CN1216890A - 柔性元件基片的制造方法及其制造装置 - Google Patents

Abstract

一种在薄膜材料上印刷形成电阻体等作为制品的柔性元件基片制造方法,目的在于提供能以卷筒状提供薄膜材料以提高生产率的方法。将印刷用掩模的全面积Sn等分成一定大小的面积S/n,在该S/n内设置2个以上加工用基准标记的图形,并在全面积S内设置2个以上对准标记的图形,同时在印刷机3的工作台埋设识别用构件,并用此进行图像识别以对准掩模的位置,因而能进行高精度的印刷。

Description

柔性元件基片的制造方法及其制造装置

本发明涉及在卷筒状的薄膜片材上印刷形成多个电阻体及开关用的接点及配线等制造单片制品时、最合适的柔性元件基片的制造方法及其制造装置。

对于这种现有的柔性元件基片的制造方法及其制造装置，现以用于带旋钮电位器的薄膜电阻为例，参照附图进行说明。

图15示出了上述带旋钮电位器的构成。带旋钮电位器60的构成如下：基座63上装有薄膜电阻体62，该薄膜电阻体62上电连接结合着端子61，下侧面与刷子64结合的旋钮65可自由旋转地安装在设于上述基座63上的轴63a上，刷子64与印刷在上述薄膜电阻体62上的电阻图形弹性接触。

如上所述构成的带旋钮电位器60随着将旋钮65向顺时针方向或逆时针方向旋转，与该旋钮65的下侧面结合的刷子64在印刷形成于薄膜电阻体62上的电阻图形上弹性接触滑动，从而从端子61输出与该操作对应的信号。

图16示出了上述带旋钮电位器60的薄膜电阻体62的制造方法，在PET或聚酰亚胺制成的片状薄膜基材66上开设印刷时定位用基准孔，为了在该基材66上同时获得多个制品，使用形成有多个电阻图形的掩模67印刷上油墨68，对其加热印相后检验电阻值，然后开设冲裁加工用的基准孔后进行表面检验，经检验后以上述基准孔为基准，将多个电阻图形一个个切断成单片。

然后，一个个地测定成为单片的薄膜电阻体62的各电阻图形的电阻值，将合格品装在夹具69上供给下一道工序。

但上述现有的柔性元件基片的制造方法及其制造装置存在如下问题：因为是使用被切断成一定尺寸的基材66的页片式制造方法，所以生产效率低下，且很难用机械处理薄形化的基材66，当欲实现到制品组装为止的连贯性自动化时，就不能适应。

同时还存在如下问题：即使为了适应薄形化而用手工操作基材66，能处理的厚度也有限，极限为制造使用厚度0.15mm左右基材66的薄膜电阻体62，不可能生产出使用0.1mm以下基材66的薄形化薄膜电阻体62。

为了解决如上所述的现有技术存在的问题，本发明的目的在于，提供一种能高精度制造使用薄基材的薄膜电阻体等，且能以卷筒状连续供给基材，使生产率显著提高的柔性元件基片的制造方法及其制造装置。

为了解决上述课题，本发明的柔性元件基片的制造方法及其制造装置准备印刷用掩模，将该印刷用掩模的全面积Sn等分成一定大小的面积S/n，在该掩模的全面积S内设置2个以上对准标记用的图形，并在一定大小的面积S/n内设置2个以上印刷加工用基准标记用图形，通过利用埋设在印刷机的工作台内的识别用构件进行图像识别，来识别上述掩模位置并修正偏差量，然后进行印刷，进行第2层以后的重复印刷时，以上述对准标记为基准，而加工时的基准使用上述基准标记。在此，n为1以上的任意整数。

