CN1362812A - 装置管理方法,装置管理系统及记录装置管理程序的记录媒体 - Google Patents

Abstract

一种用来提高装置的品质及生产性的装置管理方法,装置管理系统及记录装置管理程序的记录媒体。其中服务器1发送事业所,制造部门,工序,装置类别,装置名,机号信息(S34),在终端2的画面上显示非工作状态登录画面,在选择遗留记录的装置的同时请求向服务器1输入关键字(S35),从服务器1接收关键字(S36),选择关键字之后将内容写入之后向服务器1提出登录请求(S37),在服务器1的数据库13中登关键字及内容(S38)。

Description

装置管理方法，装置管理系统及记录装置管理程序的记录媒体

                        技术领域

本发明涉及用来提高装置的品质及生产性的装置管理方法，装置管理系统及记录装置管理程序的记录媒体。

                        技术背景

此前，为了对用于半导体器件制造的半导体制造装置的品质管理及生产性进行管理，是将装置的故障，维护，改造历史，装置的日常检查项目等记录于纸上，需要时适时取出所需要的纸张，对装置进行管理。

由于半导体器件的微细化和高集成化，制造装置也高功能化和复杂化。其结果用于管理制造装置的条件也复杂化，需要装置管理的高度知识。

此外，在装置发生故障等事故的场合，与事故对应的对制造商的依赖性高，增加修理费用及恢复时间，降低装置的生产性。

另外，由于进一步的产品材料利用率管理及品质保障方面发出请求，装置的状态管理正逐渐在受到重视。

然而，鉴于现在的制造现场状况是有多个装置一直在工作，已经超过通过纸及操作员的记忆可以进行管理的范围。另外，即使是以纸面进行记录，由于装置台数的增加等等要找到所需要的信息时间会很长，其结果变成在很大程度上要依赖操作员的记忆。

                        发明内容

本发明就是为解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种用来提高装置的品质性及生产性的装置管理方法，装置管理系统及记录装置管理程序的记录媒体。

根据本发明的一个观点，所提供的装置管理方法的特征在于包括提示输入对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息的步骤，提示输入用来确定上述非工作中的装置的非工作状况的非工作信息的步骤，以及将上述非工作信息与上述类别信息进行关联并存储于存储装置中的步骤。

此处所谓的非工作状况是指装置不工作的状况，包括比如装置故障，装置维护，装置改造等等状况。

所谓的类别信息不仅包括用于识别非工作中的装置与其他装置的事业所，制造部门，报告人，装置类别，装置名，机号等装置识别信息，用于识别非工作状况的硬件/过程起因分类，非工作现象类别，非工作原因部位，非工作原因分类，工序等非工作状况识别信息，用于由时期确定非工作状况的非工作开始时期，非工作结束时期等非工作时间信息，也包括使非工作状况恢复为工作状况的预定时日，恢复费用，保全内容，改善活动等信息。

根据这种构成，用于确定多种原因和现象等非工作状况的信息，由于可以按类别信息分类保存，检索数据很容易。其结果是可以使非工作信息得到反馈，提高装置的工作率及品质。

此非工作信息的检索可通过以下步骤实现：提示输入对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息和非工作中的装置的非工作信息中的至少一个的步骤，从预先将对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息，以及非工作中的装置的非工作信息存储的存储装置中抽出与上述输入的信息有关联的关联信息的步骤，以及显示上述关联信息的步骤。

另外，根据本发明的另一个观点，所提供的装置管理方法的特征在于包括显示包含装置的检查项目的检查项目显示画面，提示将各检查项目的检查状态以数值输入确定的检查状态值的步骤，将输入的上述检查状态值存储于存储装置的步骤，以上述检查状态值为基础进行统计分析的步骤，以及显示上述统计分析的处理结果的步骤。

根据这种构成，可利用检查项目的统计分析结果了解装置的倾向等等，可在其成为非工作状况之前进行维护等等。其结果是装置的工作率及品质得以提高。

另外，涉及到装置或方法的本发明即使是对于将用来利用计算机执行与本发明相当的过程(或用来使计算机发挥与本发明相当的装置的功能，或用来使计算机实现与本发明相当的功能)的程序记录下来的计算机可读记录媒体也是成立的。

