CN1303448A - 提供半导体原材料的方法和系统 - Google Patents

Abstract

一种向用于生长单晶半导体材料的晶体提拉装置提供原材料的方法。通常,此方法包括:在具有晶体提拉装置的设备处接受所述原材料的散装容器,并将散装容器设置成借助重力从散装容器送料的位置。将散装容器运送至晶体提拉装置,并直接从散装容器发送预定量的原材料进入晶体提拉装置。也公开了供给原材料的设备和系统。

Description

提供半导体原材料的方法和系统

发明背景

本发明总体涉及处理半导体原材料的方法和装置，更特别涉及设置(configuring)和输送原材料散装容器的方法和装置。

制造半导体材料最普通的技术是Czochralski法，在此技术中，将高纯原材料在晶体提拉装置的坩埚中熔化以形成熔融液。通常希望不将所需全部固态原材料一次放在坩埚中形成熔融液。一些固态原材料最好在坩埚中的原材料已开始熔化后再加入。一般，添加的固态原材料是球化(pelletized)多晶硅(工业上通常称为“Lite Poly”)，这些多晶硅从与晶体提拉装置相连接的装料斗装入。装料斗可能不定期地供给原材料，这些原材料是在晶体提拉设备处从散装容器接受的。由于几方面的原因，向装料斗内供料是困难的。散装容器很重(大约275千克)，因此，这种容器既不容易运输，也不容易翻转以便借助重力装入原材料。从散装容器发送原材料会产生粉尘，这是所不希望的，因为粉尘容易被污染。此外，如果粉尘进入熔融液，可能在半导体材料中导致空穴(void)。最好粉尘不进入装料斗。再有，应限制将原材料暴露在大气环境中，因为存在污染原材料的风险。现有向装料斗装料的方法是，从散装容器将原材料缓慢倾注入较小容器，然后将此较小容器输送至晶体提拉装置，将原材料倒入装料斗。通常在此过程中会将粉尘引入装料斗，并使原材料暴露在大气环境中。

发明概述

在本发明的几个目的与特点中，需要指出的是本发明提供了为晶体提拉装置供给原材料的方法，所提供的方法避免了将原材料暴露在大气环境中；所提供的方法避免了将粉尘释放进装料斗；所提供的方法减轻了与向晶体提拉装置供给原材料相关的劳动。

在本发明的几个目的与特点中，还需要指出的是本发明提供了为晶体提拉装置供给原材料的装置，所提供的装置将大量原材料输送至晶体提拉装置；所提供的装置将装有原材料的散装容器翻转；所提供的装置能将装有原材料的散装容器运送晶体提拉装置；所提供的装置将散装容器保持在某一高度，以便将原材料发送入晶体提拉装置。

简言之，本发明之为生产单晶半导体材料的晶体提拉装置供给原材料的方法，通常包括下列步骤：在具有晶体提拉装置的设备处接受所述原材料的散装容器；将散装容器设置成某种位置以便借助重力使原材料从散装容器装入晶体提拉装置。散装容器被运输至晶体提拉装置，预定量的原材料直接从散装容器送入晶体提拉装置。

本发明的另一方面在于，向晶体提拉装置供给原材料的设备通常包括：将所述原材料散装容器翻转的装置；将翻转后的散装容器运输至晶体提拉装置的装置。供给原材料的设备通常还包括将散装容器提升至预定高度的装置，和用于将散装容器与晶体提拉装置连接的装置。

在本发明的另一方面中，向晶体提拉装置供给原材料的系统通常包括容器输送装置，该输送装置具有夹持原材料散装容器的臂。此输送装置能将容器从第一位置输送至第二位置。一种台车具有臂，该臂适于在第二位置从输送装置接受散装容器，并独立于容器输送装置夹持容器。台车具有驱动装置，用于驱动装有容器的台车驶往晶体提拉装置。台车适于将散装容器提升至一高度，以便使原材料借助重力流入晶体提拉装置。

