JPH0862149A - 細孔検査装置 - Google Patents
細孔検査装置Info
- Publication number
- JPH0862149A JPH0862149A JP21962894A JP21962894A JPH0862149A JP H0862149 A JPH0862149 A JP H0862149A JP 21962894 A JP21962894 A JP 21962894A JP 21962894 A JP21962894 A JP 21962894A JP H0862149 A JPH0862149 A JP H0862149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- fluorescence
- pore
- pores
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】装置を簡単に構成することができ、また検査を
正確且つ短時間に行なうことができる細孔検査装置を提
供することを目的とする。 【構造】暗箱の一部に覗き窓２を有して検査装置本体１
を有して構成し、また同検査装置本体１の内部に蛍光検
査部３を配置する。また蛍光検査部３の一方向に位置
し、且つ背部に紫外線光源５を有して細孔基準板４を配
置し、他方向に位置して背部に赤外線光源７を有する検
査品支持部６を有して構成する。そして蛍光検査部３に
紫外線と赤外線が投射され、良品の場合は蛍光検査部が
光らず、不良品の場合は蛍光検査部に赤色表示されるよ
うに構成してある。
正確且つ短時間に行なうことができる細孔検査装置を提
供することを目的とする。 【構造】暗箱の一部に覗き窓２を有して検査装置本体１
を有して構成し、また同検査装置本体１の内部に蛍光検
査部３を配置する。また蛍光検査部３の一方向に位置
し、且つ背部に紫外線光源５を有して細孔基準板４を配
置し、他方向に位置して背部に赤外線光源７を有する検
査品支持部６を有して構成する。そして蛍光検査部３に
紫外線と赤外線が投射され、良品の場合は蛍光検査部が
光らず、不良品の場合は蛍光検査部に赤色表示されるよ
うに構成してある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は細孔検査装置の改良に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に電子部品を装着するプリント配線
基板に所定の細孔、いわゆるスルーホールが構成されて
いるか否か検査することが実施されている。従来、簡易
な検査方法は、所定の細孔を構成してなる細孔基準板
と、検査する検査品とを重ね合わせて、検査者が目視す
る方法である。また他の検査方法としては、高速度走査
カメラを用いてコンピューターで映像処理する方法があ
る。
基板に所定の細孔、いわゆるスルーホールが構成されて
いるか否か検査することが実施されている。従来、簡易
な検査方法は、所定の細孔を構成してなる細孔基準板
と、検査する検査品とを重ね合わせて、検査者が目視す
る方法である。また他の検査方法としては、高速度走査
カメラを用いてコンピューターで映像処理する方法があ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記したプリ
ント配線基板の細孔は数百ミクロンから数ミリメートル
の微小の細孔のため検査者が目視する方法によると、検
査が難しく、また１枚のプリント配線板を検査するのに
数分から数十分を要する欠点がある。また細孔は１枚の
プリント配線基板内に数百から数千個もあり、それぞれ
数ミリメートル間隔と近接しており肉眼では不良品に見
落としが生じる欠点がある。また高速度走査カメラとコ
ンピューターを用いる映像処理では装置が大掛かりにな
り、装置の価格も高価になる欠点がある。
ント配線基板の細孔は数百ミクロンから数ミリメートル
の微小の細孔のため検査者が目視する方法によると、検
査が難しく、また１枚のプリント配線板を検査するのに
数分から数十分を要する欠点がある。また細孔は１枚の
プリント配線基板内に数百から数千個もあり、それぞれ
数ミリメートル間隔と近接しており肉眼では不良品に見
落としが生じる欠点がある。また高速度走査カメラとコ
ンピューターを用いる映像処理では装置が大掛かりにな
り、装置の価格も高価になる欠点がある。
【０００４】本発明は上記の点に鑑み発明したものであ
って、装置を簡単に構成することができ、また検査を正
確且つ短時間に行なうことができる細孔検査装置を提供
することを目的とする。
って、装置を簡単に構成することができ、また検査を正
確且つ短時間に行なうことができる細孔検査装置を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために次の構成とする。つまり、請求項１の発明
は、暗箱の一部に覗き窓を有して検査装置本体を構成
し、また同検査装置本体の内部に蛍光検査部を配置す
る。また蛍光検査部の一方向に位置し、且つ背部に紫外
線光源を有して細孔基準板を配置し、蛍光検査部の他方
向に位置して背部に赤外線光源を有する検査品支持部を
構成する。さらに細孔基準板の細孔を通過した紫外線
と、検査品の細孔を通過した赤外線が蛍光検査部の対応
する位置に投射されるように構成してある。そして細孔
基準板の細孔を通過した紫外線が、蛍光検査部に投射さ
れることにより、蛍光検査部の蛍光体が励起され、さら
に蛍光体に赤外線が照射されることにより、蛍光が消去
されるように構成してある。
