CN1211786A - 用于生成光盘的母盘的制作方法 - Google Patents
用于生成光盘的母盘的制作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1211786A CN1211786A CN98105526A CN98105526A CN1211786A CN 1211786 A CN1211786 A CN 1211786A CN 98105526 A CN98105526 A CN 98105526A CN 98105526 A CN98105526 A CN 98105526A CN 1211786 A CN1211786 A CN 1211786A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- groove
- substrate
- piston ring
- ring land
- pit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/913—Material designed to be responsive to temperature, light, moisture
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/146—Laser beam
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/21—Circular sheet or circular blank
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
一种生产母盘的方法,包括下列步骤:在一衬底上镀第一光敏电阻层;根据分别对应于槽和槽脊的一槽形凹口和一槽脊形凸起的图形使第一光敏电阻层曝光;蚀刻衬底和第一光敏电阻层,从而在衬底上形成槽形凹口和槽脊形凸起;在衬底上镀第二光敏电阻层,从而形成槽和槽脊;根据记录预定信息的凹坑图形对第二光敏电阻层曝光;并蚀刻第二光敏电阻层,从而在槽和槽脊上形成凹坑。
Description
本发明涉及用于制造光盘的母盘的制作方法,其中该光盘是一种光记录/再现介质。
通常,高密度光盘如数字通用盘(DVD)-随机存取存储器(RAM)包括槽(groove)1和槽脊(land)2,其中信息沿螺旋式轨道记录,如图1所示。因此凹坑3分别形成在槽1和槽脊2上,从而在其上面记录期望的信息。由于同时使用槽1和槽脊2,所以与只在槽或在槽脊上记录的普通光盘相比,可以以高密度记录更大量的信息。
光盘通过图2A至2D所示的过程制作。如图2A所示,光敏电阻20镀在衬底10上,然后在旋转衬底10时,按照槽,槽脊和凹坑的图形,用生成槽的激光器30和生成凹坑的激光器30′同时照射光敏电阻20表面,使光敏电阻20曝光。参考数字31和31′表示用于接通/断开激光器的调制器。
接着,如图2B所示,蚀刻剂喷涂在曝光的衬底10上,从而制作出其上形成有槽、槽脊和凹坑的母盘15。
母盘15经压模处理生成如图2C所示的父模25,然后通过注模法拷贝光盘,其中树脂35被注入到装有父模25的模件40中,如图2D所示。
在上述方法中,由于槽脊,槽和凹坑的图形通过曝光然后同时蚀刻形成在光敏电阻层上,所以槽脊,槽和凹坑间的边界不尖锐。于是,在再现光盘信息期间,信息信号的起点和终点不能精确检测,从而增大输出信号不能及时产生的抖动误差。
本发明的目的是提供生产用于形成光盘的母盘的方法,根据这种方法可以高密度记录大量信息并减少抖动误差。
要实现上述目的,本发明的母盘制作方法包含下列步骤:
在衬底上镀第一光敏电阻层;
根据分别对应于槽和槽脊的槽形凹口和槽脊形凸起,使第一光敏电阻层曝光;
蚀刻衬底和第一光敏电阻层,从而在衬底上形成槽形凹口和槽脊形凸起;
在衬底上镀第二光敏电阻层,从而形成槽和槽脊;
根据记录预定信息的凹坑图形使第二光敏电阻层曝光;和
蚀刻第二光敏电阻层,从而在槽和槽脊上形成凹坑。
这里衬底是用二氧化硅制造的。
通过参考附图详细描述其优选实施方案,本发明的上述目的和优点将变得更加明显:
图1是部分地表示现有光盘的透视图;
图2A至图2D是说明现有光盘生产过程的视图;
图3至图6是根据本发明说明母盘制作方法的视图;
图7是根据本发明说明母盘制作方法的流程图。
参照图3至图6以及图7,将描述根据本发明实施方案的母盘制作方法。如图3所示,在步骤300中,第一光敏电阻层110镀在衬底100上。这里衬底是用二氧化硅制成的。然后,在旋转衬底100(步骤310)时,第一光敏电阻层110在激光束210下曝光。这时,第一光敏电阻层110被曝光的图形对应于下述的槽101(见图5)和槽脊102。
在步骤320中,曝光的衬底100通过活性离子蚀刻法进行蚀刻,然后去掉第一光敏电阻层110。因此,如图4所示,分别对应于槽101和槽脊102的槽形凹口101′和槽脊形凸起102′形成在二氧化硅衬底100上。
接着,第二光敏电阻层120镀在二氧化硅衬底100上,如图5所示(步骤330)。这时,第二光敏电阻层120以相同厚度镀在沿槽形凹口101′和槽脊形凸起102′的表面上。于是,槽101和槽脊102通过镀第二光敏电阻层120成形。
至于凹坑的形成,可按照凹坑的图形,用激光照射第二光敏电阻层120,使其曝光以便形成凹坑。凹坑图形形成在槽101和槽脊102上。例如,通过对激光反射镜如镀锌镜(galvano mirror)的微调,可使激光束精确地跟踪槽101和槽脊102。
然后,在步骤350中,蚀刻第二光敏电阻层120,从而在第二光敏电阻层120的槽101和槽脊102上形成凹坑103,如图6所示。因此,母盘的制作完成。
根据本发明,衬底和第二光敏电阻层分别地单独蚀刻,从而在槽,槽脊和凹坑间实现尖锐边界。
用上述母盘以上述方式压制光盘。
通过以下实例,本发明的效果将更为明显。
(实例)
按传统工艺生产的母盘(a)和(b),分别具有容量10兆字节和15.12兆字节。根据本发明生产的母盘(c)和(d)具有深度为λ/6η的槽,其中‘λ’表示再现激光的波长,而‘η’表示光盘的折射率,和深度为λ/4n的凹坑,其中n=1,2,3…。另外,具有波长为430纳米的蓝色激光用做曝光激光器。母盘(a)至(d)以槽角和抖动误差比示于表1。
