CN1485558A - 加工装置的门开闭装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及加工装置的门开闭装置，加工装置(10、10a)的处理室(12、12a)，其前端部被分为多个开口部(20、22)，在开口部的周围配置有密封装置(24)。装置(30)具有由与开口部的数量相同的门元件(32、34)构成的门(31)，和各自独立驱动门元件的起动装置(36、37)，将一个门元件只移动一个开口部的尺寸部分，在从处理室取出规定的制品，或者向这里供给制品期间，其他的门元件密闭其他的开口部，从该处理室中取出制品或者在供给完成后，其他的门元件移动到与前述的一个门元件邻接的位置，开放至此关闭的开口部，反复进行同样的作业。

Description

加工装置的门开闭装置

技术领域

本发明涉及在各种加工装置等中所使用的有用的门开闭装置，更加详细地说，是涉及例如设置于洁净室等那样的受限制的作业空间内，在其中进行作业的热处理炉、真空加压退火装置、真空热处理装置、加压脱泡装置等的门开闭装置。

背景技术

现今，在各种的产业领域中，开发使用高精度的制品。这些制品一般是在设置于洁净室内的各种生产加工装置中进行制造作业。例如，使用液晶制造显示器装置的真空加压退火装置、真空热处理装置、加压加热装置、液晶注入装置、加压脱泡装置等(以下统称为加工装置)，为阻止异物混入液晶内，在高度净化的洁净室内的作业成为必须。再有，伴随着最近的液晶显示器装置的大型化，上述加工装置的实际上进行加热真空处理等的作业处理室，用于将被加工物取出放入该作业处理室的开口部、以及密封遮挡该开口部的门等，也被要求与目前相比相当大型化的结构。

另外，在这些加工装置中使用的门，为了高度保持该加工装置的作业处理室内部的气密度，通常是由一张(单式)具有大尺寸的钢制部件而形成的(例如参照专利文献1)。这是由于若门是由多个门形成元件构成，则从各门形成元件之间产生空气泄漏的可能性增高，仅此就可妨碍处理室内的高气密维持性能。

[专利文献1]

特开2001-214975号公报(第3页，第1图)

但是，洁净室自身在其HEPA过滤器的性能确保上、或者在建筑基准法的限制上，不可能无限制的大型化，即使是大型的洁净室，通常高度也被限制在3500mm左右。另外，因为必须在这样被限制了高度的洁净室内进行作业，在上述各种的加工装置中，例如在向上述各种的加工装置内取出放入形成液晶显示器装置的基本部件的大型原玻璃时所开闭的大型的单式门，在开闭时，因为门被房顶或地面阻碍而使开闭受阻，从而不能向上下方向开闭，所以通常在洁净室内，实施向上述各种加工装置设置场所的左右方向可横方向移动的装置。

但是，在向这样的左右方向(横方向)的门开闭方式中，该各种加工装置的门部分的尺寸例如若是2500mm，则至少在该各种加工装置的左右一侧上，有必要预先保证仅用于容许至少2500mm的门移动的空间。这样的空间仅仅是为了保证向高价的洁净室内的门的开闭，显而易见，在经济方面是非常浪费的。今后象这样的原玻璃的尺寸，伴随着从所谓第4代向第5代、进一步从第5代向第6代的逐渐转换，将被要求有更加广阔的空间。因此，强烈地要求消除象这样浪费的空间即死空间，而如何消除相关的死空间已成为在目前业界的极大课题。

发明内容

在为解决上述课题的本发明中，提供了一种对向受限制的作业空间内设置的加工装置的处理室的门进行开闭的开闭装置。用于封闭前端部在多个开口部被隔开的处理室的门开闭装置，具有与开口部的数量相同的多个门元件、和各自独立起动这些门元件的起动装置，在移动一个门元件、将一个开口部开放，从处理室取出规定的制品、或者向其中供给制品期间，其他的门元件将处理室的其他的开口部封闭，通过该开放的一个开口部，从处理室中取出制品或者在供给完成后，将其他的门元件移动到与前述的一个门元件接近的位置，开放其他的开口部，反复进行同样的作业。

附图说明

图1是装备有本发明的门开闭装置的加工装置的正视图。

图2是如图1所示的加工装置的剖视图。

图3是其他的实施例的拆下门开闭装置后的状态的加工装置的正视图。

图4是表示用于开闭门元件的装置的图。

图5是表示用于开闭门元件的其他装置的图。

图6是说明动作的图。

图7是进一步说明其他的动作的图。

图8是表示可以适用于本发明的门开闭装置的密封装置的一例的概略图。

具体实施方式

在下述中，就有关向洁净室设置的加工装置的门开闭装置进行阐述，本发明的加工装置，特别是液晶显示器制造装置，例如是作为用于真空加压退火装置、真空热处理装置、加压加热装置、液晶注入装置、加压脱泡装置、真空热处理装置等的加工装置的门开闭装置可以有用地使用的装置，另外，在洁净室以外，也可以作为在某种程度上被限制范围、特别是高度方向的尺寸被限制的空间内所使用的这些加工装置的门开闭装置，可期待较好的效果。

