CN1622358A - 音叉型压电振动片和音叉型压电振子的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种音叉型压电振动片和音叉型压电振子的制造方法。该音叉型压电振动片(10)具有：从基部(12)的一端突出而形成的多个振动臂部(18)；在所述基部(12)的另一端侧对应所述各振动臂部(18)而设置的多个安装电极(16)。所述各安装电极(16)隔开间隔地设置，该间隔可以防止由接合这些安装电极(16)的引脚端子(32)用导电性接合材料(22)经过温度周期循环而形成的扩散所造成的短路。由此，扩大使用温度范围、确保长期的动作、提高可靠性。
Description
技术领域
本发明涉及一种音叉型压电振动片和音叉型压电振子的制造方法，特别涉及要求高可靠性的音叉型压电振动片和音叉型压电振子的制造方法。
背景技术
音叉型压电振子有在圆筒形容器内设置音叉型压电振动片的圆筒式音叉型压电振子。图5表示现有技术涉及的圆筒式音叉型压电振子的剖面图。音叉型压电振动片100具有基部102和从该基部102延伸设置的多个振动臂部104，在各个所述振动臂部104设置激励电极(未图示)，在该基部102设置与所述激励电极导通的安装电极106。并且，在一端开口的圆筒形容器108内设置使所述基部102朝向容器108的开口部的音叉型压电振动片100。在该容器108的开口部接合将由内引脚110和外引脚112构成的多个引脚端子114密封形成的插头体116，将容器108气密密封。
可是，为了从一个晶片中获取更多的音叉型压电振动片100，该压电振动片被做得很小。因此，目前的状况是与引脚端子114的间隔相比，音叉型压电振动片100的基部102的宽度更窄小。
因此，利用夹具把内引脚110的前端弯曲加工成与基部102的宽度相符，以使引脚端子114的间隔变狭小。并且，使用焊锡118将内引脚110和所述安装电极106进行电气和机械接合。作为这种发明被公开的技术可以列举专利文献1。
专利文献1特开昭59-225605号公报
近年来，车辆随着电子化的大幅推进而安装有各种电子设备。并且，在车辆上安装音叉型压电振子，以生成这些电子设备的控制时钟。安装在车辆上的音叉型压电振子由于经常遭受较大振动，所以为了防止因振动的破损，采用如图5所示的使用由金属圆筒体(圆柱)构成的容器108的振子。并且，车载用音叉型压电振子将压电振动片100的安装电极106和引脚端子114锡焊接合成具有良好的耐振性。
可是，车载用音叉型压电振子有时被配置在车辆的发动机室上。配置在车辆的发动机室上的音叉型压电振子根据车辆的使用状况处于各种温度环境下。即，发动机室的温度在冬季发动机停止时达到0℃以下，而在发动机动作时达到100℃左右。因此，车载用音叉型压电振子要求具有能在较宽的温度范围(-40℃～+125℃)内长期稳定动作等的高可靠性。因此，车载用音叉型压电振子使用铅(Pb)90重量％、锡(Sn)10重量％的高温用焊锡接合安装电极106和引脚端子114。
但是，配置在发动机室上的音叉型压电振子长期反复经受低温和高温的温度变动，焊锡颗粒因温度应变而变粗大并扩散。因此，以往的音叉型压电振子的扩散后的焊锡从安装电极106溢出，相邻的安装电极106的所扩散的焊锡彼此接触，有可能造成安装电极彼此短路。并且，由于车辆的剧烈振动，音叉型压电振子的容器和音叉型压电振动片的振动臂部接触，有可能在振动臂部产生裂纹或折断。
并且，在把内引脚接合在音叉型压电振动片的安装电极上时，采用使预先电镀在内引脚上的焊锡熔融固定在安装电极上的接合方法。但是，在进行内引脚的弯曲加工时，在进行弯曲加工的夹具与内引脚摩擦的部分，具有产生电镀的焊锡剥离并卷起的所谓焊锡毛边的问题。如果产生焊锡毛边，在把内引脚接合在安装电极上时，卷起的焊锡接触另一方的安装电极或内引脚，有可能造成短路。
发明内容
本发明就是为了解决上述现有技术的缺陷而提出的，其目的在于，提供一种能够在较宽的温度范围下使用、并且提高耐冲击性和振动泄漏等质量的音叉型压电振动片和音叉型压电振子的制造方法。
