CN1271415C - 电容检测电路、电容检测装置及麦克风装置 - Google Patents

电容检测电路、电容检测装置及麦克风装置 Download PDF

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Abstract

一种电容检测电路(10)包括交流电压发生器(11)、同相输入端子连接在给定电位上(在本例子中，接地)的第一运算放大器(14)、构成电压跟随器的第二运算放大器(16)、连接在交流电压发生器(11)与第一运算放大器(14)的反相输入端子之间的电阻(R1)(12)、连接在第一运算放大器(14)反相输入端子和第二运算放大器(16)的输出端子之间的电阻(R2)(13)、连接在第一运算放大器(14)的输出端子与第二运算放大器(16)的同相输入端子之间的阻抗元件(电容器)(15)，被测电容器(17)连接在第二运算放大器(16)的同相输入端子与给定电位之间，电容检测电路(10)与被测电容器(17)被设置在相邻位置上。

Description

电容检测电路、电容检测装置及麦克风装置
技术领域
本发明一般地涉及用于检测电容的电路及装置等，更具体地，本发明涉及用于以高精度检测微小电容的检测电路、装置及麦克风装置。
背景技术
作为电容检测电路的现有实例，可例举日本专利特开平9-280806号公报所述的内容。图1是表示该电容检测电路的电路图。在该检测电路中，在电极90、91上所形成的电容传感器92通过信号线93连接在运算放大器95的反相输入端子上。而且，在该运算放大器95的输出端子与所述反相输入端子之间连接有电容器96，同时，向同相输入端子施加交流电压Vac。此外，信号线93被屏蔽线94包覆，从而电气屏蔽干扰噪声。而且，该屏蔽线94连接在运算放大器95的同相输入端子上。输出电压Vd从运算放大器95的输出端子经由变压器97输出。
在该检测电路中，运算放大器95的反相输入端子与同相输入端子处于虚短路状态，因此，反相输入端子所连接的信号线93与同相输入端子所连接的屏蔽线94基本处于相等电位。由此，信号线93被屏蔽线94保护，即，93、94两者之间的寄生电容被消除，从而得到难以被寄生电容影响的输出电压Vd。
但是，若采用这样的现有技术，确实可以在电容传感器92的电容大到一定程度时，获得不受信号线93与屏蔽线94之间的寄生电容影响的准确的输出电压Vd，但是在检测几pF或fF(飞母托法拉)级以下的微小电容时，就会有误差增大的问题。
而且，根据施加的交流电压Vac的频率的不同，由于运算放大器95的循迹误差等，处于虚短路状态的反相输入端子与同相输入端子的电压最终会产生微小的相位、振幅的偏移，从而导致检测误差增大。
但另一方面，在以便携式电话机等为代表的轻便、小型的语音通信设备中需要一种集成的放大电路，从而将使用电容式麦克风等电容传感器检测到的声音高灵敏度且如实地转换成电信号。若能够准确地检测出几pF或fF级以下的微小的电容或其变化，就可以得到能够以极高的灵敏度且如实地检测出声音的高性能麦克风，从而可以大幅度提高便携式电话机等的语音通信设备上的语音拾取的性能。
发明内容
因此，本发明是鉴于上述情况进行的，其目的在于，提供一种电容检测电路等，所述电容检测电路可以准确地检测微小电容，并适用于轻便、小型的语音通信设备中所使用的电容式麦克风等电容传感器的电容检测。
为了达成上述目的，本发明的电容检测电路，输出与被测电容器的电容相对应的检测信号，其特征在于，所述电容检测电路包括输入阻抗较高且电压增益大致为1的电压跟随器、电容性第一阻抗元件、运算放大器、向所述运算放大器施加交流电压的交流电压发生器、连接在所述运算放大器的输出上的信号输出端子，其中，所述被测电容器的一端和所述第一阻抗元件的一端连接在所述电压跟随器的输入端子上，所述运算放大器的负反馈环中包含第一阻抗元件及所述电压跟随器，将所述被测电容器与所述电容检测电路相邻设置。
