JPH0210444Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、基体に形成された透光性薄膜パター
ン、例えば液晶表示板に形成された透明導電膜の
パターン等を検査する装置に関するものである。

最近、電子機器の表示手段として、液晶表示
板，プラズマデイスプレイ，エレクトロルミネツ
センス等の平面的なデイスプレイ装置が多く用い
られており、この種の装置では、電極として所定
のパターンの透明導電膜（ネサ膜）が用いられて
いる。例えば液晶表示板は所定のパターンの透明
導電膜を形成したガラス基体の間に液晶を挾む構
造を有しており、透明導電膜としては、SnO₂，
In₂O₃またはIn₂O₃とSnO₂との混合物等の金属酸
化物の薄膜（ネサ膜）が用いられている。このよ
うな表示装置に所定の表示を正しく行なわせるた
めには、透明導電膜のパターンが正しく形成され
ている必要があるが、このパターンは透明である
ため目視検査が困難である。特に最近の液晶表示
板では、導電膜を薄くしてその透明度を高くする
傾向にあるため、検査を行なうことは殆んど不可
能になつている。そのため従来は表示板を機器に
組込んだ後に電圧を印加して検査しており、導電
膜パターンに欠陥が見出された場合には機器全体
を不良品とするか、または表示板の取付をやり直
す必要があつた。

本考案の目的は、ネサ膜等の透光性薄膜パター
ンを容易に検査し得るようにした透光性薄膜パタ
ーン検査装置を提供することにある。

一般にネサ膜等の薄膜は波長が短い光を吸収し
易く反射し易い特性をもつているため、近紫外領
域乃至は近紫外領域に近い可視領域の波長を有す
る光を透光性薄膜のパターンに照射すると、薄膜
パターンを明暗のコントラストが大きい像として
とらえることができる。しかしこのように波長が
短い光に対しては、人間の視感度が低いため、そ
のままでは目視することが困難である。そこで本
考案においては、上記のような波長が短い光が照
射された被検査対象物を、波長が短い光に対して
十分な感度を有するテレビジヨンカメラで撮像し
て薄膜パターンの情報を十分大きなコントラスト
で含む映像信号を得る。このような信号を得れ
ば、該信号をテレビジヨン受像機またはパターン
認識装置等に供給することにより、従来全く困難
であつた透光性薄膜のパターンの検査が可能にな
る。

以下図面を参照して本考案の実施例を詳細に説
明する。

第１図は本考案の一実施例を示したもので、同
図において１は上部に開口部１ａを有する箱形の
ハウジングであり、開口部１ａを閉じるように、
近紫外領域の比較的可視領域に近い特定の波長、
例えば390mmより短い波長の光を遮断する特性を
もつフイルタ２が配置されている。このようなフ
イルタとしては例えばUVフイルタとして知られ
ているものが好適である。ハウジング１内には光
源３が配置され、この光源３は図示しない点灯器
を介して電源に接続されている、この光源３とし
ては、透光性薄膜で吸収され易い短い波長を有す
る光を放射するものが用いられる。薄膜で吸収さ
れ易いということのみを考慮すれば、紫外線を用
いればよいということになるが、紫外線も余り波
長が短くなると被検査対象物に有害なことが多
く、またテレビジヨンカメラのレンズで殆んど吸
収されてしまうので、実用的でない。そこで本考
案においては、近紫外領域乃至は近紫外領域にで
きるだけ近い可視領域の波長を有する光を利用す
る。このような領域の光を放射する光源としては
主として360mm〜400mmの範囲の波長の光を放射す
るブラツクライトを使用するのが好適である。フ
イルタ２の上には、透光性を有する基体に透光性
を有する金属薄膜が形成されている被検査対象物
４が載置され、光源３から放射された光がフイル
タ２を通して被検査対象物４に照射されている。
ハウジング１の上方には、被検査対象物４を撮像
するテレビジヨンカメラ５が配置され、このテレ
ビジヨンカメラの出力はテレビジヨン受像機６に
供給されている。テレビジヨンカメラ５として
は、近紫外領域乃至は近紫外領域に近い可視領域
の波長の光に対する感度ができるだけ高い撮像管
を用いたものが使用される。本考案に用いるのに
好適な撮像管としては例えば、サチコン，ビジコ
ン，ニユービコン（いずれも商品名）等がある。
これらのうち、特に、セレン系カルコゲンガラス
（Se−As−Te）を光導電面に用いたサチコンや、
ビジコンは300mm程度の近紫外領域においても十
分大きな感度を有しているので、本考案で用いる
のに好適である。