这里,槽角是槽的一个侧面和盘的水平面间的夹角。(表1)
母盘 | 容量 | 道间距 | 槽角 | 抖动误差比 |
(a)(b)(c)(d) | 10兆字节15.12兆字节10兆字节15.12兆字节 | 0.6微米0.4微米0.6微米0.4微米 | 约50°约50°约80°约80° | 15%15~17%4~6%6~8% |
如表1所示,母盘(a)和(b)的槽角约为50°,而母盘(c)和(d)的槽角约为80°。即,母盘(c)和(d)形成更尖锐的槽角。另外,根据本发明的关于母盘的抖动误差比减至现有母盘的一半。
根据本发明的上述生产方法,在槽,槽脊和凹坑间的边界是尖锐和明显的,从而改进信息记录和再现的特性并实现信息的高密度记录。
Claims (3)
1.一种制作母盘的方法,包括下列步骤:
在一衬底上镀第一光敏电阻层;
根据分别对应于槽和槽脊的一槽形凹口和一槽脊形凸起的图形使第一光敏电阻层曝光;
对衬底和第一光敏电阻层进行蚀刻,从而在衬底上形成槽形凹口和槽脊形凸起;
在衬底上镀第二光敏电阻层,从而形成槽和槽脊;
根据其中记录有预定信息的凹坑的图形,使第二光敏电阻层曝光;和
对第二光敏电阻层进行蚀刻,从而在槽和槽脊上形成凹坑。
2.按照权利要求1的方法,其中,用活性离子蚀刻法进行蚀刻。
3.按照权利要求1的方法,其中衬底是用二氧化硅制造的。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR47210/1997 | 1997-09-12 | ||
KR1019970047210A KR100234291B1 (ko) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 광디스크 제작용 마스타 디스크 제조방법 |
KR47210/97 | 1997-09-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1211786A true CN1211786A (zh) | 1999-03-24 |
CN1112677C CN1112677C (zh) | 2003-06-25 |
Family
ID=19521266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN98105526A Expired - Fee Related CN1112677C (zh) | 1997-09-12 | 1998-03-12 | 用于生成光盘的母盘的制作方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6071586A (zh) |
JP (1) | JPH1196606A (zh) |
KR (1) | KR100234291B1 (zh) |
CN (1) | CN1112677C (zh) |
NL (1) | NL1008602C2 (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7239602B2 (en) * | 1998-08-27 | 2007-07-03 | Ricoh Company, Ltd. | Optical information recording medium with a partition wall between an information tracks groove and a preformat pit encoding information therefor |
KR100234292B1 (ko) * | 1997-10-08 | 1999-12-15 | 윤종용 | 광디스크 제작용 마스터 디스크 제조방법 |
KR100433238B1 (ko) * | 1998-04-04 | 2004-09-16 | 엘지전자 주식회사 | 광디스크및마스터디스크제조방법및장치 |
FR2928486B1 (fr) * | 2008-03-07 | 2011-08-19 | Commissariat Energie Atomique | Structure de stockage optique a haute densite |
US9145163B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-09-29 | Crown Equipment Corporation | Electrical steering assist features for materials handling vehicles |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5911551A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | Toshiba Corp | 光学式情報記憶媒体 |
US4861699A (en) * | 1983-03-16 | 1989-08-29 | U.S. Philips Corporation | Method of making a master disk used in making optical readable information disks |
US4544443A (en) * | 1983-05-13 | 1985-10-01 | Shap Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an optical memory element |
JPS60170045A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-09-03 | Pioneer Electronic Corp | アドレス,案内溝付光デイスク製造方法 |
JPH01237943A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Toshiba Corp | 光ディスク成形用金型およびその製造方法 |
KR100200803B1 (ko) * | 1992-04-30 | 1999-06-15 | 윤종용 | 정보소스 디스크와 이 정보소스 디스크의 광기록장치 및 그 정보소스 디스크의 복제방법과 그 복제장치 |
