CN1378647A

CN1378647A - 光学检测装置

Info

Publication number: CN1378647A
Application number: CN99817002A
Authority: CN
Inventors: 小池隆; 伊藤丰志
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1999-11-11
Filing date: 1999-11-11
Publication date: 2002-11-06
Anticipated expiration: 2019-11-11
Also published as: DE69932957D1; WO2001035084A1; EP1231461A4; EP1231461A1; DE69932957T2; CN100356165C; US6891612B1; EP1231461B1; AU1177900A

Abstract

提供一种检测被检测物(11)的孔部的光学检测装置(1),它具有:从线状或者面状地存在的发光点(41a)出射照射光从而照射被检测物的光源(41),配置在上述光源的相反侧以便夹住被检测物,并具有入射从上述光源出射的照射光中通过被检测物的孔部的照射光的入射面(61A)以及出射伴随照射光的入射产生的荧光的检测面(61B)的荧光构件(61),检测从上述荧光构件的检测面出射的荧光的光检测器(71)。

Description

光学检测装置

技术领域

本发明涉及光学地检测被检测物有无孔部的光学检测装置。

背景技术

在金属箔、磁薄膜、涂膜以及蒸镀膜等薄膜中，由于有无孔部(贯通孔)对品质有很大的影响，所以，检测这样的薄膜状的被检测物有无孔部十分重要。在检测被检测物有无孔部的现有的光学检测装置中，夹住被检测物地配置光源和光检测器，利用光检测器检测光源出射的照射光中通过被检测物的孔部(贯通孔)的照射光进行检测，并根据光检测器的输出来检测被检测物有无孔部。此外，在特开平5-281156号公开专利中，开示了对被检测物边扫描边照射照射光，并利用聚光系统会聚通过该被检测物的照射光，再由光检测器检测出其会聚的照射光的光学检测装置。

发明内容

但是，在上述现有的光学检测装置中，存在下面这样的问题。即，在单独地使发光二极管等光源和光电倍增管等光检测器相对峙来检测配置在该二者之间的被检测物的孔部(贯通孔)之类的检测装置中，只有在连结光源和光检测器之间的直线上存在孔部时才能检测出孔部。因此，可以确认有无孔部的区域狭窄，如果想遍及被检测物的全部区域地确认有无孔部，则必须有使被检测物移动的操作等。

此外，在上述特开平5-281156号公开专利所开示的光学检测装置中，如同专利的图1所明确的那样，由于是利用扫描机构使从一点出射的激光扫描在被检测物上，故在被检测物的外边缘部位等，激光是倾斜入射。在这样的情况下，如果是具有大于被检测物的膜厚程度以上的大直径的贯通孔，则激光可以通过该贯通孔并能够确认其存在，但对小于被检测物的膜厚程度的小直径的贯通孔，则因贯通孔的内壁面等的遮挡等原因，激光将不能通过该贯通孔，检测孔部较为困难。

然而，在实际中，薄膜状的被检测物有时连存在小于其膜厚的小直径的微小孔部也不允许。例如，有时要求检测膜厚500μm的被检测物上的直径20μm程度的贯通孔。但是，包括特开平5-281156号公开专利所开示的光学检测装置在内的现有的光学检测装置要检测出这样的微小孔部是极其困难的。

本发明即为解决这样的现有的问题而进行的工作，目的在于提供可一下子遍及宽范围、且即使是小直径的孔部也能够容易地确认其存在的光学检测装置。

本发明所涉及的光学检测装置是检测被检测物上的孔部的光学检测装置，其特征在于具有：(1)从线状或者面状地存在的发光点出射照射光从而照射被检测物的光源；(2)配置在上述光源的相反侧以便夹住被检测物，并具有入射从上述光源出射的照射光中通过被检测物的孔部的照射光的入射面以及出射伴随照射光的入射而产生的萤光的检测面的萤光构件；(3)检测从上述萤光构件的检测面出射的萤光的光检测器。