为了达到上述目的，本发明的音叉型压电振动片具有：从基部的一端突出形成的多个振动臂部；在所述基部的另一端侧对应所述各振动臂部设置的多个安装电极，其特征在于，所述各安装电极隔开间隔地设置，该间隔可以防止由在这些安装电极上接合引脚端子用导电性接合材料经过温度周期循环而形成的扩散所造成的短路。由此，即使通过反复低温和高温的温度循环产生的温度应变施加给导电性接合材料致使导电性接合材料扩散，各个安装电极也不会产生短路。
所述各安装电极之间的间隔优选60μm以上。使用高温用焊锡在安装电极上接合引脚端子的音叉型压电振子，根据发明者等的实验，在-40℃～+125℃的温度范围的温度循环为1000次时，扩散的焊锡从安装电极的溢出长度(焊脚长度)最大约为15μm。因此，如果安装电极之间的间隔(距离)为60μm以上，针对作为车载用一般要求的所述温度范围的1000次温度循环，可以防止安装电极之间的短路，能够维持音叉型压电振子的性能。
另外，根据发明者等的实验，在相当于车辆使用约10年的、-40℃～+125℃的温度范围的温度循环为2000次时，焊锡从安装电极的溢出长度最大约为25μm。因此，如果安装电极之间的间隔为60μm，即使是相当于车辆使用约10年的2000次温度循环时，也能够防止安装电极之间的短路。但是，针对2000次温度循环，为了更加安全、可靠地防止安装电极之间的短路，优选安装电极之间的间隔为80μm以上。另外，针对车辆的更长期的使用，为了可靠地防止安装电极之间的短路，优选安装电极之间的间隔为120μm以上。
并且，本发明的特征在于，所述基部的另一端侧具有所述引脚端子形成直线状接合的宽度。由于扩大基部宽度，所以即使扩大安装电极的间隔，安装电极的面积也不会变狭小，能够确保接合引脚端子所需的足够大的安装电极。并且，不必对引脚端子进行弯曲加工，所以由于进行弯曲加工的夹具与引脚端子摩擦，涂覆在引脚端子上的导电性接合材料被剥离卷起的现象消失。因此，可以消除卷起的导电性接合材料接触另一方的引脚端子或导电性接合材料而短路的不良情况的产生。
并且，本发明的特征在于，所述振动臂部的一方的侧边和另一方的侧边的长度相同，并且相对所述基部的中心线对称地延伸设置振动臂部。由此，可以保持振动臂部进行弯曲振动时的振动平衡，能够获得所期望的振荡频率。
并且，本发明的特征在于，所述各振动臂部形成于所述基部的侧边内侧，所述基部形成为所述各振动臂部之间的叉部与所述基部的侧边和所述振动臂部之间的肩部是相同曲率的圆弧状。因此，各个振动臂部的内侧的曲率和振动臂部的外侧的曲率相同，所以能够使振动臂部的长度全部相同。所以，能够保持振动臂部进行弯曲振动时的振动平衡，能够获得所期望的振荡频率。
并且，本发明的特征在于，所述振动臂部的前端面形成为凸状曲面。由此，振动臂部接触内部安装有音叉型压电振动片的容器而产生裂纹或折断等的现象消失，能够提高耐冲击性能。
并且，本发明的特征在于，在沿着延伸设置振动臂部的方向的基部的两侧边，朝向所述基部的内侧设置切入部。由此，可以减少由于振动臂部弯曲振动产生的振动泄漏，能够提高音叉型压电振子的性能。
并且，本发明的特征在于，基部中与振动臂部正交的方向的另一端侧的宽度大于一端侧的宽度。由此，可以仅扩大形成有安装电极的部分的基部。
并且，本发明的音叉型压电振子的制造方法，音叉型压电振子具有设有多个安装电极的基部和从所述基部延伸设置的多个振动臂部，使用导电性接合材料在所述安装电极上接合引脚端子，其特征在于，把所述安装电极的间隔设定成避免因所述导电性接合材料的扩散产生短路的尺寸，把所述基部的宽度设定成所述引脚端子能够直线接合的尺寸，相对所述基部决定单方振动臂部的位置，以使所述振动臂部连接所述基部的位置的曲率相同。由此，能够防止导电性接合材料扩散致使安装电极彼此短路。并且，由于基部宽度扩大，所以能够使安装电极的面积形成为接合引脚端子所需的足够大的尺寸。由于涂覆在引脚端子的导电性粘接剂不会和夹具摩擦而卷起，所以不会产生短路不良。通过使振动臂部的长度相同，可以保持进行弯曲振动时的振动平衡，能够获得所期望的振荡频率。
附图说明
图1是第一实施方式的音叉型压电振子的剖面图。
图2是第一实施方式的音叉型压电振动片的俯视图。
图3是第二实施方式的音叉型压电振动片的俯视图。
图4是第三实施方式的音叉型压电振动片的俯视图。
