CN118106173A - 液材施作设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液材施作设备，包括：一承载台，该承载台可受驱动连动一工件旋转；一液材施作装置，在一移动机构上设有一第一液材挤出阀，该第一液材挤出阀设有一第一喷嘴可以水平的方向以液材施作至该工件一液材施作部位；一靠座，设有以水平方向朝向该液材施作装置的一触抵面，该触抵面呈Y、Z轴向，并邻近该工件水平旋转位移路径通过该液材施作部位呈Y轴向的切线部位；一感测元件，固设于该靠座并以水平方向朝该液材施作装置侧；该第一液材挤出阀可被驱动位移至对应该感测元件，使采以水平进行液材施作的加工更具有效益。

Description

液材施作设备

技术领域

本发明有关于一种液材施作设备，尤指一种可适用于将液材施作在待加工物上的液材施作设备。

背景技术

公告第I500456号「水平点胶的方法」专利案提出一种以具有粘性的胶材以水平方式在加工件上进行点胶的方法，其包括下列步骤：载入一加工件；撷取加工件的待胶合处的位置资讯；提供一喷射点胶头，沿水平方向朝向加工件的这些待胶合处喷射多个胶滴；依据这些待胶合处的位置资讯，移动并升降该喷射点胶头，将这些胶滴喷射至加工件的这些待胶合处；其中针对相距于该喷射点胶头相同的第一距离的这些待胶合处，保持上述喷射点胶头与这些待胶合处于上述第一距离并等速喷射这些胶滴；其中针对相距于该喷射点胶头大于上述第一距离的这些待胶合处，升高该喷射点胶头以使这些胶滴借由抛物线原理落于较远的位置；以及载出上述加工件。

该第I500456号「水平点胶的方法」专利案的现有技术采用喷射点胶头沿水平方向朝向加工件的这些待胶合处喷射多个胶滴，其并采用抛物线施作液材方式对加工件的标记缺口处的液材进行特别施作，但在实际上，如果喷射点胶头的喷射能力够好，其实微小尺寸的该标记缺口是可以不用特别考虑的，反倒是该现有技术喷射点胶头本身设为水平方向，故重量校验模组及清洁模组亦都设于喷射点胶头水平方向位移可及的一侧前端；由于胶滴本身的重力是往下方向，将重量校验模组设于喷射点胶头水平方向位移可及的一侧前端，将造成喷射点胶头喷胶测重时胶液垂落累积在喷嘴下缘，且重量校验模组必须增加额外的承接构造以容收水平喷入的胶液转换为垂直方向的重量量测，其效果并非理想！另，该现有技术对于喷射点胶头喷胶仅借由包括俯视镜头及侧视镜头的摄像模组进行检视，对于实际的喷射点胶头与待胶合处的间距难以掌握，加工件旋转时的偏离旋转中心亦无法有效检测及补偿；且该现有技术将清洁模组的一侧边作为试喷板，会使该清洁模组侧边沾附粘胶而不易清除，在多次试喷后，该试喷板上沾满粘胶将造成校正上的误差！喷射点胶头在对该待胶合处喷胶时亦可能喷溅到加工件周缘上表面，使加工件周缘上表面存在残胶的瑕疵。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种解决现有技术至少一缺点的液材施作设备。

依据本发明目的的液材施作设备，包括：一承载台，设于一机台台面上，供设置一工件，该承载台可受驱动连动该工件旋转；一液材施作装置，设有位于该机台台面上相对该承载台另一外侧的一移动机构，该移动机构上设有一第一液材挤出阀，该第一液材挤出阀设有一第一喷嘴可以水平的方向以液材施作至该承载台上该工件一液材施作部位；一靠座，设有以水平方向朝向该液材施作装置的一触抵面，该靠座的该触抵面呈Y、Z轴向布设的立设表面，并设于邻近该工件水平作旋转时圆形的位移路径通过该液材施作部位呈Y轴向的切线部位；一感测元件，固设于该靠座并以水平方向朝该液材施作装置侧；该第一液材挤出阀可被驱动位移至对应该感测元件。

本发明实施例的液材施作设备，借助将该第一液材挤出阀进行液材施作时的X轴向座标零点检测校正标定，以一靠座设有以水平方向朝向该液材施作装置的一触抵面，该触抵面呈Y、Z轴向，并邻近该工件水平旋转位移路径通过该液材施作部位呈Y轴向的切线部位；一感测元件固设于该靠座并以水平方向朝该液材施作装置侧，该第一液材挤出阀可被驱动位移至对应该感测元件，使以水平进行液材施作的加工更具有效益。