JP2868682B2 (ja) * | 1992-05-15 | 1999-03-10 | シャープ株式会社 | 光ディスク |
FR2702077B1 (fr) * | 1993-02-22 | 1995-04-21 | Digipress Sa | Procédé de fabrication d'un disque maître et d'une matrice de pressage de disques optiques perfectionnés, disque optique obtenu à partir de ce disque maître ou de cette matrice de pressage. |
JPH0750038A (ja) * | 1993-08-06 | 1995-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ディスク原盤の作製方法 |
US5471455A (en) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Jabr; Salim N. | High density optical storage system |
-
1997
- 1997-09-12 KR KR1019970047210A patent/KR100234291B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1998
- 1998-03-10 US US09/037,851 patent/US6071586A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-03-12 CN CN98105526A patent/CN1112677C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1998-03-16 NL NL1008602A patent/NL1008602C2/nl not_active IP Right Cessation
- 1998-04-03 JP JP10092063A patent/JPH1196606A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL1008602C2 (nl) | 1999-07-20 |
JPH1196606A (ja) | 1999-04-09 |
US6071586A (en) | 2000-06-06 |
KR100234291B1 (ko) | 1999-12-15 |
CN1112677C (zh) | 2003-06-25 |
KR19990025545A (ko) | 1999-04-06 |
NL1008602A1 (nl) | 1999-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO1995028705A1 (fr) | Substrat pour support d'enregistrement optique et dispositif d'estampage pour fabriquer un substrat pour support d'enregistrement optique | |
CN1112677C (zh) | 用于生成光盘的母盘的制作方法 | |
CN1124599C (zh) | 光盘的母盘及其制造方法 | |
CN1144196C (zh) | 制作用于形成光盘的母盘的方法 | |
JP2000280255A (ja) | 原盤の製造方法 | |
CN1152375C (zh) | 光信息媒体和光信息记录方法 | |
JP4165396B2 (ja) | 凹凸を有する光記録媒体作製用原盤、スタンパ、光記録媒体の各製造方法 | |
JPH09115190A (ja) | 光ディスク用スタンパの製造方法 | |
CN1084512C (zh) | 制造用来制作光盘的母盘的方法 | |
KR100228803B1 (ko) | 고밀도 광디스크 기판 제조방법 | |
KR100207701B1 (ko) | 광디스크 제조방법 | |
JP2523947B2 (ja) | 光ディスクのスタンパ作製方法 | |
US20040051052A1 (en) | Method for manufacturing original disk for recording medium, and stamper manufacturing method | |
JP2517470B2 (ja) | 光学ディスクマスタ―の製造方法及び装置 | |
JPH0210536A (ja) | 光ディスク基板の製造方法 | |
JPH06150396A (ja) | 光ディスク原盤の作製方法 | |
JP2001243662A (ja) | 記録媒体の製造方法、および記録媒体製造用原盤の製造方法 | |
EP0323225A2 (en) | Cast molding die and process for producing information recording medium using the same | |
JP2000348387A (ja) | 光記録媒体とその記録再生方法及びマスタスタンパの製造方法 | |
JPH04162224A (ja) | 光ディスク | |
JPH02278537A (ja) | 光記録情報媒体の製造方法 | |
JPS63181141A (ja) | 光学的記録媒体の製造方法 | |
JPH08180476A (ja) | 光記録媒体の製造方法 | |
JPH01290139A (ja) | 光記録媒体用スタンパーおよびその製造方法 | |
JP2001006219A (ja) | 光記録媒体、光記録媒体用基板及び光記録媒体製造用原盤 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20030625 Termination date: 20120312 |