CN1287377A - 遮蔽屏、遮蔽屏原板及遮蔽屏的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种安装在布劳恩管上时不会引起异物脱落的遮蔽屏、遮蔽屏原板及遮蔽层的制造方法。遮蔽屏原板由遮蔽屏和外框部构成,其中,遮蔽屏通过蚀刻加工形成外周线,外框部用多个连结部保持该遮蔽屏,在连结部的遮蔽屏侧之外周线内侧形成半腐蚀过的被断裂部分。自该遮蔽屏原板上去除外框部而得到的遮蔽屏上的断裂部分凹入外周线内侧而形成。该遮蔽屏可容易地通过弯曲、拉伸及撕裂中的任一方式去除遮蔽屏原板之外框部而制造。

Description

遮蔽屏、遮蔽屏原板及遮蔽屏的制造方法

本发明涉及布劳恩管用遮蔽屏、遮蔽屏原板及遮蔽屏的制造方法，更详细地说，涉及在将得到的遮蔽屏安装在布劳恩管上时不会引起异物脱落的遮蔽屏及这种遮蔽屏的制造方法。

通常的遮蔽屏是如下得到的，首先，通过蚀刻加工形成由遮蔽屏和外框部构成的遮蔽屏原板，其中，遮蔽屏形成有贯通的外周线，外框部用多个连结部保持该遮蔽屏，然后，通过弯曲加工或拉伸加工自遮蔽屏原板去除外框部而得到。此时，遮蔽屏的外周线通过蚀刻加工而形成，多个连结部作为非贯通部断续形成，遮蔽屏由该连结部保持在遮蔽屏原板上。遮蔽屏通过向遮蔽屏原板的连结部施加弯曲应力或拉伸应力等而从外框部上去除。连结部通过弯曲加工等而断裂。这样得到的遮蔽屏之后经过各种工序被安装在布劳恩管内，发挥遮蔽屏的作用。另外，这里所说的外周线不涉及构成遮蔽屏最外周的蚀刻端部的形状，是指其端部的线。(下同)。

这种将遮蔽屏自遮蔽屏原板上去除而进行制造的方法，公开于特公昭63-888号公报、特开平4-71138号公报、特开平8-31317号公报、特开平11-73876号公报等。在这些现有技术中，或对连结部进行半腐蚀使其容易断裂、或对自外框部去除的方法进行改进，主要是为了防止遮蔽屏有效部分的变形和使外框部的除去工序高效化。

但是，由这些现有技术得到的遮蔽屏，在遮蔽屏的外周线外侧的位置都会留下一部分断裂的凸形的连结部，有可能会对其后的加工工序产生大的恶劣影响。例如，在将遮蔽屏冲压加工成装于布劳恩管上的形状的工序中，上述凸形部分就有可能与冲压模接触而作为异物(金属片)被剥离，若这种异物附着在遮蔽屏的蚀刻孔上而直接装在布劳恩管内，则会对完成后的布劳恩管的品质产生很大的影响。

本发明是为了解决上述问题而开发的，其目的在于提供一种遮蔽屏、遮蔽屏原板及遮蔽屏的制造方法，使得在将得到的遮蔽屏安装在布劳恩管上时，不会出现异物脱落。

首先，本发明第一方面的遮蔽屏是自遮蔽屏和外框部构成的遮蔽屏原板上去除所述外框部而得到的，其中，遮蔽屏通过蚀刻加工形成有外周线，外框部用多个连结部保持该遮蔽屏，去除所述外框部而形成的断裂部分凹入得到的遮蔽屏的外周线内侧而形成。根据本发明，由于去除外框部而形成的断裂部分凹入得到的遮蔽屏的外周线内侧而形成，所以在以后的遮蔽屏的加工工序，断裂部分不会被摩擦而作为异物脱落。

本发明第二方面所述的遮蔽屏，在本发明第一方面所述的遮蔽屏中，所述断裂部分为被半腐蚀的部分。根据本发明，利用被半腐蚀的断裂部分选择性地去除外框部。通过减薄半腐蚀部的金属残留厚度，即使在弯曲断裂的情况下，断裂部分也不易发生因弯曲而产生的裂缝，不会引起以裂缝为起点的异物脱落。