图1是装备有本发明的门开闭装置的加工装置的正视图，图2是其剖视图。图3是其他实施例的拆下门开闭装置后的状态的加工装置的正视图。再有，图4及图5是表示用于开闭门的装置的图，图6及图7是说明动作的图。另外，在图8中，表示可适用于本发明的门开闭装置的密封装置的一例的概略图。

如图1所示，本发明的加工装置10通过高度调整用脚部11，适当地配置在没有图示的洁净室内。此加工装置10具有进行热处理等作用的密封处理室12(参照图1及图2)，该密封处理室12具有大致矩形形状，用于对例如没有图示的原玻璃、彩色滤色器、液晶注入晶格等在内部进行热处理。此处理室12提供了仅可以处理具有规定尺寸的原玻璃等大小的空间。再有，在此处理室12内，为了能够一次处理多个原玻璃等，用于使多个原玻璃等大致呈水平配设的多个水平棚部13，从处理室的近前侧向里侧或者左右方向配列成上下的层。

在此处理室12的正面部分上，如图2及图3所示，将中间部通过在水平方向延伸的追加密封部18隔断，各自形成具有大致呈矩形形状的上下一对开口部20、22。在这些开口部20、22的外侧周围，围绕该开口部的周围，配设有与本案申请人的申请有关的专利第2933514号所开示的真空高压室密封装置24。

上述真空高压室密封装置24具有以下所述的特征，在图8中，表示了该真空高压室密封装置24的一例。如图8所示，此真空高压室密封装置24是用于将在内部进行各种处理加工的相互邻接的室D、E，通过门100密封密闭的装置，是由容纳在设置于室D、E的侧壁140的表面280上的凹陷300内的密封密闭部件180、和容纳在该侧壁140的表面280中与该凹陷300邻接设置的其他的凹陷200内的玻璃片160、及封闭该室的门100构成的。玻璃片160将容纳于凹陷200的其内面通常向其外表面260的一方保持弹性，外表面260在开闭门100时进行对门的滑动导向的功能，容纳着密封密闭部件180的凹陷300通过控制阀连接到加压装置360或者减压装置400，通过这些加压装置360或者减压装置400的动作，密封密闭部件180可以自由地在凹陷300内出入，在密封作业前，玻璃片160的外表面260，比密封密闭部件180的前端部更向前方突出，据此，在开闭门100的情况下，门100与密封密闭部件180没有接触，在密封作业时，密封密闭部件180的前端部对门100的面加压接触而移动。

另外，在处理室12的正面部分的外方，为使加工前的原玻璃等的制品(没有图示)供给到该处理室12内，或者将加工后的该制品从这里取出，其自身可以装备公知的机器臂装置16(参照图6及图7)。

在开口部20、22的前面，配置有与本发明相关的门开闭装置30，这些开口部20、22通过构成该门开闭装置30的门31，可自由开闭地被密封密闭。另外，此门开闭装置30，不局限于具有如图1及图2所示的矩形形状的处理室12，在如图3所示具有圆筒形截面的处理室12a的加工装置的其他装置中，也可以同样有用地使用。另外，在此处理室12、12a上，对应需要，其自身可以容纳公知的加热装置、真空装置、加压装置、冷却装置等。

此门开闭装置30与前述密封装置24协动，开闭自由地密封密闭作业处理室12、12a的开口部。门开闭装置30在图示的例中，是由门31、和起动装置36构成，该门31由上下一对可密封的门元件32、34构成，该起动装置36使这些门元件在上下方向可以独立起动。但是，此门开闭装置30，当处理室12、12a的开口部在3个或者其以上的数量的情况时，也可以是由与该开口部的数量一致的3个或者其以上数量的门、和用于使这些门分别独立起动的起动装置构成。

这些门元件32、34对应于使用的装置的特性，最好是由可以维持处理室12、12a的内部为真空状态或者高压状态、再有维持于高温状态或者低温状态而阻止空气的流通、且具有可以符合处理室12、12a的条件的特性的材料来构成。这些门元件32、34，其两侧面是通过具有公知的大致呈L形截面的导轨38、40(参照图4及图5)来引导的。这些导轨在处理室12的前面位置向上下方向延伸，门元件紧密嵌入这些导轨内，使其内侧可以滑动。