此外，本发明的电容检测电路，输出与被测电容器的电容相对应的检测信号，其特征在于，所述电容检测电路包括输入阻抗较高且电压增益大致为1的电压跟随器、电容性第一阻抗元件、运算放大器、向所述运算放大器施加交流电压的交流电压发生器、连接在所述运算放大器的输出上的信号输出端子，其中，所述被测电容器的一端和所述第一阻抗元件的一端连接在所述电压跟随器的输入端子上，所述运算放大器的负反馈环中包含第一阻抗元件及所述电压跟随器，所述被测电容器、所述第一阻抗元件以及所述电压跟随器接近设置。
作为具体的例子，构成一电容检测电路，该电容检测电路包括交流电压发生器、同相输入端子连接在给定电位上的第一运算放大器、用于构成电压跟随器的第二运算放大器、连接在第一运算放大器的反相输入端子和第二运算放大器的输出端子之间的电阻、连接在第一运算放大器的输出端子和第二运算放大器的同相输入端子之间的电容器(第一阻抗元件)，其中，被测电容器连接在第二运算放大器的同相输入端子与给定电位之间，并且将电容检测电路与被测电容器相邻设置，或者设置在使信号线的寄生电容不超过所连接元件的电容最大值10倍的距离较短的接近的位置上。此处，给定电位是指某个基准电位、给定的直流电位、接地电位或悬浮状态中的任一种，可从中选择最适合实施例的一种。此外，还可以设有连接在交流电压发生器与第一运算放大器的反相输入端子之间的第二阻抗元件(电阻)。
通过这样的结构，在向被测电容器施加恒定的电压的同时，流向被测电容器的电流几乎全部都流向电容器(第一阻抗元件)，因此可以从信号输出端子输出与被测电容器的电容相对应的信号。
另外，为了减少噪声掺入到连接电容检测电路与被测电容器的信号线中，以及减少该信号线的寄生电容的产生，可以将被测电容器与电容检测电路尽量设置在相邻的位置上。或者，将被测电容器、第一阻抗元件以及电压跟随器尽量设置在接近的位置上。
这里，在本申请说明书中，所述“接近”是指处于下述状态，即，信号线的寄生电容不超过被测电容器的电容值和电容性第一阻抗元件的电容值中较大电容值的10倍。这是因为，当信号线的寄生电容为不超出所连接元件的电容值的上一数量级的数值的电容值时，本发明的电容检测电路可以防止检测灵敏度大幅度恶化，这是根据经验得出的。该信号线的寄生电容，可在被测电容器、第一阻抗元件、电压跟随器不与信号线连接的状态下，通过进行电容测量来测出。因此，在本申请说明书中，将在上述接近的条件下相邻连接的状态称为“相邻”。
这里，也可以在上述电容检测电路中添加将用于对信号输出端子上的信号进行反相的反相放大电路，和将电压跟随器的输出信号与反相放大电路的输出信号进行相加的加法电路。而且，还可以与电容器(第一阻抗元件)并联连接电阻。
此外，作为本发明的应用，将被测电容器作为根据电容的变化来检测物理量的电容性传感器，并且电容检测电路形成在印刷线路板或硅基片上，并将所述电容性传感器固定在基片上，或者，最好构成一体。作为更具体的例子，被测电容器最好使用电容式麦克风，以IC来实现电容检测电路，并将电容式麦克风与IC一体化，而且作为便携式电话机等所使用的麦克风放置在一个外壳(屏蔽盒)内。此时，将电容式麦克风与IC固定在相邻位置上，并通过导电板、布线图形、焊线等连接。
附图说明
图1是以往的电容检测电路的电路图；
图2是本发明第一实施例中的电容检测电路的电路图；
图3是本发明第二实施例中的电容检测电路的电路图；
图4是本发明的电容检测电路应用于电子设备的例子的示意图(麦克风的剖面图)；