本发明第三方面所述的遮蔽屏，在本发明第一或第二方面所述的遮蔽屏中，所述断裂部分的方式是弯曲断裂、拉伸断裂及撕裂断裂中的任一种。根据本发明，无论断裂部分的方式是弯曲断裂、拉伸断裂及撕裂断裂中的哪一种，其断裂部分均凹入遮蔽屏的外周线内侧而形成，故可增加除去外框部的方法的自由度，可高效率地进行制造。

本发明第四方面所述的遮蔽屏，在本发明第一至第三方面之任一方面所述的遮蔽屏中，所述断裂部分的端部自所述外周线凹入10～100μm而形成。根据本发明，由于断裂部分的端部自外周线向内侧凹入10～100μm而形成，故断裂部分不会触碰，不会产生金属片的脱落。

本发明第五方面所述的遮蔽屏原板由遮蔽屏和外框部构成，其中，遮蔽屏通过蚀刻加工形成有外周线，外框部用多个连结部保持该遮蔽屏，在所述连结部的遮蔽屏侧之所述外周线的内侧位置形成有被断裂部分。根据本发明，在除去外框部时断裂的被断裂部分处于连结部的遮蔽屏侧之外周线的内侧位置，故断裂部分凹入得到的遮蔽屏的外周线的内侧位置而形成。其结果，在其后的遮蔽屏的加工工序中，断裂部分不会被碰触，不会作为异物而脱落。

本发明第六方面所述的遮蔽屏原板，在本发明第五方面所述的遮蔽屏原板中，所述被断裂部分形成与沿所述遮蔽屏外周线方向的所述连结部的长度相同的长度。根据本发明，由于被断裂部分形成与沿所述遮蔽屏外周线方向的连结部的长度相同的长度，故除去外框部时产生的断裂在连结部的紧内侧即遮蔽屏内侧部分有选择地产生。其结果，断裂部分凹入得到的遮蔽屏的外周线的内侧位置而形成。

本发明第七方面所述的遮蔽屏原板，在本发明第五或第六方面所述的遮蔽屏原板中，所述被断裂部分被半腐蚀过。根据本发明，由于所述被断裂部分被半腐蚀过，所以外框部在被半腐蚀过的被断裂部分被有选择地断裂去除。

本发明第八方面所述的遮蔽屏原板，在本发明第七方面所述的遮蔽屏原板中，所述被半腐蚀过的部分的中心线在自所述外周线向内侧大于25μm小于100μm的范围内形成。根据本发明，由于被半腐蚀部分的中心线在自外周线向内侧大于25μm小于100μm的范围内形成，故外框部无论是用弯曲、拉伸或撕裂中的哪种方式去除，断裂部分的外端部均凹入得到的遮蔽屏之外周线的内侧位置而形成。

最后，本发明第九方面所述的遮蔽屏的制造方法，是采用本发明第五方面至第八方面中的任一方面所述的遮蔽屏原板制造遮蔽屏的方法，所述遮蔽屏原板的外框部采用弯曲、拉伸及撕裂中的任一方式去除。根据本发明，由于遮蔽屏原板的外框部采用弯曲、拉伸或撕裂中的任一方式去除，故可容易地制造断裂部分不会被碰触而作为异物脱落的遮蔽屏。

附图的简要说明如下：

图1是显示本发明遮蔽屏原板之一例的平面图；

图2是显示图1的Ⅱ区域的放大平面图；

图3是显示图2的Ⅲ-Ⅲ剖面的放大剖面图；

图4A、图4B、图4C是例示本发明遮蔽屏的制造方法；

图5A、图5B、图5C是显示得到的各断裂方式的一例的放大剖面图；

图6是显示本发明遮蔽屏之一例的平面图；

图7是显示图6的Ⅶ区域的放大平面图；

图8是显示图7的Ⅷ-Ⅷ剖面的放大剖面图；

图9是现有遮蔽屏原板的连结部(被断裂部分)的放大平面图；

图10是现有遮蔽屏的断裂部分的放大平面图；

图11是显示图10的Ⅺ区域的放大平面图。

下面根据附图说明本发明的遮蔽屏原板。图1是显示本发明遮蔽屏原板1之一例的平面图；图2是显示图1的Ⅱ区域的放大平面图；图3是显示图2的Ⅲ-Ⅲ剖面的放大剖面图。另外，图中的交叉影线部分表示被断裂部分11、例如被半腐蚀的部分。