利用该光学检测装置，在被检测物存在孔部(贯通孔)时，使从上述光源出射的照射光中通过被检测物的孔部的照射光通过被检测物的孔部并入射到萤光构件的入射面。在萤光构件上，随照射光的入射产生萤光，该萤光从萤光构件的检测面出射，入射到光检测器并被光检测器检测出来。即，根据光检测器有没有检测到萤光来检测被检测物有无孔部。这里，由于根据本发明使萤光构件介于光源和光检测器之间，如果有通过孔部的光入射到萤光构件就可以确认孔部的存在，故可以检测出来的孔部将不限于存在于连结光源和光检测器之间的直线上的孔部，而是可以涉及宽范围地进行孔部的检出。此外，在本发明中，因为使用的是具有线状或者面状地存在的发光点的光源，所以，一下子即可遍及宽范围地确认有无孔部，而且与扫描从一点出射的激光的装置不同，可以解决上述那样照射光只能倾斜入射之类的问题，故即使是小孔径的孔部也能够容易地检测出来。

在本发明所涉及的光学检测装置中，最好具有在支撑被检测物的同时还带有可以使从光源出射的照射光通过的开口部的支撑部，且萤光构件的入射面较开口部更为宽大。此时，通过使萤光构件遮盖被检测物的检测区域，可以检测出通过被检测物的孔部的照射光的几乎全部。

此外，在本发明所涉及的光学检测装置中，光源最好呈线状或者面状地配置其发光元件。

另外，在本发明所涉及的光学检测装置中，最好进一步配备扩散光源出射的照射光并使之照射在被检测物上的扩散板。在该情况下，即使被检测物的孔部是倾斜的，但因被扩散板扩散的照射光通过孔部，故也可以检测出有无孔部。

在本发明所涉及的光学检测装置中，最好还设置不使照射光透过萤光构件的入射面以外的面的遮光构件。此时，将不会产生外部光入射到萤光构件而产生干扰光的现象。进而，在本发明所涉及的光学检测装置中，最好在萤光构件的检测面以外的面上设置反射萤光的反射构件。这种情况可以使萤光构件产生的萤光高效地入射到光检测器。

附图的简单说明

图1A是本发明所涉及的光学检测装置第1实施形态的断面图。

图1B是图1A所示光学检测装置的萤光板以及光检测器的平面图。

图1C所示是发光元素面状地配置的光源的平面图。

图1D所示是发光元素线状地配置的光源的平面图。

图2A是本发明所涉及的光学检测装置第2实施形态的断面图。

图2B是本发明所涉及的光学检测装置第2实施形态的其他断面图。

图3是本发明所涉及的光学检测装置第3实施形态的构成图。

图4是本发明所涉及的光学检测装置第4实施形态的构成图。

用于实施发明的最佳形态

以下参照附图详细说明本发明的最佳实施形态。这里，在附图的说明中，同一要件附加同一的符号并省略其重复的说明。

[第1实施形态]

首先，参照图1A～图1D对第1实施形态进行说明。涉及本实施形态的光学检测装置1在遮光外壳21的内部具有如下构成：支撑被检测物的载物台(支撑部)31，光源41，扩散板51，萤光板61以及光检测器71。图1A是该光学检测装置的断面图，图1B是萤光板61以及光检测器71的平面图。

遮光外壳21是用于不使来自外部的光线进入内部的构件。载物台31设置成二分遮光外壳21的内部，并且其外周面与遮光外壳21的内壁相接，中央区域形成有开口部31o。被检测物11呈覆盖开口部31o地载置在载物台31上。此外，在载物台31上载置的被检测物11的边缘部覆盖有遮蔽罩91。该遮蔽罩91是用于不使干扰光通过载物台31和被检测物11之间的间隙而设置的构件。

光源41设置在作为遮光外壳21的内部的载物台31的开口部31o的下方。从光源41出射的照射光是可以激发萤光板61中所包含的萤光物质的波长的光。此外，在光源41上，使用发光点线状或者面状存在的发光物。在本实施形态中，如图1C的平面图所示的那样，面状地排列着发光二极管或半导体激光器等发光元件41a。此外，如图1D的平面图所示的那样，也可以线状地排列多个发光二极管或半导体激光器等发光元件41a。另外，还可以使用如荧光灯等那样发光点成线状的光源。特别地，光源41做成与载物台31的开口部31a略成一样形状且发光点连续或离散地且面状地存在的面光源更为合适。

