CN218324534U - 一种用于传输腔的真空密封门板结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于传输腔的真空密封门板结构，包含真空箱体、设置在真空箱体端部的传输口、设置在传输口外圈的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈的驱动压紧机构；所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件；每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直滑动设置的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆；所述动力组件驱动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈；本实用新型不仅结构简单紧凑，降低了生产成本，且驱动压紧机构与传输口错开设置，减少了工作空间。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空设备技术领域，特指一种用于传输腔的真空密封门板结构。
背景技术
真空密封门板结构是一种进行门板真空密封的支撑结构，现有密封功能都是通过移动带有密封槽的门板挤压密封圈实现的且密封圈受压面为平面，为了减小密封圈的磨损，门板位移主要可分为以下几种形式：通过翻转门板来实现此功能；先水平移动门板再竖直移动门板；先水平移动门板再倾斜移动门板，随着科技的不断发展，人们对于真空密封门板结构的制造工艺要求也越来越高。
如现有技术201822210676.X公开的一种真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体，现有技术202021470168.6公开的一种基于连杆机构的真空箱密封装置，其中用于驱动门板进行密封的驱动组件均设置在真空箱密封口的端面，不仅结构复杂，增加了制造成本，且大大占用了工作空间，从而限制了其在半导体行业中的使用。
实用新型内容
本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种用于传输腔的真空密封门板结构。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于传输腔的真空密封门板结构，包含真空箱体、设置在真空箱体内部的传输腔、设置在真空箱体端部且与传输腔连通的传输口、设置在真空箱体端部且位于传输口外圈的密封槽、设置在密封槽内的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈对传输口进行密封的驱动压紧机构；
所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件；
每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直设置在真空箱体侧面的导轨、竖直滑动设置在导轨上的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆；
所述动力组件驱动平行四边形连杆组件带动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈；
所述动力组件包括两端分别与真空箱体两侧长条板底部连接的U形连接件、用于驱动U形连接件升降的驱动器。
优选的，每块所述长条板上均铰接设置有可伸缩的支撑杆；所述支撑杆的伸缩端与位于上方的连杆中部铰接。
优选的，所述限位件设置有卡槽，呈∩形结构；所述卡槽的宽度略大于连接块的宽度，当驱动压紧机构驱动密封门板压紧密封圈时，连接块会卡入卡槽内。
优选的，所述限位件的外侧底部设置有限位部；所述连杆与连接块通过转轴铰接；所述转轴上在限位部的正下方套设有滚轮。
优选的，所述真空箱体的两侧设置有竖直放置的定位凹槽；所述导轨的部分安装在定位凹槽内，且剩余部分延伸至真空箱体下方。
优选的，所述导轨的长度至少能让密封门板下降时，完全露出传输口。
优选的，所述导轨上设置有两个上下间隔放置的滑块；所述长条板的上下两端分别设置在两个滑块上。
优选的，所述密封门板与驱动器错开放置，且密封门板设置在驱动器的外侧。
优选的，所述驱动器为气缸、直线模组、伺服电缸中的一种。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1、本实用新型当动力组件驱动平行四边形连杆组件带动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈，结构简单紧凑，降低了生产成本，且驱动压紧机构与传输口错开设置，减少了工作空间；
2、本实用新型通过设置可伸缩的支撑杆，与长条板和连杆构成了三角形结构，在不受外力的作用下，支撑杆可以将密封门板维持在某一特定位置，从而保证密封门板竖直运动过程中不会摩擦密封圈和传输腔的端面；
3、本实用新型维修组装方便，易于保养维护密封圈及其它零部件。
附图说明
下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：
附图1为本实用新型中密封门板关闭时的状态图；
附图2为本实用新型中密封门板关闭前的状态图；
附图3为本实用新型中密封门板打开时的状态图；
附图4为本实用新型中密封门板关闭时的立体图；
附图5为图4中A处局部放大图；
附图6为本实用新型中密封门板打开时的立体图。
其中：1、真空箱体；11、传输腔；12、密封圈；2、密封门板；3、驱动压紧机构；31、平行四边形连杆组件；311、导轨；312、长条板；313、连接块；314、连杆；315、支撑杆；316、滚轮；317、定位凹槽；318、滑块；32、限位件；321、限位部；33、动力组件；331、U形连接件；332、驱动器。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
附图1-5为本实用新型所述的用于传输腔的真空密封门板结构，包含真空箱体1、设置在真空箱体1内部的传输腔11、设置在真空箱体1端部且与传输腔11连通的传输口、设置在真空箱体1端部且位于传输口外圈的密封槽、设置在密封槽内的密封圈12、设置在传输口的密封门板2、用于驱动密封门板2压紧密封圈12对传输口进行密封的驱动压紧机构3；
所述驱动压紧机构3包括分别设置在真空箱体1两侧的平行四边形连杆组件31和限位件32、设置在真空箱体1下方的动力组件33；
每组所述平行四边形连杆组件31均包括竖直设置在真空箱体1侧面的导轨311、竖直滑动设置在导轨311上的长条板312、两个分别竖直间隔设置在密封门板2侧面的连接块313、两根两端分别与连接长条板312端部和连接块313铰接的连杆314；
所述动力组件33驱动平行四边形连杆组件31带动密封门板2上升过程中，限位件32可使密封门板2水平运动压紧密封圈12；