如图1所示，遮蔽屏原板1是将遮蔽屏用金属薄板蚀刻加工而得到的，由遮蔽屏2和外框部3构成，其中遮蔽屏2形成有外周线4，外框部3由多个连结部5保持该遮蔽屏2。在遮蔽屏2的内侧形成有使电子射线通过的有孔部分6。遮蔽屏2通过去除这种遮蔽屏原板1的外框部3而得到。

首先，说明遮蔽屏原板1的被断裂部分11。该被断裂部分11是在自遮蔽屏原板1去除外框部3而得到遮蔽屏2时形成遮蔽屏2的断裂部分21(参照图6及图7)的部分。在本发明中，如图2所示，被断裂部分11位于连结部5的遮蔽屏侧，且形成于外周线4的内侧位置。通过在这种位置形成被断裂部分11，去除外框部3时断裂的断裂部分21凹入遮蔽屏2的外周线4的内侧位置而形成。其结果，在其后的遮蔽屏2的加工工序中，不会碰触断裂部分21而使其作为异物(金属片)脱落。

被断裂部分11可通过半腐蚀方法使板厚变薄、或设置多个各种形状的细孔而形成。这样加工成的被断裂部分11有选择地降低了强度，故去除外框部3时在该被断裂部分11有选择地产生断裂。尤其是，利用半腐蚀方法形成被断裂部分是理想的。利用半腐蚀形成的被断裂部分11如图3所示，形成其中央部分凹入的形状。因此，经过半腐蚀的被断裂部分11在遮蔽屏原板1的通常处理中虽具有适当的强度，但在为了去除外框部3而进行的弯曲加工或拉伸加工中，应力集中，易于有选择地断裂。

被断裂部分11最好在去除外框部3时有选择地断裂，故如图2所示，最好形成与沿遮蔽屏2的外周线4的连结部5的长度L’相同的长度L。这样，去除外框部3时产生的断裂就在连结部5的紧内侧即遮蔽屏2的内侧部分产生，故断裂部分21就凹入得到的遮蔽屏2的外周线4的内侧位置而形成。并且，通过对形成于被断裂部分11的半腐蚀部的两端部(图2中长度L方向的左右两端部)和连结部5的屏蔽外周线4的端部(图2中长度L’方向的左右两端部)进行半腐蚀加工而连接，也可使去除外框部3时产生的断裂以凹入连结部5的紧内侧即遮蔽屏2的外周线4的内侧位置的形状而产生。在被断裂部分11的长度L小于连结部5的长度L’的情况下，被加工的被断裂部分11以外的部分也会产生断裂，故其断裂部分的端部有时会形成自外周线4向外侧凸出的凸形，不能解决所述的问题。另一方面，在被断裂部分11的长度L大于连结部5的长度L’的情况下，被加工的被断裂部分11被连结部5拉着，断裂部分21的端部22有时会形成自外周线4向外侧凸出的凸形，不能解决上述问题。

形成于被断裂部分11的半腐蚀部的中心线Y最好在外周线4的内侧隔着大于25μm小于100μm的范围的距离而形成。被断裂部分11的有选择的断裂还因被断裂部分11的加工方式而不同，但通常在形成于被断裂部分11的半腐蚀部的大致中心线Y附近产生。因此，通过将半腐蚀部的中心线Y在外周线4的内侧隔着大于25μm小于100μm的范围的距离而形成，即使在断裂后的断裂部分21的端部22产生延伸，也可防止该端部22在外周线4的外侧形成凸形。在外周线4和半腐蚀部的中心线Y的距离大幅度超过100μm的情况下，虽然断裂部分21的端部22不会在外周线4的外侧形成凸形，但由于其凹部使得遮蔽屏相互易于拉挂，从而有可能产生损伤或变形。而且，在遮蔽屏的成形工序中，有可能以凹部为起点产生成形皱褶。

在通过拉伸加工使利用半腐蚀而形成的被断裂部分11断裂时，由于通过伸展开的方式将断裂部分21拉伸，故考虑到其延伸量，最好将外周线4和半腐蚀部中心线Y的距离设定在100μm以下的范围。