图5是图4中所示的麦克风的简要外观示意图，其中图A是平面图，图B是正视图，图C是仰视图；
图6是麦克风的另外一个例子的剖面图；
图7是图6中所示的麦克风的外观示意图，其中图A是平面图，图B是正视图；
图8是本发明的其他实施例中的电容检测电路的电路图。
具体实施方式
下面，利用附图对发明的实施例予以说明。
(第一实施例)
图2是本发明第一实施例中的电容检测电路10的电路图。而且，在该图中，该电容检测电路10连接有作为检测对象的被测电容器17(这里是电容式麦克风等、利用电容Cs的变化来检测各种物理量的电容传感器)。
该电容检测电路10由产生交流电压的交流电压发生器11、电阻(R1)12、电阻(R2)13、第一运算放大器14、阻抗元件(这里是电容为Cf的电容器)15及第二运算放大器16构成，并且，将与被测电容器17的电容相对应的检测信号(电压Vout)从信号输出端子20输出。
交流电压发生器11的一端连接在给定电位上(在本实施例中接地)，并从另一端(输出端子)产生恒定的交流电压(电压Vin、角频率ω)。在交流电压发生器11的输出端子与第一运算放大器14的反相输入端子之间连接有电阻(R1)12。
第一运算放大器14是输入阻抗及开环增益都很高的电压放大器，此处，同相输入端子连接在给定电位上(在本实施例中接地)，同相输入端子及反相输入端子处于虚短路状态。在该第一运算放大器14的负反馈环上，即在从第一运算放大器14的输出端子到反相输入端子之间，顺次串联连接有电容器15、第二运算放大器16以及电阻(R2)13。
第二运算放大器16的反相输入端子与输出端子相连，构成了输入阻抗极高而输出阻抗极低，且电压增益大致为1的电压跟随器。在该第二运算放大器16的同相输入端子21上，通过信号线或印刷线路板上的布线图形等导电体连接着被测电容器17的一端，另一方面，被测电容器17的另一端连接在给定电位(在本实施例中接地)上。第一运算放大器14的输出端子上连接有信号输出端子20，该信号输出端子20用于输出该电容检测电路10的输出信号，即与被测电容器17的电容相对应的检测信号。
而且，对于被测电容器17与电容检测电路10的连接，为了避免作为检测误差加进不必要的寄生电容、或掺入干扰噪声等情况，最好使用尽可能短的导电体(电缆、铜箔的布线图形、连接端子等)来连接为好。此外，如果可能，为了加强对杂音的屏蔽，最好使用接地的屏蔽部件覆盖整个被测电容器17及电容检测电路10，或者将其放置于屏蔽盒内。
如上构成的电容检测电路10的动作如下进行。
首先来看一下由电阻(R1)12、电阻(R2)13及第一运算放大器14等构成的反相放大电路，第一运算放大器14的两个输入端子处于虚短路的状态，故其电位相同(例如为0V)，并且，由于其输入阻抗极高，电流无法流过，因而流过电阻(R1)12的电流为Vin/R1，又由于该电流全部流过电阻(R2)13，所以，若将第二运算放大器16的输出电压设为V2，则
Vin/R1＝-V2/R2
成立。对其进行整理，则第二运算放大器16的输出电V2为：
V2＝-(R2/R1)·Vin                       (公式1)
而且，由于第二运算放大器16构成电压跟随器，其两个输入端子处于虚短路状态，输入电压(同相输入端子21的电压)与输出电压(在反相输入端子及输出端子22上的电压)相等，所以，对于该输入电压V1，
V1＝V2                                  (公式2)
成立。即，第一运算放大器14为的是获取足够增益，通过将同相输入端子连接在给定电位上，可以提高其运行的稳定性。而且，由于第二运算放大器16的增益是1，且反相输入与输出的电压是确定的，所以，同相输入电压也确定了。这样，由于用于充分获取增益的放大器与用于确定电压的放大器分开，所以，可以分别提高它们的稳定性，大幅度地降低运算误差。