附图说明

图1是一个立体图，说明本发明实施例中的液材施作设备；

图2是一个俯视图，说明本发明实施例中的液材施作设备；

图3是一个立体图，说明本发明实施例中的液材施作装置及液材辅助装置；

图4是一个侧视图，说明本发明实施例中的液材施作装置及液材辅助装置；

图5是一个立体图，说明本发明第一实施例中的零点校正装置及液材校正装置；

图6是一个立体分解图，说明本发明实施例中液材校正装置中该导座内部构造；

图7是一个立体图，说明本发明实施例中的固化装置及检查装置；

图8是一个立体图，说明本发明实施例中的偏置检查装置；

图9是一个立体图，说明本发明实施例中的遮蔽装置；

图10是一个侧视图，说明本发明实施例中遮蔽装置下移及液材施作装置旋转至水平定位。

【符号说明】

A：工件

A1：液材施作部位

B：机台台面

C：承载台

C1：检测器

D：液材施作装置

D1：移动机构

D11：滑轨

D12：滑轨

D13：滑轨

D14：滑座

D2：座架

D21：旋转驱动件

D3：第一液材挤出阀

D31：第一喷嘴

D4：测距器

D41：气缸式感测头

D42：接触件

D5：第二液材挤出阀

D51：第二喷嘴

D6：影像检视器

E：液材辅助装置

E1：擦液机构

E11：擦拭平台

E12：擦拭带

E2：排胶机构

E21：开口

E3：影像检视器

E4：液重量测模组

E41：开口

F：零点校正装置

F1：固定架

F2：靠座

F21：前侧面

F3：感测元件

F4：间距

G：液材校正装置

G1：座架

G2：带体

G3：带轮

G31：针孔

G32：带面

G4：驱动件

G5：卷收轮

G6：导座

G61：前侧面

G62：空腔

G621：开口

G63：罩盖

G64：气孔

G65：气压接头

H：固化装置

H1：立架

H2：固化器

H3：微调件

K：检查装置

K1：上检视器

K2：下检视器

K3：侧检视器

L：偏置检查装置

L1：投光架

L2：线性光栅

M：遮蔽装置

M1：固定座

M11：滑轨

M2：悬臂

M3：驱动件

M4：滑轨

M5：导架

M6：遮蔽件

M61：遮蔽面

具体实施方式

请参阅图1，本发明实施例以如图所示的液材施作设备为例作说明，该液材施作设备用以对二个晶圆上下叠设的工件A进行水平液材施作，所述液材通常为具有粘性的胶材，液材施作于二个晶圆上下叠设的工件A环状周缘的夹缝处。

请参阅图1、2，该液材施作设备在同一机台台面B上设有一承载台C、一液材施作装置D、一液材辅助装置E、一零点校正装置F、一液材校正装置G、一固化装置H、一检查装置K、一偏置检查装置L、及一遮敝装置M；其中：

该承载台C上供以一机械手臂移入的该工件A置放，在一个较佳的实施例中，该载台C已具有支撑及使该工件A对准承载台C中心下进行固定及加热、连动作水平旋转的能力，惟因非本案请求特征，以下兹不赘述其详细构造！该载台C驱动该工件A以Z轴向为旋转中心轴水平作旋转时的周缘形成一圆形的位移路径，该载台C上的该工件A在X轴向的直径端周缘侧作为液材施作部位A1，液材连续喷注至该液材施作部位A1时，该载台C驱动该工件A作旋转，使该工件A的周缘环绕转动的位移路径皆涂布液材于二个晶圆上下叠设的工件A环状周缘的夹缝处；该载台C周侧位于该工件A下方设有供检测该载台C上是否有工件A的检测器C1。

