CN118007110A - 一种真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明适用于镀膜设备技术领域，提供一种真空镀膜设备，包括：沿水平方向依次连接的上料架、第一插板阀、第一缓冲腔、第二插板阀、干燥腔体、第三插板阀、镀膜腔体、第四插板阀、第二缓冲腔、第五插板阀及下料架，上料架、第一缓冲腔、干燥腔体、镀膜腔体、第二缓冲腔及下料架依次对应设置有上料传输机构、第一缓冲传输机构、干燥传输机构、镀膜传输机构、第二缓冲传输机构及下料传输机构，第一缓冲腔、干燥腔体、镀膜腔体及第二缓冲腔分别连接抽真空装置。本发明提供的真空镀膜设备可以减少干燥腔体及镀膜腔体抽真空所需时间，提升干燥效率和镀膜效率，且避免外界空气进入干燥腔体和镀膜腔体内降低真空度，从而可以提升镀膜质量。

Description

一种真空镀膜设备

技术领域

本发明涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜设备。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，PECVD)镀膜设备通过微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在镀膜腔体内形成等离子体，利用等离子体很容易发生反应的原理，在工件上沉积出所需要的薄膜。真空镀膜设备在对工件进行镀膜工艺之前，一般需要先利用干燥腔体将干燥处理，再将干燥腔体干燥处理后的工件输送至镀膜腔体内进行工件的镀膜工艺。

现有技术中，真空镀膜设备的镀膜设备在镀膜生产过程中，需要打开干燥腔体的进料口并向干燥腔体内输送工件进行干燥处理，干燥腔体干燥处理后，打开干燥腔体的出料口并向镀膜腔体输送干燥处理后的工件；镀膜腔体的进料口打开，工件进入镀膜腔体内并关闭镀膜腔体的进料口，镀膜设备的抽真空装置再将镀膜腔体抽真空并向镀膜腔体通入雾化镀膜材料，利用镀膜材料在腔室内的镀膜工件上沉积镀膜，在镀膜腔体内工件完成镀膜后打开出料口移出完成镀膜的工件。然而，由于真空镀膜设备在连续镀膜过程中，干燥腔体和镀膜腔体需要不断打开进出料口，外界空气会进入干燥腔体和镀膜腔体内，这样会大大增加干燥腔体和镀膜腔体抽真空所需时间，导致镀膜效率低，且外界空气进入干燥腔体和镀膜腔体内会影响干燥腔体和镀膜腔体内的真空度，从而影响工件的镀膜质量。

发明内容

本发明提供一种真空镀膜设备，旨在解决现有技术的真空镀膜设备存在外界空气易进入干燥腔体和镀膜腔体内，干燥腔体和镀膜腔体抽真空所需时间长，导致镀膜效率低，且影响工件镀膜质量的问题。

本发明是这样实现的，提供一种真空镀膜设备，包括：

包括沿水平方向依次连接的上料架、第一插板阀、第一缓冲腔、第二插板阀、干燥腔体、第三插板阀、镀膜腔体、第四插板阀、第二缓冲腔、第五插板阀及下料架，所述上料架、所述第一缓冲腔、所述干燥腔体、所述镀膜腔体、所述第二缓冲腔及所述下料架依次对应设置有均用于带动工件自所述上料架向所述下料架方向传输的上料传输机构、第一缓冲传输机构、干燥传输机构、镀膜传输机构、第二缓冲传输机构及下料传输机构，所述第一缓冲腔、所述干燥腔体、所述镀膜腔体及所述第二缓冲腔分别连接抽真空装置。

优选的，所述真空镀膜设备包括上下并排设置的至少两个镀膜产线，每个所述镀膜产线均包括依次连接的所述上料架、所述第一插板阀、所述第一缓冲腔、所述第二插板阀、所述干燥腔体、所述第三插板阀、所述镀膜腔体、所述第四插板阀、所述第二缓冲腔、所述第五插板阀及所述下料架，各所述镀膜产线之间共用一个所述干燥腔体。

优选的，所述干燥腔体靠近所述第二插板阀的一侧壁上设有干燥腔体进料口，所述干燥腔体靠近所述第三插板阀的另一侧壁上设有位于所述干燥腔体进料口上方的干燥腔体出料口，所述干燥传输机构包括:

设于所述干燥腔体内的水平传输组件，用于带动工件自所述干燥腔体进料口沿水平方向进入所述干燥腔体内；

设于所述干燥腔体内的竖直传输组件，用于依次带动所述水平传输组件上的工件上升至所述干燥腔体出料口位置；及

与所述干燥腔体出料口位置相对应的推杆机构，用于将上升至所述干燥腔体出料口位置的工件从所述干燥腔体出料口推出。

优选的，所述水平传输组件包括：

设于所述干燥腔体内并沿水平方向设置的水平传输带，用于带动工件自所述干燥腔体进料口沿水平方向进入所述干燥腔体内；及

与所述水平传输带传动连接的第一电机。

优选的，所述竖直传输组件包括：

设于所述干燥腔体内并竖直布置在所述水平传输带相对两侧的多个传动链条，每个所述传动链条设有沿竖直方向间隔分布的多个承载部，各所述承载部可依次带动所述水平传输带上的工件上升至所述干燥腔体出料口位置；及