另外，若将经由电容器15流向被测电容器17的电流设为i，则由于第二运算放大器16的输入阻抗极高，又由于该电流i全部都流向电容器17，所以，电流i为jωCs·V1，故而，从信号输出端子20输出的检测信号的电压Vout为：
Vout＝i·(1/jωCf)+V1＝(1+Cs/Cf)·V1    (公式3)
由上述公式1和公式2将V2消去，则可得：
V1＝-(R2/R1)·Vin                       (公式4)
然后将该V1代入上述公式3，则可得：
Vout＝-(1+Cs/Cf)·(R2/R1)·Vin          (公式5)
从该公式5中可知，从电容检测电路10的信号输出端子20输出的检测信号的电压Vout与被测电容器17的电容Cs的值有关。因此，通过对该电压Vout施加各种信号处理可以确定电容Cs。而且，从在该公式5中不含角频率ω可知，该检测信号的电压Vout与来自交流电压发生器11的交流信号Vin的频率及被测电容器17的频率的变化无关。由此，可以实现这样一种电容检测电路，即，不依赖于向被测电容器17施加的交流电压的频率就可以检测出被测电容器17的电容(没有电路中的频率相关性)。因此，对于电容式麦克风等电容值在某一频率(声音波段)变化的被测电容器17，不必对检测出的信号进行频率修正，而是可从该电压值直接确定电容值。
而且，在本实施例的电容检测电路10中，向电容器15及被测电容器17提供电流的第一运算放大器14的同相输入端子连接并被固定在给定电位上。因此，与图1所示的以往电路中的运算放大器95不同，由于第一运算放大器14可向电容器15及被测电容器17供给噪声小、稳定的电流，而与所输入的交流信号的频率无关，所以可检测出被测电容器17的微小电容。
另外，根据与本发明的实验，在图2的电容检测电路中，例如，当Cs(被测电容器：在本实施例中是麦克风)原电容为20pF时，若信号线的寄生电容超过200pF，则检测灵敏度就会大幅度降低。而且，对于上述Cs，当利用几个其他的电容值进行确认时，也得到了相同趋势的结果。
而且，对于作为第一阻抗元件的电容Cf和被测电容器Cs，在该电路中都是与信号线连接的电容元件，无论对哪一个元件进行试验，在计算上都会得到与上述相同的结果。
从这些实验结果及经验可知，为了使信号线的寄生电容不超出该Cs或Cf电容值的一个数量级以上的数值，可以使被测电容器、第一阻抗元件以及电压跟随器接近，从而得到良好的检测灵敏度。
(第二实施例)
接下来，对本发明第二实施例中的电容检测电路予以说明。
图3是第二实施例中的电容检测电路30的电路图。该电容检测电路30从大体上分的话，由以下三部分构成，即：核心部分31，相当于图2所示的电容检测电路10；反相部分32，该部分将核心部分31的信号输出端子20上的信号电压V01作为输入来进行反相；以及加法部分33，该部分将反相部分32的输出端子23上的信号电压V03与核心部分31的交流输出端子22上的信号电压V02进行相加，并向输出端子24输出电压V04的检测信号。
核心部分31是与图2所示的电容检测电路10相同的电路。因此，核心部分31的信号输出端子20的电压V01根据上述公式5，可表示为：
V01＝-(1+Cs/Cf)·(R2/R1)·Vin    (公式6)
核心部分31的交流输出端子22的电压V02根据上述公式1，可表示为：
V02＝-(R2/R1)·Vin               (公式7)
