CN1231298C

CN1231298C - 防水性部件及油墨喷头的制造方法

Info

Publication number: CN1231298C
Application number: CNB031044530A
Authority: CN
Inventors: 斋藤康行; 石仓淳理; 青山和弘
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2002-02-15
Filing date: 2003-02-14
Publication date: 2005-12-14
Anticipated expiration: 2023-02-14
Also published as: JP2003306762A; US20030157255A1; KR100525227B1; JP4474105B2; CN1438076A; US6783800B2; KR20030069080A

Abstract

通过用气体输送有防水性的物质的粒子、由喷嘴喷射所输送的前述粒子喷涂在基材上，在基材表面形成防水性膜，提供用简单的工序制造防水特性且耐久性好、有防水性膜被覆的防水性部件的方法。

Description

防水性部件及油墨喷头的制造方法

技术领域

本发明涉及玻璃、陶瓷、塑料或金属等的基材表面用有防水性的膜被覆的防水性部件的制造方法、以及油墨喷头的制造方法。

背景技术

过去，为了赋予防水性、耐候性或防污性等的特性，开发了各种的防水剂、防水方法，已在产业机器、电子仪器等的各种制品方面使用。

为了使之具有这样的表面特性，过去采用了以下的三种方法。

第一种方法是通过喷砂清理或蚀刻等将玻璃、塑料、金属等的基材表面粗面化，再用等离子体等处理后，涂布含有聚四氟乙烯(PTFE)等的含氟树脂粒子的涂料。干燥后在350°～400℃进行烧结处理，在基材表面涂布含氟树脂的方法。

第二种方法是采用真空蒸镀法、溅射法等，在玻璃、塑料、金属等的基材上形成聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物等氟系树脂的方法。

第三种方法是如特开本4-283268号公报所公开的，把分子量8000～10000左右的聚四氟乙烯低聚物分散在镀液中，使低聚物共析在镀膜上形成防水性金属复合体的方法。

这些是在基材上将防水性高的物质成膜、赋予防水性等表面特性的方法，但周知的是防水性不仅受形成材质的防水特性而且受表面状态极大的影响。

因此，尝试了要求更高的防水性、利用防水面表面存在的微小突起使实际的表面积比表观表面积大，增大与水的表观接触角。

例如，特开平4-239633号公报公开了利用硅氧烷链使有微粒子及硅酸盐玻璃混合所致凹凸层与含氟碳基及硅氧烷基的聚合物膜层进行化学结合，表面形成凹凸的防水性膜的方法。

然而，氟系树脂的被膜虽然防水性好，但耐擦伤性不够充分，不能作为硬涂层被膜利用。

因此，作为具备耐擦伤性的防水性被膜，特开平3-153859号公报公开了在塑料基材上以金属氧化物为底层，在该金属氧化物上形成金属氧化物与氟树脂的混合层的被膜。

根据该公报，在塑料基材上，作为底层采用真空蒸镀法形成金属氧化物层，在该底层上，用金属氧化物与氟系树脂组成的靶，采用溅射法形成金属氧化物与氟系树脂的混合层构成的被膜。

然而，如上述的以往技术的情况，产生如下述的问题。

过去第一种方法，必须合成含有聚四氟乙烯(PTFE)等含氟树脂粒子的涂料，还必须进行涂布、干燥、烧结处理，工序复杂。

第三种方法，把分子量8000～10000左右的聚四氟乙烯低聚物分散在镀液中，使低聚物共析在镀膜上形成防水性的金属复合体的方法，必须使聚四氟乙烯分散在镀液中，材料受到限制。

另外，过去的第一、第二、第三种方法，被膜由于用氟系树脂单一层覆盖，虽然防水性好，但耐擦力性不够充分。

因此，为了获得耐擦伤性好的被膜，有在基材上以金属氧化物层为底层、在该金属氧化物上形成金属氧化物与氟树脂的混合层的方法、但在底层上，用金属氧化物与氟系树脂组成的靶、采用溅射法形成金属氧化物与氟系树脂的混合层组成的被膜时，为了用相同的投入电力溅射氟系树脂和金属氧化物，由于一般选择性地进行比金属氧化物有大的成膜速度的氟系树脂，所以混合膜的组成控制(被膜中的金属氧化物与氟树脂的含有量)难，很难获得一定水平的防水性和耐擦伤性。