扩散板51设置在遮光外壳21的内部的载物台31的开口部31o的下方、光源41的上方。扩散板51扩散从光源41出射的照射光并从所有的方向将其扩散了的照射光照向被检测物11。

萤光板61呈覆盖被检测物地设置在遮光外壳21的内部的载物台31的开口部31o的上方。此外，萤光板61的入射面61A较开口部31o的开口面积更宽大。萤光板61是如含有萤光物质的丙稀基或乙烯等的树脂板，当被检测物11带有孔部(贯通孔)时，入射通过了其孔部的照射光，并伴随其照射光的入射激发萤光物质产生萤光。

萤光板61既可以是单一的平板，也可以如图示的那样，做成箱形的形状并与载物台31以及被检测物11一起构成暗室。在箱形地构成萤光板61时，通过在粘接平板时使用透明的粘合剂，可以使通过被检测物11的孔部并朝向所有的方向行进的照射光入射到萤光板61，检测出与之相伴产生的萤光，故可以提高萤光检测效率，即孔部检测效率。

通过被检测物11的孔部的光入射的萤光板61的入射面61A以外的面上最好设置不使照射光透过的遮光构件。如图1A所示的那样，在箱形地形成萤光板61时，萤光板61的入射面61A是箱的内壁面，遮光构件65设置在箱的外壁面。由于这样做不会有外部光入射到萤光板61的入射面61A产生成为干扰光的萤光，故可以提高萤光检测的灵敏度，即孔部的检测灵敏度。此外，在入射到萤光板61的照射光被遮光构件65反射并再次进入到萤光板61内时，因为增高了萤光板61内的萤光物质被激发的比例，用此点也能够提高萤光检测的灵敏度，即孔部的检测灵敏度。

此外，在萤光出射到光检测器71的萤光板61的检测面61B以外的面上，最好设置使萤光反射的反射构件。由于这样做可以使反射构件反射当照射光入射到萤光板61时产生的萤光从而减少泄漏到萤光板61的外部的比例，故可以高效率地被光检测器71检测出来，提高孔部的检测效率。

这里，遮光构件以及反射构件可以分别是形成在萤光板61的面上的多层膜。此外，遮光构件以及反射构件不一定必须是单独的。例如，铝等的镀膜或蒸敷膜以及板状构件既可以作为不使照射光透过的遮光构件，也可以作为反射萤光的反射构件使用。这样，在兼做遮光构件和反射构件时，可以将它们设置在除萤光板61的入射面61A以及检测面61B外的其他面上。此处，图1A的遮光构件65也具有作为反射构件的作用。

光检测器71作为检测从萤光板61的检测面61B出射的萤光的构件，例如，可以使用光电倍增管或半导体感光元件(光电二极管等)。在作为光检测器71使用光电倍增管时，因为灵敏度高而较为合适。此外，在作为光检测器71特别地使用侧通光电倍增管时，因感光面积宽且量子效率高而具有更高的灵敏度因此更为理想。

此外，在萤光板61的断面比光检测器71的感光面大时，应使萤光板61的检测面61B的大小吻合光检测器71的感光面的大小。此时，不是使用粘合剂贴合2片长方形的萤光板，而是从1片萤光板切出等做成图1B所示那样的萤光板61的形状。这样做可以避免粘合剂吸收萤光而造成检测效率低下。

本实施形态所涉及的光学检测装置1如以下这样作用。即，从光源41出射的照射光被扩散板51扩散，从各个方向照射到呈覆盖开口部31o地载置在载物台31上的被检测物11上。在被检测物11带有孔部(贯通孔)时，照射光通过其孔部入射到萤光板61的入射面61A上。在萤光板61上，伴随着照射光的入射激发萤光物质产生萤光。进而，其萤光从萤光板61的检测面61B出射入射到光检测器71的感光面上被光检测器71检测出来。即，可以根据光检测器71有没有检测到萤光来检测被检测物11有无孔部。