反相部分32是具有可变电阻(R4)40、电阻(R5)41、可变电阻(R6)42、电容器43以及运算放大器44的反相放大电路，其电压增益为-1，并且，可以调节可变电阻(R4)40和可变电阻(R6)42，使输出端子23上的信号V03的相位与核心部分31的交流输出端子22上的信号V02相同。因此，对于该反相部分32的输入电压V01与输出电压V03，在理想情况下，有下列关系成立：
V03＝-V01                        (公式8)
加法部分33是电阻(R7)45、电阻(R8)46及电阻(R9)47这3个电阻值相等的电阻连接在运算放大器48上的加法器。即，对于2个输入信号电压V02与V03，以及输出电压V04，有下列关系成立：
V04＝-(V02+V03)                  (公式9)
将上述公式8代入公式9并消去V03，然后，将上述公式6及公式7代入，则
V04＝V01-V02
＝-(Cs/Cf)·(R2/R1)·Vin         (公式10)
成立。即，可知，从电容检测电路30的输出端子24输出的检测信号的电压V04与电容值Cs成比例。因此，根据该电压V04，通过进行各种信号处理，可以很容易地确定未知的电容值Cs或电容的变化。
将公式10与表示第一实施例中检测信号的电压Vout的公式5进行比较，可知在第二实施例中的电容检测电路30中得到的检测信号与第一实施例不同，它只含有与被测电容器17的电容成比例的部分，不含有不必要的偏移部分(与被测电容器17无关的电压)。因此，第二实施例中用于从检测信号确定被测电容器17的电容或电容变化的信号处理简单易行。
另外，虽然在本实施例中以V03＝-V01的例子进行了说明，但是，本发明并不局限于此。根据电容传感器的种类，使V03＝k·V01(k为反相放大部分的放大系数)，则也可以设定输出电压V04，使得：
V04＝{k·(Cs/Cf)+(k+1)}·(R2/R1)·Vin
图4是上述第一和第二实施例中的电容检测电路应用于电子设备的例子的示意图。这里，示意的是电容式麦克风和电容检测电路被一体化了的、在便携式电话机等中使用的麦克风50的剖面图。该麦克风50由以下部分构成：盖体51，具有声孔52；振动膜53，根据声音而振动；环54，用于固定振动膜53的；隔板55a；固定电极56，通过隔板55a与振动膜53相对设置；绝缘板55b，用于支承固定电极56；IC芯片58，形成有由上述实施例中的电容检测电路，并固定于绝缘板55b的背面；IC封装件59，浇铸有IC芯片58；外部电极61a、61b，通过焊线、接触孔等与IC芯片58相连。
振动膜53是形成电容器的一个电极，其连接在给定电位上(在本实施例中接地)，另一个电极是固定电极56，通过铝板或焊线、接触孔等导电体连接在IC芯片58的电路上。由振动膜53和固定电极56构成的电容器的电容或者其变化，由通过绝缘板55b相邻的IC芯片58内的电容检测电路来检测，并转换为电信号，再从外部电极61a、61b输出。此外，盖体51由铝等金属制成，连同形成在绝缘基片60上表面的导电膜，可实现屏蔽盒的功能，即屏蔽干扰内部电容器53、56及IC芯片58的噪声。另外，在本实施例中，固定电极56与电路相连，振动膜53连接在给定电位上，但是，也可以将振动膜53与电路相连，固定电极56连接在给定电位上。但是，根据经验前者较好。
图5是图4中所示的麦克风50的简要外观示意图。图5A是平面图，图5B是正视图，图5C是仰视图。图5A、图5B所示的盖体51的大小例如是大约φ5mm×高2mm。图5C所示的4个外部电极61a～61d例如是电容检测电路电源用的2个端子，和输出信号用的2个端子。