因此，要求容易形成有一定水平的防水性和耐擦伤性的被膜的方法。

发明内容

本发明的目的在于提供不受材料的限制，对必要的表面不经掩遮等的工序而用简单的工序制造防水特性且耐久性好的、用有防水性的膜被覆的防水性部件的方法。

此外，本发明的目的在于提供具备提高防油墨性能的孔板的油墨喷头的制造方法。

本发明的防水性部件的制造方法，是有基材和被覆前述基材表面的防水性膜的防水性部件的制造方法，其特征在于具有利用气体输送有防水性物质的粒子的工序，和由喷嘴喷射所输送的前述粒子而喷涂在基材上，在基材表面形成防水性膜的工序。

另外，本发明的油墨喷头的制造方法，是具备表面有防油墨性孔板的油墨喷头的制造方法，其特征在于前述孔板的形成有利用气体输送有防油墨性物质的粒子的工序，和由喷嘴喷射所输送的前述粒子喷涂在基材上，在基材表面形成防油墨性膜的工序。

附图简单说明

图1是采用气相沉积法的微粒子膜形成装置的模式图。

图2是有关第1实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

图3是有关第2实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

图4是表示第2实施例中防水性膜表面的AFM观察结果的图。

图5是第3实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

图6是第4实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

图7是第5实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

图8是说明油墨喷头构成的概略图。

图9是第6～第8实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

最佳实施方案

另外，上述本发明的防水性部件的制造方法，还有通过加热有防水性的物质而生成前述所输送粒子的工序。

另外，上述加热采用电弧放电加热、高频感应加热、或电阻加热。

另外，还有将前述输送的粒子气溶胶化的工序。

另外，前述气溶胶化通过加热有防水性的物质、使之蒸发、使惰性气体与有蒸发的该防水性的物质接触而完成。

另外，前述气溶胶化通过将前述输送的粒子与气体进行混合而完成。

另外，对前述基材喷涂的粒子，由多种的粒子构成。

另外，前述输送的粒子是多种的粒子，前述多种的粒子分别在同一室内生成。

另外，前述输送的粒子是多种的粒子，还有在同一室内将前述多种类的粒子气溶胶化的工序。

另外，前述所输送的粒子是多种的粒子，还有在彼此不同的室内将前述多种的粒子气溶胶化的工序，对前述基材的喷涂，采用由彼此不同的喷嘴喷射该多种的粒子的方法进行。

另外，前述所输送的粒子是多种的粒子，还有在彼此不同的室内将前述多种的粒子气溶胶化的工序，对前述基材的喷涂，采用混合该多种的粒子，由同一个喷嘴喷射的方法进行。

另外，有前述防水性的物质的粒子，其粒子径是0.5μm以下。

另外，有前述防水性的物质的粒子，至少由含碳原子及氟原子的树脂组成。

另外，有前述防水性的物质的粒子，至少由含硅原子的树脂组成。

另外，前述多种的粒子，含有至少由含碳原子及氟原子的树脂组成的粒子，和由金属或金属氧化物组成的粒子。

另外，前述多种的粒子，含有至少由含硅原子的树脂组成的粒子，和由金属或金属氧化物组成的粒子。

另外，前述金属是镍、钛、金、银、铜的任一种。

另外，前述金属氧化物的金属是铝、钛、硅的任一种。

另外，对基材喷涂前述粒子中或喷涂后，加热基材表面的防水性膜使之熔融。

作为更优选的方案包括以上的条件。

这里，简单地说明有关以上本发明优选实旋方案用的气相沉积法。

气相沉积法，根据气溶胶形成方法的不同，有使材料蒸发生成粒子后形成气溶胶的蒸发方法，和材料是粒子时，由其粒子形成气溶胶的气溶胶法。

图1表示作为气溶胶形成方法，采用蒸发法的膜形成装置的模式图。

如图所示，用蒸发法使材料在粒子生成室(真空室)4内蒸发，使该蒸发原子与导入生成室4内的惰性气体冲撞、急冷，使蒸发原子彼此结合，进行粒子化。用该粒子生成室4内的蒸发源生成的材料蒸汽通过电弧加热电极6等的加热机构加热而生成。再者，作为加热用的机构(加热方式)，可以采用电弧熔解，高频感应加热、电阻加热、电子束、通电加热、等离子体喷枪、激光束加热等。另外，11是将多余的粒子进行排气的多余粒子排气机构。

