CN1374476A

CN1374476A - 双套管

Info

Publication number: CN1374476A
Application number: CN 01111219
Authority: CN
Inventors: 陈俊铭; 黄圣祐; 陈仕燃
Original assignee: Silicon Integrated Systems Corp
Current assignee: Silicon Integrated Systems Corp
Priority date: 2001-03-09
Filing date: 2001-03-09
Publication date: 2002-10-16

Abstract

一种双套管,包括一内管、一外管、一第一接合端、一第二接合端以及一气体外泄检测装置。气体外泄检测装置包括一压力指示计,一泵导管以及一个或数个阀门。当双套管於现场装设完成后,借助涡轮分子高真空泵与干式泵的抽气效率,使双套管的内管与外管间获得最佳的真空度。随后一种或多种气体通过第一接合端导入双套管,借助第二接合端与反应室的管路接合,并通过内管输送至反应室:可通过压力指示计的读数可得知内管是否发生气体外泄。

Description

双套管

本发明涉及一种双套管(double tube)，特别是关于一种用于气体输送并可即时监控气体外泄的双套管。

单套管(single tube)是一种用于输送气体或液体的管路，它已广泛应用于与流体输送有关的设备环境中。一般的单套管设计仅着重于流体的输送，而没有针对流体的外泄(特别是气体)情况作进一步的防护设计，因此在发生外泄事件时，特别是有毒物质外泄时，往往会造成人员的伤亡以及产品的损失。

鉴于单套管缺乏防止流体外泄的妥善防护设计，一种双套管(double tube)的管路设计被提出。请参阅图1，它为现有的双套管的侧视图。双套管10的结构是在现有的单套管12外加装一外管14，使其环绕包覆在内管(单套管)的外围，以进一步防止流体(特别是气体)发生外泄情况。

尽管在防止流体外泄的效果上，双套管的设计结构较优于单套管；但从根本上说，双套管的结构仅仅只是单套管结构的延伸，换言之，双套管无法真正有效控制流体外泄的情况，且当内管发生外泄时，外界无法得知此情况因而无法作出适当的处置，如人员疏散、即时换装管路等。另外，由于无法进行双套管的内外管路间的真空度的即时监测，使得污染物可能进入内管(单套管)中。因此，在对管路的防护质量有严格要求的环境下，如半导体制造厂区、核能发电厂区或化学工厂，现有的单套管与双套管的设计结构，皆不足以达到所述环境的要求。

另一方面，就实际应用层面而言，现有的双套管设计必须先行订定所需的产品规格，以符合现场环境的需要，而无法于设备装置现场制作。例如：若一工厂设备环境需要一L形的双套管，则必须测量精确的尺寸，以作为向特定双套管制造商订制所需规格的双套管的依据。所述的向特定双套管制造商所订制而来的管路设计，往往不符合实际需要，从而增加现场施工的困难度，且其价格成本昂贵。

为了有效克服现有的单套管与双套管的缺点，本发明的目的是提供一种改进的双套管，它可进行气体外泄检测，增加输送管路设备的可靠度，以避免在气体(或液体)的输送过程中，因气体(或液体)外泄事件而造成人员与产品的危害。

本发明的双套管，其特点是，它至少包括：一内管，用以输送至少一种气体；一外管，用以环绕包覆于所述内管的外围，且所述内管与所述外管的两端分别密合于第一端与第二端；一泵导管，与所述外管接合，并配合一泵，用以将所述内管与所述外管间的气体抽离；以及一阀门，用以控制所述泵导管的开启/闭合。

本发明的进一步特点是：

它还包括：一第一接合端，用以接合所述第一端，且所述第一接合端另与一气体输送入口端接合；以及一第二接合端，用以接合所述第二端，且所述第二接合端另与一气体输送出口端接合；