本发明的其它目的和特点，有的将是显而易见，有的将在下面说明。

附图简介

图1为本发明之原材料供给设备的侧视图，示出了台车和容器输送装置，为显示内部结构台车进行了局部剖切；

图2为此设备的不完全侧视图，该设备还包括阀吊架；

图3为不完全的侧视图，示出了本发明的输送装置正在翻转原材料散装容器的情况；

图4为图1所示设备的顶视图的示意图；

图5为阀吊架的侧视图；

图6为阀吊架沿图5中6-6剖面剖切的截面图，示出了吊架柱销的不同位置；

图7为阀的侧视图；

图8为停泊在晶体提拉装置处的台车顶视图的示意图；

图9为类似于图8的顶视图原理图，示出了容器处于将原材料送入晶体提拉装置的位置；

图10为不完全的侧视图，示出了与晶体提拉装置的装料斗连接的容器和阀；

图11为不完全的右侧视图，是从图4中11-11线所示之有利地位(vantage)观察，不过，将台车移开，以示出光电管(photoelectriceye)和输送装置的电源插座(outlet)；

图12为光电管和电源插座不完全顶视图的放大图；

图13第二实施例引导装置不完全的侧视图；

图14为不完全的截面图，示出了台车与引导装置的连接。

在附图的各视图中相应的字符表示相应的部分。

实施例的详细说明

现参看附图，本发明之系统总体用20表示。此系统用于对图8所示原理图之晶体提拉装置供给原材料。此系统20和晶体提拉装置22均设置在晶体生长设备的超净室内。晶体提拉装置22最好是使用Czochralski法(直拉法)生产半导体材料的装置，例如New Hampshire州Nashua的Ferrofludics现有的CZ150型装置。晶体提拉装置22包括装料斗24，该装料斗从装料斗向晶体提拉装置内的坩埚(未示出)输送原材料。装料斗24为众所周知的结构，可运动至如下所述的装料位置和再装料的位置。

散装容器，例如具有圆筒28所示形状，在晶体生长设备之外接受，容器内装大量半导体原材料。圆筒28内的原材料最好是球化多晶硅(工业是也称为Lite Poly)。当装满球化多晶硅后，圆筒的重量至少大约100千克，通常大约275千克(600磅)。

再参看图1，本发明之系统包括：容器输送装置，总体用32表示；台车，总体用36表示。输送装置32具有用于夹持圆筒28的臂40，该臂以足够的压力紧密环绕圆筒以支承圆筒的重量。臂40设置成可绕枢轴从开启位置向闭合位置旋转，在臂的开启位置，输送装置接受圆筒28，在闭合位置臂与圆筒的侧面接合以夹持圆筒。输送装置32包括一装置，该装置设置成使臂40可绕枢轴从开启位置旋转至闭合位置，并在需要时返回开启位置，推荐用一90伏的直流电机(未示出)通过齿轮装置(未示出)与臂40连接，使臂绕枢轴旋转。设置了两组臂40以保证牢固夹紧圆筒28但又不致作用过大的压力于圆筒上。(圆筒的内部设有特氟隆(Teflon^-聚四氟乙烯)衬里或类似覆盖层，如果过大的压力作用于容器上，衬里或覆盖层会断裂)。最好将摩擦垫42设置在臂40上，用以与圆筒28的侧面接合，而将V形摩擦垫44(见图2)设置在输送装置32上，位于臂之间，用于与圆筒的侧面接合。传感器(未示出)最好设置在臂40和V形垫44上或其附近处，用于当臂接触圆筒28时传感信号并控制臂40作用在圆筒上压力的大小，从而使圆筒能可靠地被夹持而又不致损坏圆筒。例如，在本实施例中，一旦传感器传出信号表明已触及圆筒28时，电机即旋转一定的转数，例如三转。

输送装置32包括第一转台48，设置成可绕一通常为垂直的轴线旋转，以便将圆筒28从输送机52输送至台车36。第一转台48设置在机架54上，该机架固定在地板56上。臂40安装在第二转台60上，该转台固定设置在第一转台48上。第二转台60设置成绕通常为水平的轴线旋转以翻转圆筒28。90V直流电机和齿轮机构安装在第二转台60以使第二转台旋转。在第一转台48将圆筒28输送至台车36的半途中(partway)，将圆筒翻转，从而在圆筒旋转时，圆筒将既不接触输送机52也不接触台车。转台48、60最好为由120V交流电机62、64驱动的齿轮机构致动(见图2，该图示出了第一转台48的电机62)。