这样形成的粒子的尺寸按导入的气体量或种类而变，一般具有数nm～数μm的平均粒子直径，但优选0.5μm以下。

此外，将这样地在粒子生成室4内生成的粒子通过粒子输送管7与气体一起导入粒子膜形成室3，在粒子膜形成室3内，从安装在粒子输送管7前端的喷嘴2与气体一起高速喷射，在作为膜形成对象物的基板1上形成膜。膜形成时，若预先加热基板1则提高膜的粘附性。另外，采用成膜中或成膜后加热膜使之熔融的方法也可以提高膜的粘附性。

气溶胶法中，振荡加入粒子的容器进行气溶胶化，以氦或氮气等作为载气输送该气溶胶，导入膜形成室，通过从连接在输送管端部的喷嘴喷射而描绘形成膜。

用以上的方法形成防水性膜时，由于防水材料等组成的粒子使粒径为0.5μm以下，所以微粒子烧结，结合，可以用微粒子覆盖防水性部件膜的表面。

如上所述，通过采用气相沉积法、通过将金属、氧化物、氟系树脂等的防水材料粒子化或气溶胶化、输送、喷射、成膜这些工序，可以直接将防水材料被膜化、可以容易地形成有一定水平以上的防水性和耐擦伤性的被膜。

以下，参照附图，列举本发明的最佳实施方案与实施例详细地进行说明。但是，该实施方案所述的构成部件的尺寸、材质、其相对配置等，只要没有特殊的说明，则不是把本发明的范围只限定于这些的意思。再者，有关本发明实施方案的超微粒子膜形成装置整体的基本构成，由于与解决上述课题的方法项目中说明的图1所示的情况相同，故省略其详细的说明，只对本实施方案或实施例中特征性的构成等详细地进行说明。

本发明实施方案的防水性部件，其特征是用粒径0.5μm以下的微粒子形成防水性部件表面。

另外，本发明实施方案的防水性部件的制造方法，在将微粒子气溶胶化，通过与输送气体一起喷涂在基板上形成薄膜的气相沉积法中，气溶胶化的材料使用至少含C(碳原子)及下F(氟原子)或Si(硅原子)的树脂组成的微粒子，而微粒子使用至少含C及F或Si的树脂组成的微粒子及金属氧化物组成的微粒子。

以下，叙述防水性部件。

采用气相沉积法形成防水性部件时，在微粒生成室或气溶胶形成室形成的微粒子的粒径如果是0.5μm以下，则在膜形成室基材上形成防水性膜时，从喷嘴喷出的粒子对基材的粘附性更好。

本实施方案中，微粒子的粒径为0.5μm以下，形成防水性部件表面的微粒子的粒径为0.5μm以下。

以下，叙述有关防水性部件的制造方法，

气溶胶化的材料是含C及F或Si的材料，单一的材料时，将材料微粒子化使之气溶胶化时，使该材料在填充惰性气体的微粒子生成室微粒子化、气溶胶化，另外，预先是微粒子的情况，在气溶胶形成室振荡加入微粒子的容器使微粒子气溶胶化。

这里，作为使含C及F或Si的材料在微粒子生成室微粒子化的方法，可以列举在惰性气体环境气氛中电阻加热、高频感应加热、激光加热等，可以使用任一种方法。

另外，在气溶胶形成室使微粒子气溶胶化时，可列举振荡加入微粒子的容器、利用超声波等各种方法，可以使用任一种方法。

通过气体输送、输送管，将以上含微粒子生成室或气溶胶形成室气溶胶化的C及F或Si的气溶胶导入膜形成室，从喷嘴使之高速喷射描绘在基材上，通过用防水性膜被覆基材表面形成防水性部件。

以下，对在防水性部件的基材上形成被覆防水性膜的材料采用2种以下的物质形成的情况进行说明。

使含形成防水性膜的C及F或Si的材料(以下，称第一材料)气溶胶化时，进行微粒化的情况在填充惰性气体的微粒子生成室使该材料微粒子化、气溶胶化。另外，第一材料预先是微粒子时，在气溶胶形成室使被填充的微粒子气溶胶化。