                       附图说明

图1为示出本发明第一实施形态的装置管理系统的整体构成的网络构成图。

图2为示出同一实施形态的服务器的整体构成图。

图3为同一实施形态的非工作状况登录方法的顺序图。

图4为示出选择故障历史的场合非工作状况登录画面的示例图。

图5为同一实施形态的非工作状况检索方法的顺序图。

图6为示出选择故障历史场合的非工作状况检索画面的示例图。

图7为分析结果显示画面的示例图。

图8为分析结果显示画面的示例图。

图9为同一实施形态的装置检查数据的登录方法的顺序图。

图10为示出本发明第二实施形态的检查日程表的登录画面的示例图。

图11为同一实施形态的检查日程表的显示画面的示例图。

                      具体实施形态

下面参照附图对本发明的实施形态予以说明。第一实施形态

图1为示出本发明第一实施形态的装置管理系统的整体构成的网络构成图。如图1所示，服务器1和多个终端2连接于网络3上。

图2为示出同一实施形态的服务器的整体构成图。如图2所示，在与网络3之间的构成包括控制数据收发的接口11，与此接口11相连接的执行各种装置管理的处理器12，以及与此处理器12相连接的存储各种数据的数据库13。在数据库13中不仅存储各种装置管理数据，也存储由处理器12执行的处理程序，可由处理器12酌情读出来执行管理处理。

另外，数据库13的结构是关系数据库结构。因此，互相链接的数据是由表结构确定的同时，是规定各表结构之间的关系的结构。另外，各表结构之间的关系是根据先确定的关系规则链接的。所谓预先确定的关系规则，是在下面将要叙述的类别信息层次化的场合将不同层之间的信息链接起来的规则。

其次，沿着图3所示的顺序图，对本实施形态的非工作状况登录方法予以说明。另外，在以下的实施形态中，只要未特别示出，可以认为在服务器1和终端2之间的数据收发是通过网络进行的。

如图3所示，首先终端2提出与服务器1连接的请求(S31)，此服务器1的数据库13的数据写入条件是提示输入ID号及密码，在终端2此ID号及密码就允许向服务器1写入数据(S32)。如允许写入，终端2上将显示菜单画面。

利用此菜单画面，终端2提示选择故障历史，维护历史，改造历史中的任意一项，在终端2显示的画面上选择任何一项历史。此历史的选择信息发送到服务器1(S33)。服务器1将事业所，制造部门，报告人，装置类别，装置名，机号的信息发送给终端2(S34)。终端2根据接收的信息在画面上显示非工作状况登录画面。图4为示出选择故障历史的场合非工作状况登录画面的示例图。此外，在显示此画面之后，提示选择遗留记录的装置。选择装置之后，终端2向服务器1请求提供确定成为非工作状况的现象及原因的现象关键字，原因关键字(S35)，从服务器1接收关键字(S36)。

用户，在图4所示画面上，由作为类别信息的故障现象的“分类”选择确定所处理的装置变成非工作的原因的分类。更具体言之，分别从上述发送的现象关键字，原因关键字选择关键字。选择这些关键字之后，再选择输入作为装置类别信息的装置类别，作为装置识别信息的装置名，作为停止非工作状况负责人的修理实施人，事业所，制造部门，报告人及故障发生期间，故障分类(硬件/过程起因分类)等其他类别信息或从给定的多个数据中选择，就可以在故障原因的“内容”栏内写入故障现象何故障原因。另外，在多种类别信息中，比如对装置类别而言，装置名是下层的分层结构，在数据库13中已预先存储了确定此装置类别和装置名的链接的数据表。当然，对其他具有多个分层的类别信息也存储有同样的数据表。

其次，如用户从终端2向服务器1发出写入故障现象，故障原因的“内容”，信息登录请求时，就从终端2向服务器1发送上述写入的各数据及关键字的选择信息(S37)。另外，除了写入故障原因及故障原因的“内容”之外，也可以向服务器1发送比如图像文件，文本文件等附加信息文件，如关键字选择信息已经发送，也可不发送。服务器1，将所接收的数据与现象关键字及原因关键字相关联，并且分发对这些数据唯一地确定的ID并存储于数据库13中(S38)。另外，在服务器1接收附加信息文件的场合，将附加信息文件压缩而存储于数据库13中。另外，维护历史，改造历史也以同样的办法和维护关键字与改造关键字一起把“内容”登录到数据库13上。