所述动力组件33包括两端分别与真空箱体1两侧长条板312底部连接的U形连接件331、用于驱动U形连接件331升降的驱动器332。
工作时：真空箱体1和驱动器332均安装在机架上；当需要打开密封门板2时，驱动器332驱动U形连接件331带动真空箱体1两侧的长条板312沿着导轨311向下运动，由于长条板312通过两个连杆314与密封门板2铰接，从而带动密封门板2一起向下运动，从而打开密封门板2，露出传输口；当需要关闭密封门板2时，驱动器332驱动U形连接件331带动真空箱体1两侧的长条板312沿着导轨311向上运动，由于长条板312通过两个连杆314与密封门板2铰接，从而带动密封门板2一起向上运动，当最上方的连杆314触碰到限位件32时，由于驱动器332继续驱动长条板312向上运动，在限位件32的作用下，会使密封门板2水平运动压紧密封圈12，从而对传输口进行密封，结构简单紧凑，降低了生产成本。
进一步，每块所述长条板312上均铰接设置有可伸缩的支撑杆315；所述支撑杆315的伸缩端与位于上方的连杆314中部铰接；本实用新型通过设置可伸缩的支撑杆315，与长条板312和连杆314构成了三角形结构，在不受外力的作用下，支撑杆315可以将密封门板2维持在某一特定位置，从而保证密封门板2竖直运动过程中不会摩擦密封圈12和传输腔11的端面。
进一步，所述限位件32设置有卡槽，呈∩形结构；所述卡槽的宽度略大于连接块313的宽度，当驱动压紧机构3驱动密封门板2压紧密封圈12时，连接块313会卡入卡槽内；本实用新型通过在限位件32上设置卡槽，在关闭密封门板2时，能使密封门板2卡入卡槽内，起到限位作用，能有效防止密封门板2左右移动。
进一步，所述限位件32的外侧底部设置有限位部321；所述连杆314与连接块313通过转轴铰接；所述转轴上在限位部321的正下方套设有滚轮316；本实用新型通过在限位部321的正下方套设有滚轮316，可减少磨损，提高使用寿命。
进一步，所述真空箱体1的两侧设置有竖直放置的定位凹槽317；所述导轨311的部分安装在定位凹槽317内，且剩余部分延伸至真空箱体1下方；本实用新型由于导轨311的部分安装在定位凹槽317内，不仅能起到定位作用，且能使得整体结构更加紧凑。
进一步，所述导轨311的长度是密封门板2高度的两倍，使密封门板2下降时，能完全露出传输口。
进一步，所述导轨311上设置有两个上下间隔放置的滑块318；所述长条板312的上下两端分别设置在两个滑块318上；本实用新型通过在导轨311上设置有两个上下间隔放置的滑块318，使得长条板312在上下运动过程中更加稳定。
进一步，所述密封门板2与驱动器332错开放置，且密封门板2设置在驱动器332的外侧，减少了工作空间。
进一步，所述驱动器332为气缸、直线模组、伺服电缸中的一种，可根据工作场合进行选择。
以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。
Claims (9)
1.一种用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：包含真空箱体、设置在真空箱体内部的传输腔、设置在真空箱体端部且与传输腔连通的传输口、设置在真空箱体端部且位于传输口外圈的密封槽、设置在密封槽内的密封圈、设置在传输口的密封门板、用于驱动密封门板压紧密封圈对传输口进行密封的驱动压紧机构；
所述驱动压紧机构包括分别设置在真空箱体两侧的平行四边形连杆组件和限位件、设置在真空箱体下方的动力组件；
每组所述平行四边形连杆组件均包括竖直设置在真空箱体侧面的导轨、竖直滑动设置在导轨上的长条板、两个分别竖直间隔设置在密封门板侧面的连接块、两根两端分别与连接长条板端部和连接块铰接的连杆；
所述动力组件驱动平行四边形连杆组件带动密封门板上升过程中，限位件可使密封门板水平运动压紧密封圈；
所述动力组件包括两端分别与真空箱体两侧长条板底部连接的U形连接件、用于驱动U形连接件升降的驱动器。
2.根据权利要求1所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：每块所述长条板上均铰接设置有可伸缩的支撑杆；所述支撑杆的伸缩端与位于上方的连杆中部铰接。
3.根据权利要求2所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：所述限位件设置有卡槽，呈∩形结构；所述卡槽的宽度略大于连接块的宽度，当驱动压紧机构驱动密封门板压紧密封圈时，连接块会卡入卡槽内。
4.根据权利要求3所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：所述限位件的外侧底部设置有限位部；所述连杆与连接块通过转轴铰接；所述转轴上在限位部的正下方套设有滚轮。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：所述真空箱体的两侧设置有竖直放置的定位凹槽；所述导轨的部分安装在定位凹槽内，且剩余部分延伸至真空箱体下方。
6.根据权利要求5所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：所述导轨的长度至少能让密封门板下降时，完全露出传输口。
7.根据权利要求6所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：所述导轨上设置有两个上下间隔放置的滑块；所述长条板的上下两端分别设置在两个滑块上。
8.根据权利要求7所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：所述密封门板与驱动器错开放置，且密封门板设置在驱动器的外侧。
9.根据权利要求8所述的用于传输腔的真空密封门板结构，其特征在于：所述驱动器为气缸、直线模组、伺服电缸中的一种。
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| CN202221583895.2U CN218324534U (zh) | 2022-06-23 | 2022-06-23 | 一种用于传输腔的真空密封门板结构 |
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|---|---|---|---|---|
| CN116936419A (zh) * | 2023-09-13 | 2023-10-24 | 上海普达特半导体设备有限公司 | 半导体工艺设备及其升降密封门机构 |
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| CN116936419B (zh) * | 2023-09-13 | 2023-12-01 | 上海普达特半导体设备有限公司 | 半导体工艺设备及其升降密封门机构 |
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