使含形成防水性膜的C及F或Si的材料，或金属氧化物(以下，称第二材料)气溶胶化时，进行微粒子化的情况在填充惰性气体的微粒子生成室使该材料微粒子化、气溶胶化、另外，第二材料预先是微粒子时，在气溶胶形成室使被填充的微粒子气溶胶化。

在气体输送途中，使含这些第一材料和第二材料的气溶胶合流，形成第一材料和第二材料的混合气溶胶，通过输送管导入膜形成室，使之从喷嘴高速喷出、描绘在基材上，在基材表面形成防水性膜。

使这些第一材料、第二材料在各个微粒子生成室或气溶胶形成室形成气溶胶在输送管途中合流形成混层流。

在输送管途中使第一材料、第二材料的气溶胶合流时，只调整各个流体的流量可形成任意混合比的防水性膜。

此外，对膜厚方向有任意混合比分布的防水性膜也利用只调整该流量即可形成膜。

通过利用该方法可进一步提高与基材的粘附性。

形成防水性膜的材料，3种以上的情况也同样地在各微粒子生成室或气溶胶形成室形成气溶胶、也可在输送管途中合流形成混合气体。

这些是在输送管途中使各气溶胶合流形成混合气体的方法。

作为其他的方法也可列举形成防水性膜的材料是两种以上的情况。同样采用在微粒子生成室加热各材料的方法生成各各微粒子。在微粒子生成室形成微粒子分散的混合气体，进行气溶胶化。另外，材料预先是微粒子时、在气溶胶形成室内使微粒子混合、气溶胶化、气体输送这些的气溶胶，通过输送管导入膜形成室，从喷嘴高速喷出，描绘在基材上，在基材表面形成防水性膜。

此外，作为其他的方法，形成防水性膜的材料是两种以上时，使含形成防水性膜的C及F或Si的材料(第一材料)气溶胶化时，进行微粒子化的情况在填充惰性气体的微粒子生成室使该材料微粒子化、气溶胶化，另外，预先是微粒子时，在气溶胶形成室使被填充的微粒子成气溶胶状。

使含形成防水性膜的C及F或Si的材料、或金属氧化物(第二材料)气溶胶化时，进行微粒子的情况，在填充惰性气体的微粒子生成室使该材料微粒子化、气溶胶化，另外，预先是微粒子时，在气溶胶形成室使被填充的微粒子气溶胶化。

将以上的微粒子生成室或气溶胶形成室气溶胶化的两种类的气溶胶用各输送管气体输送，导入膜形成重从各喷嘴高速喷出在即将形成膜之前使材料混合，形成防水性膜。

另外，作为利用上述防水性部件制造方法的更具体的例子，叙述有关油墨喷头的制造方法。

首先，油墨喷射记录装置，将油墨等的液体供给油墨喷头，通过根据与记录信息或图像信息对应的驱动信号驱动设在油墨喷头上的压电元件或电热变换元件等的喷出能量发生元件喷出液滴进行印字记录或图象形成等，周知的是在低噪音、高速记录方面为良好的记录装置。

这里，上述油墨喷头，如图8所例示，由形成油墨喷出手段(喷出能量发生元件)的元件基板102、在元件基板102上隔开形成液体流路106用的液体流路壁104、与形成把液体供给液体流路106的液室覆盖液体流路106上面形成的盖板105组成，备有通过液体流路壁104将元件基板102与盖板105接合构成的头基板101，和有与液体流路106相对应的油墨喷出口的孔板110，利用胶粘剂使孔板110与头基板101的液体流路开口面露出的108粘接而构成。另外，孔板110的表面有防油墨性，因此，油墨喷出时可防止油墨滞留在油墨喷出口110周边，提高喷出稳定性。

这里所述的利用上述防水性部件制造方法的油墨喷头的制造方法，其特征是采用与上述的防水性部件的制造方法相同的方法制造上述孔板。

但是，在上述的防水性部件的制造方法中的防水性膜，在油墨喷头的制造方法中，必须是防油墨性膜，因此可使用的粒子也应是有防油墨性物质的粒子。另外，有防油墨性的物质的粒子，平均粒子直径更优选是1μm以下、上述的金属或金属氧化物的粒子更优选是0.1μm以下。

除以上的方面外，油墨喷头制造方法中，也完全优选使用上述防水性部件制造方法中所述的同样的方案。

以下，通过实施例说明本发明，但本发明不受这些实施例的任何限制。

(第1实施例)