下面按着图5示出的顺序图对非工作状况检索方法予以说明。

如图5所示，终端2显示菜单，提示从故障历史检索，维护历史检索，改造历史检索的选择分支中选择想要检索的历史。此历史的选择信息发送到服务器1(S51)。服务器1将事业所，制造部门，工序，装置类别，装置名，机号等信息发送到终端2(S52)。终端2根据所接收的信息在画面上显示历史检索画面。

图6为示出选择故障历史场合的非工作状况检索画面的示例图。另外，在显示此画面的同时，将变成非工作状况的原因，确定原因的现象关键字发送给终端2。

用户，在图6所示画面上，由作为检索条件的比如制造部门，装置，故障发生期间，故障现象，故障原因部位，故障原因，故障分类(硬件/过程起因分类)等之中选择并输入任意的关键字。这些检索条件被发送到服务器1(S53)。服务器1根据这些检索条件从数据库13中适当地检索出符合该检索条件的数据(S54)，并作为检索结果显示于终端2的画面上(S55)。在图6所示的例子中，示出的是将事业所，制造部门，装置类别，装置名，现象类别，硬件/过程起因分类作为检索条件的检索结果列举的示例。

下面按着图5对将非工作状况作为统计分析结果的取得方法予以说明。

在检索上述非工作状况之际，由终端2输入或选择请求服务器1进行统计分析的检索条件，比如分析期间，事业所，制造部门，工序等分析条件以及故障停止时间，故障件数，故障原因部位，故障原因，修理实施者等的分析项目，期间，项目等的输出条件或输入。此输入或索选择的分析条件及分析项目发送到服务器1(S61)。

服务器1，在从数据库13中预先登录的类别信息中抽出与所接收的分析条件及分析项目一致的数据的同时，对分析项目的现象数(比如故障件数，故障停止期间等)以时间及件数为单位进行累计(S62)。具体言之，是将存储于数据库13中的与类别信息相关联的非工作信息的件数累计，或是根据在类别信息中所包含的非工作时间信息累计应计算的时间。于是，相应于给定的分析项目在终端2的画面上显示每个输出条件的分析结果(S63)。图7(a)～图8(d)为分析结果显示画面的示例图。图7(a)示出的是以故障停止期间作为分析项目以装置为输出条件，以事业所，制造部门作为分析条件给出的场合的分析结果的显示例，图7(b)示出的是以故障现象作为分析项目以月(非工作开始时期)为输出条件，以事业所，制造部门作为分析条件给出的场合的分析结果的显示例，图8(a)示出的是以故障原因部位作为分析项目以项目为输出条件，以事业所，制造部门作为分析条件给出的场合的分析结果的显示例，图8(b)示出的是以修理实施者作为分析项目以期间为输出条件，以事业所，制造部门作为分析条件给出的场合的分析结果的显示例。

下面按着图9示出的顺序图对装置检查数据的登录方法予以说明。

首先，终端2向服务器1请求提供事业所，制造部门，装置类别，装置名，机号等信息(S91)。服务器1向终端2发送事业所，制造部门，装置类别，装置名，机号等信息(S92a)。在终端2选择了作为对象的装置之后，终端2请求服务器1提供对象装置的检查项目和过去的数据(S92b)。服务器1向终端2转送对象装置的作业项目，规格值，过去的数据，作业日期和时间(S92c)。在终端2收到数据后，显示检查数据输入画面，提示输入各检查状态。如装置检查者从终端2输入各检查状态，则在终端2的图中未示出的存储装置上一次登录的同时(S93a)，向服务器1转送检查状态(S93b)。服务器1将接收到的各检查状态存储于数据库13中(S94)。另外，各检查状态由装置检查者负责检查的装置的各个检查项目的数值确定。

以上所示的对检查数据登录方法在不同的时期进行多次的多个时期的检查数据登录的场合，用户可向服务器1请求提供以基于这些多个时期的检查数据的统计分析为基础的倾向管理。

如服务器1接收到倾向管理请求(S101)，则服务器1请求终端2确定需要作为倾向管理处理所必需的数据的倾向管理处理的装置等的倾向管理的对象(S102)。如由终端2确定实行倾向管理处理的装置，就从数据库13抽出关于该装置的过去的检查状态。从而，比如，可执行如下所示的倾向分析(S104)。