在通过弯曲加工使利用半腐蚀而形成的被断裂部分11断裂时，最好将形成于被断裂部分11的半、腐蚀部的最小厚度T2设定为20～40μm。通过将其设定在该范围，在去除外框部3之前，遮蔽屏2不容易自被断裂部分11断裂分离，并且在利用弯曲加工去除外框部3时，不容易在断裂部分21上产生裂缝。若形成于被断裂部分11的半腐蚀部的最小厚度T2不足20μm，则在去除外框部3之前，有可能使遮蔽屏2容易地自被断裂部分11断裂分离。另一方面，若半腐蚀部的最小厚度T2超过40μm，则在通过弯曲加工去除外框部3时，有可能容易在断裂部分21产生裂缝。

在通过撕裂加工使利用半腐蚀而形成的被断裂部分11断裂时，最好将形成于被断裂部分11的半腐蚀部的中心线Y附近的最小厚度T2形成为遮蔽屏原板1的非腐蚀部的板厚T1的15～30％。通过将其设定在该范围，在去除外框部3之前，遮蔽屏2不容易自被断裂部分11断裂分离，并且在利用撕裂加工去除外框部3时，可防止外周线4变形。若形成于被断裂部分11的半腐蚀部的中心线Y附近的最小厚度T2不足非腐蚀部的板厚T1的15％，则在去除外框部3之前，有可能使遮蔽屏2容易地自被断裂部分11断裂分离。另一方面，若形成于被断裂部分11的半腐蚀部的中心线Y附近的最小厚度T2超过非腐蚀部的板厚T1的30％，则在通过撕裂加工去除外框部3时，断裂强度高，不能容易地撕裂，外周线4有可能产生波形变形。

在通过拉伸加工使利用半腐蚀而形成的被断裂部分11断裂时，最好形成于被断裂部分11的半腐蚀部的总截面积较小，可容易地使被断裂部分11断裂并去除外框部3。但是，若该总截面积过小，则在去除外框部3之前，有可能使遮蔽屏2容易地自被断裂部分11断裂分离。另一方面，若该总截面积过大，则断裂强度高，断裂时有可能使外周线4变形。该总截面积的理想范围根据材料自身的强度及制造遮蔽屏时输送基体材料的张力等不同而不同，故要根据不同的情况适当设定最佳范围。

下面说明遮蔽屏原板1的其他部分。

连结部5是为了使遮蔽屏2在处理遮蔽屏原板1时不容易分离而设置的，横断遮蔽屏2的外周线4，以规定的宽度L’断续设置有多个。因此，其个数及宽度L’等根据得到的遮蔽屏2的产品规格分别设定。现有遮蔽屏原板设置的连结部105如图9所示，连结部105兼作被断裂部分，例如通过对被半腐蚀的连结部105进行弯曲加工或撕裂加工等，将外框部103去除而得到遮蔽屏102，但是，在本发明中，是在与连结部5邻接的被断裂部分11产生断裂，去除外框部3而得到遮蔽屏2，这一点与现有技术不同。

外周线4是形成遮蔽屏2的轮廓的最外周的线，其形状根据要得到的遮蔽屏2的产品规格而分别设定。通常，在设置遮蔽屏2的有孔部分6时，利用蚀刻加工而形成。外周线4的一部分由为了保持遮蔽屏2而设置的连结部5遮蔽，但本发明中，连结部5也作为外周线4延长而得到的假想外周线而设置，被断裂部分11和外周线4的位置关系由其和该假想外周线的关系而限定。

外框部3为遮蔽屏原板1中要得到的遮蔽屏2以外的部分，承担保持遮蔽屏2的作用。外框部3上根据去除方法的不同，有时也设有贯通孔构成的针孔或半腐蚀部分。这种外框部3的加工可根据遮蔽屏2的去除方法适当进行，无特别限定。