参照图2，说明有关第1实施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成装置。图2是本发明的第1实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

本实施例，对形成防水性膜的材料是单一材料，材料在没有进行微粒子化的情况进行说明。

首先，在微粒子生成室4内的坩埚12中加满作为材料5的四氟乙烯树脂，用20kW高频感应加热电源8加热，使四氟乙烯树脂熔解充满坩埚12内。

然后，继续加热使四氟乙烯树脂气化，生成粒径3nm～500nm的四氟乙烯超微细粒子。

将该气化的四氟乙烯树脂的蒸气置于He载气中成气溶胶状，借助压差输送到微粒子膜形成室3形成四氟乙烯树脂组成的超微细粒子膜。

由于微粒子输送管7被固定，故用扫描基板1的方法形成带状的防水性膜。再者，基板1的移动速度是0.1mm/s。

用接触式膜厚计测定这样形成的膜的厚度，结果是50μm左右。

再者，成膜条件是喷嘴直径φ1mm、玻璃基板、基板不加热、超微细粒子生成重压力500torr(66500Pa)、He气流量10L/分、膜形成室压力0.1torr(13.3Pa)。此外，通过在300℃将基板1的超微细粒子膜加热10分钟，提高超微细粒子膜的粘附性。

(第2实施例)

参照图3，对第2实施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成装置进行说明。图3是本发明第2实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

本实施例对形成防水性膜的材料是单一材料、材料微粒子化的情况进行说明。

首先，在气溶胶形成室9内的容器中、加满作为材料5、粒径0.2μm的四氟乙烯组成的微细子，用气体输送管将He气导入该容器内、使微粒子气溶胶化。

把该气溶胶化的微粒子置于He的载气中，由微粒子输送管7借助压差输送到微粒子膜形成室3，从安装在微粒输送管7前端的喷嘴2高速喷射，在基板1上形成四氟乙烯树脂组成的超微细粒子膜。

用AFM(原子间力显微镜)观察所形成膜的结果示于图4。

由图4可以看出，膜表面结合约0.2μm粒子的样子。其他与第1

实施例相同。

(第3实施例)

参照图5，对第3实施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成装置进行说明。图5是本本发的第3实施例的微粒子膜形成装置的摸式图。

本实施例是对形成防水性膜的材料是两种、两种材料均是微粒子，此外在同一个气溶胶化形成室将各微粒子进行气溶胶化的情况进行说明。

首先，在气溶胶形成室9内的容器中加满四氟乙烯组成的微粒子(材料5a)及Al₂O₃组成的微粒子(材料5b)。用气体输送管10将He气导入该容器内，使四氟乙烯的微粒子及Al₂O₃的微粒子气溶胶化、混合。

把这些气溶胶化的微粒子置于He的载气中，用微粒子输送管借助压差输造到微粒子膜形成室、从安装在微粒子输送管7前端的喷嘴2高速喷射，在基板1上形成四氟乙烯与Al₂O₃组成的超微细粒子膜。其他与第1实施例相同。

(第4实施例)

参照图6，对第4实施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成装置进行说明，图6是本发明的第4实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

本实施例对形成防水性膜的材料是两种，其中一种材料已微粒子化，在另外的室内气溶胶化，各从喷嘴喷射在基材板上同一个地方的情况进行说明。

首先，在气溶胶形成室9内的容器中加满四氟乙烯组成的微粒子(材料5a)、用气体输送管10把He气导入该容器内、使四氟乙烯的微粒子气溶胶化。

另外，在微粒子生成室4内的坩埚12中加满Ni(材料5b)、用25kW高频感应加热电源8进行加热，使Ni熔解充满坩埚12内。

然后，继续加热，使Ni气化。把该Ni的蒸气置于He的载气中成气溶胶状。

用各个的微粒子输送管7气体输送这两种(四氟乙烯、Ni)的气溶胶导入微粒子膜形成室3，各从喷嘴2高速喷射、在基板上形成四氟乙烯与Ni组成的超微细粒子膜。其他与第1实施例相同。

(第5实施例)