如图1或者图2所示，这些门元件32、34在密封处理室12时，各门元件32、34各自配置在开口部20、22的前面位置，且前述密封装置24在各门元件的四方的周围呈分别膨胀状态，各门32、34相对于前述导轨装置38、40侧，从处理室向外方压出，保持密封状态。

起动装置36、37由可以使各个门元件32、34相互独立上下移动的已公知的装置构成。例如，在如图4所示的例中，起动装置36是由公知的复动式的空气缸36a构成的，在外侧的活塞臂42a上，固定有上侧的门元件32的下方部分，在内侧的活塞臂44a上，固定有下侧的门元件34的上方部分。另外，在如图5所示的例中，起动装置37是由公知的电动马达那样的驱动装置37a、和双重作动的螺旋机构37b构成的，在螺旋机构37b中的外侧的螺旋42b上，固定有上侧的门元件32的上方部分，在内侧的螺旋44b上，固定有下侧的门元件34的上方部分。起动装置并不限于这些，例如，也可以通过油压缸等构成。再有，设置多个公知的螺旋机构或者空气缸，使各个起动装置独立在上下方向起动各个门元件的构成也是可以的，另外，这些起动装置不仅限于门元件的单侧，也可以安装在其两侧的各个位置上。此时，在门元件呈关闭状态时，最好使这些门元件32、34和起动装置36、密封装置24相互协动，从而保持处理室12的密封。

下面关于本发明的动作方法，就有关在加工装置10、10a的内部完成规定的作业，从加工装置10、10a的处理室12、12a中取出完成加工的原玻璃、彩色滤色器、液晶注入晶格等的制品(没有图示)的顺序进行阐述。在使用空气缸36a作为起动装置36的情况下(参照图4)，首先起动该空气缸36a，使内侧的活塞臂44a下降。伴随着内侧活塞臂44a的下降，固定在该内侧活塞臂44a上的下侧的门元件34，从密封着开口部22的位置，如图6中的符号50所示，沿导轨装置38、40下降。当下侧的门元件34到达下降的最低位置时，活塞臂的动作停止。此时，加工装置10的下方的开口部22呈完全开放的状态，上方的开口部20呈被遮蔽的状态。在此状态中，从开口部22插入机器臂装置16，从加工装置10内的下方制品保持棚取出加工完成的原玻璃等的制品。

在完成从下方开口部22的取出后，再次起动空气缸36a，本次，使外侧的活塞臂42a下降。伴随着外侧活塞臂42a的下降，固定在该外侧活塞臂42a上的上侧的门元件32，从密封着开口部20的位置，如图7中符号52所示，与门元件34同样由导轨装置38、40导向，下侧的门元件向下方移动呈开放状态，下降到已经进行了相对于处理室的制品的出入的开口部22的规定位置。上侧的门元件32下降到最低，当该门元件32的下端到达与已经位于下降位置的接近于下侧的门元件34a的上端的规定位置时，活塞臂的动作停止。此时，加工装置10、10a的上方的开口部20，如图7所示，呈完全开放状态。在此状态下，从该开口部20向处理室内起动机器臂装置16，从加工室10、10a内的上方的制品保持棚取出完成加工的原玻璃等的制品。

另一方面，在为了处理被加工制品，向处理室内供给该制品时，门元件32、34在图7所示的位置时，首先使用机械臂向加工装置10、10a的处理室12、12a的上方部分的制品保持棚13进行供给。其后，通过与上述相反的动作，将上方的门元件32提升到可关闭上方的开口部20的规定位置。此时，下方的开口部22，如图6所示，呈开放状态。因此，从该下方的开口部22向处理室内供给制品。制品的供给完成后，通过与上述相反的动作，将下方的门元件34提升到可关闭上方的开口部22的规定位置。门元件若到达各个规定的上方位置后，会使密封装置24膨出，呈遮蔽加工装置10、10a内部的处理室12、12a的状态。在此状态下，在处理室内，相对于制品实施规定的处理。当然，最初门元件32、34处于图6所示的位置时，通过开口部22向处理室12、12a的下方部分进行供给，其后，向处理室的上方部分的供给也是可能的。

起动装置36即使是在螺旋机构36b的情况下，也通过与上述实质相同的方法，可以容易地完成制品的取出及供给。

本发明是一种加工装置的门开闭装置，是使遮蔽向受限制的作业空间内设置的加工装置10、10a的处理室12、12a的门开闭的门开闭装置30，其特征在于，处理室其前端部被分为多个开口部，在其开口部的周围配置有密封装置，门开闭装置30具有与开口部的数量相同的多个门元件32、34，和各自独立起动这些门元件的起动装置36、37，驱动一个门元件，只开放一个开口部，在从处理室取出规定的制品，或者向这里供给制品期间，其他的门元件密闭其他的开口部。通过一个开口部，从该空间室中取出制品或者在供给完成后，其他的门元件移动到与前述的一个门元件邻接的位置开放，反复进行同样的作业。