第一倾向分析是判定在不同时期对同一检查项目所得到的过去15点的检查状态值之中，对于该检查项目是否存在至少包含另外同一种装置的检查状态的平均值(以下单称其为中心值)或与预先确定的规格值偏离3σ以上的值，如偏离，就将第一分析结果作为警告，如不偏离，就判定为正常。另外，σ示出确定的数值范围。另外，判定各检查状态值是否超过预先确定的管理限界范围，如超过，就警告，不超过就判定为正常。

第二倾向分析是判定在15点的检查状态值之中，是否有连续9点超过中心值或未达到中心值，有任何一种情况就警告，否则就判定为正常。

第三倾向分析是判定在15点的检查状态值之中，是否有连续7点上升或下降，有任何一种情况就警告，否则就判定为正常。

第四倾向分析是判定在15点的检查状态值之中，是否有连续14点交互上下，有就警告，否则就判定为正常。

第五倾向分析是判定在连续3点之中，是否有2点超过中心值2σ以上或低于其2σ以上，有任何一种情况就警告，否则就判定为正常。

第六倾向分析是判定在连续5点之中，是否有连续4点超过中心值1σ以上或低于其1σ以上，有任何一种情况就警告，否则就判定为正常。

第七倾向分析是判定15点的检查状态值是否全部在中心值±1σ以内，是就警告，否则就判定为正常。

第八倾向分析是判定8点的检查状态值是否在中心值±1σ以内，是就警告，否则就判定为正常。

服务器1将以上的倾向分析的倾向分析结果在终端2上显示(S105)。在有警告的场合，就在终端2上显示该分析结果的同时发出警告。更希望从数据库13中检索出针对警告的处理方法在终端2上给出提示。使用终端2的装置检查者可根据提示的内容在必需对装置进行检查，调整等场合实施作业。

另外，警告，比如在显示的倾向分析结果中，可以将该检查状态以红色显示，其他则以其他颜色显示，也可以声音等报知。

下面对检查管理方法予以说明。

预先在服务器1的数据库13中将要管理的一切装置的每个作业项目的检查日程表，检查实施时期，检查实施者进行登录。服务器1可及时从数据库13中检索出该启动时刻当日或其前日的检查日程表，取得一切作业项目，规格，前日的数据。在前日的数据未登录的场合，则向作业预定者的终端2发送作业未实施的警告信件。另外，作业预定者需要事先登录输入检查数据的终端2。

另外，如取得的作业项目当日未实施，则将作业预定通知以信件形式向作业预定者转送。

另外，在进行上述倾向分析出现应该发出警告的检查状态的场合，或是在出现规格外的检查状态的场合，就向管理者发送警告信件。另外，管理者可以是作业预定者，也可以是其他人。在是其他人的场合，必须事先进行管理者登录。

如针对一切作业项目的信件都转送完毕，服务器1的检查管理处理就结束。

如上所述，根据本实施形态，在管理非工作状况的历史的同时，也可能进行日常的检查的数据管理及倾向分析。因而，装置的生产性和品质可提高。另外，可以从多个终端对来自分散配置的多个装置的非工作状况及检查数据进行一元化管理。并且通过对各历史及检查数据按类别进行登录，可对这些数据按类别进行统计分析，可将从多个装置获得的数据作为统计信息利用。其结果可进一步提高装置的生产性和品质。另外，由于将多个类别的信息通过关系数据库结构层次化，可得到详细的统计分析结果。第二实施形态

本实施形态是第一实施形态的变形例。在本实施形态中，终端2是便携式终端，服务器1允许无线收发数据。终端2也可以是通常的设置终端。

在本实施形态的各个便携式终端2上登录检查项目的检查负责人。登录者是一个人或多个人都可以。对各个检查负责人预先发给ID及密码。另外，与此检查负责人相关联，检查日程表存储于数据库13中。因此，检查日程表至少通过检查负责人，检查项目及检查实施时期的关联而构成。

检查负责人与和检查项目的关联，比如，可按图10所示的画面进行。如图10所示，检查负责人(用户名)和检查项目(作业)及检查实施时期的关联可在便携式终端2上的画面上进行。更具体地说，将作业与实施该作业的用户名连接起来。实行这种关联后，如由服务器1进行登录请求，则将关联的检查负责人和检查项目及检查实施时期发送给服务器1，登录到数据库13中。另外，也可应终端2的请求改变关联的方法。比如，分配给检查负责人的检查项目分到每个装置，将多个装置的多个装置中的每一个的共通的第一检查项目分配给第一负责人，同样的将多个装置的共通的第二检查项目分配给第二负责人，这样一来就使每个装置的分配及根据检查项目的共通性分配等成为可能。