根据本发明，即使以卷筒状供给基材依次进行印刷，也不会发生因进给产生的累积误差，能使用薄的基材高效生产高精度的柔性元件基片。

本发明柔性元件基片的制造方法如下：准备印刷用掩模，该掩模在将印刷面积Sn等分后的一定大小面积S/n内分别形成获得多个单片制品用的图形，并形成有形成掩模位置识别用标记的图形，将该掩模装在印刷机上之后，在与由上述掩模形成的标记相对应地埋设于印刷机的工作台上的识别用构件上贴有覆盖带的状态下，利用掩模将标记印刷在该覆盖带上，接着通过对该印刷上的标记进行图像识别来识别并存储下掩模位置之后，从识别用构件上剥下印刷有上述标记的覆盖带并遮蔽掩模的标记用图形，接着将以卷筒状供给的树脂薄膜构成的被印刷件供给印刷机的工作台之上，同时将上述掩模位置或各印刷时工作台的识别用构件位置与预先存储着的工作台的识别用构件位置相比较求出偏差量，根据该求出的偏差量修正上述印刷机的工作台位置，再利用上述掩模印刷规定的图形，接着，通过间歇运送被印刷件，在卷筒状被印刷件上连续依次印刷规定的图形之后，最后将该已印刷好的被印刷件切断成单片的制品。因为能在卷筒状供给的被印刷件上高精度形成规定的图形，所以即使减薄被印刷件也能高精度高生产效率地进行制造。

上述本发明的制造方法较为理想的是，在掩模的印刷面积S内设置2个以上为了印刷对准位置用对准标记用的图形后进行第1次印刷，在该第1次印刷之上进行重复印刷的第2次以后，通过对利用上述图形印刷的对准标记进行图像识别来进行被印刷件与掩模的位置对准。由此而具有如下效果：进行第2层以下的重复印刷时，能将印刷偏差抑制在高等级，能进行高精度的印刷。

上述本发明的制造方法较为理想的是，在将掩模的印刷面积Sn等分后的一定大小的面积S/n内设置2个以上印刷加工用基准标记用的图形，对由该图形印刷的基准标记进行图像识别后开设基准孔，利用该基准孔进行加工。由此，因为能以小块化后的一定大小的面积S/n内的基准孔为基准进行完成上述一定大小面积S/n内的加工，所以具有能进行高精度加工的作用。

此外，本发明的制造方法较为理想的是，以开设于被印刷件的基准孔为基准，在一定位置开设运送用的导引孔。由此，具有能利用高精度开设的导引孔高效率运送被印刷件的作用。

本发明柔性元件基片的制造装置包括：供给卷成卷筒状的被印刷件的卷出部；真空吸附并保持由该卷出部供给的被印刷件的工作台部，在该工作台部的保持所述被印刷件部分的附近埋设有位置识别用的识别用构件，具有X、Y移动及θ旋转机构并能上升；保持形成印刷用图形的印刷用掩模并具有括刀、被配置在所述工作台部的上部的印刷部；对埋设于所述工作台的识别用构件或被印刷的标记进行识别的识别部；夹持印刷后的被印刷件的端部每次向下游侧运送一次作业量的运送部；干燥印刷面的干燥部；以及在干燥后卷成卷筒状的卷取部。若采用该构成，因为能在以卷筒状供给的被印刷件上高精度印刷形成一定的图形，所以，具有即使减薄被印刷件也能高精度且高效率进行制造的作用。

上述本发明的制造装置较为理想的是，在被印刷件的运入侧和运出侧的工作台部的端部或附近，分别设有限制被运送的被印刷件用的导向构件，同时施加张力使被印刷件以工作台部的上侧面或上方为顶部，在运人侧和运出侧均朝向下方。由此，即使是薄的被印刷件，也能不受到不合适负载地高精度定位。

上述本发明的制造装置较理想的是，利用工作台部使被印刷件对准位置后进行印刷，在印刷之后的状态下，由运送部运送被印刷件，然后工作台部返回原点。由此能消除被印刷件运送时产生的累积误差，能连续进行重复印刷。

上述本发明的制造装置较理想的是，具有如下的基准孔开孔机，其包括：识别印刷在被印刷件上的加工用基准标记的识别部；进行移动以对准该识别部所识别的上述基准标记的位置并开设基准孔的加工部；具有插入由该加工部开设的基准孔内的销、依次间歇性地运送卷筒状被印刷件的运送部。由此，能在卷筒状被印刷件上高精度开设加工用基准孔。