这样，在本实施形态所涉及的光学检测装置1中，因为不是直接地检测通过被检测物11的孔部的照射光，而是检测其照射光入射到萤光板而产生的萤光，故可以检测的孔部不仅仅限于存在于连结发光元件41a和光检测器71的直线上的孔部，而是可以遍及较宽范围地进行孔部的检测。此外，在本实施形态中，由于使用的是发光点面状地存在的光源41，故可以一下子即可遍及宽范围地确认有无孔部，而且与扫描从一点出射的激光的装置不同，可以解决照射光只能倾斜入射之类的问题，即使是小孔径的孔部也能够容易地检测出来。

此外，由于萤光板61的入射面61A的面积做得大于载物台31的开口部31o的开口面积，故通过被检测物11存在的孔部的照射光的几乎全部都入射到入射面61A。为此，可以高精度地判断被检测物11有无孔部。

本实施形态所涉及的光学检测装置1不需要大的光学系统，设计以及光学调整容易，作为装置整体可以做到小型且便宜。此外，通过使用扩散板51，即使是孔部的直径较被检测物11的膜厚小且其孔部倾斜的情况，也可以容易地检测出孔部的有无。

另外，由于被检测物11、光源41、扩散板51、萤光板61以及光检测器71容纳在遮光外壳21内，所以，不存在外部光入射到萤光板61而产生干扰光的现象。进而，在萤光板61的入射面61A以外的面设置有遮光构件时，用此点也可以不使外部光入射到萤光板产生干扰光。在萤光板61的检测面61B以外的面设置有反射构件时，萤光板61产生的萤光可以高效地入射到光检测器71的感光面上，因而，可以高灵敏度地检测被检测物11上有无孔部。

[第2实施形态]

下面，参照图2A以及图2B对第2实施形态进行说明。涉及本实施形态的光学检测装置2在遮光外壳22的内部具有如下构成：载物台32，光源42，萤光板62，光检测器72以及滚筒82。本实施形态所涉及的光学检测装置是可以边在某一方向上移动如磁带等该一方向上狭长的带状的被检测物12边连续地进行检测的装置。图2A是垂直于带状的被检测物12的延长方向且平行于被检测物12的移动方向的面的光学检测装置的断面图，图2B是垂直于被检测物12的移动方向的面的光学检测装置的断面图。

遮光外壳22是用于不使来自外部的光线进入内部的构件，带状的被检测物12从入口22A取入，自出口22B取出。遮光外壳22的入口22A以及出口22B分别采用外部光难以进入的构造。载物台(支撑部)32呈将遮光外壳22的内部分割成2部分地设置着，其周围与遮光外壳22的内壁相接，中央区域形成有开口部32o。滚筒82使从遮光外壳22的入口22A进来的被检测物12移动，并使其被检测物12覆盖载物台32上的开口部32o地通过，再自遮光外壳22的出口22B送出。滚筒82也有防止外部光进入内部的功能。此外，在载置在载物台32上的被检测物12的边缘部设置有遮蔽罩92。该遮蔽罩92是用于不使干扰光通过载物台32和被检测物12之间的间隙而设置的构件。

光源42设置在载物台32的开口部32o的下方。从光源42出射的照射光是可以激发萤光板62中所包含的萤光物质的波长的光。在本实施形态中，作为光源42使用的是发光点线状地存在的荧光灯，当然，此外也可以是线状或者面状地排列多个半导体发光元件的发光物。这里，所谓的“发光点线状地存在”意味着发光点是直线状地延长，并非否定使荧光灯等发出的光呈放射状。此外，也可以在载物台32的开口部32o和光源42之间设置扩散板。

在本实施形态中，因为被检测物12是带状且移动的，故设置在载物台32上的开口部32o的形状做成在被检测物12的宽度方向细长的狭缝状即可。此时，配合载物台32的开口部32o的形状，最好将光源42做成发光点连续或离散地且线状地存在的线光源。