与多个所述传动链条传动连接的第二电机。

优选的，还包括：

设于所述干燥腔体内并靠近所述水平传输带的进料侧设置的第一传感器，用于检测工件进入所述水平传输带上时触发第一电机减速信号；以及

设于所述干燥腔体内并靠近所述水平传输带的出料侧设置的第二传感器，用于检测工件在所述水平传输带上运动到位时触发第一电机停止转动信号。

优选的，还包括：

设于所述干燥腔体内并对应所述干燥腔体出料口位置的第三传感器，用于检测到工件上升至所述干燥腔体出料口位置时触发第二电机停止转动信号。

优选的，所述推杆机构包括：

固定于所述干燥腔体上的壳体；

安装于所述壳体的固定导轨；

安装于所述固定导轨上并沿所述固定导轨长度方向布置的第一皮带；

与所述第一皮带传动连接、用于带动所述第一皮带转动的第一旋转电机；

活动设置于所述固定导轨上并与所述第一皮带连接的活动导轨，所述第一皮带可带动所述活动导轨相对所述固定导轨伸缩；

安装于所述活动导轨上并沿所述活动导轨长度方向布置的第二皮带，所述活动导轨与所述第二皮带连接并可带动所述第二皮带转动；以及

与所述第二皮带连接的推杆，所述第二皮带可带动所述推杆相对所述活动导轨伸缩。

优选的，所述第一插板阀、所述第二插板阀、所述第三插板阀、所述第四插板阀及所述第五插板阀均包括：

内设有阀腔的阀体，所述阀体的侧壁开设有与所述阀腔连通并相对设置的两个阀口；

可活动设置于所述阀腔内的两个插板，两个所述插板与两个所述阀口一一对应配合并用于打开或关闭相对应的所述阀口；以及

驱动组件，所述驱动组件包括可滑动设置于所述阀腔内的滑块、与所述滑块螺纹连接并可带动所述滑块上下滑动的螺杆、与所述滑块铰接的至少两个连杆机构、及与所述螺杆连接的第二旋转电机，两个所述插板分别与对应的所述连杆机构连接。

优选的，所述第三插板阀及所述第四插板阀远离所述镀膜腔体的所述插板上贯穿设置有与所述阀腔相连通的通气孔。

优选的，所述镀膜腔体设有与其内部连通且相对设置的镀膜腔体进料口和镀膜腔体出料口，且所述镀膜腔体设有与其内部连通且相对设置的进气口和出气口，所述进气口的进气方向和所述出气口的出气方向垂直于所述镀膜腔体进料口至所述镀膜腔体出料口的方向，所述镀膜传输机构用于带动工件自所述镀膜腔体进料口向所述镀膜腔体出料口方向移动。

优选的，所述镀膜腔体的外表面设置有雾化器组件，所述雾化器组件包括雾化器、及与所述雾化器的出口连接的弯头，所述弯头的另一端与所述镀膜腔体连接，所述弯头内的底壁设置有用于沉积镀膜材料的沉积槽。

本发明提供的一种真空镀膜设备设置沿水平方向依次连接的上料架、第一插板阀、第一缓冲腔、第二插板阀、干燥腔体、第三插板阀、镀膜腔体、第四插板阀、第二缓冲腔、第五插板阀及下料架，并将第一缓冲腔、干燥腔体、镀膜腔体及第二缓冲腔分别连接抽真空装置；工件进入干燥腔体时，第一插板阀关闭，第二插板阀打开，利用第一插板阀将第一缓冲腔与外界大气隔绝，防止第一缓冲腔内的工件进入干燥腔体时大量空气进入干燥腔体及镀膜腔体；工件进入镀膜腔体时，第二插板阀关闭，第三插板阀打开，第二插板阀将干燥腔体与外界大气隔绝，防止工件从干燥腔体进入镀膜腔体时大量空气进入镀膜腔体内；镀膜腔体内的镀膜工件完成镀膜后，第四插板阀打开，第五插板阀关闭，镀膜后的工件从镀膜腔体移动至第二缓冲腔内，利用第五插板阀将第二缓冲腔与外界大气隔绝，防止镀膜腔体内的工件移出时大量空气从镀膜腔体的出料口进入镀膜腔体内，因而本发明的真空镀膜设备可以防止外界空气进入干燥腔体和镀膜腔体内，减少干燥腔体及镀膜腔体抽真空所需时间，提升干燥效率和镀膜效率，且避免了外界空气进入干燥腔体和镀膜腔体内降低真空度而影响工件镀膜质量，从而可以大大提升镀膜质量。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种真空镀膜设备的立体图；

图2为本发明实施例提供的一种真空镀膜设备去除部分结构后的立体图；

图3为本发明实施例提供的一种真空镀膜设备的干燥腔体的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种真空镀膜设备的干燥腔体一部分结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种真空镀膜设备的干燥腔体另一部分结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种真空镀膜设备的推杆机构的立体结构图；

图7为本发明实施例提供的一种真空镀膜设备的推杆机构的剖面示意图；

图8为本发明实施例提供的真空镀膜设备的第三插板阀的立体示意图；

图9为本发明实施例提供的真空镀膜设备的第三插板阀去除部分结构后的示意图；

图10为本发明实施例提供的真空镀膜设备的第三插板阀去除部分结构后的另一示意图；

图11为本发明实施例提供的真空镀膜设备的第三插板阀的驱动组件与插板组装时的示意图；

图12为本发明实施例提供的真空镀膜设备的镀膜腔体的一立体图；

图13为本发明实施例提供的真空镀膜设备的镀膜腔体的另一立体图；

图14为本发明实施例提供的真空镀膜设备的镀膜腔体一部分结构的立体图；

图15为本发明实施例提供的真空镀膜设备的镀膜腔体另一部分结构的立体图；

图16为本发明实施例提供的真空镀膜设备的雾化器组件的立体示意图；

图17为本发明实施例提供的真空镀膜设备的雾化器组件的结构示意图；

图18为沿图17中A-A方向的剖面示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明实施例提供的一种真空镀膜设备设置沿水平方向依次连接的上料架、第一插板阀、第一缓冲腔、第二插板阀、干燥腔体、第三插板阀、镀膜腔体、第四插板阀、第二缓冲腔、第五插板阀及下料架，并将第一缓冲腔、干燥腔体、镀膜腔体及第二缓冲腔分别连接抽真空装置；工件进入干燥腔体时，第一插板阀关闭，第二插板阀打开，利用第一插板阀将第一缓冲腔与外界大气隔绝，防止第一缓冲腔内的工件进入干燥腔体时大量空气进入干燥腔体及镀膜腔体；工件进入镀膜腔体时，第二插板阀关闭，第三插板阀打开，第二插板阀将干燥腔体与外界大气隔绝，防止工件从干燥腔体进入镀膜腔体时大量空气进入镀膜腔体内；镀膜腔体内的镀膜工件完成镀膜后，第四插板阀打开，第五插板阀关闭，镀膜后的工件从镀膜腔体移动至第二缓冲腔内，利用第五插板阀将第二缓冲腔与外界大气隔绝，防止镀膜腔体内的工件移出时大量空气从镀膜腔体的出料口进入镀膜腔体内，因而本发明的真空镀膜设备可以防止外界空气进入干燥腔体和镀膜腔体内，减少干燥腔体及镀膜腔体抽真空所需时间，提升干燥效率和镀膜效率，且避免了外界空气进入干燥腔体和镀膜腔体内降低真空度而影响工件镀膜质量，从而可以大大提升镀膜质量。