另外，上述本发明的制造装置较理想的是，具有如下的成形加工机，其包括加工部和运送部，所述加工部具有冲裁被印刷件不需要部分用的冲裁部及插入设于被印刷件的基准孔内的导引销，所述运送部在下游侧保持由该加工部在无负载状态下所运送的卷筒状被印刷件并运送稍少于一次运送量的量，同时在运送后，在所述加工部由导引销将被印刷件定位并夹持之后，解除对被印刷件的保持状态。由此在加工时，能在对被印刷件不施加不合理负载的情况下进行被印刷件的运送，所以，即使是薄的被印刷件也能在高精度运送和定位之后进行冲压加工。

还有，上述本发明的制造装置也可在上游侧保持由加工部在无负载状态下运送的卷筒状被印刷件并运送稍多于一次运送量的量。由此能具有与在下游侧保持时相同的作用。

图1所示为本发明第1实施形态的柔性元件基片的制造方法的制造工序图。

图2所示为进行该制造工序中的印刷工序用的印刷装置的整体构成图。

图3为由该印刷装置重复印刷的印刷图形之一例的主要部分平面图。

图4为装着在该印刷装置的丝网印刷机上的掩模的示意图。

图5为示出该丝网印刷机构成的主要部分立体图。

图6为示出该丝网印刷机的基材运送机构的主要部分主视图。

图7图6的主分部分俯视图。

图8为示出该丝网印刷机的基材运送机构其它例子的主要部分主视图。

图9所示为印刷图形的平面图。

图10为说明印刷时识别对准标记的图像识别方法的示意图。

图11所示为印刷图形的主要部分平面图。

图12(a)所示为基准孔开孔机的俯视图，

(b)所示为基准孔开孔机的主视图。

图13(a)所示为成形加工机的俯视图，

(b)所示为成形加工机的主视图。

图14所示为将页片方式印刷的基材相连接成卷材之一例的主要部分平面图。

图15为示出带旋钮电位器之构成的分解立体图。

图16所示为传统薄膜电阻体制造方法的制造工序图。

以下使用附图，对本发明第1实施形态中的柔性元件基片的制造方法及其制造装置予以说明。

在以下的说明中，也与上述现有技术的说明一样，以使用于带旋钮电位器的薄膜电阻体为例进行说明

图1为示出实施形态1的柔性元件基片的制造方法的制造工序图，图2为示出进行上述制造工序中的印刷工序用的印刷装置的整体构成的主视图，图3为示出用该印刷装置重复印刷的被印刷件的印刷图形之一例的主要部分平面图。

如图1所示，实施形态1的柔性元件基片的制造方法为，首先，以卷成卷筒状的状态供给成为薄膜电阻体的基材1的PET或聚酰亚胺制成的0.075mm厚度的薄膜，为了在该基材1上同时获得多个制品，使用形成有多个电阻图形的掩模，用丝网印刷机3印刷上油墨2，使其通过烘焙炉4进行印相，然后再次卷成卷筒状。

接着，为了将形成有规定电阻图形的已印刷好的基材1供应给加工工序，进行在宽度方向进行分割(在实施形态1中分割为4)的切断作业，在该进行了宽度切断后的基材1上开设冲裁加工用的基准孔后，进行电阻值检验，在该检验之后，以上述基准孔为基准进行规定的冲裁加工制成制品，然后进行表面检验，供应给下一道工序。

图2示出了上述印刷工序所用印刷装置的整体构成，该印刷装置包括提供卷成卷筒状的基材1的基材放出部5、丝网印刷机3、设于将印刷后基材1运送往烘焙炉4的路途中的缓冲(buffer)部6及卷取印相结束后的基材1用的卷取部7。这样构成的印刷装置利用具有未图示的掩模的丝网印刷机3对卷筒状供给的基材1连续进行依次印刷，将该印刷好的基材1经缓冲部6投入烘焙炉4进行印相之后，用卷取部7卷取基材1。