请参阅图1、3、4，该液材施作装置D位于相对该承载台C另一外侧，设有一移动机构D1，该移动机构D1设有Y轴向的一滑轨D11、位于该滑轨D11上的X轴向的一滑轨D12、及位于该滑轨D12上的Z轴向的滑轨D13，该滑轨D13上设有一滑座D14，该滑座D14上设有受例如马达的一旋转驱动件D21驱动而可作以Y轴向为旋转中心轴作旋转的一座架D2，该座架D2上由远离该滑座D14的一侧向另一侧依序以Y轴向直线并列并呈Z轴向上下立设的一第一液材挤出阀D3、一测距器D4、一第二液材挤出阀D5、及一影像检视器D6，该旋转中心轴的轴线通过该第一液材挤出阀D3、该测距器D4、该第二液材挤出阀D5、及该影像检视器D6；该座架D2被驱动作旋转时，可连动其上的该第一液材挤出阀D3、该测距器D4、该第二液材挤出阀D5、及该影像检视器D6同步由垂直的Z轴向设置旋转为水平的X轴向；其中，该第一液材挤出阀D3供挤出一第一种材质成分的液材，该第二液材挤出阀D5供挤出一第二种材质成分的液材，两种液材以先后顺序分别施作于该液材施作部位A1，但在该工件A仅需施作单一种液材时，可仅以该第一液材挤出阀D3供挤出一第一种材质成分的液材进行施作；该测距器D4设有例如气缸式感测头D41可伸出铁氟龙材质的接触件D42抵触该液材施作部位A1，以检测该工件A上该液材施作部位A1的位置；该影像检视器D6例如CCD镜头，用以检视该工件A上该液材施作部位A1的影像以判别该液材施作部位A1的位置。

该液材辅助装置E位于相对该承载台C的另一外侧，并设于该液材施作装置D的该座架D2下方的该机台台面B上，其大部分的机构设于该机台台面B上一镂空区间B1中的下方，仅上方露出于该机台台面B；该液材辅助装置E设有由远离该滑座D14的一侧向另一侧依序以Y轴向直线并列并各呈Z轴向上下立设的一擦液机构E1、一排胶模组E2、一影像传感器E3、及一液重量测模组E4；该擦液机构E1设有可受驱动卷绕经擦拭面朝上的一擦拭平台E11的一擦拭带E12，借由该擦拭带E12在该擦拭平台E11上间歇性位移，变换被该第一液材挤出阀D3下方第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5下方第二喷嘴D51擦拭的位置；该排胶模组E2设有朝上的开口E21，该第一液材挤出阀D3下方第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5下方第二喷嘴D51被驱动位移至对应该开口E21上方，由上往下将液滴排入该开口E21内受收集；该影像传感器E3例如CCD镜头，其镜头由下往上检视位移至对应其上方的该第一液材挤出阀D3下方第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5下方第二喷嘴D51，以检视是否具有残液积留及清洁程度；该液重量测模组E4设有朝上的开口E41，该第一液材挤出阀D3下方第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5下方第二喷嘴D51被驱动位移至对应该开口E41上方，由上往下喷注液滴进入该开口E41内受一磅秤秤重。

请参阅图1、4、5，该零点校正装置F位于该承载台C的一侧，并设于邻靠该承载台C上该工件A被驱动作顺时针旋转时环绕转动的位移路径的该液材施作部位A1的下游路径处外侧下方，其设有：一固定架F1、位于该固定架F1上呈立设的一靠座F2、及固设于该靠座F2并露出于该靠座F2以水平方向朝该液材施作装置D侧表面的一感测元件F3；该靠座F2设有以水平方向朝向该液材施作装置D的一触抵面F21，该感测元件F3被触发设定为零点的感测点，被设定与该靠座F2的该触抵面F21在同一表面，该靠座F2的该触抵面F21呈Y、Z轴向布设的立设表面，并设于邻近该工件A水平作旋转时圆形的位移路径通过该液材施作部位A1呈Y轴向的切线部位，该第一液材挤出阀D3下方第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5下方第二喷嘴D51于进行液材施作前，被驱动位移至对应该感测元件F3检测校正标定为将进行液材施作时的X轴向座标零点，然后该测距器D4再以接触件D42抵触该靠座F2的触抵面F21取得X轴向座标零点后，该测距器D4再以接触件D42抵触该液材施作部位A1，以取得距离的实际值供该第一液材挤出阀D3下方第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5下方第二喷嘴D51进行液材施作时的位移距离。

该液材校正装置G位于该承载台C的一侧，并设于该承载台C上该工件A被驱动作顺时针旋转时环绕转动的位移路径的该液材施作部位A1的下游路径处外侧，该液材校正装置G设有：一座架G1、设于该座架G1上并卷设有挠性的一带体G2的一带轮G3、受例如马达的一驱动件G4驱动可卷收该带体G3的一卷收轮G5、与该靠座F2一体共设于一固定架F1并与该靠座F2保持一间距F4下立置相邻并设的一导座G6，该导座G6设有朝向该液材施作装置D的一靠抵面G61，该导座G6的该靠抵面G61呈Y、Z轴向布设的立设表面，并设于邻近该工件A水平作旋转时圆形的位移路径通过该液材施作部位A1呈Y轴向的切线部位，其表面与该靠座F2的该触抵面F21在同一表面；该带体G3两侧各设有相隔间距排列的多数个针孔G31，该带体G3由该带轮G3牵引以带面G32呈立设方式，由该导座G6后侧以Y轴向水平由左朝右绕经该间距F4而回绕经该导座G6的该靠抵面G61由右朝左至该卷收轮G5被卷收，该驱动件G4依所接收的讯号在必要时才驱动该卷收轮G5卷动该带体G3作位移。