请参照图1-图2，本发明实施例提供的一种真空镀膜设备，包括沿水平方向依次连接的上料架2、第一插板阀3、第一缓冲腔4、第二插板阀5、干燥腔体6、第三插板阀7、镀膜腔体8、第四插板阀9、第二缓冲腔10、第五插板阀11及下料架12，上料架2、第一缓冲腔4、干燥腔体6、镀膜腔体8、第二缓冲腔10及下料架12依次对应设置有用于带动工件自上料架2向下料架12方向传输的上料传输机构20、第一缓冲传输机构40、干燥传输机构60、镀膜传输机构80、第二缓冲传输机构100及下料传输机构120，第一缓冲腔4、干燥腔体6、镀膜腔体8及第二缓冲腔10分别连接抽真空装置(图未示)。

本发明实施例中，工件的具体类型不限，比如可以为手机后盖或其它工件。在本实施例中，工件可以放置在相应的托盘上，每个托盘可以放置一个或多个工件，多个工件可以分层或平铺放置在托盘上，放置有工件的托盘依次经过上料架2、第一插板阀3、第一缓冲腔4、第二插板阀5、干燥腔体6、第三插板阀7、镀膜腔体8、第四插板阀9、第二缓冲腔10、第五插板阀11及下料架12传输，从而实现工件传输。除本实施例之外，工件也可以无需托盘，工件可以直接依次经过上料架2、第一插板阀3、第一缓冲腔4、第二插板阀5、干燥腔体6、第三插板阀7、镀膜腔体8、第四插板阀9、第二缓冲腔10、第五插板阀11及下料架12传输，完成镀膜工艺。

请参照图1-图4，具体的，工件进入上料架2的上料传输机构20上，工件再依次经过第一插板阀3、第一缓冲腔4的进料口、第一缓冲传输机构40、第一缓冲腔4的出料口、第二插板阀5、干燥腔体进料口61、干燥传输机构60、干燥腔体出料口62、第三插板阀7、镀膜腔体8的进料口81、镀膜传输机构80、镀膜腔体8的出料口82、第四插板阀9、第二缓冲腔10的进料口、第二缓冲传输机构100、第二缓冲腔10的出料口、第五插板阀11、及下料架12的下料传输机构120。

其中，第一插板阀3设置在第一缓冲腔4的出料口位置，用于密封或打开第一缓冲腔4的进料口，以便工件进入第一缓冲腔4内。第二插板阀5设置在第一缓冲腔4的出料口和干燥腔体进料口61之间，第二插板阀5用于打开或密封第一缓冲腔4的出料口和干燥腔体进料口61，以使第一缓冲腔4与干燥腔体6隔绝或连通。第三插板阀7设置在第一缓冲腔4的出料口和镀膜腔体进料口81之间，第三插板阀7用于打开或密封第一缓冲腔4的出料口和镀膜腔体进料口81，以使第一缓冲腔4与干燥腔体6隔绝或连通。第四插板阀9设置在镀膜腔体出料口82和第二缓冲腔10的进料口之间，第四插板阀9用于打开或密封镀膜腔体出料口82和第二缓冲腔10的进料口，以使镀膜腔体8与第二缓冲腔10隔绝或连通。第五插板阀11设置在第二缓冲腔10的出料口位置，第五插板阀11用于打开或密封第二缓冲腔10的出料口，以便工件从第二缓冲腔10移出。

本发明实施例中，抽真空装置具体可以为真空泵，真空泵通过管道与第一缓冲腔4、干燥腔体6、镀膜腔体8及第二缓冲腔10连接，通过真空泵对第一缓冲腔4、干燥腔体6、镀膜腔体8及第二缓冲腔10抽真空，确保第一缓冲腔4、干燥腔体6、镀膜腔体8及第二缓冲腔10处于真空环境。其中，第一缓冲腔4、干燥腔体6、镀膜腔体8及第二缓冲腔10可以单独设置抽真空装置，也可以共用抽真空装置。

本发明实施例中，真空镀膜设备在镀膜过程中，工件进入第一缓冲腔4后，第一插板阀3关闭，第二插板阀5打开，此时利用第一插板阀3将第一缓冲腔4与外界大气隔绝，确保第一缓冲腔4内的真空环境，防止第一缓冲腔4内的工件进入干燥腔体6时大量空气进入干燥腔体6及镀膜腔体8，确保干燥腔体6和镀膜腔体8内真空环境不被破坏，减少后续干燥腔体6及镀膜腔体8抽真空的所需时间，提升镀膜设备的工件干燥效率和工件镀膜效率；工件干燥处理后，工件进入镀膜腔体8时，第二插板阀5关闭，第三插板阀7打开，此时第二插板阀5将干燥腔体6与外界大气隔绝，防止工件从干燥腔体6进入镀膜腔体8时大量空气进入镀膜腔体8，减少镀膜腔体8抽真空的所需时间；镀膜腔体8内的工件完成镀膜后，第四插板阀9打开，第五插板阀11关闭，镀膜后的工件从镀膜腔体8移动至第二缓冲腔10内，由于第五插板阀11将第二缓冲腔10与外界大气隔绝，防止镀膜腔体8内的工件移出时大量空气从镀膜腔体8进入镀膜腔体8内，因而本发明的真空镀膜设备可以有效防止外界空气进入干燥腔体6和镀膜腔体8内，减少干燥腔体6及镀膜腔体8抽真空所需时间，提升干燥效率和镀膜效率，且避免了外界空气进入干燥腔体6和镀膜腔体8内降低干燥腔体6和镀膜腔体8的真空度，从而可以大大提升镀膜质量。