所述的泵导管还与一压力指示计配合，以检测所述内管与所述外管间的气体压力。

采用本发明的改进的双套管可克服现有的双套管的缺点：施工不易且无法于设备装置现场制作以及缺乏即时检测机构等，它可应用于所有需要使用具有腐蚀、毒性以及可/易燃气体的设备与环境；借助基本的真空元件的结合，可降低管路设备的成本，并可获得生产设备最全的安全性。借助一气体外泄即时检测机构，可增强输送管路设备的可靠度，以避免气体(或液体〕在输送过程中，因外泄事件而造成人员与产品的危害。

为更清楚理解本发明的目的、特点和优点，下面将结合附图对本发明进行详细说明。

图1为现有的双套管的侧视图；

图2为本发明的改进的双套管的侧剖视图；

图3为本发明的双套管配合一气体供应槽与一反应室的配置图。

本发明的双套管，它包括一内管、一外管、一第一接合端、一第二接合端以及一气体外泄检测装置。所述气体外泄检测装置包括一压力指示计，一泵导管以及一个或数个阀门。本发明的双套管的运作原理将通过一较佳实施例说明如下，但其应用的领域并不以较佳实施例所描述的为限。

请参阅图2，图中示出本发明的改进的双套管的侧剖视结构图。如图所示，内管200为一单套管，一种或数种气体即通过内管200输送。外管202为一口径较大的管路，且它环绕包覆在内管200的外围。此外，内管200与外管202分别密合于第一端204与第二端206，此第一端与第二端分别代表内管200与外管202的管路外端，而使内管与外管之间形成一封闭空间214。当内管发生破裂时，管内的气体将会泄出，此时外管即可发挥防护的作用，以避免外泄气体进一步的扩散。第一端204与第二端206分别与第一接合端208和第二接合端210接合。第一接合端208进一步与一气体输送入口端接合；第二接合端210则连接于一气体输送出口端。

另一方面，在外管202上具有一开口，以连接泵导管212。泵导管212的另一端系连接至一独立的泵或数个串联的泵(未表示出)。泵与泵导管的作用是提供抽气机构，以便将内外管间的封闭空间214的气体抽离。泵导管212另与一压力指示计216配合，以提供量测封闭空间214内的压力值的机构。由于压力指示计216的配置，输送管路维护人员可借助压力指示计监测双套管的内外管之间的压力，以便得知内管当中的气体是否发生外泄。

在一实施例中，第一接合端208是与气体供应槽的输送管路接合，而第二接合端210则连接至一反应室(process chamber)。请参阅图3，它是本发明的改进的双套管配合一气体供应槽与一反应室的配置图。双套管300是由内管302、外管304以及泵导管306与压力指示计308所构成。涡轮分子高真空泵310以及泵导管306构成一抽气机构，并通过压力指示计308监测双套管的内外管之间的压力值。双套管300的第一接合端312与数个气体供应管路316的总阀门318连接，以接收由气体供应槽(未表示出)所输送出的气体。双套管300的第二接合端314与反应室320连接，以将内管302中的气体输送至反应室320中。

当双套管于现场装设完成后，随即打开手动阀322，并借助涡轮分子高真空泵310与干式泵324进行抽气，以获得最佳的真空度，真空度可以根据实际需要予以调整，如10^-7至10^-5toor，而后关闭手动阀322以维持双套管的内外管间以及泵导管内的真空度。一般而言，架设有气体输送管路的设备环境中，通常皆有泵抽气设备的配置；因此，现有的真空技术设备即可提供所需的抽气设备。

当双套管300的内管302发生气体外泄时，由于外泄气体会导致内管302与外管304间的气体压力增加的缘故，压力指示计308的读数会随之增加，显示气体外泄的情况；此时，工作人员可通过压力指示计308判读而即时进行适当的处置，以避免因气体外泄所造成的损害。若气体外泄是由于内管302的破裂而必须更换内管，则仅需于新的内管装设完成后，重新以涡轮分子高真空泵310与干式泵324抽气，以使双套管的内外管间再度达到最佳的真空度，而后关闭手动阀322即可立刻回复设备的稳定状态，由此可节省复归时间并达到最大的管路输送效率。压力指示计308用以增加双套管的即时检测功能，并协助输送管路设备人员进行监控。借助涡轮分子高真空泵310与干式泵324所抽取的气体将通过洗涤器做前置处理，而后通过泵导管将处理过后的废气输送至废气处理单元。