此外，上述缓冲部6是为了在丝网印刷机3因补充油墨而停止时使烘焙炉4不用停止而设置的，它使印相条件稳定，不致影响到品质及生产率。

图3(a)-(e)示出了用上述印刷装置重复印刷的基材1的印刷图形之一例，首先用银膏印刷图3(a)所示的图形，接着用碳墨印刷图3(b)所示的图形，然后用碳墨印刷图3(c)所示的图形，再用碳墨印刷图3(d)所示的图形，最后用银膏印刷图3(e)所示的图形，以此形成所希望的印刷图形。

另外，在上述说明中，以分5道工序进行重复印刷为例说明了重复涂3次碳墨，这是为了使电阻值发生变化而分别使用电阻率不同的3种碳墨进行的丝网印刷。

图4为装在上述印刷装置的丝网印刷机3上、在基材1上印刷一定印刷图形用的掩模的示意图，对于以卷筒状沿图中的箭头方向连续供给的基材1，将宽度W×长度L(在本实施形态中，W=250mm、L=300mm)作为一次印刷面积S来设定掩模的大小，再在将该印刷面积S分成n等分(在本实施形态中分成24等分)后的一定大小的面积S/n内，分别形成获得多个单片制品用的图形。其中，n为1以上的任意整数。

上述将印刷面积S等分为n份后的一定大小的面积S/n设定为，对于单片制品所要求的尺寸精度在印刷时可能发生的误差能充分清除的最小单位面积。

在图4中还标出了在印刷面积S之外靠近设置的一对掩模位置识别用标记8、在印刷面积S内设置的一对位置对准用对准标记9及在一定大小的面积S/n内分别设置的一对加工用基准标记10。该加工用基准标记10的进给方向的间距P设定为在哪个位置尺寸都相同。

接着详细说明在实施形态1的柔性元件基片的制造方法中的丝网印刷工序。

图5为示出丝网印刷机3的构成的主要部分立体图，其构成包括：形成有所希望的印刷图形(未图示)的掩模11，与埋设在后面将叙述的工作台12内的识别用构件13相对应地在该掩模11上成对设置的形成掩模位置识别用标记8(在图4中示出)用的掩模位置识别用图形11a，丝网印刷机3的工作台12，靠近配置于该工作台12上的基材1的宽度方向埋设在工作台12内的一对识别用构件13，分别设于工作台12的基材1运送方向的入口侧和出口侧、为基材1的运送导向用的导向构件14，以及水平移动到识别用构件13的上侧面来识别识别用构件13用的摄像机15。在图5中仅示出了前侧，在后侧也设有未图示的摄像机15，用2台摄像机分别进行识别。

现对如上所述构成的丝网印刷机3安装掩模时的掩模位置识别方法予以说明。首先，操作者以目视将掩模11安装在丝网印刷机3上，将设于该掩模11上的掩模位置识别用图形11a印刷在贴于埋设在工作台12内的识别用构件13上面将其覆盖的覆盖带16上。

接着，用摄像机15将印刷在该覆盖带16上的掩模位置识别用标记进行画像识别，识别掩模位置并将其存储之后，剥下贴在上述识别用构件13上侧面上的覆盖带16，并遮蔽设于掩模11的掩模位置识别用图形11a。

接着，将上述存储着的掩模位置与预先存储着的埋设于工作台12的识别用构件13的位置进行比较，求出掩模11的偏差量，根据该求出的偏差量修正工作台12的位置，然后对供给在工作台12上的基材1进行第1层的印刷。

此外，在进行该第1层的印刷时，图4所说明的对准位置用的对准标记9及加工用基准标记10也与一定的图形同时印刷，进行第2层以下的重复印刷时，通过用摄像机15对上述对准标记9进行画像识别来对准工作台12的位置，将基材1每次都配置在同一位置后进行重复印刷。

此外，当每层更换掩模11时，以与上述作业相同的要领求出掩模位置的偏差量，修正工作台12的位置后进行印刷，从而能进行高精度的重复印刷，通过采用如上所述的方法，能保证从基材1的端部至一定图形位置的精度达到±0.15mm。