参看图2和图5-6，总体标注为68的阀吊架固定在壁70或其它在输送机52上方的装置上，用于支承阀72并升降该阀，以便将其安装在圆筒28上和从圆筒将其卸下。阀吊架68包括上支架68a和从上支架伸出的三条腿68b。上支架68a与导轨69(图中只示出一条)可滑动地连接，用于对阀吊架68的垂直移动导向。阀72通过三个设置在腿68b下端向上突出的柱74，被支承在阀吊架68上。柱74容纳在阀凸缘76上的三个孔中(见图7)。阀吊架68的上支架68a与滚珠丝杠78螺纹连接以便移动阀吊架，从而可使阀72从阀的收起位置下降至阀的使用位置，在阀的收起位置，圆筒28可通过阀和阀吊架的下面，在阀的使用位置，阀接近或连接在圆筒的进料口82。如图5-6所示，柱74安装在元件84上，该元件设置在腿68b的下端，可绕其在腿上的安装点在水平面内回转(大约90°)。在阀连接在圆筒28上后，元件84向外运动以在阀72的周围提供间隙，允许空的阀吊架68向上运动至收起位置。最好元件84为由回转致动器(未示出)致动而自动回转，该回转致动器可为能从依里诺斯州(IL.)Monet的Bimba制造公司买到的PT014090-MRS型致动器。

输送机52在超净室刚进门(未示出，该门设置在如图2所示设备的左侧)处输送圆筒28。一种流体传送装置(shuttle)(未示出)将圆筒28传送到输送机52。当圆筒28不在输送机上时，输送机52上可垂直伸缩的支承86缩回，而在托起圆筒时升起。如图2所示，输送机52首先将圆筒28输送到阀吊架68下面的某一位置。然后，输送机52将圆筒28送到传送装置32的臂40抓取范围内某一位置。传送装置32的臂40抓住圆筒28后，输送机52的支承86缩回。能输送圆筒28的输送机结构，在现有技术中是众所周知的，将不再进一步说明。可以设想使用不是输送机的装置将圆筒28传送至阀吊架68和传送装置32，包括使用叉车(未示出)或用手输送。

参看图1，在第一实施例中，传送装置32包括导轨89，该导轨可与台车36的前轮88和导轮94接合，以使台车相对于传送装置定位。最好导轨包括设置在地板上的两条轨道90，这样，当前轮88和导轮94沿轨道前进时，台车36被引导至相对于传送装置32正确的位置。导轨89还设有止挡92，用于使台车36停在正确的位置，止挡装置包括一位于两向上倾斜表面间的沟槽，两表面之一的倾斜方向与另一表面之倾斜方向相反，于是，台车36的前轮88滚上一倾斜表面然后滚入沟槽中，从而使前轮被卡在沟槽中。至少设有一传感器(未示出)用于传送台车36相对于传送装置32已被正确定位的信号，以便接受或送出圆筒28。

传送装置32和台车36可相互通讯，以便在向台车传输圆筒28时控制台车的运行。如图11和12所示，四个光电管96设置在靠近传送装置32处，而台车36上设有四个相应的光电管96，该光电管设置成当台车与导轨89的止挡92接合时，传送装置的光电管与台车的光电管对准。电源插座98接受台车36上的一电源插柱用于向台车提供电能。最好传送装置32设置一控制面板100，用于控制圆筒28的翻转以及在传送装置与台车36间传送圆筒。

参看图1和4，台车36具有机身(在图1中部分被剖去)和臂102、104，用于接受圆筒28和独立于传送装置32单独夹持圆筒。最好至少台车36的两臂102、104之一设置成可绕枢轴向外旋转，于是，圆筒28可接受在两臂之间，并可绕枢轴向内旋转至一闭合位置。在图示实施例中，臂102安装在一垂直销上，并由具有24V直流电机驱动的直线致动器使之绕枢轴旋转。臂102绕枢轴向内旋转至闭合位置，两臂102、104设置成可从图2所示位置向上运动至图1所示位置，以支承圆筒28(对此将在下面说明)。参看图1，台车36设置挚子108，用于与翻转后圆筒28的边缘110接合以进一步将圆筒紧固在台车上。挚子108可在下述两个位置之间运动，当挚子处于远离台车36的臂102、104的位置时，挚子不与圆筒28连接，当挚子绕枢轴转至面向圆筒并向下运动直至与圆筒的边缘110接触时，挚子处于与圆筒接合的位置。推荐在臂102、104上和/或邻近挚子108处设置传感器，当圆筒被牢固夹持在台车36上时发出信号。