上記実施例のように、近紫外領域乃至は近紫外
領域に近い可視領域の波長の光が照射された被検
査対象物４をテレビジヨンカメラで撮像すると、
光源３から照射された光が透光性金属薄膜の部分
で吸収され易いため、透光性金属薄膜の部分が暗
部となつた像が得られ、自然光または通常の照明
光の下では見え難いか或いは全く見ることができ
なかつた透光性金属薄膜のパターンを明瞭に見る
ことができるようになる。例えば、０〜９の数字
を表示するセブンストロークの液晶表示板のパタ
ーンを検査する場合、第１図の受像機６に示した
ような像が得られる。したがつて液晶表示板に電
圧を印加しなくても、そのパターンの良否を容易
に検査することができ、表示板を機器に組み込む
前にその良否を判別することができる。

第１図の例では、フイルタ２を被検査対象物４
と光源３との間に配置したが、テレビジヨンカメ
ラ５のレンズの前方または後方にフイルタ２′を
配置するようにしてもよい。本実施例のように近
紫外領域の390mm付近に遮断波長をもつフイルタ
を用いて近紫外領域の波長の光の大部分を遮断す
るようにすると、被検査対象物に多量の紫外線が
照射されるのを防止できる。従つて液晶のように
紫外線により劣化され易い物の検査を行なう場合
には上記のようにフイルタを用いるのが好まし
い。被検査対象物が紫外線により劣化される虞れ
がない場合には、上記のフイルタは省略すること
ができる。

第２図は本考案の他の実施例を示したもので、
この実施例では被検査対象物４が検査台７の上に
載置され、この被検査対象物４にブラツクライト
を内蔵した光源８からレンズにより集光された光
が照射されている。そしてテレビジヨン受像機５
は、被検査対象物４で反射された光を受光するよ
うに配置されている。このようにしても全く同様
な透光性薄膜のパターンを目視し得る像に変換す
ることができる。また第２図のように反射光を利
用するようにした場合には被検査対象物の基体が
不透明な場合にも適用できる。

尚テレビジヨンカメラ５から得られる映像信号
は必らずしも受像機に供給する必要はなく、テレ
ビジヨンカメラ５から得られる映像信号を電気的
に処理してパターン認識を行なわせることによ
り、検査の自動化を図ることもできる。この場
合、パターン認識の方法としては、基準画像と被
検査画像とを比較する方法等任意の方法を採るこ
とができる。また映像信号を白レベルと黒レベル
に２値化して白の部分または黒の部分の信号の平
均値を基準値と比較する方法等を採ることもでき
る。

尚第２図の実施例においてブラツクライト等の
光源からの光をレンズにより集光することなく直
接被検査対象物に照射してもよいのは勿論であ
る。

以上のように、本考案によれば、目視すること
が困難な透光性薄膜のパターンを近紫外領域乃至
は近紫外領域に近い可視領域の光を放射する光源
とテレビジヨンカメラとを利用して明暗のコント
ラストが明確な映像信号に変換し得るようにした
ので、透光性薄膜パターンの検査を容易且つ確実
に行なうことができる利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はそれぞれ本考案の異なる実
施例を示す概略構成図である。 ３……光源、４……被検査対象物、５……テレ
ビジヨンカメラ、８……紫外線照射器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基体に形成された透光性薄膜のパターンを検
   査する装置において、前記パターンに近紫外領
   域乃至は近紫外領域に近い可視領域の波長を有
   する光を照射する光源と、近紫外領域乃至は近
   紫外領域に近い可視領域の波長の光に対して感
   度を有し前記光が照射されたパターンを撮像す
   るテレビジヨンカメラとを具備したことを特徴
   とする透光性薄膜パターン検査装置。 (2) 前記テレビジヨンカメラは前記基体を透過し
   た光を受光するように配置されている実用新案
   登録請求の範囲第１項に記載の透光性薄膜パタ
   ーン検査装置。 (3) 前記テレビジヨンカメラは前記基体で反射し
   た光を受光するように配置されている実用新案
   登録請求の範囲第１項に記載の透光性薄膜パタ
   ーン検査装置。