图5是现有技术涉及的圆筒式音叉型压电振子的剖面图。
图6表示温度循环和焊锡焊脚的关系的图。
图7是第四实施方式的音叉型压电振动片的俯视图。
图8是沿图7的A-A线的剖面图。
图中：10音叉型压电振动片；12基部；15叉部；16安装电极；17肩部；18振动臂部；20音叉型压电振子；22导电性接合材料(焊锡)；26容器；32引脚端子；34插头体；38、50切入部；40音叉型压电振动片；42安装电极；44(44a、44b)基部；46振动臂部；60音叉型压电振动片；62基部；64a、64b振动臂部；68、70激励电极；72a、72b安装电极。
具体实施方式
以下，说明本发明的音叉型压电振动片和音叉型压电振子的振子方法的优选实施方式。首先，说明第一实施方式。图1是第一实施方式的音叉型压电振子的剖面图。图2是表示第一实施方式的音叉型压电振动片的俯视图。另外，在图1和图2中省略记述形成于振动臂部的激励电极。音叉型压电振动片10具有基部12，从基部12的一端延伸设置多个振动臂部18，在该振动臂部形成激励电极。并且在与所述一端相对的另一端14的两角部分别形成安装电极16，该安装电极16和所述激励电极导通。
所述另一端14的宽度、即与延伸设置振动臂部18的方向正交的方向的基部12的宽度形成为大于设有后述的引脚端子32的间隔。在设于该另一端14的两角部的安装电极16，使用提高耐热性的导电性接合材料22、例如通过调整铅和锡的混合比提高了耐热性的焊锡22，进行电气和机械接合所述引脚端子32。
安装电极16的间隔形成为大于以往的音叉型压电振动片10，该间隔在即使通过反复低温和高温的温度循环产生的温度应变施加给焊锡22并产生焊锡扩散时，安装电极16也不会产生彼此短路。焊锡扩散由于低温和高温的温度差，所扩散的距离产生变化，所以通过预先调查音叉型压电振子20的规格温度下的焊锡扩散的距离，把安装电极16的间隔设定为大于该距离即可。在实施方式中，一对安装电极16之间的间隔为60μm。其理由如下。
发明者们使用铅90重量％、锡10重量％的高温用焊锡22，把引脚端子32接合在音叉型压电振动片10的安装电极16上。并且，对该接合物进行-40℃～+125℃的温度范围的温度循环试验，利用显微镜观察了焊锡的扩散状态。图6表示其结果。图6的横轴表示-40℃～+125℃的温度范围的温度循环的次数，纵轴表示焊锡从音叉型压电振动片的安装电极的溢出长度(焊脚长度)的最大值，单位是μm。并且，温度循环试验是在-40℃下保持30分钟，然后在+125℃下保持30分钟，之后在-40℃下保持30分钟，按照1小时一个循环的周期进行的。
如图6所示，在作为车载用耐热规格要求的1000次温度循环的情况下，焊脚长度最大也不足15μm。因此，如果安装电极16之间的间隔是60μm，各个安装电极16的焊锡焊脚就不会彼此连接，可以防止安装电极16之间的短路。并且，在相当于车辆使用约10年的温度循环为2000次的情况下，焊锡的焊脚长度的最大值约为25μm。因此，如果安装电极之间的间隔在60μm以上，可以防止安装电极之间的短路。但是，为了更可靠地防止安装电极之间的短路，优选安装电极之间的间隔在80μm以上。如果安装电极之间的间隔在80μm以上，焊脚之间的间隔至少约为30μm以上，所以不可能短路。另外，针对有可能形成更大焊脚的超过2000次的温度循环，为了安全、可靠地防止安装电极之间的短路，优选安装电极之间的间隔在120μm以上。
根据以上结果，在实施方式中，对应要求的温度循环的次数，可以把各个安装电极16的间隔设为60μm以上、80μm以上、120μm以上。
另外，在实施方式中，伴随着安装电极16的间隔的扩大，基部12的宽度也扩大，所以安装电极16具有接合所述引脚端子32所需的充足的安装电极16的面积。因此，不会产生现有技术涉及的音叉型压电振动片单纯地仅扩大安装电极间隔造成的安装电极面积的减少。