在所述应用实例中，被测电容器(在这里是电容式麦克风)与电容检测电路(在这里是IC芯片)相邻设置，因此信号线通过长度极短的导电体来实现，所述导电体的长度使得信号线的寄生电容不超过电容式麦克风和电路内第一阻抗元件中任一个较大的电容值的10倍。然后，将这些部件用金属制盖体等屏蔽部件覆盖。因此，在所述应用实例中，可以忽略掺入用于连接被测电容器与电容检测电路的信号线(导电体)中的干扰噪声等不良影响。
即，在这种小型的麦克风中，由于被测电容器与电容检测电路通过极短的导电体连接，当使用带屏蔽的电缆等来连接它们，并设置用于向所述屏蔽层施加电压的特殊电路时，反而会使电路的规模变大，以至影响电路的集成化。因此，对于被测电容器与电容检测电路，最好是由非屏蔽(没有屏蔽)导电板、布线图形、焊线、导线等来连接成最短线路。作为另一麦克风的例子，如图6和图7所示，是将电路加载在基片上构成的。除了将图4的电容检测电路加载在基片62上以外，其他基本相同。
以上，根据两个实施例及应用于产品的实例对本发明的电容检测电路给予了说明，但本发明并不仅限于这些实施例和应用实例。
例如，在电容检测电路10及30中，为了检测出流向被测电容器17的电流，在第一运算放大器14和第二运算放大器16之间连接有电容器15，但也可以考虑连接电阻、电感等阻抗元件。
而且，如图8所示，也可以添加电阻18，使其与上述实施例的电容检测电路10及30中的电容器15并联连接。这样，电容器15与被测电容器17的连接点就通过电阻18与第一运算放大器14的输出端子相连，从而消除了直流形式的悬浮状态，固定了电位。
而且，作为被测电容器17连接的电容性传感器并不仅限于电容式麦克风，也包括利用电容的变化来检测各种物理量的所有传感器(设备)，如：加速度传感器、地震计、压力传感器、位移传感器、近程传感器、接触式传感器、离子传感器、湿度传感器、雨滴传感器、雪传感器、雷传感器、布置传感器(位置合わせセンサ)、接触不良传感器、形状传感器、终点检测传感器、振动传感器、超声波传感器、角速度传感器、液量传感器、气体传感器、红外线传感器、辐射传感器、水位计、冷冻传感器、水分计、振动计、充电传感器、印刷线路板检测仪等公知的电容性传感器等。
从以上说明可知，本发明的电容检测电路、电容检测装置及麦克风装置，经由电阻向运算放大器施加交流电压，并将被测电容器连接在信号线上，由此来检测被测电容器的电容。即，在同相输入端子连接在给定电位上的运算放大器的输出端子与电压跟随器的输入端子之间连接有电容器，同时在电压跟随器的输入端子与给定电位之间连接有被测电容器。
由此，可以使流向被测电容器的电流全部流向电容器，在运算放大器的输出端子输出与被测电容器的电容相对应的正确的信号，从而可以检测出几pF或fF级别以下微小的电容。
而且，由于运算放大器的同相输入端子连接在给定电位上，从而输入端子中一端的电位被固定，所以，运算放大器可以稳定地运行，降低运算误差，并抑制检测信号所含有的噪声。
而且，由于运算放大器与电压跟随器之间连接有电容器，所以，不依赖于所施加与运算放大器的交流电压的频率，也不依赖于被测电容器电容变化的频率就可以确保检测灵敏度。而且，当运算放大器与电压跟随器之间连接了电阻时，也不会发生由来自该电阻的热噪声导致的S/N比恶化的问题。
而且，通过将该电容检测电路和被测电容器设置在相邻的位置上，或者将信号线所连接的电路元件设置得比较接近，就不需要连接它们的屏蔽电缆或者用于消除电缆中产生的寄生电容的特殊电路等。
这里，也可以向所述电容检测电路中添加反相放大电路与加法电路，其中，所述反相放大电路用于对信号输出端子上的信号进行反相，所述加法电路用于对阻抗变换器的输出信号与反相放大电路的输出信号进行相加。由此，可消除电容检测电路的输出信号中包含的不必要的偏移成分，从而可以更有效地放大与被测电容器的电容相对应的有效信号。