图6为示出上述丝网印刷机3的基材运送机构的主要部分主视图，该运送机构包括：掩模11，带有X-Y-θ移动机构的工作台12，设于该工作台12的一对导向构件14，供给卷筒状基材1的卷出部5，运送基材1用的滑块17，安装在该滑块17上的进给用夹头18，以及与上述滑块17独立设置的拉引用夹头19。在实施形态1中，掩模11侧被固定，配置着基材1的工件台12相对该掩模11可上升一定行程(在实施形态1中为90mm)，并且即使在图6所示的工件台12位于下死点的状态下，基材1相对工作台12的运人侧和运出侧均呈基材1从工作台12的上侧面向下方倾斜的状态，使基材1紧贴于工作台12的上侧面。

如上所述构成的实施形态1的丝网印刷机，从卷出部5以卷筒状连续供给的基材1由张力调节辊20供给一定的张力，在此状态下被供给工作台12的上侧面，通过该工作台12上侧面的基材1经具有进给用夹头18的滑块17及拉引用夹头19被运送往下游侧，进行印刷时，利用设于工作台12的未图示的真空吸附装置将基材1定位保持在工作台12的上侧面上，在此状态下，工作台12上升，再用掩模11在基材1上印刷一定的图形。

此外，当该印刷结束时，工作台12下降，拉引用夹头19夹住基材1向下游侧动作以施加一定的张力，接着，当进给用夹头18夹住基材1之后，拉引用夹头19放开基材1。然后，解除基材1的定位保持状态，具有进给用夹头18的滑块17移动一定量，从而将基材1运送一次印刷面积的量，在该运送之后，基材1再次变为定位保持状态，然后解除进给用夹头18的夹持，滑块17返回原来位置。

又因为如图7所示，上述进给用夹头18及拉引用夹头19对基材1的夹持位置为除了印刷有图形之外的位置，所以，对印刷后的图形不会有任何影响，能可靠运送基材1。

此外，因为是在由上述拉引用夹头19对基材1施加一定张力的状态下进行运送，所以，能使一次的运送量稳定、进行高精度的运送，而且使基材1向下方倾斜地进行运送，故随着工作台12的升降发生的基材1的松弛能由基材1的自重消除，且由于倾斜运送基材1，所以能在工作台12的基材运入侧和运出侧分别设置一对即使在工作台12上升时工作台12与掩模11之间的间隙很狭小(约2mm)时也不会与掩模11接触的导向构件14，利用该导向构件14能在更高精度定位的条件下运送基材1。

另外，图8为示出丝网印刷机3的基材运送机构其它例子的主要部分主视图，与图6所示的基材运送机构不同的是，为了将基材1配置在工作台12的上面并离工作台12上侧面有一定间隙，设置了导向构件57，其它构成与图6所示的相同。

由于采用如上所述的构成，进行印刷时，即使是在油墨露出于基材1背面的印刷形态之下，也能防止基材1的背面与工作台12接触，使品质稳定，而不会影响生产效率。

又，关于动作，因为与图6所示的相同，故省略详细说明。

此外，图9为进行重复印刷时在第2层之后的印刷所产生的进给间距累积误差的对策说明图，在图9中，符号9为印刷在基材1上的对准位置用的对准标记，PA为一次的进给量，符号21示出了用设于印刷机的摄像机对对准标记9进行图像识别用的图像识别位置，所示出的是进行第2层以下的重复印刷时，基材1被运送了一次的进给量PA，并用摄像机观察位于图像识别位置21的摄像视野内的对准标记的状态。

如上所述被进给了一次进给量PA的基材1由于基材1的材料精度、印刷精度、进给精度及因热引起的基材1收缩等因素，未必一定被进给了规定的进给量PA，例如如图10(a)所示，印刷于基材1上的对准标记9相对图像识别位置21的摄像视野内的基准位置会位于发生了偏移的位置。

此时，调整印刷机的工作台，使对准标记9与基准位置一致之后再进行印刷，印刷之后在该状态下夹住基材1将其运送一次运送量PA，然后使工作台返回原点。

由于这样运送基材1，故消除了对基材1运送的累积误差，能进行高精度的连续印刷。

此外，图10(b)所示为印刷后使工作台返回原点之后，夹住基材1运送了一次运送量PA时的情况，所示出的是，此时发生了对于进给的累积误差，当进行某一层的印刷时，对准标记9会脱离摄像视野，于是该装置即停止运转。