并且，从基部12延伸设置的振动臂部18的左右两侧边的直线部分的长度相同。在实施方式中如图2所示，一对振动臂部18形成于基部12的侧边13(13a、13b)内侧的对称位置。并且，基部12形成为一对振动臂部18之间的叉部15与各侧边13和振动臂部18之间的肩部17呈相同曲率的圆弧状。因此，振动臂部18的形状相对沿着振动臂部18的长度方向的中心线对称。这种振动臂部18在基部12上延伸设置有多个，需要使所有振动臂部18的形状相同。因此，音叉型压电振动片10从基部12延伸设置相对沿着振动臂部18的设置方向的基部12的中心线对称的振动臂部18。由此，各个振动臂部18内侧的所述曲率和振动臂部18外侧的所述曲率相同。另外，音叉型压电振动片的固有振动数是由振动臂部的长度和臂宽决定的值，所以本实施方式的振动臂部18的长度和宽度设定为和现有技术涉及的振动臂部相同。
并且，所述音叉型压电振动片10设在圆筒24内，形成圆筒式音叉型压电振子20。具体而言，在一端开口的金属制圆筒形容器26内设置使基部12朝向容器26的开口部的音叉型压电振动片10。在该容器26的开口部接合将由直线状的内引脚28和外引脚30构成的多个引脚端子32密封形成的插头体34，将容器气密密封。并且，使用提高了耐热性的焊锡22对内引脚28和安装电极16进行电气和机械接合。
关于这种音叉型压电振子20的音叉型压电振动片10的制造方法，首先调查音叉型压电振子20的规格温度下的焊锡扩散的距离，把安装电极16的间隔设定成大于该距离。此时，如果扩大安装电极16的间隔，则安装电极16的面积变狭小，所以安装电极16和引脚端子32的接合强度降低。因此，把设有安装电极16的基部12的宽度设定成可以直线接合引脚端子32，在扩大基部12的宽度的方向也扩大安装电极16，确保与引脚端子32的接合强度。
然后，决定振动臂部18和基部12的连接部位的曲率，以使一方的振动臂部18的左右侧边的长度相同。这是因为如果振动臂部18的左右侧边的长度不同，将破坏弯曲振动的平衡，不能获得所期望的振荡频率。并且，决定从基部12延伸设置的振动臂部18的位置，以使各个振动臂部18的曲率相同。由此，确定音叉型压电振动片10的形状。
这样，由于扩大设在音叉型压电振动片10的安装电极16的间隔，所以即使施加温度应变产生焊锡扩散时，安装电极16的焊锡22也不会彼此接触，安装电极16不会彼此短路。另外，即使产生焊锡扩散，只要安装电极16彼此不短路，就不会给音叉型压电振子20的各种特性带来影响。并且，使设有安装电极16的基部12的宽度大于引脚端子32的间隔，同时安装电极16也沿着基部12的宽度扩大的方向扩大。因此，安装电极16的面积不会变狭小，所以能够确保安装电极16和引脚端子32的接合强度。并且，基部12相对插头体34具有足够大的宽度，所以与现有技术涉及的音叉型压电振动片相比，能够提高支撑力。另外，将引脚端子32以形成为直线状的状态接合在安装电极16上，所以不会产生使用夹具进行内引脚的弯曲加工时产生的焊锡毛边，能够消除产生短路不良。因此，能够提供要求高可靠性的音叉型压电振子20。
并且，由于对内引脚28不进行弯曲加工，所以可以提高音叉型压电振子20的生产性。另外，不需要大的设备投资，所以能够把制造新形状的音叉型压电振动片10的成本上升抑制在最低限度。
下面，说明第二实施方式。在第二实施方式中，说明第一实施方式的音叉型压电振动片10的变形例，所以对和第一实施方式相同的部分赋予相同符号并省略其说明。图3表示第二实施方式的音叉型压电振动片的俯视图。另外，在图3中省略记述形成于振动臂部的激励电极。
在施加剧烈振动的环境下使用音叉型压电振子20的情况下，例如安装在车辆上使用时，音叉型压电振动片10振动并接触容器26，有可能在振动臂部18产生裂纹或折断等。并且，在制造音叉型压电振子20时，振动臂部18的前端角部有可能卡在制造夹具等上产生裂纹或折断等。因此，在振动臂部18的前端面设置凸状的曲面部分36(参照图3(a))。该曲面部分36的曲率和左右振动臂部18相同，曲面部分36通过蚀刻加工形成。如果将振动臂部18的前端形成曲面，与振动臂部18的前端形成为角状时相比，不会产生裂纹或折断等，所以能够提高耐冲击性，可以提供高可靠性的音叉型压电振动片10。由于制造时不会产生裂纹或折断等，所以成品率良好，能够降低音叉型压电振子20的制造成本。