台车36的臂102、104和挚子108是为垂直传送而设置的。臂102、104和挚子108均设置在台车36的滚珠丝杠114上，该滚珠丝杠从台车的底座延伸至邻近台车顶部的轴承116。臂102、104和挚子108由滚珠丝杠114的旋转而驱动，以便在台车36上装/卸圆筒28，并将圆筒输送至一预定高度，借助于重力流使原材料装入晶体提拉装置22。推荐用安装在台车上的120V交流电机(未示出)驱动滚珠丝杠。

台车36具有驱动电机118，用于驱动台车和圆筒28驶至晶体提拉装置22。电机118通过齿轮装置与驱动轮126连接。合适的电机为12V的MKS-4002型直流电机，该电机可从Michigan 州 Ann Arbor的Prestolite Electric Inc.购得。电机118的电源最好用可重复充电的12V凝胶蓄电池(gel cell battery)120。最好蓄电池120只对电机118供电。台车36上其它电机的供电通过传送装置32和晶体提拉装置22上的电源插座98(图中只示出了输送装置32上的电源插座)。台车设有类似于叉车操纵杆的操纵杆124，用于由操作者操纵台车。驱动轮126通过操纵杆124手工操纵，使台车驶向晶体提拉装置22。两个前轮88由包括120V交流电机130的装置操纵(图中只示出其一)。两个前轮88最好如下面所述仅在晶体提拉装置22操纵，而不在台车36从输送装置32传输至晶体提拉装置时操纵。最好，台车36的组成部分，包括电机、电池、车轮等，均设计成能在10,000级的超净室内工作而不致对超净室的环境带来不利的影响。

参看图7和10，阀72制成其第一端132与圆筒28的进料口82匹配，而第二端136与晶体提拉装置22的装料斗24的进料口138匹配。两端132、136均用夹紧装置134可拆卸地设置在相应的进料口，这种夹紧装置可为MA.Andover MKS Instruments生产的HPS夹紧装置。阀72的第二端136最好设有波纹管部140，于是在必要时，第二端可向下和/或横向运动以与装料斗24的进料口138连接。波纹管部设有锁紧销，该锁紧销可松开以允许波纹管向下和/或横向运动。阀72具有：中央通道，穿过阀延伸，用于允许原材料流过阀；关闭器，用于阻止原材料流过。阀72最好为一种“安息角(Angle of Repose-(AOR))”阀，例如从Associated Technology Manufacturers可以买到的AORS-26型阀。最好阀72包括一真空管路进口144，该真空管路进口从阀的中部向外延伸用于与真空管路(未示出)连接。阀还设有快卸接头146，设置在靠近波纹管部140处，用于与惰性气体管路(未示出)连接。真空管路进口144和快卸接头146均与中央通道连通，用于对阀抽真空和从阀排除粉尘。最好阀72包括一种电子控制器150，用于控制流经阀内的原材料流，该控制器与通过电缆与台车36连接，或作为替换，与晶体提拉装置22连接，以遥控原材料流。电子控制器150具有手动开关，因此操作者可手动控制原材料流。

在第二实施例中，输送装置32包括引导装置154，该引导装置可与台车36接合，用于使台车相对于输送装置定位。参看图12和13，引导装置154设置在柱子155或壁上，并设有垂直短柱156，当台车与引导装置接合时，该短柱容纳在设置在台车36上的双指状物158之间。最好两引导装置154设置在柱子155上，而两组双指状物158设置在台车36上。双指状物158还可设有锁紧销(未示出)，该锁紧销可滑入台车36的指状物的孔中以锁定台车与引导装置的连接。

可以想象，在此实施例中由输送装置32完成的翻转圆筒28的功能，也可由台车36完成。因此，台车36可修改成能用于翻转圆筒28。例如，台车36的臂102、104可由一组臂取代，这组臂制成类似于输送装置32的臂40以抓住圆筒28。这种臂可设置在一转台上，该转台类似于输送装置的第一转台48。其它为在翻转时支承圆筒28的重量而增强台车26所需的结构修改，对于本领域技术人员而言是显而易见的。