参照图7对第5实施例的微粒子膜形成方法及微粒子膜形成装置进行说明。图7是本发明的第5实施例的微粒子膜形成装置的模式图。

本实施例对形成防水性膜的材料是2种，材料已微粒子化，在另外的室内气溶胶化，在输送管途中合流从喷嘴喷射到基板上的情况进行说明。

首先，在气溶胶形成室9a内的容器中加满Si树脂组成的微粒子(材料5a)、用气体输送管10a把He气导入该容器内，使Si树脂的微粒子气溶胶化。

另外，在另一个的气溶胶形成室9b内的容器中加满Al₂O₃组成的微粒(材料5b)，用气体输送管10b把He导入该容器内，使Al₂O₃的微粒子气溶胶化。

分别用输送管7a、7b气体输送这两种气溶胶、在输送管的中途合流形成混层流。

把该混相流导入微粒子膜形成室从喷嘴2高速喷射，在基板1上形成Si树脂与Al₂O₃组成的超微细粒子膜。其他与第1实施例相同。

(第6实施例)

在厚度75μm的Ni板上开直径30μm的喷孔、喷孔间距为100μm，将其用作孔板的基材。

作为孔板的基材，除了金属以外，也可以用玻璃或树脂。

把该Ni板浸渍在丙酮中，进行超声波洗涤5分钟。

把洗涤、干燥后的Ni板基板21设置在图9所示的气相沉积装置的膜形成室23的扫描台上。

作为防油墨材料的微粒子使用大金工业公司制PTFE(商品名：ルブロン L5-F)，通过扫描型电子显微镜(SEM)观察粒径的结果大约是0.2μm。将该微粒子加到容器(气溶胶形成室28)中振荡进行气溶胶化。

在表1所示的条件下输送超微细粒子，从安装在输送管27前端的直径1mm的喷嘴22喷射PTFE微粒子，在Ni板21上成膜。

表1

载气	氦
载气	氦	气体流量(SLM)	30
成膜室压力(Torr)	1	气体流量(SLM)	30
成膜室压力(Torr)	1	基板温度	室温

成膜后，用环境气氛炉在350℃将基板加热处理1小时。

测定这样制作的孔板的外表面与水的接触角结果是119°。为了评价耐久性进行摩擦试验。摩擦试验是在孔板上滴下打印机用的油墨或水、用旭化成公司制ベンコット，摩擦次数为3000次。试验后测定接触角，结果是110°。另外，符号29表示向容器(气溶胶形式室28)内导入He气体的气体输送管。

(第7实施例)

与实施例6同样地用Ni的孔板基材。

将该孔板浸渍在丙酮中，进行超声波洗涤5分钟。

把洗涤、干燥后的Ni板设置于图9所示的气相沉积装置的扫描台上。作为超微细粒子的发生室，设金属用的和防油墨材料用的2室、作为金属微粒子的发生室24，用电弧加热手段26通过电弧放电加热Ni材料，制得Ni的超微细粒子。用扫描型电子显微镜(SEM)观察这时制的Ni的超微细粒子，粒径大约是50nm。另外，用氦气将该Ni的微粒子气溶胶化。制Ni的超微细粒子也可以用高频感应加热、电阻加热，作为金属微粒子还可以用钛、金、银、铜。

作为防油墨材料，用大金工业公司制PTFE(商品名：ルブロンL5-F)，把该材料加到容器(气溶胶形成室28)中，振荡进行气溶胶化。

在表2所示的条件下输送超微细粒子、从安装在输送管27前端的直径1mm的喷嘴22喷射Ni超微细粒子与PTFE微粒子的混合物在Ni板21成膜。

表2

载气	氦
载气	氦	气体流量(SLM)	30
成膜室压力(Torr)	1	气体流量(SLM)	30
成膜室压力(Torr)	1	电弧生成室(Torr)	500

成膜后，用环境气氛炉在330℃将基板热处理1小时。

测定这样制作的孔板的外表面与水的接触角，结果是115°。为了评价耐久性进行与实施例6同样的摩擦试验。试验后，测定接触角，结果是108°。另外，符号30表示排气多余粒子的多余粒子排气机构。

(第8实施例)