请参阅图4、6，该导座G6内部设有一空腔G62，该空腔G62上方设有一开口G621，该开口G621受一罩盖G63盖覆封闭，该靠抵面G61表面设有多数个气孔G64以二排相隔间距方式列设，该导座G6下方设有气压接头G65可供抽出该空腔G62中气体，使该气孔G64具有负压吸力吸附绕经该靠抵面G61的该带体G3；该第一液材挤出阀D3下方第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5下方第二喷嘴D51于进行液材施作前，被驱动位移至对应该导座G6的该前侧面对该带体G3进行试喷液材，借由该带体G3在该导座G6前侧间歇性位移，变换被该第一液材挤出阀D3下方第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5下方第二喷嘴D51喷出液滴停留的位置。

该液材辅助装置E位于该座架D2被驱动作旋转，连动其上该第一液材挤出阀D3、该测距器D4、该第二液材挤出阀D5、及该影像检视器D6同步旋转时，连动其上各构件的操作指向对应的该液材辅助装置E为第一位置，连动其上各构件操作指向对应的该零点校正装置F、该液材校正装置G、及该工件A水平作旋转时圆形的位移路径为第二位置，该座架D2被驱动作旋转连动其上各构件操作指向由第一位置旋转到第二位置为九十度角。

请参阅图7，该固化装置H位于该承载台C的一侧，并设于该承载台C上该工件A被驱动作顺时针旋转时环绕转动的位移路径的该液材施作部位A1的下游路径处外侧，其设有一立架H1及位于该立架H1上杆状并指向该工件A的UV光源或热源构成的固化器H2，该固化器H2受一螺杆构成的微调件H3作用，可作向该工件A朝靠或远离的位移。

该检查装置K位于该承载台C的一侧，并设于该承载台C上该工件A被驱动作顺时针旋转时环绕转动的位移路径的该液材施作部位A1的下游路径处外侧，主要用以针对完成液材施作后的工件A进行全周的该液材施作部位A1的品质检查，其设有由CCD镜头构成的一上检视器K1、对应位于该上检视器K1下方的一下检视器K2、及与该上检视器K1和下检视器K2相隔一角弧度间距的一侧检视器K3。

请参阅图1、7、8，该偏置检查装置L位于该承载台C的一侧，并设于该承载台C上该工件A被驱动作顺时针旋转时环绕转动的位移路径的该液材施作部位A1的上游路径处外侧，及位于该上检视器K1、下检视器K2与该侧检视器K3之间的该工件A环绕转动的位移路径外侧，该偏置检查装置L设有分别各位于该工件A上、下方的二个水平设置的投光架L1，在二个该投光架L1间投射有激光束形成的线性光栅L2，该线性光栅L2的线段呈对应该工件A被驱动作顺时针旋转时环绕转动的位移路径的径向方向设置，该线段的长度跨经该位移路径的内侧及外侧，位于内侧的部分并延伸长逾该工件A构成物晶圆周缘所既有的标记缺口A2的水平径向深度；该偏置检查装置L借由该线性光栅L2被该工件A周缘遮蔽的程度，计算该工件A旋转时偏离该承载台C旋转中心的偏差量，并传递讯息给该液材施作装置D作液材施作时的位移补偿，但在检测到该标记缺口A2时，将主动予以排除并列为不予计入的该偏差量。

请参阅图9、10，该遮敝装置M位于该承载台C的一侧，并设于该承载台C上该工件A被驱动作顺时针旋转时环绕转动的位移路径的该液材施作部位A1的上游路径处外侧；该遮敝装置M设有立置的一固定座M1、设于该固定座M1上朝向该工件A上方水平伸设的可受驱动在该固定座M1上一滑轨M11上作上下位移的一悬臂M2、设于该悬臂M2的一端并受一驱动件M3驱动而可在该驱动件M3上一侧的一滑轨M4作上下位移的一导架M5、及位于该导架M5下端设有水平设置的一遮蔽面M61的一遮蔽件M6；其中，该遮蔽件M6的该遮蔽面M61恰对应位于该液材施作部位A1处朝靠该工件A周缘内侧处上方，并可在该驱动件M3驱动该导架M5下移时，遮覆该液材施作部位A1处朝靠该工件A周缘内侧处的上方表面部位，防止在进行液材施作时，液材不慎喷溅至该工件A周缘内侧处上方表面。