以下参照附图说明本发明的第2实施形态。

实施形态2是说明在印刷于基材上的加工用基准标记上开设基准孔的基准孔开孔工序的实施形态，现参照以主要部分俯视图示出印刷形成于基材的印刷图形的图11以及以俯视图和主视图示出基准孔开孔机的图12(a)、(b)，进行如下说明。

在图11中，标出了印刷于基材1的加工用基准标记1o、在冲裁加工工序进行开孔加工的运送用导引孔部22、在最后工序被切断分离的单片23、为获得单片23的修剪部24、分别设于单片23的制品孔部25以及同样分别设于单片23的端子孔部26。

在图12(a)和(b)中，示出了供给及卷取已印刷好的卷筒状基材1的卷出部27及卷取部28、具有冲头30和模子31的基准孔开孔机29、识别基准标记用的摄像机32以及具有由驱动缸进行升降的导引销34的运送部33。

这样构成的实施形态2的基准孔开孔机对于以卷筒状从卷出部27供给的已印刷好的基材1，用设于基准孔开孔机29的摄像机32对图11所示的加工用基准标记10进行图像识别，再使设于基准孔开孔机29的冲头30和模子31成对地移动至并定位于经上述识别后的加工用基准标记10的位置之后，进行加工用基准孔10A的开孔。

然后，通过驱动缸使设于运送部33的导引销34下降并插入如上所述开设的加工用基准孔10A内，接着，具有夹持功能的导引销34沿图中的A方向移动基准孔10A的规定间距来运送基材1之后，用工件按压缸56压住基材1，然后导引销34上升从基材1中拔出并返回原来的位置，规定间距的基材1的运送结束，反复进行同样的作业来开设加工用的基准孔10A，同时间歇运送基材1并用卷取部28进行卷取。

由于构成如上所述，加工用基准标记10的印刷精度及基准孔开孔机29的精度所产生的误差通过一次进给动作全部消除，所以能防止进给误差的累积，能容易地使基准孔10A的连续开孔作业实现自动化。

此外，通过使用伺服滑块作为上述运送部33的进给机构，当然能极方便地适应不同图形的作业。

以下参照附图说明本发明第3实施形态。

实施形态3所说明的是，以在已印刷好的基材上开设的加工用基准孔为基础进行冲裁加工的成形加工工序，图13(a)、(b)所示为该工序使用的成形加工机的俯视图和主视图。

在图13(a)、(b)中，示出了分别供给及卷取开设有加工用基准孔的卷筒状基材1的卷出部35及卷取部36，进行第1冲裁工序的金属模的上模37和下模38，设于该上模37的导引销39，进行第2冲裁工序的金属模的上模40和下模41，设于该上模40的导引销42，夹持基材1的固定夹头43、44，夹持并运送基材1的进给夹头45、46，使该进给夹头45、46相结合沿运送方向往复移动的伺服滑块47、48，使用反射型或透射型光电管的卷出用传感器49，使用反射型光电管的材料进给偏移检测用传感器50，使用与卷出用传感器49同类型传感器的第1冲裁工序的起动、中止用传感器51，使用与卷出用传感器49同类型传感器的第2冲裁工序的起动、中止用传感器52，使用反射型光电管的材料进给偏移检测用传感器53，使用与卷出用传感器49同类型传感器的卷取用传感器54，以及张力调节辊55。

如上所述构成的实施形态3的成形加工机，进给夹头45夹住从卷出部35供给的基材1并通过伺服滑块47运送预选设定的运送量，使在前道工序开设于基材1的加工用基准孔(未图示)配置于设于进行第1冲裁工序的金属模的上模37上的导引销39之下并定位。此时，将进给量设定为稍多些。

接着，关闭固定夹头34来夹持基材1之后，开启进给夹头45松开对基材1的夹持，进给夹头45返回原来位置，与此同时，上模37下降，导引销39插入基准孔使基材1定位，利用设于上模37的未图示的加工冲头，在图11所示的后道工序运送用导引孔部22开设定位用的导引孔。