现在对向晶体提拉装置22提供原材料的方法给予说明。此方法包括在设有晶体提拉装置的设备处接受装有原材料的圆筒28的步骤。圆筒28从远离设备的场地运送来，并在超净室外所述设备的停泊处由设备接收。自然，在与晶体提拉装置22分离处的同类设备处生产原材料也在本发明范围内。圆筒28用诸如上述流体传输装置传输至设置在超净室与停泊处间的锁气室(air lock)。最好将圆筒28在锁气室内擦净，例如用擦拭酒精或其它合适的擦拭溶剂擦拭。当圆筒仍支承在流体传送装置上时，输送机52随即进入锁气室，并定位于圆筒28下面。输送机52的可伸缩支承86升起，使圆筒28离开流体传送装置。输送机52离开锁气室，锁气室关闭。

此方法还包括将圆筒28设置成借助重力从圆筒送料的位置的步骤。输送机将圆筒28输送至阀吊架68下面某一位置。最好将惰性气体管路连接至接头146，以便从阀72驱除空气，从而避免原材料暴露在大气环境中。将圆筒28上盖住进料口82的盖除去，操纵滚珠丝杠78使阀吊架68下降，直至阀72接近或接触圆筒为止，并用夹紧装置134将阀紧固在圆筒上。进一步使阀吊架68下降，从而使柱74与凸缘76上的孔脱离连接，而元件84按前述方式转出。阀吊架68随即向上运动至其装填(stow)位置。由操作人员在面板100上进行输入，使阀72安装在圆筒28上，然后，如下面所述步骤将圆筒自动翻转并传送至台车36。

设置圆筒位置的步骤还包括翻转圆筒。圆筒28由输送机52输送至输送装置32，并又输送装置的臂40抓住。圆筒已被臂触及且电机按上述方式被控制而保证圆筒被抓住时，输送装置32上的传感器将此信息传送至控制面板100。输送机52的可伸缩支承86缩回，于是由臂40支承圆筒28的重量。输送装置32将圆筒28绕输送装置第一转台48的垂直轴线转动90°后停止。输送装置32随即将圆筒28绕第二转台60的水平轴线转动180°(90°位置在图3中示出)。最好水平轴线通过圆筒28的重心附近。输送装置32然后将翻转后的圆筒绕第一转台48的垂直轴线沿与上述运动方向相同的方向转90°，于是，圆筒28容纳于台车36的臂102和104之间。当圆筒28被转动以保证圆筒28在臂间运动所需空间时，台车36的可转动臂102绕枢轴向外转动。

此方法还包括将翻转后的圆筒28输送至晶体提拉装置22的步骤。圆筒28在台车36上的夹持，是通过使台车的臂102绕枢轴向内转动至闭合位置，和通过使用台车36的滚珠丝杠114将台车的臂向上升起直至圆筒保持在臂上。台车36的挚子108运动至与翻转后的圆筒28的边缘110接合，其连接位置在图1中示出。输送装置32的臂40打开，于是圆筒28的重量传递至台车36。台车36上的传感器将圆筒被台车牢固夹持的信号传送至传送装置32和控制面板100。然后，装载有圆筒28的台车36被驱动离开输送装置32向晶体提拉装置22运动。台车36在晶体提拉装置22处的定位，是借助于使台车与安装在柱子163(stanchion)上的引导装置162(图8和9示出了其原理图)连接实现的，该引导装置类似于上述第二实施例中所设置的引导装置154。台车36最好用销钉(未示出)锁紧在引导装置162。晶体提拉装置22的电源插座98接受台车36上的插柱，以便向台车36提供电源，并用于将台车停泊在晶体提拉装置的信息传送至晶体提拉装置22的控制器。

此方法还包括从圆筒28将预定量的原材料送入晶体提拉装置22之装料斗24的步骤。晶体提拉装置22处的惰性气体管路和真空管路均连接至阀72，以避免粉尘进入装料斗、避免粉尘聚集在阀内堵塞阀的机构，和避免原材料暴露在大气环境中。圆筒22被台车36提升至高于装料斗24的预定位置。台车36的前轮88通过电机130的操纵朝晶体提拉装置22向内转动，而与引导装置162仍旧连接的台车在沿以引导装置为中心的圆弧上被驱动。装料斗24被晶体提拉装置22的一种装置移至一位置，在此位置，阀72的第二端136在装料斗24的进料口138大致定位如图9所示。圆筒28下降，直至阀72的第二端136与进料口138接触或接近接触为止。如图10所示，阀72与与装料斗24配接(通过拉波纹管部的锁紧销140、沿横向和/或沿纵向移动第二端136和将阀夹紧在装料斗24上)，并将阀打开以允许原材料流入装料斗24。在送料过程中，惰性气体流经阀72以从阀中驱除空气，而真空管路帮助将原材料流经阀时所产生的仍何粉尘抽出。装料达预定量后，阀72关闭。按本方法的相反顺序使台车36离开晶体提拉装置22。台车36和圆筒28可传输至其它晶体提拉装置以发送更多的原材料，直至圆筒中的原材料送完。通过将台车36送返输送装置32和沿上述方法的反向顺序，将圆筒28运出超净室，即，将圆筒从台车送往输送装置再送往输送机。阀72在阀吊架68处去除，空的圆筒28从输送机52送往流体传送装置以送至停泊处。