するために次の構成とする。つまり、請求項１の発明
は、暗箱の一部に覗き窓を有して検査装置本体を構成
し、また同検査装置本体の内部に蛍光検査部を配置す
る。また蛍光検査部の一方向に位置し、且つ背部に紫外
線光源を有して細孔基準板を配置し、蛍光検査部の他方
向に位置して背部に赤外線光源を有する検査品支持部を
構成する。さらに細孔基準板の細孔を通過した紫外線
と、検査品の細孔を通過した赤外線が蛍光検査部の対応
する位置に投射されるように構成してある。そして細孔
基準板の細孔を通過した紫外線が、蛍光検査部に投射さ
れることにより、蛍光検査部の蛍光体が励起され、さら
に蛍光体に赤外線が照射されることにより、蛍光が消去
されるように構成してある。
【０００６】
【作用】請求項１記載の細孔検査装置によると、細孔基
準板を通過した紫外線と、対応する検査品を通過した赤
外線が蛍光検査部に投射されると、いわゆるクエンチン
グ現象が起きて、蛍光は消去されて、蛍光検査部は真っ
暗になる。また検査品の細孔が塞がっているか小さい
と、蛍光検査部に赤外線が照射されず、クエンチング現
象が起こらないので、蛍光検査部において、細孔が塞が
っているか小さい対応箇所が光って視認され、不良品で
あることが正確且つ簡単に確認される。
準板を通過した紫外線と、対応する検査品を通過した赤
外線が蛍光検査部に投射されると、いわゆるクエンチン
グ現象が起きて、蛍光は消去されて、蛍光検査部は真っ
暗になる。また検査品の細孔が塞がっているか小さい
と、蛍光検査部に赤外線が照射されず、クエンチング現
象が起こらないので、蛍光検査部において、細孔が塞が
っているか小さい対応箇所が光って視認され、不良品で
あることが正確且つ簡単に確認される。
【０００７】
【実施例】以下本発明の実施例を図１について説明す
る。図において、１は箱形に構成してなる検査装置本体
であって、内部を黒色系にして、暗部を構成してある。
２は検査装置本体１の側壁面に構成してなる覗き窓であ
って、検査者が内部を視認し易い箇所に構成する。３は
検査装置本体１の内部に構成してなる蛍光検査部であっ
て、平板の上面に蛍光体を塗布するか、蛍光体を含有す
る平板で構成してある。蛍光体は６００ｎｍ付近の赤色
の蛍光を有する蛍光塗料が用いられている。
る。図において、１は箱形に構成してなる検査装置本体
であって、内部を黒色系にして、暗部を構成してある。
２は検査装置本体１の側壁面に構成してなる覗き窓であ
って、検査者が内部を視認し易い箇所に構成する。３は
検査装置本体１の内部に構成してなる蛍光検査部であっ
て、平板の上面に蛍光体を塗布するか、蛍光体を含有す
る平板で構成してある。蛍光体は６００ｎｍ付近の赤色
の蛍光を有する蛍光塗料が用いられている。
【０００８】４は検査装置本体１の内部で、蛍光検査部
の一方向に位置して配置してなる細孔基準板であって、
所望の箇所に細孔を有して構成してある。５は細孔基準
板４の背部に設けてなる紫外線光源であつて、例えば可
視光を反射し、紫外線を透過するいわゆる２０ワット程
度のブラックライトあるいは可視光を反射し、紫外線を
透過する前面ガラスを有した紫外線レーザー光源、高圧
水銀ランプのいずれかを用いて構成してある。また細孔
基準板４の各細孔を通過した紫外線は蛍光検査部３上に
投射されるように構成してある。蛍光検査部３に紫外線
が投射されると蛍光体が励起される。励起された蛍光体
は１０ｃｄ／ｍ2以上の輝度を有するように構成してあ
る。
の一方向に位置して配置してなる細孔基準板であって、
所望の箇所に細孔を有して構成してある。５は細孔基準
板４の背部に設けてなる紫外線光源であつて、例えば可
視光を反射し、紫外線を透過するいわゆる２０ワット程
度のブラックライトあるいは可視光を反射し、紫外線を
透過する前面ガラスを有した紫外線レーザー光源、高圧
水銀ランプのいずれかを用いて構成してある。また細孔
基準板４の各細孔を通過した紫外線は蛍光検査部３上に
投射されるように構成してある。蛍光検査部３に紫外線
が投射されると蛍光体が励起される。励起された蛍光体
は１０ｃｄ／ｍ2以上の輝度を有するように構成してあ
る。
【０００９】６は検査装置本体１の内部で、蛍光検査部
の他方向に位置して配置してなる検査品支持部であつ
て、検査するプリント配線基板を着脱し得るように構成
しある。７は検査品支持部６の背部に設けてなる赤外線
光源であつて、例えば２０ワット程度の赤外線電球、６
０ワットの程度の白熱電球、２０ワット程度のハロゲン
電球の中のいずれかを用いて構成してある。赤外線は５
００ｎｍ以上の可視光を含む範囲で利用される。また検
査品の細孔を通過した赤外線は蛍光検査部３上で、且つ
紫外線が投射される箇所と対応する位置に投射されるよ
うに構成してある。
の他方向に位置して配置してなる検査品支持部であつ
て、検査するプリント配線基板を着脱し得るように構成
しある。７は検査品支持部６の背部に設けてなる赤外線
光源であつて、例えば２０ワット程度の赤外線電球、６
０ワットの程度の白熱電球、２０ワット程度のハロゲン
電球の中のいずれかを用いて構成してある。赤外線は５
００ｎｍ以上の可視光を含む範囲で利用される。また検
査品の細孔を通過した赤外線は蛍光検査部３上で、且つ
紫外線が投射される箇所と対応する位置に投射されるよ
うに構成してある。
【００１０】蛍光検査部で励起された蛍光体に赤外線が
照射されると、クエンチング現象が起きて蛍光が消去さ
れ、同部は真っ暗になり何の表示もされず、検査品は良
品であることが確認できる。また検査品の細孔が塞がっ
ていると、蛍光検査部に赤外線光源からの赤外線が照射