萤光板62呈覆盖位于载物台32的开口部32o的上方的被检测物12的部分地设置着。萤光板62是如含有萤光物质的丙稀基或乙烯等的树脂板，当载物台32的开口部32o上的被检测物12带有孔部(贯通孔)时，入射通过了其孔部的照射光，并伴随其照射光的入射激发萤光物质产生萤光。此外，萤光板62的入射面62A较开口部32o的开口面积更宽大。

本实施形态也与第1实施形态的情况一样，在通过被检测物12的孔部的照射光入射的萤光板62的入射面以外的面上最好设置不使照射光透过的遮光构件，此外，在萤光出射到光检测器72的萤光板的检测面以外的面上最好还设置使萤光反射的反射构件。

光检测器72作为检测从萤光板62的检测面62B出射的萤光的构件，例如，可以使用光电倍增管或半导体感光元件。在该图中，光检测器72位于遮光外壳22的外部，当然也可以设置在遮光外壳22的内部。

本实施形态所涉及的光学检测装置2如以下这样作用。带状的被检测物12由滚筒82搬送从遮光外壳22的入口22A进入，通过载物台32的开口部32o之上，经出口22B送出到遮光外壳22外。从光源42出射的照射光照射在载物台32的开口部32o上的被检测物12的部分上。在照射光照射的被检测物12的当前部分带有孔部(贯通孔)时，照射光通过其孔部入射到萤光板62的入射面62A上。在萤光板62上，伴随着照射光的入射激发萤光物质产生萤光。进而，其萤光从萤光板62的检测面出射，入射到光检测器72的感光面上，并被光检测器72检测出来。即可根据光检测器72有没有检测到萤光来检测照射光照射的被检测物12的部分上有无孔部。

这样，在本实施形态所涉及的光学检测装置2中，因为也不是直接地检测通过被检测物12的孔部的照射光，而是检测其照射光入射到萤光板62而产生的萤光，故可以检测的孔部不仅仅限于存在于连结光源42和光检测器72的直线上的孔部，而是可以遍及较宽范围地进行孔部的检测。此外，在本实施形态中，由于使用的是发光点线状地存在的光源42，故可以一下子即可遍及宽范围地确认有无孔部，而且与扫描从一点出射的激光的装置不同，可以解决照射光只能倾斜入射之类的问题，即使是小孔径的孔部也能够容易地检测出来。

此外，由于萤光板62的入射面62A的面积做得大于载物台32的开口部32o的开口面积，故通过被检测物12存在的孔部的照射光的几乎全部都入射到入射面62A。为此，可以高精度地判断被检测物12有无孔部。

本实施形态所涉及的光学检测装置2也不需要大的光学系统，设计以及光学调整容易，作为装置整体可以做到小型且便宜。此外，通过使用扩散板，即使是孔部的直径较被检测物12的膜厚小且其孔部倾斜的情况，也可以容易地检测出有无孔部。

另外，由于被检测物12的照射光照射的部分、光源42以及萤光板62容纳在遮光外壳22内，所以，不存在外部光入射到萤光板62上产生干扰光的现象。进而，在萤光板62的入射面621A以外的面设置有遮光构件时，利用此点也可以不使外部光入射到萤光板62而产生干扰光。在萤光板62的检测面以外的面设置有反射构件时，萤光板62产生的萤光可以高效地入射到光检测器72的感光面上。因而，可以高灵敏度地检测被检测物12有无孔部。

进而，在本实施形态所涉及的光学检测装置2中，因为是边在长度方向上移动带状的被检测物12边进行检测，故可以遍及其被检测物12的长度方向地检测有无孔部，而且还可以检测出被检测物12长度方向的孔部的存在位置。

[第3实施形态]

下面，对第3实施形态进行说明。图3是涉及第3实施形态的光学检测装置3的构成图。涉及本实施形态的光学检测装置3由光源43，扩散板53，萤光棒63以及光检测器73构成。本实施形态的被检测物13是金属油桶或罐等容器，或者容器的壁面的涂膜或蒸敷膜等。