本发明实施例液材施作设备在实施上，在一般未进行液材施作的状态下，该液材施作装置D的该座架D2连同其上的该第一液材挤出阀D3、该测距器D4、该第二液材挤出阀D5、及该影像检视器D6保持位于垂直的Z轴向设置，并于必要时在保持位于垂直的Z轴向设置状态下进行在该擦液机构E1进行擦拭、在该排胶模组E2将液滴排注收集、在该影像传感器E3检视是否具有残液积留及清洁程度、及在该液重量测模组E4喷注液滴受一秤重。

当欲对工件A进行液材施作时，该座架D2如图10所示被驱动作旋转，连动其上各操作指向对应该液材辅助装E的第一位置的该第一液材挤出阀D3、该测距器D4、该第二液材挤出阀D5、及该影像检视器D6同步由垂直的Z轴向设置旋转为水平的X轴向，使各操作指向转换为对应该工件A水平作旋转时圆形的位移路径的第二位置，并在必要时进行以该影像检视器D6对该液材施作部位A1检视判别位置、以该第一液材挤出阀D3的第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5的第二喷嘴D51位移至对应该感测元件F3检测校正X轴座标零点、以该测距器D4的接触件D42抵触该靠座F2的该触抵面F21取得X轴向座标零点、以该测距器D4再以接触件D42抵触该液材施作部位A1计算进行液材施作时的位移距离、及位移至对应该导座G6的该前侧面对该带体G3进行试喷液材，并使该遮敝装置M的该遮蔽件M6的该遮蔽面M61遮覆该液材施作部位A1处朝靠该工件A周缘内侧处的表面部位。

对工件A进行液材施作时，以该偏置检查装置L的该线性光栅L2计算该工件A旋转时的偏差量并作液材施作时的位移补偿；该座架D2连动其上的该第一液材挤出阀D3、该测距器D4、该第二液材挤出阀D5、及该影像检视器D6同步在X、Y、Z轴向位移，并以该第一液材挤出阀D3的第一喷嘴D31或该第二液材挤出阀D5的第二喷嘴D51位移至对应该液材施作部位A1处，以水平的X轴向对该液材施作部位A1处以液材连续喷注至该液材施作部位A1，并在该载台C驱动该工件A作旋转下，使该工件A的周缘环绕转动的位移路径皆涂布液材于二个晶圆上下叠设的工件A环状周缘的夹缝处；在该液材施作部位A1处完成液材施作的工件A顺时针旋转位移至对应该固化装置H的固化器H2前方时，被该固化器H2施予固化处理，并接续旋转位移经该检查装置K受该上检视器K1、该下检视器K2、及该侧检视器K3检查液材施作后环绕该工件A全周的该液材施作部位A1的施作品质。

本发明实施例的液材施作设备，借助将该第一液材挤出阀D3进行液材施作时的X轴向座标零点检测校正标定，以一靠座F2设有以水平方向朝向该液材施作装置D的一触抵面F21，该触抵面F21呈Y、Z轴向，并邻近该工件水平旋转位移路径通过该液材施作部位A1呈Y轴向的切线部位；一感测元件F3固设于该靠座并以水平方向朝该液材施作装置侧，该第一液材挤出阀D3可被驱动位移至对应该感测元件F3，使以水平进行液材施作的加工更具有效益。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，即大凡依本发明申请专利范围及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。

Claims (15)

1.一种液材施作设备，包括：

一承载台，设于一机台台面上，供设置一工件，该承载台可受驱动连动该工件旋转；

一液材施作装置，设有位于该机台台面上相对该承载台另一外侧的一移动机构，该移动机构上设有一第一液材挤出阀，该第一液材挤出阀设有一第一喷嘴可以水平的方向以液材施作至该承载台上该工件一液材施作部位；

其特征在于：该机台台面上还设有：

一靠座，设有以水平方向朝向该液材施作装置的一触抵面，该靠座的该触抵面呈Y、Z轴向布设的立设表面，并设于邻近该工件水平作旋转时圆形的位移路径通过该液材施作部位呈Y轴向的切线部位；