されず、クエンチング現象が起こらず蛍光検査部におい
て塞がっている箇所が赤色に光って視認され、不良品で
あることが確認される。また細孔が小さいとクエンチン
グ現象が不十分となる。
照射されると、クエンチング現象が起きて蛍光が消去さ
れ、同部は真っ暗になり何の表示もされず、検査品は良
品であることが確認できる。また検査品の細孔が塞がっ
ていると、蛍光検査部に赤外線光源からの赤外線が照射
されず、クエンチング現象が起こらず蛍光検査部におい
て塞がっている箇所が赤色に光って視認され、不良品で
あることが確認される。また細孔が小さいとクエンチン
グ現象が不十分となる。
【００１１】なお紫外線と赤外線を得るのに、例えばレ
ーザー光あるいは超高圧放電灯を用い、また平行光を得
るのに大きな光学レンズ偏光板を用いて、長い距離から
蛍光検査部で、検査品を正確に検査し得るように構成す
ることができる。
ーザー光あるいは超高圧放電灯を用い、また平行光を得
るのに大きな光学レンズ偏光板を用いて、長い距離から
蛍光検査部で、検査品を正確に検査し得るように構成す
ることができる。
【００１２】
【発明の効果】上記した請求項１に記載の細孔検査装置
によると、細孔基準板を通過した紫外線と、対応する検
査品を通過した赤外線が蛍光検査部に投射されると、ク
エンチング現象が起きて、蛍光は消去されて、細孔検査
装置は真っ暗になり、また検査品のいずれかの細孔が塞
がっているかあるいは小さいと、蛍光検査部に赤外線が
照射されず、クエンチング現象が起こらないか不十分と
なるので、蛍光検査部は光って視認されるので、検査を
正確且つ短時間に行なうことができ、また装置を簡単に
構成することができる特有な効果を有する。
によると、細孔基準板を通過した紫外線と、対応する検
査品を通過した赤外線が蛍光検査部に投射されると、ク
エンチング現象が起きて、蛍光は消去されて、細孔検査
装置は真っ暗になり、また検査品のいずれかの細孔が塞
がっているかあるいは小さいと、蛍光検査部に赤外線が
照射されず、クエンチング現象が起こらないか不十分と
なるので、蛍光検査部は光って視認されるので、検査を
正確且つ短時間に行なうことができ、また装置を簡単に
構成することができる特有な効果を有する。
【図１】本発明の細孔検査装置正面図。
１ 検査装置本体 ２ 覗き窓 ３ 蛍光検査部 ４ 細孔基準板 ５ 紫外線光源 ６ 検査品支持部 ７ 赤外線光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池下 兼光 埼玉県北足立郡吹上町北新宿1279番地２ コスモ技研株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】暗箱の一部に覗き窓を有して検査装置本体
を構成し、また同検査装置本体の内部に蛍光検査部を配
置し、また蛍光検査部の一方向に位置し、且つ背部に紫
外線光源を有して細孔基準板を配置し、さらに蛍光検査
部の他方向に位置して背部に赤外線光源を有する検査品
支持部を構成し、細孔基準板の細孔を通過した紫外線
と、検査品の細孔を通過した赤外線が蛍光検査部の対応
する位置に投射されるように構成し、細孔基準板の細孔
を通過した紫外線が、蛍光検査部に投射されることによ
り、蛍光検査部の蛍光体が励起され、さらに蛍光体に赤
外線が照射されることにより、蛍光が消去されるように
構成したことを特徴とする細孔検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21962894A JPH0862149A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | 細孔検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21962894A JPH0862149A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | 細孔検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862149A true JPH0862149A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16738515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21962894A Pending JPH0862149A (ja) | 1994-08-23 | 1994-08-23 | 細孔検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862149A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100356165C (zh) * | 1999-11-11 | 2007-12-19 | 浜松光子学株式会社 | 检测被检测物的孔的光学检测装置 |
-
1994
- 1994-08-23 JP JP21962894A patent/JPH0862149A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100356165C (zh) * | 1999-11-11 | 2007-12-19 | 浜松光子学株式会社 | 检测被检测物的孔的光学检测装置 |
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