对于遮蔽屏2也无特别限定，但对在除去外框部3后的遮蔽屏2的加工工序，有可能碰触断裂部分21使其作为异物而脱落的情况非常好。

下面对遮蔽屏的制造方法进行说明。图4A～图4C例示本发明遮蔽屏2的制造方法。

图4A显示从四面拉伸遮蔽屏原板1的外框部3并将其去除而制造遮蔽屏2的方法。在该方法中，对被断裂部分11施加拉伸应力，通常形成拉伸断裂特有的断裂方式。图4B显示对遮蔽屏原板1的外框部3上下弯曲加工并将其去除而制造遮蔽屏2的方法。在该方法中，对被断裂部分11施加弯曲应力，通常形成弯曲断裂特有的断裂方式。图4C显示对遮蔽屏原板1的外框部3进行撕裂加工并将其去除而制造遮蔽屏2的方法。在该方法中，对被断裂部分11施加剪切应力，通常形成撕裂(剪切)断裂特有的断裂方式。

图5A～图5C是显示要得到的各断裂方式的一例的放大剖面图。图5A显示通过拉伸加工使被断裂部分11断裂时的断裂方式，图5B显示通过弯曲加工使被断裂部分11断裂时的断裂方式，图5C显示通过撕裂加工使被断裂部分11断裂时的断裂方式。图5A的断裂方式由于进行了拉伸加工，故呈现断裂前端部伸长的形状。本发明中，无论这些断裂方式中的哪种断裂方式，断裂部分21均凹入遮蔽屏2的外周线4的内侧而形成。

在上述本发明的制造方法中，由于无论哪种方法断裂部分21均凹入遮蔽屏2的外周线4的内侧而形成，故可容易地制造不会碰触断裂部分21而使其作为异物脱落的遮蔽屏2。

最后，说明遮蔽屏。图6是显示本发明遮蔽屏2之一例的平面图，图7是显示图6的Ⅶ区域的放大平面图，图8是显示图7的Ⅷ-Ⅷ剖面的放大剖面图。本发明的遮蔽屏2是自遮蔽屏原板去除外框部3而得到的，该遮蔽屏原板由遮蔽屏2和外框部3构成，其中，遮蔽屏2利用蚀刻加工形成有外周线4，外框部3用多个连结部5保持遮蔽屏2。遮蔽屏原板利用上述结构的遮蔽屏原板1，去除外框部3的遮蔽屏2的制造方法也可应用上述例示的遮蔽屏的制造方法。

这样得到的遮蔽屏2，去除外框部3而形成的断裂部分21凹入得到的遮蔽屏2的外周线4的内侧位置而形成。现有的遮蔽屏102的断裂部分111如图10所示，由于断裂部分111的端部112自外周线104向外侧位置形成凸形，故在其后的遮蔽屏2的加工工序中，断裂部分111有可能被碰触而作为异物脱落，而本发明的遮蔽屏2不会出现这种情况。

该断裂部分21最好是经过半腐蚀的部分。在现有的通过弯曲加工而进行断裂加工的遮蔽屏的断裂部分111上，如图11所示，产生了微细的裂缝121，故有可能以该裂缝121为起点使异物脱落，但，在本发明的遮蔽屏2中，通过将被断裂部分11形成的半腐蚀部的中心线Y附近的最小厚度T2设定为适当的值，如图2所示，断裂应力集中在进行过半腐蚀而板厚变薄的被断裂部分11而形成断裂部分11。其结果，难于在该断裂部分21产生裂缝，在其后的遮蔽屏2的加工工序中，断裂部分21也不会被碰触而作为异物脱落。

此时，为了在其后的遮蔽屏的加工工序中不使金属模等碰触断裂部分21，完全防止异物的产生，断裂部分21的端部22最好自遮蔽屏2的外周线4向内侧方向凹入10μm以上。若这种断裂部分21的端部22的凹入不足10μm，则在其后的加工工序中金属模等就有可能碰触断裂部分21而产生异物。另一方面，若断裂部分21的端部22的凹入量超过100μm，则有时会在凹入部分的周围产生皱褶，故端部22的凹入最好在100μm以下。

在本发明的遮蔽屏中，断裂部分21具有弯曲断裂、拉伸断裂及撕裂断裂中的某种断裂方式。这样的断裂方式由图4A～图4C所示的制造方法带来，并且，由于其断裂部分21凹入遮蔽屏2的外周线4的内侧位置而形成，故去除外框部的方法的自由度增加，可高效率地制造。其中，特开平4-71138号公报所记载的弯曲断裂方法虽然由于一次可处理多个遮蔽屏原板，故效率较高，但由于弯曲方式易于在断裂部产生裂缝，形成因其在遮蔽屏成形工序与金属模的摩擦等而易于以裂缝为起点而使金属片脱落的状态。本发明中，由于断裂部分21形成凹状，且通过半腐蚀使金属残留厚度变薄，故抑制了裂缝的产生，断裂部分21不会与金属模等接触，可消除金属片的脱落。因此，可选择效率最好的特开平4-71138号公报所记载的由弯曲进行的断裂方法。