根据本发明，在加工装置10、10a的处理室12、12a上至少形成2个开口部，且这些开口部通过各自独立的门元件32、34密封。因此，在接近处理室12、12a时，没有必要将处理室的开口部全体一次开放，可以最初是上方部分，接着是下方部分，或者最初是下方部分接着是上方部分，和可以仅一个开口部开放。因此，即使在限制高度的洁净室等中作业时，因为可以对各个密闭开口部的多个门元件从上方或者下方打开进行作业，没有必要如至此那样将单式的门全体向左右一次打开，因此，不需要在洁净室内设置用于容纳开放的门的大的死空间，从而成功地消除了有关常年的死空间的课题。即，本发明，通过在开口部20、22的周围，配置本案申请人在先申请的专利第2933514号所开示的密封装置24，即使将至此的单式的门变更为复式的门，也可以完全阻止从各门的连接部附近的空气的泄漏，据此，将被要求大型化的单式的门变更为复式的门是可能的，因此，将大型化的门向上下方向分离，分别地开闭也是可能的，这样一来，就消除了死空间的问题。

即，作业中的门元件的开放，与以往的将单式的大门全体一次向加工装置的左右至少一侧完全开放处理室的尺寸部分的情况相比较，由于在本发明中，仅向下方移动例如处理室的尺寸的1/2的距离就可以开放，所以可减少高价的洁净室的死空间，另外，也可以使加工装置内的处理室的温度变化减少，据此，还可以得到该处理室内温度效率的上升。另外，显而易见，若更多地设定门元件的数量及开口部的数量，就可以减少因此的门元件开放的死空间。

在本发明的实施例中，只就门元件在上下方向开闭的情况进行了阐述，但并不限定于此，根据需要，在下列情况下也可以使用，例如在将原玻璃等的制品纵向配置、对其进行加工处理的加工装置中，将向左右分割为多个(例如分割为2个)的门元件的各一半向左右两侧、或者向一个方向进行开闭的情况下，也可以有用地使用。

Claims (10)

1.一种加工装置的门开闭装置，是在向被限制的作业空间内设置的加工装置(10、10a)的处理室(12、12a)的前端部设有多个开口部(20、22)，对在各开口部的周围配置有密封装置(24)的该处理室的门进行开闭的门开闭装置(30)，其特征在于，

门开闭装置(30)具有：由与开口部的数量相同的多个门元件(32、34)构成的门(31)、和各自独立起动这些门元件的起动装置(36、37)，且各个该开口部分别由一个门元件(32、34)可自由开闭地遮蔽而构成；

在移动一个门元件，将一个开口部开放，从处理室取出规定的制品、或者向其中供给制品期间，其他的门元件将处理室的其他的开口部封闭，通过该开放的一个开口部，从处理室中取出制品或者在供给完成后，将其他的门元件移动到与前述的一个门元件接近的位置，开放其他的开口部，反复进行同样的作业。

2.如权利要求1所述的门开闭装置，其特征在于，是加工装置为液晶显示器制造装置的门开闭装置。

3.如权利要求2所述的门开闭装置，其特征在于，液晶显示器制造装置是热处理炉、真空加压退火装置、真空热处理装置、加压脱泡装置、液晶注入装置、加压加热装置中的任何一个。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的门开闭装置，其特征在于，被限制的作业空间是洁净室。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的门开闭装置，其特征在于，处理室具有保持被加工制品的棚部(13)，相对于该棚部，机械臂装置(16)进行供给以及/或者取出被加工制品。

6.如权利要求5所述的门开闭装置，其特征在于，被加工制品是原玻璃、彩色滤光器、液晶注入晶格中的任何一个。

7.如权利要求1至6中的任一项所述的门开闭装置，其特征在于，门元件对应于所使用的装置的特性，为了将处理室(12)的内部维持于真空状态、或者高压状态、再有是高温状态或者低温状态，可以阻止空气的流通，由具有符合处理室的条件的特性的材料构成。

8.如权利要求1至7中的任一项所述的门开闭装置，其特征在于，起动装置(36、37)为了使各自的门元件(32、34)相互独立驱动，在开口部的一侧配置。

9.如权利要求1至7中的任一项所述的门开闭装置，其特征在于，起动装置(36、37)为了使各自的门元件(32、34)相互独立驱动，在开口部的两侧分别配置。

10.如权利要求8或9所述的门开闭装置，其特征在于，起动装置是由复动式的空气缸(36a)、旋转驱动装置(37a)以及双重动作的螺旋机构(37b)、复动式的油压缸中的任何一个构成的。

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