此时，在上模37下降期间，通过在一定时间释放固定夹头43，来修正稍许过量进给的基材1的进给偏移。

接着，当确认进给用夹头45已返回原来位置之后，关闭进给夹头45，开启固定夹头43，使基材1变为可运送状态，然后反复进行该一系列动作，即可依次进行冲裁加工。

又，在实施形态3中，该定位用导引孔的开设是在如图11所示的加工用基准标记10之间的两侧各开设4个导引孔部22合计共8个导引孔，通过一次冲裁同时冲裁加工而成。

接着，结束该导引孔的加工之后的基材1被运送往第2冲裁工序，进给夹头46夹住基材1并通过伺服滑块48将基材1运送预先设定的运送量(相对于规定的运送量为稍许不足的量)，将在前道工序开设的基材1上的加工用基准孔(未图示)配置于设于进行第2冲裁工序的金属模的上模40上的导引销42之下并定位。

接着，关闭固定夹头44将基材1夹持之后，开启进给夹头46松开对基材1的夹持，使进给夹头46返回原来位置，与此同时，上模40下降，导引销42插入基准孔内，基材1被定位，并利用设于上模40的未图示的加工冲头分别冲压图11所示的修剪部24、制品孔部25及端子孔部26。

在实施形态3中，对该修剪部24、制品孔部25及端子孔部26的开孔是如图11所示，将图中沿纵向相邻配置的4个单片23一次同时进行冲压加工的。

该开孔加工结束之后，通过将固定夹头44释放一定时间来使张力调节辊55侧的基材1松弛，然后关闭固定夹头44，上模40上升，接着关闭进给夹头46并开启固定夹头44，使基材1变为可运送状态，此后反复进行该一系列动作，从而依次进行冲压加工。

此外，这样进行了冲压加工之后的基材1再用未图示的切断机一个一个地进行冲裁加工，便获得单片23。

由于如上所述的构成，加工用基准孔及印刷精度或成形加工机的精度等所产生的误差通过一次进给动作全部被消除，所以防止了进给导致的累积偏差，能进行高精度的冲压加工。

另外，由于进给机构使用伺服滑块47、48，所以当然能任意变更进给量进行进给，并能极方便地适应不同图形的作业。

另外，图14所示例子是用页片方式对基材进行印刷，将印好的基材相连接做成卷筒状，在此状态下投入本发明的柔性元件基片制造装置，如图14所示，将以页片方式印刷的基材58切断成一定宽度(也可以不切断)，用粘接、压接焊及超声波焊接等将其相连接成卷筒状。

这样将页片方式制成的基材58相连接成卷筒状的基材若投入本发明的柔性元件基片制造装置，因为该装置的基材进给机构部使用伺服滑块，故能自由设定任意的进给量，所以，即使印刷部分的导引孔部22之间的间距A与作为连接部的非印刷部分的导引孔部22之间的间距B混合存在，也能不受到任何影响地运送基材58，因此，能自由设定上述间距A、B以使相对基材58的单片数取得最大。

在上述实施形态中，以薄膜电阻体为例对柔性元件基片进行了说明，但本发明并不仅限于此，当然也可以应用于开关用接点、配置等多种柔性元件基片。

如上所述，本发明的柔性元件基片的制造方法及其制造装置能够卷筒状地连续供给薄形基材，高精度制造薄膜电阻体等等，高效率地生产高质量的柔性元件基片。

Claims (10)

1．一种柔性元件基片的制造方法，包括如下步骤：准备印刷用掩模的步骤，该掩模在将印刷面积Sn等分(n为1以上的任意整数)成一定大小的面积S/n内形成有获得多个单片制品用的图形，并形成有形成掩模位置识别用标记的图形；将该掩模装着在印刷机上的步骤；在与由所述掩模形成的标记对应地埋设于印刷机工作台的识别用构件上贴有覆盖带的状态下，用所述掩模在该覆盖带上印刷标记的步骤；通过对该被印刷的标记进行图像识别来识别并存储掩模位置的步骤；将印刷有所述标记的覆盖带从识别用构件上剥下的步骤；遮蔽掩模的标记用图形的步骤；将卷筒状供给的树脂薄膜构成的被印刷件供给印刷机工作台之上的步骤；将所述掩模位置或各印刷时工作台的识别用构件位置与预先存储着的工作台的识别用构件位置相比较来求出偏差量的步骤；根据该求出的偏差量修正所述印刷机的工作台位置后用所述掩模印刷规定图形的步骤；通过间歇运送被印刷件而在卷筒状被印刷件上连续依次印刷规定图形的步骤；以及将该印刷好的被印刷件切断成单片制品的步骤。