光源43呈包围被检测物13地设置并可以对被检测物13的外壁整体照射照射光。从光源43出射的照射光是可以激发萤光棒63中所包含的萤光物质发光的波长的光。在本实施形态中，作为光源43使用的是面状地排列的多个半导体发光元件43a，当然，此外也可以是线状地排列多个半导体发光元件43a，使用荧光灯等也可以。扩散板53设置在被检测物13和光源43之间。扩散板53扩散光源43出射的照射光，并从各个方向将其扩散的照射光照射到被检测物13的外壁整体上。

萤光棒63从被检测物13的开口部插入到内部。萤光棒63是如含有萤光物质的丙稀基或乙烯等的树脂棒，当被检测物13带有孔部时，入射通过了其孔部的照射光，并伴随其照射光的入射而激发萤光物质产生萤光。

在萤光出射到光检测器73的萤光棒63的检测面以外的面上，最好设置使萤光反射的反射构件。由于这样做可以使照射光入射到萤光棒63而产生的萤光被反射构件反射从而减少泄漏到萤光棒63的外部的比例，可使之高效率地被光检测器73检测出来，提高孔部的检测效率。

光检测器73作为检测从萤光棒63的检测面63B出射的萤光的构件，例如，可以使用光电倍增管或半导体感光元件。如图示的那样，因为萤光棒63的检测面63B以及光检测器73设置在被检测物13的开口部附近或者其外部，所以，可以在被检测物13的开口部设置衬垫93，以不使外部光入射到被检测物13的内部。

本实施形态所涉及的光学检测装置3如以下这样作用。从光源43出射的照射光被扩散板53扩散，并从各个方向照射到被检测物13的外壁整体上。如果被检测物13带有孔部(贯通孔)，则照射光通过其孔部入射到萤光棒63的入射面上。在萤光棒63上，伴随着照射光的入射激发萤光物质产生萤光。进而，其萤光从萤光棒63的检测面出射，入射到光检测器73的感光面上，并被光检测器73检测出来。即可以根据光检测器73有没有检测到萤光来检测被检测物13有无孔部。

这样，在本实施形态所涉及的光学检测装置3中，因为也不是直接地检测通过被检测物13的孔部的照射光，而是检测其照射光入射到萤光棒63而产生的萤光，故可以检测的孔部不仅仅限于存在于连结发光元件43a和光检测器73的直线上的孔部，而是可以遍及较宽范围地进行孔部的检测。此外，在本实施形态中，由于使用的是发光点面状地存在的光源43，故可以一次即可遍及宽范围地确认有无孔部，而且与扫描从一点出射的激光的装置不同，可以解决照射光只能倾斜入射之类的问题，即使是小孔径的孔部也能够容易地检测出来。

本实施形态所涉及的光学检测装置3也不需要大的光学系统，设计以及光学调整容易，作为装置整体可以做到小型且便宜。此外，通过使用扩散板53，即使是孔部的直径较被检测物13的膜厚小且其孔部倾斜的情况，也可以容易地检测出有无孔部。

[第4实施形态]

下面，对第4实施形态进行说明。图4是涉及第4实施形态的光学检测装置4的构成图。涉及本实施形态的光学检测装置4由光源44、萤光板64以及光检测器74构成。与第3实施形态的情况一样，本实施形态的被检测物14是金属油桶或罐等容器，或者容器的壁面的涂膜或蒸敷膜等。

光源44设置在被检测物14的内部并可以对被检测物14的内壁整体照射照射光。从光源44出射的照射光是可以激发萤光板64中所包含的萤光物质的波长的光。此外，在本实施形态中，作为光源44使用的是发光点线状地存在的荧光灯，当然，此外也可以是线状或面状地排列多个半导体发光元件而成的发光物。这里，所谓的“发光点线状地存在”意味着发光点是直线状地延长，并非否定使荧光灯等发出的光呈放射状。如图所示的那样，因为光源44从被检测物14的开口部插入，故可以在被检测物14的开口部设置衬垫94，以不使外部光进入到被检测物14的内部。也可以作为被检测物14的内部，在光源44的周围设置扩散板。