此外，将被测电容器设为电容式麦克风，用IC来实现电容检测电路，并将这些电容式麦克风与IC一体化，同时置于一个外壳(屏蔽盒)内，以作为用于便携式电话机等中的麦克风，此时，由于电容式麦克风与电容检测电路被设置在极其相邻的位置上，所以不需要用于连接被测电容器与电容检测电路的直径较大的屏蔽电缆和用于施加保护电压的特殊电路等。
另外，由于本发明的电容检测电路是通过使电流流过检测被测电容器来检测其电容的，因而不必要像驻极体电容麦克风等那样向被测电容器的电极粘贴高分子薄膜等来驻极化，从而可适用于一般的电容式传感器。
如上所述，根据本发明，减少了使用环境的限制并可以正确地检测微小电容，而且，实现了适用于小型化的电容检测电路等，特别是，使便携式电话机等轻便、小型的语音通信设备的声音性能得以飞跃性提高，因而其实用价值非常高。
工业实用性
本发明的电容检测电路可作为电容性传感器的检测电路使用，特别是可作为便携式电话机等小型、轻便的设备中所安装的麦克风装置使用。

Claims (29)

1.一种电容检测电路，输出与被测电容器的电容相对应的检测信号，其特征在于，
所述电路包括输入阻抗高且电压增益大致为1的电压跟随器、电容性第一阻抗元件、运算放大器、向所述运算放大器施加交流电压的交流电压发生器、以及与所述运算放大器的输出相连接的信号输出端子，
其中，所述被测电容器的一端和所述第一阻抗元件的一端连接在所述电压跟随器的输入端子上，所述被测电容器的另一端连接在所述运算放大器的同相输入端子上，
所述运算放大器的负反馈环中包含第一阻抗元件及所述电压跟随器，
所述被测电容器与所述电容检测电路相邻设置。
2.一种电容检测电路，输出与被测电容器的电容相对应的检测信号，其特征在于，
所述电路包括输入阻抗高且电压增益大致为1的电压跟随器、电容性第一阻抗元件、运算放大器、向所述运算放大器施加交流电压的交流电压发生器、以及与所述运算放大器的输出相连接的信号输出端子，
其中，所述被测电容器的一端和所述第一阻抗元件的一端连接在所述电压跟随器的输入端子上，所述被测电容器的另一端连接在所述运算放大器的同相输入端子上，
所述运算放大器的负反馈环中包含第一阻抗元件及所述电压跟随器，
所述被测电容器、所述第一阻抗元件以及所述电压跟随器接近设置。
3.如权利要求1或2所述的电容检测电路，其特征在于，
所述电容检测电路还包含与所述第一阻抗元件并联连接的电阻元件。
4.如权利要求1或2所述的电容检测电路，其特征在于，
所述电路还包含设置在所述交流电压发生器与所述运算放大器之间的第二阻抗元件。
5.如权利要求3所述的电容检测电路，其特征在于，所述电路还包含设置在所述交流电压发生器与所述运算放大器之间的第二阻抗元件。
6.如权利要求1、2、5中任一项所述的电容检测电路，其特征在于，
所述电容检测电路还包括：
反相放大电路，用于使所述信号输出端子上的信号反相；和
加法电路，用于对所述电压跟随器的输出信号和所述反相放大电路的输出信号进行相加。
7.如权利要求3所述的电容检测电路，其特征在于，
所述电容检测电路还包括：
反相放大电路，用于使所述信号输出端子上的信号反相；和
加法电路，用于对所述电压跟随器的输出信号和所述反相放大电路的输出信号进行相加。
8.如权利要求4所述的电容检测电路，其特征在于，
所述电容检测电路还包括：
反相放大电路，用于使所述信号输出端子上的信号反相；和
加法电路，用于对所述电压跟随器的输出信号和所述反相放大电路的输出信号进行相加。
9.如权利要求1、5、7、8中任一项所述的电容检测电路，其特征在于，
所述被测电容器的一端与所述电压跟随器的输入端子通过非屏蔽的导电体来连接。