下面，通过实施例进一步具体说明本发明。

实施例1

首先，使用由厚度120μm的因瓦合金[(法)invar]材料构成的遮蔽屏用金属薄板制造本发明的遮蔽屏原板1，这里，本发明的遮蔽屏原板1的被断裂部分周边的尺寸为：连结部5的长度L’=10mm，作为被断裂部分11的半腐蚀部的长度L=10mm，半腐蚀部的宽度W=125μm，半腐蚀部的最小厚度T2=35μm，遮蔽屏外周的贯通部7的宽度T5=400μm。利用特开平4-71138号公报所记载的弯曲断裂方法(近似于图4B的断裂方法的方法)自该遮蔽屏原板断裂分离外框部3。得到的本发明的实施品即遮蔽屏2断裂部分21凹入外周线4的内侧而形成。此时，自外周线4至断裂部分21的端部22的凹入长度D为27μm。

然后，使用由厚度120μm的因瓦合金[(法)invar]材料构成的遮蔽屏用金属薄板制造现有型的遮蔽屏原板，这里，现有型的遮蔽屏原板的被断裂部分周边的尺寸为：半腐蚀过的连结部105的长度L’=10mm，半腐蚀过的连结部105的最小厚度T2=80μm，连结部的宽度即遮蔽屏外周的贯通部107的宽度T5=200μm。利用特开平4-71138号公报所记载的弯曲断裂方法(近似于图4B的断裂方法的方法)自该遮蔽屏原板断裂分离外框部3。得到的现有品的遮蔽屏102的断裂部分111自外周线104向外侧形成凸形。此时，自外周线104至断裂部分111的端部112的凸出长度d为80μm。

用电子显微镜观察这样得到的各种遮蔽屏的断裂部分的端部附近。其结果，确认了本发明的实施品产生裂缝的比例显著降低。将现有品和本发明的实施品的遮蔽屏分别在钢制的平板上对接，结果发现：现有品在断裂部分111的外端部112产生了变形。而本发明的实施品看不到任何变形，对接时断裂部分21不接触平板。

实施例2

首先，使用由厚度120μm的因瓦合金[(法)invar]材料构成的遮蔽屏用金属薄板制造本发明的遮蔽屏原板1，这里，本发明的遮蔽屏原板1的被断裂部分周边的尺寸为：连结部5的长度L’=10mm，作为被断裂部分11的半腐蚀部的长度L=10mm，半腐蚀部的宽度W=115μm，外周线4与半腐蚀部中心线Y的距离T3=30μm，半腐蚀部的最小厚度T2=28μm，遮蔽屏外周的贯通部7的宽度T5=400μm。利用图4C所示的撕裂断裂方法自该遮蔽屏原板断裂分离外框部3。此时，自上方用压板固定遮蔽屏2，仅将外框部3向斜上方且向遮蔽屏外侧拉抬进行撕裂断裂。得到的本发明的实施品即遮蔽屏2的断裂部分21凹入外周线4的内侧而形成。此时，自外周线4至断裂部分21的端部22的凹入长度D为28μm。

然后，使用由厚度120μm的因瓦合金[(法)invar]材料构成的遮蔽屏用金属薄板制造比较用的遮蔽屏原板，这里，比较用的遮蔽屏原板的被断裂部分周边的尺寸为：连结部5的长度L’=10mm，作为被断裂部分11的半腐蚀部的长度L=10mm，半腐蚀部的宽度W=100μm，外周线4与半腐蚀部中心线Y的距离T3=30μm，半腐蚀部的最小厚度T2=50μm，遮蔽屏外周的贯通部7的宽度T5=400μm。利用图4C所示的撕裂断裂方法自该遮蔽屏原板断裂分离外框部3。此时，自上方用压板固定遮蔽屏2，仅将外框部3向斜上方且向遮蔽屏外侧拉抬进行撕裂断裂。得到的比较用的遮蔽屏2断裂部分21凹入外周线4的内侧而形成。此时，自外周线4至断裂部分21的端部22的凹入长度D为40μm。但是，外周线4产生了波形变形。