2．根据权利要求1所述的柔性元件基片的制造方法，其特征在于，在掩模的印刷面积S内设置2个以上为了印刷对准位置用对准标记用的图形后进行第1次印刷，在该第1次印刷之上进行重复印刷的第2次以后，通过对由上述图形印刷的对准标记进行图像识别来进行被印刷件与掩模的位置对准。

3．根据权利要求1所述的柔性元件基片的制造方法，其特征在于，在将掩模的印刷面积Sn等分后的一定大小的面积S/n内设置2个以上印刷加工用基准标记用的图形，对利用该图形印刷的基准标记进行图像识别后开设基准孔，利用该基准孔进行加工。

4．根据权利要求1所述的柔性元件基片的制造方法，其特征在于，以开设于被印刷件的基准孔为基准，在一定位置开设运送用的导引孔。

5．一种柔性元件基片的制造装置，其特征在于包括：供给卷成卷筒状的被印刷件的卷出部；真空吸附并保持由该卷出部供给的被印刷件的工作台部，在该工作台部的保持所述被印刷件部分的附近埋设有位置识别用的识别用构件，并具有X、Y移动及θ旋转机构且能上升；保持形成有印刷用图形的印刷用掩模并具有括刀、被配置在所述工作台部的上部的印刷部；对埋设于所述工作台的识别用构件或被印刷的标记进行识别的识别部；夹持印刷后的被印刷件的端部每次向下游侧运送一次作业量的运送部；干燥印刷面的干燥部；以及在于燥后卷成卷筒状的卷取部。

6．根据权利要求5所述的柔性元件基片的制造装置，其特征在于，在被印刷件的运入侧和运出侧的工作台部的端部或附近，分别设有限制被运送的被印刷件用的导向构件，同时施加张力使被印刷件以工作台部的上侧面或上方为顶部，在运入侧和运出侧均朝向下方。

7．根据权利要求5所述的柔性元件基片的制造装置，其特征在于，利用工作台部使被印刷件对准位置后进行印刷，在印刷之后的状态下，由运送部运送被印刷件，然后工作台部返回原点。

8．根据权利要求5所述的柔性元件基片的制造装置，其特征在于，具有如下的基准孔开孔机，其包括：识别印刷在被印刷件上的加工用基准标记的识别部；进行移动以对准该识别部所识别的上述基准标记的位置并开设基准孔的加工部；具有插入由该加工部开设的基准孔内的销、依次间歇性地运送卷筒状被印刷件的运送部。

9．根据权利要求8所述的柔性元件基片的制造装置，其特征在于，具有如下的成形加工机，其包括加工部和运送部，所述加工部具有冲裁被印刷件不需要部分用的冲裁部及插入设于被印刷件的基准孔内的导引销，所述运送部在下游侧保持由该加工部在无负载状态下所运送的卷筒状被印刷件并运送稍少于一次运送量的量，同时在运送后，由所述加工部利用导引销将被印刷件定位并夹持之后，解除对被印刷件的保持状态。

10．根据权利要求8所述的柔性元件基片的制造装置，其特征在于，具有如下的成形加工机，其包括加工部和运送部，所述加工部具有冲裁被印刷件不需要部分用的冲裁部及插入设于被印刷件的基准孔内的导引销，所述运送部在上游侧保持由该加工部在无负载状态下所运送的卷筒状被印刷件并运送稍多于一次运送量的量，同时在运送后，由所述加工部利用导引销将被印刷件定位并夹持之后，解除对被印刷件的保持状态。

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