作为本发明的一个实施例，真空镀膜设备包括上下并排设置的至少两个镀膜产线，每个镀膜产线均包括依次连接的上料架2、第一插板阀3、第一缓冲腔4、第二插板阀5、干燥腔体6、第三插板阀7、镀膜腔体8、第四插板阀9、第二缓冲腔10、第五插板阀11及下料架12，各镀膜产线之间共用一个干燥腔体6。

其中，图1和图2中示意出的真空镀膜设备包括上下并排设置的两个镀膜产线。真空镀膜设备的两个镀膜产线可以同时进行连续镀膜，可以大大提升镀膜效率。另外的，镀膜设备也可以为三层或更多数量的镀膜产线，可以进一步提升镀膜效率。除本实施例外，各镀膜产线也可以单独设置干燥腔体6。

作为本发明的一个实施例，上料传输机构20、第一缓冲传输机构40、干燥传输机构60、镀膜传输机构80、第二缓冲传输机构100及下料传输机构120的具体结构可以相同，也可以不同。在本实施例中，上料传输机构20、第一缓冲传输机构40、镀膜传输机构80、第二缓冲传输机构100及下料传输机构120相同，上料传输机构20、第一缓冲传输机构40、镀膜传输机构80、第二缓冲传输机构100及下料传输机构120均包括相对间隔设置的两个传输皮带、及驱动两个传输皮带转动的电机，电机带动传输皮带转动，实现工件向前移动。

请参照图3-图5，作为本发明的一个实施例，干燥腔体6靠近第二插板阀5的一侧壁上设有干燥腔体进料口61，干燥腔体靠近第三插板阀7的另一侧壁上设有位于干燥腔体进料口61上方的干燥腔体出料口62，干燥传输机构60包括:

设于干燥腔体6内的水平传输组件，用于带动工件自干燥腔体进料口61沿水平方向进入干燥腔体6内；

设于干燥腔体6内的竖直传输组件，用于依次带动水平传输组件上的工件上升至干燥腔体出料口62位置；及

与干燥腔体出料口62位置相对应的推杆机构67，用于将上升至干燥腔体出料口62位置的工件从干燥腔体出料口62推出。

本实施例中，通过水平传输组件带动工件自干燥腔体进料口61沿水平方向进入干燥腔体6内，利用竖直传输组件托举水平传输组件上的工件上升至干燥腔体出料口62位置，再利用推杆机构67将上升至干燥腔体进料口61位置的工件从干燥腔体出料口62推出，完成工件在干燥腔体6内传输。由于竖直传输组件将水平方向传输转化为竖直方向传输，充分利用干燥腔体6竖向空间，工件一边上升一边进行干燥处理，大大增加了同时干燥处理工件的数量，既提升了工件干燥处理的效率，且不增加干燥腔体6的占地面积，水平传输带63可以连续将工件传输至干燥腔体6内进行干燥，实现工件连续干燥处理，大大提升了工件干燥处理的效率，确保了干燥腔体6的干燥处理节拍与镀膜腔体8的镀膜节拍相匹配，大大提升了镀膜设备的镀膜效率。

作为本发明的一个实施例，水平传输组件包括：

设于干燥腔体6内并沿水平方向设置的水平传输带63，用于带动工件自干燥腔体进料口61沿水平方向进入干燥腔体6内；

及与水平传输带63传动连接的第一电机64。

具体的，水平传输带63的数量为两个，第一电机64带动两个水平传输带63同步转动，两个水平传输带63同步带动工件水平向前进入干燥腔体6内，使得工件运动平稳，且实现结构简单，实现成本低。

作为本发明的一个实施例，竖直传输组件包括：

设于干燥腔体6内并竖直布置在水平传输带63相对两侧的多个传动链条65，每个传动链条65设有沿竖直方向间隔分布的多个承载部651，各承载部651可依次带动水平传输带63上的工件上升至干燥腔体出料口62位置；及

与多个传动链条65传动连接的第二电机66。

本实施例中，多个传动链条65与第二电机66形成传动连接，第二电机66用于驱动多个传动链条65沿竖直方向转动。水平传输带63的相对两侧分别设有一对传动链条65，每个传动链条65绕设于主动链轮和从动链轮上，且每对传动链条65的主动链轮连接同一联动轴，传动箱的两个输出轴分别与两个联动轴形成传动连接。第二电机66带动传动箱的两个输出轴转动，从而带动多个传动链条65同步转动。

本实施例中，通过水平传输带63带动工件自干燥腔体进料口61沿水平方向进入干燥腔体6内，利用传动链条65托举水平传输带63上的工件上升至干燥腔体出料口62位置，再利用推杆机构67将上升至干燥腔体进料口61位置的工件从干燥腔体出料口62推出，完成工件在干燥腔体6内传输。利用多个传动链条65带动工件一边上升一边进行干燥处理，大大增加了同时干燥处理工件的数量，提升了工件干燥处理的效率，且实现结构简单，实现成本低。

作为本发明的一个实施例，推杆机构67位于第一缓冲腔4上方并安装在干燥腔体6上，使得推杆机构67可以充分利用第一缓冲腔4上方的空间。

作为本发明的一个实施例，承载部651为可拆卸固定于传动链条65上的L形支撑件，便于安装加工，且可以较好承载工件或放置有工件的托盘。其中，每个传动链条65上的承载部651的数量可以根据实际灵活设置。

作为本发明的一个优选实施例，传动链条65的数量为四个，四个传动链条65分别设置在干燥腔体6内的四个角位置。四个传动链条65上的承载部651可以同时承载工件或放置有工件的托盘的四个角位置，使传动链条65托举工件更加稳定。

作为本发明的一个实施例，干燥腔体6设有上下间隔设置的两个干燥腔体进料口61、上下间隔设置的两个干燥腔体出料口62、与两个干燥腔体进料口61一一对应的两个水平传输组件、及与两个干燥腔体出料口62一一对应的两个推杆机构67，每个干燥腔体出料口62与一个干燥腔体进料口61相对应，且每个干燥腔体出料口62位于对应干燥腔体进料口61的上方；每个干燥腔体进料口61通过一个第二插板阀5与对应的第一缓冲腔4连接，每个干燥腔体出料口62通过一个第三插板阀7与对应的镀膜腔体8连接。