萤光板64呈被被检测物14的周围包围地配置。萤光板6是如含有萤光物质的丙稀基或乙烯等的树脂棒，当被检测物14带有孔部(贯通孔)时，使通过了其孔部的照射光入射，伴随其照射光的入射而激发萤光物质产生萤光。

本实施形态也与第1实施形态的情况一样，在通过被检测物14的孔部的照射光入射的萤光板64的入射面以外的面即外壁面上，最好设置不使照射光透过的遮光构件，此外，在萤光出射到光检测器74的萤光板64的检测面以外的面上，最好还设置使萤光反射的反射构件。

光检测器74作为检测从萤光板64的检测面64B出射的萤光的构件，例如，可以使用光电倍增管或半导体感光元件。

本实施形态所涉及的光学检测装置4如以下这样作用。从光源44出射的照射光照射到被检测物14的内壁整体上。如果被检测物14带有孔部，则照射光通过其孔部入射到萤光板64的入射面64A上。在萤光板64上，伴随着照射光的入射激发萤光物质产生萤光。进而，其萤光从萤光板64的检测面64B出射，入射到光检测器74的感光面上，并被光检测器74检测出来。即可以根据光检测器74有没有检测到萤光来检测被检测物14有无孔部。

这样，在本实施形态所涉及的光学检测装置4中，因为也不是直接地检测通过被检测物13的孔部的照射光，而是检测其照射光入射到萤光板64而产生的萤光，故可以检测的孔部不仅仅限于存在于连结光源44和光检测器74的直线上的孔部，而是可以遍及较宽范围地进行孔部的检测。此外，在本实施形态中，由于使用的是发光点线状地存在的光源44，故可以一下子即可遍及宽范围地确认有无孔部，而且与扫描从一点出射的激光的装置不同，可以解决照射光只能倾斜入射之类的问题，即使是小孔径的孔部也能够容易地检测出来。

本实施形态所涉及的光学检测装置4也不需要大的光学系统，设计以及光学调整容易，作为装置整体可以做到小型且便宜。此外，通过使用扩散板，即使是孔部的直径较被检测物14的膜厚小且其孔部倾斜的情况，也可以容易地检测出有无孔部。

产业上的可利用性

如以上所说明的，利用本发明所涉及的光学检测装置，因为不是直接地检测通过被检测物的孔部的照射光，而是检测其照射光入射到萤光板而产生的萤光，故可以检测的孔部不仅仅限于存在于连结光源和光检测器的直线上的孔部，而是可以遍及较宽范围地进行孔部的检测。此外，由于使用的是发光点线状地存在的光源，故可以一下子即可遍及宽范围地确认有无孔部，而且与扫描从一点出射的激光的装置不同，可以解决照射光只能倾斜入射之类的问题，即使是小孔径的孔部也能够容易地检测出来。

Claims

1.一种光学检测装置，它检测被检测物上的孔部，其特征在于：具有

从线状或者面状地存在的发光点出射照射光从而照射被检测物的光源；

配置在上述光源的相反侧以便夹住被检测物，并具有入射从上述光源出射的照射光中通过被检测物的孔部的照射光的入射面以及出射伴随照射光的入射而产生的萤光的检测面的萤光构件；

检测从上述萤光构件的检测面出射的萤光的光检测器。

2.根据权利要求1所记述的光学检测装置，其特征在于：具有在支撑上述被检测物的同时带有可以使从上述光源出射的照射光通过的开口部的支撑部，且

上述萤光构件的上述入射面比上述开口部宽大。

3.根据权利要求1所记述的光学检测装置，其特征在于：上述光源是呈线状或者面状地配置其发光元件。

4.根据权利要求1所记述的光学检测装置，其特征在于：进一步具有扩散上述光源出射的照射光并使之照射在上述被检测物上的扩散板。

5.根据权利要求1所记述的光学检测装置，其特征在于：在上述萤光构件的上述入射面以外的面上设置有不使上述照射光透过的遮光构件。

6.根据权利要求1所记述的光学检测装置，其特征在于：在上述萤光构件的上述检测面以外的面上设置有使上述萤光反射的反射构件。