如果便携式终端2向按以上方式登录的数据库13提出访问请求，服务器1就请求输入负责人的ID及密码。如负责人从便携式终端2输入负责人的ID号及密码，则服务器1就在根据该负责人ID及密码允许访问的同时，在便携式终端2的画面上只显示与该负责人ID相关联的检查项目。因此，可以只确认其他负责人应该实施的检查项目。

另外，通过将各检查项目与检查实施时期相关联，根据来自终端2的请求服务器1可检索数据库13，比如将图11所示的作业日程表显示于终端2的画面上。另外，通过将检查作业的顺序与巡回规则进行关联存储，数据库13可根据该巡回规则发出检查项目的提示。由此，在减少检查负责人对检查项目漏检的同时，也可使检查作业高效化。

另外，如是便携式终端2，比如在工厂等广大地区内携带终端2进行检查作业时，比如可以利用触摸屏等输入装置输入各检查状态值。因此，比如可省略将记录于纸张上的数据再在终端2上重新输入的作业。

本发明不限定于上述实施形态。比如，示出的是将本系统应用于图1所示的网络结构的用例，但如将管理所需要的数据及程序记录于，比如，独立的计算机中，可以不通过网络使用本系统。另外，终端2与服务器1的连接有线无线均可以。

另外，示出的示例是将执行本发明的功能用的程序装载到处理器12中，并由该程序执行本发明的功能的场合，但也可以，比如，由服务器1的图中未示出的记录媒体读取装置对记录这些程序的计算机可读记录媒体进行读出，由处理器12执行该功能。另外，也可将用来执行本发明的功能的程序装载于终端2中，由该程序执行本发明的功能。在此场合，由该程序检索服务器1的数据库13。

另外，示出的是从服务器1向终端2的数据输出是显示于终端2的画面上的场合，也可以通过声音报知。

如以上所详述，根据本发明，可提高装置的品质性和生产性。

Claims (25)

1.一种装置管理方法，其特征在于包括提示输入对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息的步骤，提示输入用来确定上述非工作中的装置的非工作状况的非工作信息的步骤，以及将上述非工作信息与上述类别信息进行关联并存储于存储装置中的步骤。

2.如权利请求1中的装置管理方法，其特征在于响应上述类别信息的输入，将上述非工作信息存储于上述存储装置或允许输入上述非工作信息。

3.如权利请求1中的装置管理方法，其特征在于上述非工作状况是装置故障，维护，改造中的一种。

4.如权利请求1中的装置管理方法，其特征在于存储于上述存储装置中的类别信息有多种，这些多种类别信息具有多个层次，这些多种类别信息通过相互不同层次间的相互关联进行存储。

5.如权利请求1中的装置管理方法，其特征在于上述装置有多个，在上述类别信息的输入步骤中提示输入识别某一装置与其他装置的装置识别信息。

6.一种装置管理方法，其特征在于包括提示输入对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息和非工作中的装置的非工作信息中的至少一个的步骤，从预先将对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息，以及非工作中的装置的非工作信息存储的存储装置中抽出与上述输入的信息有关联的关联信息的步骤，以及显示上述关联信息的步骤。

7.如权利请求6中的装置管理方法，其特征在于存储于上述存储装置中的类别信息有多种，这些多种类别信息具有多个层次，这些多种类别信息通过相互不同层次间的相互关联进行存储。

8.如权利请求6中的装置管理方法，其特征在于还包括以上述关联信息为基础进行统计分析算出统计分析结果的步骤，以及显示上述统计分析结果的步骤。

9.如权利请求8中的装置管理方法，其特征在于上述装置有多个，在上述类别信息的输入步骤中提示输入显示上述装置的类别的装置类别信息，

在上述统计结果算出步骤中作为每个上述装置类别信息的统计分析结果至少算出非工作状态时间，非工作件数的统计分析中的一个。

10.如权利请求8中的装置管理方法，其特征在于上述装置有多个，在上述类别信息中至少包含故障现象，故障原因中的一个，

在上述统计结果算出步骤中作为每个上述故障现象及/或故障原因的统计分析结果至少算出故障时间，故障件数中的一个。

11.如权利请求8中的装置管理方法，其特征在于上述装置有多个，在上述存储装置中由停止该装置的非工作状态的停止负责人将识别某一装置及其他装置的装置识别信息与上述非工作信息进行关联并存储于存储装置中，