本发明实施例中，干燥腔体6大致呈长方体结构，干燥腔体进料口61和干燥腔体出料口62分设于干燥腔体6相对设置的两侧。其中，干燥腔体6与外界热气源提供装置连接，外界热气源提供装置不断向干燥腔体6内通入热气源，以实现干燥腔体6内的工件的热风干燥处理。

本实施例中，干燥腔体进料口61、干燥腔体出料口62、水平传输组件及推杆机构67的数量均为两个，每个干燥腔体进料口61与一个干燥腔体出料口62、一个水平传输带63及一个推杆机构67相对应。具体的，由下方干燥腔体进料口61进入相对应的下方水平传输带63上，同时有工件从上方干燥腔体进料口61进入相对应的上方水平传输带63上，下方水平传输带63和上方水平传输带63分别带动其上的工件进入干燥腔体6内，多个传动链条65上的承载部651依次带动下方水平传输带63上的工件上升至下方干燥腔体出料口62所在高度位置，并通过下方干燥腔体出料口62对应的下方推杆机构将上升至下方干燥腔体出料口62所在高度位置的工件从下方干燥腔体出料口62推出至相连接的镀膜腔体8；同时，传动链条65带动上方水平传输带63上的工件上升至上方干燥腔体出料口62所在高度位置，并通过上方推杆机构将上升至上方干燥腔体出料口62所在高度位置的工件从上方干燥腔体出料口62推出，如此利用两个干燥腔体进料口61进料及两个干燥腔体出料口62出料，实现两个干燥流水线同时干燥处理工艺，大大提升了工件的干燥效率，两个干燥腔体出料口62可以分别与镀膜设备的两个镀膜腔体8配合，从而提升镀膜设备的镀膜效率，且两个镀膜腔体8共用一个干燥腔体6，可以降低镀膜设备的成本。

作为本发明的一个实施例，还包括：

设于干燥腔体6内并靠近水平传输带63的进料侧设置的第一传感器68，用于检测工件进入水平传输带63上时触发第一电机64减速信号；以及

设于干燥腔体6内并靠近水平传输带63的出料侧设置的第二传感器69，用于检测工件在水平传输带63上运动到位时触发第一电机64停止转动信号。

本实施例中，第一传感器68和第二传感器69具体可以为霍尔感应器或红外感应器。第一传感器68和第二传感器69分别与控制装置(图未示)电连接，控制装置分别电连接驱动装置及水平传输带63。具体的，控制装置电连接水平传输带63的第一电机。当第一传感器68检测到工件或放置有工件的托盘进入水平传输带63上时，此时第二传感器69向控制装置触发第一电机64减速信号，控制装置控制水平传输带63的第一电机64减速，使得两个水平传输带63减速移动，以便工件更加稳定地被水平传输带63带动向前传输；工件在水平传输带63上向前传输过程中，当第二传感器69检测到工件在水平传输带63上运动到位时，此时向控制装置触发第一电机64停止转动信号，控制装置控制第一电机64停止转动，使得两个水平传输带63停止移动，以便传动链条65上的承载部651更好的承载工件并带动工件上升，工件上升后，水平传输带63再继续工作并带动下一个工件向前移动，并重复上述动作。

作为本发明的一个实施例，还包括：

设于干燥腔体6内并对应干燥腔体出料口62位置的第三传感器610，用于检测到工件上升至干燥腔体出料口62位置时触发第二电机66停止转动信号。

本实施例中，第三传感器610具体可以为霍尔感应器或红外感应器。第三传感器610与控制装置电连接，控制装置电连接第二电机66。传动链条65带动工件上升过程中，当工件运动到第三传感器610对应高度位置时，此时第三传感器610检测到工件上升到位，第三传感器610向控制装置触发第二电机66停止转动信号，控制装置控制第二电机66停止转动，使传动链条65停止转动，以便推杆机构67执行将工件从干燥腔体出料口62推出动作。

作为本发明的一个实施例，还包括：

设于干燥腔体6内并位于第三传感器610所在高度位置之上的第四传感器611，用于检测到工件时触发停机信号。

本实施例中，第四传感器611具体可以为霍尔感应器或红外感应器，第四传感器611与控制装置电连接。当有推杆机构67未将工件及时顶出时，工件继续上升会造成工件撞机，因此当第四传感器611检测到工件时向控制装置触发停机信号，控制装置控制水平传输组件的第一电机64及竖直传输组件的第二电机66均停止工作，需要人工排除故障方可继续运行，从而起到保护作用。

请参照图6-图7，作为本发明的一个实施例，推杆机构67包括：

固定于干燥腔体6上的壳体671；

安装于壳体671的固定导轨672；

安装于固定导轨672上并沿固定导轨672长度方向布置的第一皮带673；

与第一皮带673传动连接、用于带动第一皮带673转动的第一旋转电机674；

活动设置于固定导轨672上并与第一皮带673连接的活动导轨675，第一皮带673可带动活动导轨675相对固定导轨672伸缩；

安装于活动导轨675上并沿活动导轨675长度方向布置的第二皮带676，活动导轨675与第二皮带676连接并可带动第二皮带676转动；以及

与第二皮带676连接的推杆677，第二皮带676可带动推杆677相对活动导轨675伸缩。

本实施例中，推杆机构67还包括沿固定导轨672长度方向间隔设置于固定导轨672上的第一带轮678和第二带轮679、及沿活动导轨675长度方向间隔设置于活动导轨675上的第三带轮6710和第四带轮6711，第一皮带673绕设于第一带轮678和第二带轮679上，第一旋转电机674与第一带轮678或第二带轮679连接；第二皮带676绕设于第三带轮6710和第四带轮6711上。