一感测元件，固设于该靠座并以水平方向朝该液材施作装置侧；

该第一液材挤出阀可被驱动位移至对应该感测元件。

2.如权利要求1所述的液材施作设备，其中，该靠座位于该承载台的一侧，并设于邻靠该承载台上该工件被驱动作旋转时环绕转动的位移路径的外侧。

3.如权利要求1所述的液材施作设备，其中，一导座与该靠座一体共设于该固定架，该导座并与该靠座保持一间距下立置相邻并设，该导座设有朝向该液材施作装置的一靠抵面，该导座的该靠抵面呈Y、Z轴向布设的立设表面，一带体回绕经该导座。

4.如权利要求3所述的液材施作设备，其中，该带体两侧各设有相隔间距排列的多数个针孔，该带体由一带轮牵引以带面呈立设方式，由该导座后侧水平回绕经该导座的该靠抵面至一卷收轮被卷收。

5.如权利要求3所述的液材施作设备，其中，该导座内部设有一空腔，该空腔上方设有一开口，该开口受一罩盖盖覆封闭，该前侧面表面设有多数个气孔以二排相隔间距方式列设，该导座下方设有气压接头可供抽出该空腔中气体，使该气孔具有负压吸力吸附绕经该前侧面的该带体。

6.如权利要求1所述的液材施作设备，其中，该移动机构上设有受一旋转驱动件驱动而可作以一旋转中心轴作旋转的一座架，该座架上设有呈上下立设的该第一液材挤出阀，该座架可被驱动作旋转连动其上的该第一液材挤出阀由垂直设置旋转为水平设置。

7.如权利要求6所述的液材施作设备，其中，该座架由一侧向另一侧依序以直线并列并呈上下立设该第一液材挤出阀、一测距器、一第二液材挤出阀、及一影像检视器；该第一液材挤出阀供挤出一第一种材质成分的液材，该第二液材挤出供挤出一第二种材质成分的液材。

8.如权利要求6所述的液材施作设备，其中，该座架上设有一测距器，该测距器设有气缸式感测头可伸出一接触件抵触该液材施作部位或该靠座的该触抵面。

9.如权利要求1所述的液材施作设备，其中，还设有一液材辅助装置位于相对该承载台的另一外侧，并设于该液材施作装置的该座架下方的该机台台面上，该液材辅助装置设有由一侧向另一侧依序以直线并列并各呈上下立设的一擦液机构、一排胶模组、一影像检视器、及一液重量测模组。

10.如权利要求2所述的液材施作设备，其中，该擦液机构设有可受驱动卷绕经擦拭面朝上的一擦拭平台的一擦拭带。

11.如权利要求4所述的液材施作设备，其中，该影像检视器其由下往上检视位移至对应其上方的该第一液材挤出阀下方第一喷嘴，以检视是否具有残液积留及清洁程度。

12.如权利要求1所述的液材施作设备，其中，还设有一偏置检查装置位于该承载台的一侧，并设于该承载台上该工件被驱动作旋转时环绕转动的位移路径的该液材施作部位的上游路径处外侧，该偏置检查装置设有分别各位于该工件上、下方的二个水平设置的投光架，在二个该投光架间投射有激光束形成的线性光栅，该线性光栅的线段呈对应该工件被驱动作顺时针旋转时环绕转动的位移路径的径向方向设置，该线段的长度跨经该位移路径的内侧及外侧。

13.如权利要求12所述的液材施作设备，其中，该工件为二个晶圆上下叠设，该线段位于内侧的部分并延伸长逾该工件构成物晶圆周缘所既有的标记缺口的水平径向深度。

14.如权利要求1所述的液材施作设备，其中，还设有一遮敝装置位于该承载台的一侧，并设于该承载台上该工件被驱动作旋转时环绕转动的位移路径的外侧；该遮敝装置的一遮蔽件的一遮蔽面可被驱动遮覆该液材施作部位处朝靠该工件周缘内侧处的表面部位。

15.如权利要求14所述的液材施作设备，其中，该遮蔽装置设有立置的一固定座、设于该固定座上朝向该工件上方水平伸设的可受驱动在该固定座上一滑轨上作上下位移的一悬臂、设于该悬臂的一端并受一驱动件驱动而可在该驱动件上一侧的一滑轨作上下位移的一导架、及位于该导架下端设有水平设置的该遮蔽面的该遮蔽件；其中，该遮蔽件的该遮蔽面恰对应位于该液材施作部位处朝靠该工件周缘内侧处上方，并可在该驱动件驱动该导架下移时被连动。