可以理解，更进一步的自动化仍属于本发明的范围。最好是在本方法中很少或没有手工介入。例如，将阀72安装在圆筒28和将圆筒安装在装料斗24上等步骤也完全自动化是属于本发明的范围。再有，诸如设置光帘等安全装置和设置安全罩(未示出)以与控制面板100通讯，于是，如果有一个人过于接近系统则系统20的运动停止。

综上所述，可见本发明的几个目的均得以实现且获得其它的有利结果。

由于上述结构可作各种改变而并不超出本发明的范围，需要指出，上述说明的全部内容或附图所示将被认为是举例说明而并无限制的意义。

Claims (10)

1．一种向用于生长单晶半导体材料的晶体提拉装置提供原材料的方法，该方法包括下列步骤：

在具有晶体提拉装置的设备处接受所述原材料的散装容器；

将散装容器设置成借助重力从散装容器送料的位置；

将散装容器运送至晶体提拉装置；

直接从散装容器发送预定量的原材料进入晶体提拉装置。

2．如权利要求1所述的提供原材料的方法，其中，运送和发送原材料的步骤不将容器开启于设备的环境空气中。

3．如权利要求2所述的提供原材料的方法，其中，设置散装容器以借助重力送料的步骤包括：将一种阀设置在散装容器上；从阀驱除空气；和将容器翻转。

4．如权利要求3所述的提供原材料的方法，其中，输送散装容器的步骤包括：将容器安装在一种动力驱动台车上；从远离设备处接受散装容器。

5．一种向用于生长单晶半导体材料的晶体提拉装置提供原材料的设备，该设备包括：

翻转所述原材料散装容器的装置；

将翻转后的散装容器运送至晶体提拉装置的装置；

提升散装容器至一预定高度的装置；和

使散装容器与晶体提拉装置连接的装置。

6．如权利要求5所述的提供原材料的设备，其中，运送和翻转散装容器的装置包括台车，该台车具有臂，该臂适于接受容器并独立于容器输送装置单独夹持容器，台车具有驱动装置用于驱动装有容器的台车驶至晶体提拉装置。

7．如权利要求6所述的提供原材料的设备，其中，台车适于提升散装容器至预定高度，以使原材料通过重力流进入晶体提拉装置，且其中，将散装容器与晶体提拉装置连接的装置包括一阀，该阀适于安装在散装容器和晶体提拉装置上。

8．一种向用于生长单晶半导体材料的晶体提拉装置提供原材料的系统，该系统包括：

容器输送装置，该输送装置具有抓住原材料散装容器的臂，输送装置能将容器从第一位置输送至第二位置；

台车，该台车具有臂，该臂适于在第二位置从输送装置接受散装容器，并独立于容器输送装置单独夹持容器，台车具有驱动装置，用于驱动装有容器的台车驶至晶体提拉装置，台车适于在一高度夹持散装容器以使原材料通过重力流进入晶体提拉装置。

9．如权利要求8所述的提供原材料的系统，其中，容器输送装置包括一种引导装置，该引导装置可与台车连接，用于使台车相对于容器输送装置定位，容器输送装置和台车适于通讯，以控制容器至台车的输送。

10．如权利要求9所述的提供原材料的系统，其中，至少台车的所述臂之一适于绕枢轴向外旋转，当输送装置将容器从第一位置输送至第二位置时，能从容器输送装置接受散装容器，其中，输送装置的臂设置成可绕一水平轴线旋转，当容器从第一位置运动至第二位置时，用于翻转容器。

Images