本发明实施例中，推杆机构67在顶推工件至镀膜腔体8内时，第一旋转电机674带动第一带轮678正向转动，使第一皮带673带动活动导轨675相对固定导轨672向第一方向运动，而活动导轨675运动过程会带动第二皮带676同步正向转动，第三带轮6710和第四带轮6711随第二皮带676正向转动，推杆677随第二皮带676同步向第一方向运动，从而实现活动导轨675相对固定导轨672伸出，推杆677则相对活动导轨675伸出顶推工件或放置有工件的托盘，以将工件推至镀膜腔体8内；推杆677顶推工件完成后，第一旋转电机674再带动第一带轮678和第二带轮679反向转动,第一带轮678和第二带轮679带动第一皮带673反向转动，第一皮带673带动活动导轨675相对固定导轨672向与第一方向相反的第二方向运动，活动导轨675运动过程会带动第二皮带676同步反向转动，第三带轮6710和第四带轮6711随第二皮带676反向转动，且第二皮带676带动推杆677同步向第二方向运动，从而实现推杆677和活动导轨675收缩，以便推杆677进行下一个工件或放置有工件的托盘。

本发明实施例中，利用第一皮带673及第二皮带676分别带动推杆677和活动导轨675伸缩，可以实现推杆677长行程伸缩运动，满足推杆677长行程需求，且活动导轨675与推杆677的同步伸缩，提升了推杆677伸缩速度，提升推杆677推送效率；而且，利用第一旋转电机674驱动第一皮带673转动即可实现活动导轨675与推杆677的同步伸缩，取代大功率的伸缩电机或液压缸，大大降低了实现成本，可以低成本实现推杆677长行程推送工件，且实现结构简单，利于推杆机构67的加工生产。

作为本发明的一个实施例，干燥腔体6的容量为每个镀膜腔体8的至少三倍，利于更多数量的工件在干燥腔体6内干燥，使干燥节拍与镀膜节拍相匹配，避免了需要等待镀膜工件干燥的情况。优选的，镀膜腔体8的容量为50～200升，利于降低抽真空的功率，降低真空泵的成本，且可以使镀膜材料混合更加均匀，提升镀膜质量。

作为本发明的一个实施例，第一缓冲腔4、镀膜腔体8、第二缓冲腔10均可拆卸安装，且第一缓冲腔4、镀膜腔体8、第二缓冲腔10分别设置有把手，便于第一缓冲腔4、镀膜腔体8、第二缓冲腔10的拆装，便于后期维护更换。

请参照图8-图11，作为本发明的一个实施例，第一插板阀3、第二插板阀5、第三插板阀7、第四插板阀9及第五插板阀11均包括：

内设有阀腔30的阀体31，阀体31的侧壁开设有与阀腔30连通并相对设置的两个阀口311；

可活动设置于阀腔30内的两个插板32，两个插板32与两个阀口311一一对应配合并用于打开或关闭相对应的阀口311；以及

驱动组件，驱动组件包括可滑动设置于阀腔30内的滑块331、与滑块331螺纹连接并可带动滑块331上下滑动的螺杆332、与滑块331铰接的至少两个连杆机构333、及与螺杆332连接的第二旋转电机334，两个插板32分别与对应的连杆机构333连接。

本发明实施例中，第一插板阀3、第二插板阀5、第三插板阀7、第四插板阀9及第五插板阀11的具体结构相同，图8-图11仅示意出第三插板阀7的结构。各插板阀利用第二旋转电机334带动螺杆332旋转，螺杆332旋转过程中带动滑块331上下滑动，滑块331运动过程中再带动连杆机构333转动，连杆机构333带动两个插板32同时打开或关闭相应阀口311。由于利用第二旋转电机334替代液压缸作为动力装置，相比液压缸作为动力装置的插板阀，可以降低插板阀的生产使用及维护保养成本；而且，第二旋转电机334利用螺杆332带动滑块331稳定沿螺杆332上下滑动，滑块331再通过连杆机构333带动两个插板32实现两个阀口311的打开或关闭，相比液压缸直接驱动连杆机构333带动两个插板32运动的方式，本发明的插板阀的两个插板32打开或关闭两个阀口311运动到位后，利用螺杆332与滑块331之间螺纹的自锁功能，可以使两个插板32稳定保持阀口311打开或关闭状态，大大提升了插板阀的阀口打开及关闭的可靠性。

具体的，当插板阀的两个阀口311需要关闭时，第二旋转电机334正转带动螺杆332正向旋转，由于螺杆332与滑块331的螺纹配合作用，滑块331将螺杆332的旋转运动转化成直线运动，螺杆332正向旋转带动滑块331向下滑动，滑块331向下运动过程中带动各连杆机构333转动，各连杆机构333转动过程中推动两个插板32相互张开，两个插板32同时向对应阀口311方向移动，直至两个插板32与阀体31的内壁紧密贴合，使两个插板32完全盖合对应的阀口311，实现两个阀口311的关闭；当插板阀的两个阀口311需要打开时，第二旋转电机334反转带动螺杆332反向旋转，螺杆332反向旋转带动滑块331向上移动，滑块331向上运动过程中带动连杆机构333转动，各连杆机构333转动过程中推动两个插板32相互靠拢，两个插板32分别向远离对应阀口311方向移动，直至两个插板32运动到位，实现两个阀口311的打开。

作为本发明的一个实施例，第三插板阀7及第四插板阀9远离镀膜腔体8的插板32上贯穿设置有与阀腔30相连通的通气孔321。

本实施例中，在第三插板阀7及第四插板阀9远离镀膜腔体8的插板32上设置与阀腔30连通的通气孔321，第三插板阀7及第四插板阀9对应关闭镀膜腔体8的进料口或镀膜腔体8的出料口时，镀膜腔体8相邻腔室气压可以经通气孔321进入阀腔并推压插板32向阀口311方向运动，使阀腔30内气压与相邻腔室内气压保持一致，一方面可以利用气压的推力推动插板32运动，可以降低插板32所需驱动力，从而采用驱动力更小的旋转电机可以实现插板驱动，可以进一步降低插板阀生产成本，从而降低应用该插板阀的真空镀膜设备的生产成本；另一方面，由于利用通气孔321进入阀腔30的气压向插板32施加作用力，可以使插板32紧贴阀体内壁以实现阀口311良好的密封，提升镀膜腔体8密封性能。