在所述的较佳实施例中，虽然双套管300的第一接合端312是与数个气体供应管路316的总开门318连接，以接收由气体供应槽(未表示出)所输送出的气体；而第二接合端314是与反应室320连接，以将内管302中的气体输送至反应室320中，但双套管300的输入端与输出端(即第一接合端与第二接合端)可于任何需要输送套管之处套接。因此，本发明的双套管可应用于广泛的设备环境中，且仅需利用现有的真空抽气设备与简便的套接过程，因此提高了现场施工的可行性。

如上所述，当双套管于现场装设完成后，随即打开阀门，以借助涡轮分子高真空泵与干式泵的抽气效率，使双套管的内外管间达到最佳的真空度，而后关闭阀门。所述程序完成后，一种或多种气体通过第一接合端导入改良式双套管，而后借助第二接合端与反应室的管路接合，并通过内管将至少一种气体输送至反应室；其中，当双套管的内管发生泄漏时，由于外泄气体会导致内管与外管间的气体压力增加的缘故，压力指示计的读数会随之增加，显示气体外泄的情况；此时，工作人员可通过压力指示计判读而即时进行适当的处置，以避免因气体外泄所造成的损害。若气体外泄系由于内管的破裂而必须更换内管，则仅需于管路完成后，重新以涡轮分子高真空泵与干式泵抽气，以使改良式双套管的内外管间再度达到最佳的真空度，而后关开阀门即可立刻回复设备的稳定状态，以节省复归时间并达到最大的管路输送效率。压力指示计系用以增加双套管的即时检测功能，并协助输送管路设备人员便于做定时的监控。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明，凡其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或等效变换，如双套管的两端分别与不同于所述实施例的结构装置接合，均应包括在本发明的专利保护范围内。

Claims

1.一种双套管，其特征在于，它至少包括：

一内管，用以输送至少一种气体；

一外管，用以环绕包覆于所述内管的外围，且所述内管与所述外管的两端分别密合于第一端与第二端；

一泵导管，与所述外管接合，并配合一泵，用以将所述内管与所述外管间的气体抽离；以及

一阀门，用以控制所述泵导管的开启/闭合。

2.如权利要求1所述的双套管，其特征在于，还包括：

一第一接合端，用以接合所述第一端，且所述第一接合端另与一气体输送入口端接合；以及

一第二接合端，用以接合所述第二端，且所述第二接合端另与一气体输送出口端接合。

3.如权利要求1所述的双套管，其特征在于，所述的泵导管还与一压力指示计配合，以检测所述内管与所述外管间的气体压力。

4.如权利要求1所述的双套管，其特征在于，所述的泵为涡轮分子高真空泵。

5.一种用于气体输送的双套管，其特征在于，它至少包括：

一内管，用以输送至少一种气体；

一第一接合端，用以接合所述第一端，且所述第一接合端另与一气体输送入口端接合；

一第二接合端，用以接合所述第二端，且所述第二接合端另与一气体输送出口端接合；

一阀门，用以控制所述泵导管的开启/闭合。

6.如权利要求5所述的双套管，其特征在于，所述的泵导管还与一压力指示计配合，以检测所述内管与所述外管间的气体压力。

7.如权利要求5所述的双套管，其特征在于，所述的泵为涡轮分子高真空泵。

8.一种用于气体输送的双套管，其特征在于，它至少包括：

一内管，用以输送至少一种气体；

一第二接合端，用以接合所述第二端，且所述第二接合端另与一气体输送出口端接合；以及

一气体外泄检测装置，利用一泵导管与所述外管接合，并配合一泵，将所述内管与所述外管间的气体抽离，所述泵导管的开启/闭合由一阀门控制。

9.如权利要求8所述的双套管，其特征在于，所述的泵导管还与一压力指示计配合，以检测所述内管与所述外管间的气体压力。

10.如权利要求8所述的双套管，其特征在于，所述的泵为涡轮分子高真空泵。