微粒子。
3.根据权利要求1所述的电触点构件,其特征在于:上述耐火性金属具有直径相对其厚度的比为5~40的扁平粒子。
4.根据权利要求2所述的电触点构件,其特征在于:上述扁平粒子相对其扁平面成为触点的面按+40°~40°的角度取向。
5.根据权利要求1所述的电触点构件,其特征在于:上述触点层由15~40重量%的耐火性金属和60~85重量%的高导电性金属制成。
6.根据权利要求1所述的电触点构件,其特征在于:上述耐火性金属为Cr、W、Mo、Ta、Nb、Be、Hf、Ir、Pt、Zr、Ti、Si、Rh及Ru中的1种、或2种或2种以上的混合物或其合金。
7.根据权利要求1所述的电触点构件,其特征在于:上述高导电性金属为Cu或以Cu为主的Cu合金。
8.根据权利要求1所述的电触点构件,其特征在于:上述触点层的厚度为0.2~3mm。
9.根据权利要求1所述的电触点构件,其特征在于:上述触点层的氧量在4重量%或其以下。
10.一种电触点构件的制造方法,其特征在于:通过将具有耐火性金属和高导电性金属的混合粉末喷镀到由高导电性金属制成的基体材料从而形成多层。
11.根据权利要求10所述的电触点构件的制造方法,其特征在于:在大气中或减压气氛下进行上述喷镀。
12.一种电触点构件,其特征在于:具有由高导电性金属制成的基体材料、和由耐火性金属及高导电性金属制成的触点层,上述触点层包含上述耐火性金属的90重量%或其以上为相对上述喷镀层的堆积方向呈扁平形状的扁平粒子和2~5重量%的粒径5μm或其以下的微粒子。
13.一种真空阀,其特征在于:在真空容器内具有固定侧电极和可动侧电极,该固定侧电极和可动侧电极各个的相互相对的面由权利要求1所述的电触点构件构成。
14.根据权利要求13所述的真空阀,其特征在于:对上述固定侧电极与可动侧电极的相互相对的面进行挤压塑性加工。
15.一种真空断路器,其特征在于:具有真空阀和开关单元;该真空阀在真空容器内具有固定侧电极和可动侧电极;该开关单元在该真空阀内的上述固定侧电极和可动侧电极的各个上通过连接于上述真空阀外的绝缘杆驱动上述可动侧电极;上述真空阀由权利要求13所述的真空阀构成。
16.根据权利要求15所述的真空断路器,其特征在于:至少实施:对于上述固定侧电极和可动侧电极的相互相对的面的、由于在无负荷状态下的反复开闭的挤压塑性加工和对于上述固定侧电极和可动侧电极的、由于在负荷状态下的反复开闭的调整处理中的至少一方。
17.一种路边设置变压器用的负荷开关,其特征在于:包括3个真空阀、外侧真空容器、及柔性导体;该3个真空阀在真空容器内具有固定侧电极和可动侧电极;该外侧真空容器将该3个真空阀的各可动侧电极分别连接到外侧波纹管的同时将上述真空阀的各固定侧电极分别连接到绝缘性套筒并收容;该柔性导体相互电连接上述3个真空阀;上述真空阀包括权利要求13所述的真空阀。
18.根据权利要求17所述的路边设置变压器用的负荷开关,其特征在于:至少实施:对于上述固定侧电极和可动侧电极的相互相对的面的、由于在无负荷状态下的反复开闭的挤压塑性加工和对于上述固定侧电极和可动侧电极的、由于在负荷状态下的反复开闭的调整处理中的至少一方。
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