作为本发明的一个实施例，阀腔30内还设置有用于检测两个插板32向上运动到位时触发第二旋转电机334停止转动信号的上感应器34、及用于检测两个插板32向下运动到位时触发旋转电机32停止转动信号的下感应器35。

本实施例中，当上感应器34检测到两个插板32向上运动到位打开阀口311时，与上感应器34及第二旋转电机334电连接的控制装置接收到上感应器34的触发信号，此时控制装置控制第二旋转电机334停止转动；当下感应器35检测到两个插板32向下运动到位关闭阀口311时，控制装置接收到下感应器35的触发信号，此时控制装置控制第二旋转电机334停止转动；利用上感应器34及下感应器35可以精准控制插板32的运动位置，大大提升插板32打开及关闭的可靠性。具体的，上感应器34及下感应器35均为霍尔感应器。当然，上感应器34及下感应器35也可以是红外感应器或其它类型的感应器。

请参照图12-图15，作为本发明的一个实施例，镀膜腔体8的两个侧壁设有相对设置的两个侧壁分别设有镀膜腔体进料口81和镀膜腔体出料口82、及与镀膜腔体8连通且相对设置的进气口83和出气口84，进气口83的进气方向和出气口84的出气方向垂直于镀膜腔体进料口81至镀膜腔体出料口82的方向，镀膜传输机构80自镀膜腔体进料口81至镀膜腔体出料口82的方向布置并用于带动工件自镀膜腔体进料口81向镀膜腔体出料口82方向移动。

本实施例中，将镀膜腔体8的进气口83的进气方向及出气口84的出气方向设置成与镀膜腔体进料口81至镀膜腔体出料口82的方向成垂直，使得进气口83的进气方向及出气口84的出气方向均垂直于工件的传输方向，进气口83进入的载气垂直经过工件表面扩散至工件的各位置并扩散在镀膜腔体8内后再从出气口84排出，利用载气垂直经过工件表面再从出气口84排出，使得镀膜材料均匀分布在工件表面位置，镀膜原料混合均匀性好，确保工件表面镀膜一致性，从而提升镀膜设备对工件的镀膜质量。

本发明实施例中，进气口83与外界的气体提供装置连接，气体提供装置用于向进气口83通入载气，载气具体可以为惰性气体(如氦气、氩气等)，出气口84与抽真空装置连接，抽真空装置从出气口84将腔室内的惰性气体载气抽出以使腔室保持真空状态。其中，进气口83的进气方向及出气口84的出气方向为沿图12中Z方向。镀膜腔体进料口81用于供工件进入腔室内的镀膜传输机构80上，镀膜传输机构80用于带动工件从镀膜腔体进料口81进入镀膜腔体8内进行镀膜。工件完成镀膜后，镀膜传输机构80带动工件从镀膜腔体出料口82移出，利用镀膜传输机构80传输工件进出镀膜腔体8，无需人工取放镀膜工件，大大提升了镀膜效率。其中，进料口81的进料方向及出料口82的出料方向沿图12中Y方向，Y方向与Z方向相互垂直。

作为本发明的一个实施例，镀膜腔体8内还设有与进气口83相对的第一匀气板85、及与出气口84相对的第二匀气板86。

本实施例中，第一匀气板85和第二匀气板86分别设有多个匀气孔，通过在进气口83和出气口84位置分别对应设置第一匀气板85和第二匀气板86，利用第一匀气板85将进气口83进入的载气均匀分散进入镀膜腔体8内，并利用第二匀气板86对载气从出气口84排出起到阻挡缓冲作用，减少载气从出气口84排出量和排出速度，增加载气带动镀膜原料混匀作用，进一步提升镀膜材料在镀膜腔体8内混合均匀性，从而进一步提升工件的镀膜质量。

作为本发明的一个实施例，还包括设于第一匀气板85和第二匀气板86之间的第一电极板87和第二电极板88，第一电极板87和第二电极板88平行间隔设置，镀膜传输机构80设置于第一电极板87和第二电极板88之间。

本实施例中，第一电极板87和第二电极板88分别作为阳极板和阴极板，第一电极板87和第二电极板88分别通入射频交流电，第一电极板87和第二电极板88通电后，以电离镀膜腔体8内雾化的镀膜材料。雾化的镀膜材料电离后，离子在第一电极板87和第二电极板88之间形成的电场中移动，由于镀膜材料电离后带电荷，当离子撞击到工件后，会附着在工件表面从而沉积镀膜。除本实施例外，也可以在镀膜腔体8内部设置加热件，无需设置电极板，利用加热方式实现电镀。

请参照图12、16-图18，作为本发明的一个实施例，镀膜腔体8的外表面设置有雾化器组件89，雾化器组件89包括雾化器891、及与雾化器891的出口连接的弯头892，弯头892的另一端与镀膜腔体8连接，弯头892内的底壁设置有用于沉积镀膜材料的沉积槽890。其中，沉积槽890的具体形状不限，可以为方形凹槽或圆形凹槽等。

本实施例中，通过设置弯头892连接雾化器891与镀膜腔体8，并在弯头892内的底壁设置用于沉积镀膜材料的沉积槽890，雾化器891将雾化器891的进口进入的镀膜材料雾化，雾化后的镀膜材料经雾化器891的出口进入弯头892，再经弯头892进入镀膜腔体8内参与镀膜腔体8内工件的镀膜；其中，雾化后的镀膜材料经过弯头892进入镀膜腔体8的过程中，雾化不均匀的镀膜材料由于其重力作用会下沉至弯头892内部的沉积槽890，利用沉积槽890沉积雾化不均匀的镀膜材料，进而避免雾化不均匀的镀膜材料直接进入镀膜腔体8内参与镀膜，从而可以提升镀膜质量。