与第6实施例同样地用Ni的孔板基材。

把该Ni板浸渍在丙酮中，进行超声波洗涤5分钟。

把洗涤、干燥后的Ni板设置在图9所示的气相沉积装置的扫描台上。作为超微细粒子的发生室，设金属氧化物用的和防油墨材料用的2室。

作为金属氧化物微粒子，用Al₂O₃，把Al₂O₃加到容器(气溶胶形成室28)中振荡进行气溶胶化。作为金属氧化物微粒子，作为金属还可以用钛或硅的氧化物。

作为防油墨材料，用大金工业公司制PTFE(商品名：ルブロンL5-F)；把该材料加到容器[气溶胶形成室(没有图示但与28相同)]。振荡进行气溶胶化。

以氦为载气输送这些超微细粒子，从安装在输送管27前端的直径1mm的喷嘴22喷射Al₂O₃超微细粒子和PTFE微粒子的混合物，在Ni板21上成膜。

成膜后，用环境气氛炉在330℃将基板热处理1小时。

测定这样制作的孔板的外表面与水的接触角，结果是118°。为了评价耐久性，进行与实施例6同样的摩擦试验。试验后测定接触角，结果是111°。

如以上说明，根据本发明，可用于产业机器、电子仪器等的各种制品的、赋予防水性、耐候性或防污性等特性的防水性部件，通过采用气相沉积法在基材上形成防水性膜、没有材料的限制，不经掩遮等的工序而用简单的工序便可只在需要的表面均匀在形成防水特性且耐久性好的防水膜。

另外，如上述说明，根据本发明，油墨喷头的孔板，通过采用气相沉积渍形成防油墨层，可获得高的防油墨性和高耐久性，可以高精度且稳定的喷出。

采用气相沉积法制作的油墨喷头的孔板是涉及今后要求的印象速度的高速化以及喷出稳定化、高耐久化，发挥良好性能的部件，可在照相或图像的高速打印或产业用途方面开展应用。

Claims

1.防水性部件的制造方法，是具有基材和被覆所述基材表面的防水性膜的防水性部件的制造方法，其特征在于具有在粒子生成室内使有防水性物质的粒子与惰性气体接触、生成所述粒子的气溶胶的工序，和

向与所述粒子生成室通过输送管连通的膜形成室，由所述输送管输送所述粒子的气溶胶，在所述膜形成室内由喷嘴喷射所述粒子的气溶胶喷涂在基材上，在基材表面形成防水性膜的工序。

2.权利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于还有加热有防水性的物质生成有所述防水性物质的粒子的工序。

3.权利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于所述粒子的气溶胶是通过加热有防水性的物质、使之蒸发，使惰性气体与蒸发的有防水性物质的粒子接触而完成。

4.权利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于对所述基材喷涂的粒子由多种的粒子构成。

5.权利要求4所述的防水性部件的制造方法，其特征在于所述多种的粒子在同一个粒子生成室内生成。

6.权利要求4所述的防水性部件的制造方法，其特征在于同一个粒子生成室将所述多种的粒子气溶胶化。

7.权利要求4所述的防水性部件的制造方法，其特征在于在彼此不同的粒子生成室将所述多种的粒子气溶胶化。

8.权利要求4所述的防水性部件的制造方法，其特征在于对所述基材的喷涂通过彼此不同的喷嘴喷射所述多种的粒子进行。

9.权利要求4所述的防水性部件的制造方法，其特征在于对所述基材的喷涂是通过混合多种的粒子，由同一个喷嘴进行喷射。

10.权利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于有所述防水性的物质的粒子，其粒子径是0.5μm以下。

11.权利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于有所述防水性的物质的粒子，由至少含碳原子及氟原子的树脂组成。

12.权利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于有所述防水性的物质的粒子，由至少含硅原子的树脂组成。

13.权利要求4所述的防水性部件的制造方法，其特征在于所述多种的粒子，含有由至少含碳原子及氟原子的树脂组成的粒子，和由金属或金属氧化物组成的粒子。

14.权利要求4所述的防水性部件的制造方法，其特征在于所述多种的粒子含有由至少含硅原子的树脂组成的粒子，和由金属或金属氧化物组成的粒子。

15.权利要求1所述的防水性部件的制造方法，其特征在于基材上喷涂所述粒子中或喷涂后，加热基材表面的防水性膜使之熔融。

16.油墨喷头的制造方法，是备有表面有防油墨性的孔板的油墨喷头的制造方法，其特征在于所述孔板的形成有在粒子生成室内使有防水性物质的粒子与惰性气体接触、生成所述粒子的气溶胶的工序，和