CN1197747C - 装料取料机械手 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种装料取料工业机械手，托架与四连杆机构连接，四连杆机构与机械手臂相连，四连杆机构的上摆臂与弹簧连接，导轨与滑座滑动连接，其滑座中设有丝杠驱动机构，机械手臂的右端设有转轮，转轮上固定连接有丝杠，机械手臂的右端面通过螺钉连接有丝母，机械手臂的内腔中设有滑动轴，滑动轴的右端与丝杠的左端连接，左端连接钢丝绳，钢丝绳与弹簧的右端连接，在滑动轴的外侧设有密封组件，定位套与定杆相连。本发明结构简单、安装方便、无振动传递。使用于高真空和压力系统，适合于薄壁、易碎、非导磁性、不规则外形工件的装料取料，特别是适用于高真空系统的装料取料工业机械手，广泛用于半导体器件、真空冶炼等设备中的工件装料取料。
Description
一、技术领域
本发明涉及一种工业机械手，特别涉及装料取料机械手。
二、背景技术
现有技术中的装料取料工业机械手有手指抓取式、吸盘式、磁力吸盘式，例如机械工业出版社1982年出版的《机械工程手册》第10卷中P56-43表56·2-1。上述装料取料工业机械手中对于薄壁、易碎、非导磁性材料、不规则外形工件来讲就难以进行装料取料。尽管吸盘式可以实现，但需要配备气源供给系统，投入较大。
三、发明内容
针对上述现有技术存在的缺陷，本发明目的在于提供一种结构简单，可轻取轻放，适合于薄壁、易碎、非导磁性材料、不规则外形工件装料取料的装料取料工业机械手。
本发明的装料取料机械手，包括托架、四连杆机构、机械手臂、滑座与导轨，其中：所述托架与所述四连杆机构的左端相连接，所述四连杆机构的右端通过一定杆与所述机械手臂的左端相连，所述机械手臂的右端安装在所述滑座中，所述滑座与所述导轨滑动连接，其特点在于所述机械手臂的内腔中设有一滑动轴，该滑动轴的右端与一丝杠连接，该丝杠上连接有一转轮，所述滑动轴的左端连接有一钢丝绳，该钢丝绳的另一端通过一弹簧与所述四连杆机构连接，在所述滑动轴的外侧设有一密封组件，一定位套装在所述机械手臂左端的内腔中并与所述定杆相连。转动丝杠，拉动钢丝绳，从而驱动四连杆机构带动装料取料托架，实现装料取料托架的上下移动。钢丝绳拉动四连杆机构，带动装料取料托架上下水平移动，实现装料取料动作。
对本发明的另一种改进在于适合于高真空、密闭状态下的装料取料。高真空工作室和装料取料室之间通过高真空插板阀分隔。
本发明结构简单，使用方便。因其是通过转动丝杠，拉动钢丝绳，从而驱动四连杆机构带动装料取料托架，实现装料取料托架的上下平稳移动，因而适应于薄壁、易碎、非导磁性材料、不规则外形工件的装料取料。
四、附图说明
图1为本发明结构剖面示意图；
图2为本实用新型使用状态剖面示意图；
五、具体实施方式
附图为本实用新型的具体实施例
下面结合附图对本实用新型的内容作进一步说明
实施例1：
参见图1所示，包括托架1与四连杆机构2相连接，四连杆机构2通过定杆4与机械手臂7相连，四连杆机构2的上摆臂与弹簧3的一端连接，导轨15与滑座13滑动连接，其滑座13中设有丝杠驱动机构14，机械手臂7的尾部设有转轮12，转轮12上连接有丝杠11，机械手臂7的右端面通过螺钉连接有丝母10，机械手臂7的内腔中设有滑动轴8，滑动轴8的右端与丝杠11连接、左端连接钢丝绳6，钢丝绳6与弹簧3的另一端连接，在滑动轴8的外侧设有密封组件9，定位套5与定杆4相连。转动转轮12，带动丝杠11通过丝杠11端部的球形铰链拉动滑动轴8移动，由于采用球形铰链连接，其钢丝绳6和滑动轴8可以任何方向转动，达到受力均匀，消除扭距，使钢丝绳6经久耐用。通过钢丝绳6和弹簧3带动上摆臂摆动，带动固定在四连杆机构2上的托架1上下移动，实现装料取料动作。其中四连杆机构为单臂式，也可以是双臂式。
实施例2：
图2为本发明在密封高真空使用状态实施例，这种装料取料机械手与图1所示的装料取料机械手基本相同，其不同之处在于在高真空密封状态下工作，机械手的托架1和四连杆机构2均置于密封工作室18内。其高真空工作室和装料取料室之间是通过高真空插板阀17分隔。装料取料室与机械手臂7相接触的部分置有密封组件16，达到完全密封的工作状态。
工作时，首先转动丝杠驱动机构14，将托架1移动到装料取料室内，把工件(具体为硅单晶片)放在托架1上，然后，打开高真空插板阀17，转动丝杠驱动机构14，将托架1移动到高真空工作室内，转动转轮12，带动丝杠11通过丝杠11端部的球形铰链拉动滑动轴8移动，通过钢丝绳6和弹簧3带动上摆臂摆动，带动固定在四连杆机构2上的托架1向下移动，将工件放置在工作台上，然后，转动丝杠驱动机构14，将托架1移动到装料取料室内，关闭高真空插板阀17，实现装料工作。取料时按上述过程逆向操作即可。密封组件16保证在机械手工作时，不影响系统的真空度，因此，本发明特别适用于高真空系统和压力系统。
本发明与现有技术相比，具有结构简单，使用方便，无需使用传感器就可实现对工件的轻取轻放等特点，适合于薄壁、易碎、非导磁性、不规则外形工件的装料取料，特别是适用于高真空系统的装料取料工业机械手。广泛用于半导体器件、真空冶炼等设备中的装料取料。
Claims (3)
1、一种装料取料机械手，包括托架(1)、四连杆机构(2)、机械手臂(7)、滑座(13)与导轨(15)，其中：所述托架(1)与所述四连杆机构(2)的左端相连接，所述四连杆机构(2)的右端通过一定杆(4)与所述机械手臂(7)的左端相连，所述机械手臂(7)的右端安装在所述滑座(13)中，所述滑座(13)与所述导轨(15)滑动连接，其特征在于所述机械手臂(7)的内腔中设有一滑动轴(8)，该滑动轴(8)的右端与一丝杠(11)连接，该丝杠(11)上连接有一转轮(12)，所述滑动轴(8)的左端连接有一钢丝绳(6)，该钢丝绳(6)的另一端通过一弹簧与所述四连杆机构(2)连接，在所述滑动轴(8)的外侧设有一密封组件(9)，一定位套(5)装在所述机械手臂(7)左端的内腔中并与所述定杆(4)相连。
2、根据权利要求1所述的装料取料机械手，其特征在于机械手的所述托架(1)和所述四连杆机构(2)均置于一密封工作室(18)内。
3、根据权利要求2所述的装料取料机械手，其特征在于所述密封工作室(18)的中间设有插板阀(17)，该插板阀(17)将密封工作室(18)分隔为高真空工作室和装料取料室。
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