10.如权利要求3所述的电容检测电路，其特征在于，所述被测电容器的一端与所述电压跟随器的输入端子通过非屏蔽的导电体来连接。
11.如权利要求4所述的电容检测电路，其特征在于，所述被测电容器的一端与所述电压跟随器的输入端子通过非屏蔽的导电体来连接。
12.如权利要求6所述的电容检测电路，其特征在于，所述被测电容器的一端与所述电压跟随器的输入端子通过非屏蔽的导电体来连接。
13.如权利要求1、2、5、7、8、10、11、12中任一项所述的电容检测电路，其特征在于，
所述被测电容器及所述电容检测电路放置在一个屏蔽盒内。
14.如权利要求3所述的电容检测电路，其特征在于，所述被测电容器及所述电容检测电路放置在一个屏蔽盒内。
15.如权利要求4所述的电容检测电路，其特征在于，所述被测电容器及所述电容检测电路放置在一个屏蔽盒内。
16.如权利要求6所述的电容检测电路，其特征在于，所述被测电容器及所述电容检测电路放置在一个屏蔽盒内。
17.如权利要求9所述的电容检测电路，其特征在于，所述被测电容器及所述电容检测电路放置在一个屏蔽盒内。
18.一种电容检测装置，其特征在于，包括：
电容性传感器，作为根据电容的变化来检测物理量的所述被测电容器；和
权利要求1、5、7、8、10、11、12、14、15、16、17中任一项所述的电容检测电路，所述电容检测电路形成在印刷线路板或硅基片上，并被固定在所述电容性传感器上。
19.一种电容检测装置，其特征在于，包括：
电容性传感器，作为根据电容的变化来检测物理量的所述被测电容器；和
权利要求3所述的电容检测电路，所述电容检测电路形成在印刷线路板或硅基片上，并被固定在所述电容性传感器上。
20.一种电容检测装置，其特征在于，包括：
电容性传感器，作为根据电容的变化来检测物理量的所述被测电容器；和
权利要求4所述的电容检测电路，所述电容检测电路形成在印刷线路板或硅基片上，并被固定在所述电容性传感器上。
21.一种电容检测装置，其特征在于，包括：
电容性传感器，作为根据电容的变化来检测物理量的所述被测电容器；和
权利要求6所述的电容检测电路，所述电容检测电路形成在印刷线路板或硅基片上，并被固定在所述电容性传感器上。
22.一种电容检测装置，其特征在于，包括：
电容性传感器，作为根据电容的变化来检测物理量的所述被测电容器；和
权利要求9所述的电容检测电路，所述电容检测电路形成在印刷线路板或硅基片上，并被固定在所述电容性传感器上。
23.一种电容检测装置，其特征在于，包括：
电容性传感器，作为根据电容的变化来检测物理量的所述被测电容器；和
权利要求13所述的电容检测电路，所述电容检测电路形成在印刷线路板或硅基片上，并被固定在所述电容性传感器上。
24.一种麦克风装置，其特征在于，包括：
作为被测电容器的电容式麦克风；和
权利要求1、2、5、7、8、11、12、14、15、16、17中任一项所述的电容检测电路。
25.一种麦克风装置，其特征在于，包括：
作为被测电容器的电容式麦克风；和
权利要求3所述的电容检测电路。
26.一种麦克风装置，其特征在于，包括：
作为被测电容器的电容式麦克风；和
权利要求4所述的电容检测电路。
27.一种麦克风装置，其特征在于，包括：
作为被测电容器的电容式麦克风；和
权利要求6所述的电容检测电路。
28.一种麦克风装置，其特征在于，包括：
作为被测电容器的电容式麦克风；和
权利要求9所述的电容检测电路。
29.一种麦克风装置，其特征在于，包括：
作为被测电容器的电容式麦克风；和
权利要求13所述的电容检测电路。
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