并且，在音叉型压电振动片10振荡时，振动臂部18弯曲振动，有可能产生此时的振动通过基部12传递给安装电极16和引脚端子32的接合部分的所谓振动泄漏。因此，在沿着延伸设置振动臂部18的方向的基部12的两侧边形成切入部38(参照图3(b))。该切入部38设在不使安装电极16的面积变狭小的位置。形成于所述两侧边的切入部38的形状相同，切入部38通过蚀刻加工形成。并且，利用形成于所述两侧边的切入部38可以减少振动泄漏。
另外，可以同时使用上述的在振动臂部18的前端设置曲面部分36的结构、和在基部12设置切入部38的结构这两种结构(参照图3(c))。
下面，说明第三实施方式。图4表示第三实施方式的音叉型压电振动片的俯视图。另外，在图4中省略记述形成于振动臂部的激励电极。并且，第三实施方式的音叉型压电振动片的形状和第一实施方式的音叉型压电振动片不同，但振动片的设计方法和效果相同。因此，省略说明相同部分。
图4(a)所示第三实施方式的音叉型压电振动片40的安装电极42形成为具有使安装电极42不会因焊锡扩散而彼此短路的间隔。音叉型压电振动片40的基部44形成为仅形成有安装电极42的部分的基部44a大于引脚端子的间隔。因此，未形成有安装电极42的部分的基部44b比形成有安装电极42的部分的基部44a细。并且，为了使振动臂部46的两侧边的长度相同，使振动臂部46的两侧边和基部44连接的位置的曲率相同。并且，从基部44延伸设置相对沿着设置振动臂部46的方向的基部44的中心线对称的振动臂部46。另外，由于振动臂部46连接的基部44的宽度小于第一实施方式的基部12的宽度，所以第三实施方式的音叉型压电振动片40的振动臂部46的间隔小于第一实施方式的振动臂部18的间隔。另外，振动臂部46的长度和臂宽与第一实施方式的振动臂部18相同，所以固有振动数相同。
并且，在第三实施方式的音叉型压电振动片40中，也适用在第二实施方式中说明的形状。即，在振动臂部46的前端面设置凸状的曲面部分48，可以防止振动臂部46的裂纹和折断等(参照图4(b))。并且在基部44的两侧边，在不使安装电极42的面积变小的位置设置切入部50，可以减少振动泄漏(参照图4(c))。另外，可以同时使用在振动臂部46的前端设置曲面部分48的结构和在基部44设置切入部50的结构这两种结构(参照图4(d))。
在上述实施方式中，说明了把音叉型压电振动片10、40插入容器26中形成的圆筒式音叉型压电振子20，但也可以形成把上述的音叉型压电振动片10、40单支撑地安装在由陶瓷或金属构成的封装体上的表面安装型音叉型压电振子。在该情况下，在形成于封装体的封装体侧安装电极上安装音叉型压电振动片。
图7表示第四实施方式的音叉型压电振动片的俯视图。在图7中，音叉型压电振动片60由基部62、和从基部62的一端突出形成的一对振动臂部64(64a、64b)构成。各振动臂部64在基端侧具有沿着振动臂部64的长度方向的槽部66。槽部66形成于振动臂部64的上下面的对应位置。因此，振动臂部64如图8所示断面形成H形。并且，音叉型压电振动片60在各振动臂部64形成激励电极68、70。激励电极68、70由形成于振动臂部64两侧面的侧面电极部68a、70a和形成于槽部66内面的槽电极部68b、70b构成。形成于各振动臂部64两侧面的侧面电极部68a、70a分别通过设在振动臂部64前端部的前端电极部68c、70c相互连接。该前端电极部68c、70c用于调整音叉型压电振动片60的振荡频率。
并且，槽电极部68b、70b电连接另一方的振动臂部64的侧面电极部。即，设在一方的振动臂部64a的槽电极部68b电连接设在另一方的振动臂部64b的侧面电极部70a。振动臂部64b的槽电极部70b电连接振动臂部64a的侧面电极部68a。另外，音叉型压电振动片60在基部62设置一对安装电极72(72a、72b)。一方的安装电极72a连接激励电极68，另一方的安装电极72b连接激励电极70。另外，在基部62的两侧部形成切入部38。