实施例3

首先，使用由厚度120μm的因瓦合金[(法)invar]材料构成的遮蔽屏用金属薄板制造本发明的遮蔽屏原板1，这里，本发明的遮蔽屏原板1的被断裂部分周边的尺寸为：连结部5的长度L’=10mm，作为被断裂部分11的半腐蚀部的长度L=10mm，半腐蚀部的宽度W=115μm，外周线4与半腐蚀部中心线Y的距离T3=30μm，半腐蚀部的最小厚度T2=28μm，遮蔽屏外周的贯通部7的宽度T5=400μm。利用图4A所示的拉伸断裂方法自该遮蔽屏原板断裂分离外框部3。此时，用固定板夹固遮蔽屏2的两面，仅将外框部3向遮蔽屏的水平方向拉伸而进行断裂。

得到的本发明的实施品即遮蔽屏2的断裂部分21凹入外周线4的内侧而形成。此时，自外周线4至断裂部分21的端部22的凹入长度D为20μm。之所以比实施例1及实施例2的本发明的实施品的凹入长度D小，是因为如图5A所示，在拉伸断裂中断裂前端部被拉长的缘故。

如上所述，根据本发明的遮蔽屏，由于去除外框部而形成的断裂部分凹入得到的遮蔽屏的外周线的内侧位置而形成，故在其后的遮蔽屏的加工工序中，断裂部分不会被碰触而作为异物脱落。

根据本发明的遮蔽屏原板，由于经过半腐蚀的被断裂部分形成于连结部的遮蔽屏侧的外周线的内侧位置，故去除外框部时，由半腐蚀过的被断裂部分断裂。其结果，得到的遮蔽屏形成的断裂部分凹入外周线的内侧位置而形成，故在其后的遮蔽屏的加工工序中，断裂部分不会被碰触而作为异物脱落。

根据本发明的遮蔽屏的制造方法，由于遮蔽屏原板的外框部通过弯曲、拉伸及撕裂中的任一种方法而去除，故可容易地制造断裂部分不会被碰触而作为异物脱落的遮蔽屏。

Claims (9)

1、一种遮蔽屏，是自遮蔽屏和外框部构成的遮蔽屏原板去除所述外框部而得到的，其中，所述遮蔽屏通过蚀刻加工形成有外周线，所述外框部用多个连结部保持该遮蔽屏，

其特征在于，去除所述外框部而形成的断裂部分凹入得到的遮蔽屏的外周线内侧而形成。

2、如权利要求1所述的遮蔽屏，其特征在于，所述断裂部分为被半腐蚀过的部分。

3、如权利要求1或2所述的遮蔽屏，其特征在于，所述断裂部分的方式是弯曲断裂、拉伸断裂及撕裂断裂之任一种。

4、如权利要求1至3任一项所述的遮蔽屏，其特征在于，所述断裂部分的端部自所述外周线向内侧凹入10～100μm而形成。

5、一种遮蔽屏原板，由遮蔽屏和外框部构成，其中，所述遮蔽屏通过蚀刻加工形成有外周线，所述外框部用多个连结部保持该遮蔽屏，

其特征在于，在所述连结部的遮蔽屏侧之所述外周线的内侧位置形成有被断裂部分。

6、如权利要求5所述的遮蔽屏原板，其特征在于，所述被断裂部分形成与沿所述遮蔽屏外周线方向的所述连结部的长度相同的长度。

7、如权利要求6所述的遮蔽屏原板，其特征在于，所述被断裂部分被半腐蚀过。

8、如权利要求7所述的遮蔽屏原板，其特征在于，所述被半腐蚀过的部分的中心线在自所述外周线向内侧大于25μm小于100μm的范围内形成。

9、一种遮蔽屏的制造方法，是采用权利要求5至8任一项所述的遮蔽屏原板来制造遮蔽屏的方法，

其特征在于，所述遮蔽屏原板的外框部采用弯曲、拉伸及撕裂中的任一方式而去除。

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