在上述算出统计分析结果的步骤中由每个上述停止负责人算出上述停止负责人和其他类别信息的关联。

12.一种装置管理方法，其特征在于包括显示包含装置的检查项目的检查项目显示画面，提示将各检查项目的检查状态以数值输入确定的检查状态值的步骤，

将输入的上述检查状态值存储于存储装置的步骤，

以上述检查状态值为基础进行统计分析的步骤，以及

显示上述统计分析的处理结果的步骤。

13.如权利请求12中的装置管理方法，其特征在于上述统计分析可算出同一检查项目的多个检查时期的上述检查状态值的数值推移的倾向。

14.如权利请求13中的装置管理方法，其特征在于上述检查状态值的数值推移的倾向是由上述多个检查时期的上述检查状态值的标准离差，上升/下降程度和标准离差的连续性中的至少一个示出。

15.如权利请求12中的装置管理方法，其特征在于包括在算出上述统计分析结果的步骤之后判定上述统计分析结果是否满足规定的条件的步骤，

显示上述统计分析结果的步骤还包括在判定不满足上述规定条件的场合发出警告的步骤。

16.如权利请求15中的装置管理方法，其特征在于上述警告在所显示的上述上述统计分析结果及/或上述判定结果中，不满足条件的结果和满足条件的结果以不同的颜色显示而执行的。

17.如权利请求12中的装置管理方法，其特征在于对于上述检查项目各个检查负责人预先以关联方式将其存储于存储装置中，上述装置管理方法还包括可以在存储于上述存储装置中的关于某一装置的上述检查状态值经过规定时间后没有被输入的场合向该检查项目的检查负责人发出提示输入检查状态值的警告的步骤。

18.如权利请求1至17中的任何一项中的装置管理方法，其特征在于上述装置是半导体制造装置。

19.一种装置管理系统，其特征在于包括将非工作中的装置的非工作状态分类的类别信息和特定该非工作中的非工作状态的非工作信息进行关联存储的存储装置，

提示多个上述类别信息，并提示至少选择一个类别信息的装置，

响应上述类别信息的选择将上述非工作信息存储到上述存储装置中或允许输入上述非工作信息的装置，

并将上述写入的非工作信息与上述选择的类别信息相关联存储到上述存储装置之中。

20.如权利请求19中的装置管理系统，其特征在于还包括响应非工作信息的检索请求而请求输入类别信息或检索用的关键字的检索条件请求装置，

将与上述类别信息相关联的上述非工作信息或包含上述关键字的上述非工作信息从上述存储装置中读出并输出的输出装置。

21.如权利请求20中的装置管理系统，其特征在于还包括根据上述类别信息进行统计分析算出统计分析结果的统计分析装置，

上述输出装置将上述统计分析结果输出。

22.一种装置管理系统，其特征在于包括将装置的检查项目和该检查项目的检查状态以数值形式与特定的检查状态值相关联地存储起来的存储装置，

输出上述统计分析的处理结果的输出装置。

23.如权利请求22中的装置管理系统，其特征在于上述检查项目与检查负责人相关联，

上述装置管理系统还包括在存储于上述存储装置中的关于某一装置的上述检查状态值经过预定时间后没有被输入的场合向该检查项目的检查负责人发出提示输入检查状态值的警告的报知装置。

24.一种记录装置管理程序的计算机可读记录媒体，用来实现将非工作中的装置的非工作状态进行分类的类别信息及确定该非工作中的装置的非工作状态的非工作信息关联存储的步骤，

对上述类别信息予以多个提示并提示至少选择一个类别信息的步骤，

响应上述类别信息的选择将上述非工作信息存储到上述存储装置中或允许输入上述非工作信息的步骤，

并将上述写入的非工作信息与上述选择的类别信息相关联存储到上述存储装置之中的步骤。

25.一种记录装置管理程序的计算机可读记录媒体，用来实现将装置的检查项目和该检查项目的检查状态以数值形式与预定的检查状态值相关联地存储起来的步骤，

对上述各检查项目，根据多个时期的各个上述检查状态值进行统计分析的步骤，

输出上述统计分析的处理结果的步骤。

Images