可是，音叉型压电振动片的振荡频率基本上由振动臂部的宽度和长度决定。并且，实施方式的车载用音叉型压电振动片60为了提高耐温度循环性能，使基部62的宽度c大于以往的音叉型压电振动片，并减小叉部15和肩部17的曲率(增大曲率半径)。因此，实施方式的音叉型压电振动片60在使振动臂部64的宽度W形成为和以往的音叉型压电振动片相同的尺寸时，振动臂部64的基端部的宽度变大，实质上产生和缩短振动臂部64相同的效果。实际上，发明者等通过详细研究和实验确认到，在使振动臂部64的宽度W和长度b形成为和以往相同的尺寸时，实施方式的音叉型压电振动片60的振荡频率低于以往的基部宽度较小的振动片。因此，在实施方式的音叉型压电振动片60中，在形成和以往的音叉型压电振动片相同的频率的情况下，通过使振动臂部64的长度略长于以往的音叉型压电振动片，实现振荡频率的调整。
例如，在形成振荡频率为32.768kHz的音叉型压电振子的情况下，在以往的音叉型压电振动片中，图7中的基部长度a＝1102μm，基部宽度c＝640μm，振动臂部长度b＝2358μm，振动臂部宽度W＝236μm，总长度L＝3460μm，肩部和叉部的曲率半径R＝66μm。与此相比，实施方式的音叉型压电振动片60，基部62的长度a＝1102μm，基部62的宽度c＝1000μm，振动臂部64的长度b＝2478μm，振动臂部64的宽度W＝236μm，总长度L＝3580μm，肩部17和叉部15的曲率半径R＝132μm。即，实施方式的音叉型压电振动片60的振动臂部64的长度b比以往长120μm。另外，在实施方式的音叉型压电振动片60中，切入部38的形成位置、即距基部62的另一端的距离e为570～680μm，切入部38的深度为100～220μm。
这样形成的实施方式的音叉型压电振动片60的振荡频率略低，约为32.768kHz。因此，使用实施方式的音叉型压电振动片60的音叉型压电振子通过利用激光去除前端电极部68c、70c，能够容易把振荡频率调整为32.768kHz。
Claims (9)
1.一种音叉型压电振动片，具有：从基部的一端突出而形成的多个振动臂部；在所述基部的另一端侧对应所述各振动臂部而设置的多个安装电极，其特征在于，
将所述各安装电极隔开间隔配置，该间隔可以防止由在这些安装电极上接合引脚端子用导电性接合材料经过温度周期循环而形成的扩散所造成的短路。
2.根据权利要求1所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述各安装电极之间的间隔大于等于60μm。
3.根据权利要求1或2所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述基部的另一端侧具有使所述引脚端子呈直线状接合的宽度。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述振动臂部的一方的侧边和另一方的侧边的长度相同，并且相对所述基部的中心线对称地延伸设置振动臂部。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述各振动臂部形成于所述基部的侧边内侧，所述基部形成为所述各振动臂部之间的叉部与所述基部的侧边和所述振动臂部之间的肩部是呈相同曲率的圆弧状。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述振动臂部的前端面形成为凸状曲面。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的音叉型压电振动片，其特征在于，在沿着延伸设置振动臂部的方向的基部的两侧边，朝向所述基部的内侧设置切入部。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的音叉型压电振动片，其特征在于，基部在其与振动臂部正交的方向上的另一端侧的宽度大于一端侧的宽度。
9.一种音叉型压电振子的制造方法，该音叉型压电振子具有设有多个安装电极的基部和从所述基部延伸设置的多个振动臂部，使用导电性接合材料在所述安装电极上接合引脚端子，其特征在于，
把所述安装电极的间隔设定成避免因所述导电性接合材料的扩散发生短路的尺寸，
把所述基部的宽度设定成能够把所述引脚端子直线接合的尺寸，
为了使所述振动臂部连接在所述基部的位置的曲率相同，在所述基部上决定单方振动臂部的位置。
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