本发明实施例提供的一种真空镀膜设备依次设置上料架2、第一插板阀3、第一缓冲腔4、第二插板阀5、干燥腔体6、第三插板阀7、镀膜腔体8、第四插板阀9、第二缓冲腔10、第五插板阀11及下料架12，并将第一缓冲腔4、干燥腔体6、镀膜腔体8及第二缓冲腔10分别连接抽真空装置；工件进入干燥腔体6时，第一插板阀3关闭，第二插板阀5打开，利用第一插板阀3将第一缓冲腔4与外界大气隔绝，防止第一缓冲腔4内的工件进入干燥腔体6时大量空气进入干燥腔体6及镀膜腔体8；工件进入镀膜腔体8时，第二插板阀5关闭，第三插板阀7打开，第二插板阀5将干燥腔体6与外界大气隔绝，防止工件从干燥腔体6进入镀膜腔体8时大量空气进入镀膜腔体8；镀膜腔体8内的镀膜工件完成镀膜后，第四插板阀9打开，第五插板阀11关闭，镀膜后的工件从镀膜腔体8移动至第二缓冲腔10内，由于第五插板阀11将第二缓冲腔10与外界大气隔绝，防止镀膜腔体8内的工件移出时大量空气从镀膜腔体8的出料口进入镀膜腔体8内，因而本发明的真空镀膜设备可以防止外界空气进入干燥腔体6和镀膜腔体8内，减少干燥腔体6及镀膜腔体8抽真空所需时间，提升干燥效率和镀膜效率，且避免了外界空气进入干燥腔体6和镀膜腔体8内降低真空度而影响工件镀膜质量，从而可以大大提升镀膜质量。

以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括沿水平方向依次连接的上料架、第一插板阀、第一缓冲腔、第二插板阀、干燥腔体、第三插板阀、镀膜腔体、第四插板阀、第二缓冲腔、第五插板阀及下料架，所述上料架、所述第一缓冲腔、所述干燥腔体、所述镀膜腔体、所述第二缓冲腔及所述下料架依次对应设置有均用于带动工件自所述上料架向所述下料架方向传输的上料传输机构、第一缓冲传输机构、干燥传输机构、镀膜传输机构、第二缓冲传输机构及下料传输机构，所述第一缓冲腔、所述干燥腔体、所述镀膜腔体及所述第二缓冲腔分别连接抽真空装置。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备包括上下并排设置的至少两个镀膜产线，每个所述镀膜产线均包括依次连接的所述上料架、所述第一插板阀、所述第一缓冲腔、所述第二插板阀、所述干燥腔体、所述第三插板阀、所述镀膜腔体、所述第四插板阀、所述第二缓冲腔、所述第五插板阀及所述下料架，各所述镀膜产线之间共用一个所述干燥腔体。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述干燥腔体靠近所述第二插板阀的一侧壁上设有干燥腔体进料口，所述干燥腔体靠近所述第三插板阀的另一侧壁上设有位于所述干燥腔体进料口上方的干燥腔体出料口，所述干燥传输机构包括:

设于所述干燥腔体内的水平传输组件，用于带动工件自所述干燥腔体进料口沿水平方向进入所述干燥腔体内；

设于所述干燥腔体内的竖直传输组件，用于依次带动所述水平传输组件上的工件上升至所述干燥腔体出料口位置；及

与所述干燥腔体出料口位置相对应的推杆机构，用于将上升至所述干燥腔体出料口位置的工件从所述干燥腔体出料口推出。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述水平传输组件包括：

设于所述干燥腔体内并沿水平方向设置的水平传输带，用于带动工件自所述干燥腔体进料口沿水平方向进入所述干燥腔体内；及

与所述水平传输带传动连接的第一电机。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述竖直传输组件包括：

设于所述干燥腔体内并竖直布置在所述水平传输带相对两侧的多个传动链条，每个所述传动链条设有沿竖直方向间隔分布的多个承载部，各所述承载部可依次带动所述水平传输带上的工件上升至所述干燥腔体出料口位置；及

与多个所述传动链条传动连接的第二电机。

6.根据权利要求4所述的真空镀膜设备，其特征在于，还包括：

设于所述干燥腔体内并靠近所述水平传输带的进料侧设置的第一传感器，用于检测工件进入所述水平传输带上时触发第一电机减速信号；以及

设于所述干燥腔体内并靠近所述水平传输带的出料侧设置的第二传感器，用于检测工件在所述水平传输带上运动到位时触发第一电机停止转动信号。

7.根据权利要求5或6所述的真空镀膜设备，其特征在于，还包括：

设于所述干燥腔体内并对应所述干燥腔体出料口位置的第三传感器，用于检测到工件上升至所述干燥腔体出料口位置时触发第二电机停止转动信号。

8.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述推杆机构包括：

固定于所述干燥腔体上的壳体；

安装于所述壳体的固定导轨；

安装于所述固定导轨上并沿所述固定导轨长度方向布置的第一皮带；

与所述第一皮带传动连接、用于带动所述第一皮带转动的第一旋转电机；

活动设置于所述固定导轨上并与所述第一皮带连接的活动导轨，所述第一皮带可带动所述活动导轨相对所述固定导轨伸缩；

安装于所述活动导轨上并沿所述活动导轨长度方向布置的第二皮带，所述活动导轨与所述第二皮带连接并可带动所述第二皮带转动；以及

与所述第二皮带连接的推杆，所述第二皮带可带动所述推杆相对所述活动导轨伸缩。

9.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一插板阀、所述第二插板阀、所述第三插板阀、所述第四插板阀及所述第五插板阀均包括：

内设有阀腔的阀体，所述阀体的侧壁开设有与所述阀腔连通并相对设置的两个阀口；

可活动设置于所述阀腔内的两个插板，两个所述插板与两个所述阀口一一对应配合并用于打开或关闭相对应的所述阀口；以及

驱动组件，所述驱动组件包括可滑动设置于所述阀腔内的滑块、与所述滑块螺纹连接并可带动所述滑块上下滑动的螺杆、与所述滑块铰接的至少两个连杆机构、及与所述螺杆连接的第二旋转电机，两个所述插板分别与对应的所述连杆机构连接。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第三插板阀及所述第四插板阀远离所述镀膜腔体的所述插板上贯穿设置有与所述阀腔相连通的通气孔。

11.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜腔体设有与其内部连通且相对设置的镀膜腔体进料口和镀膜腔体出料口，且所述镀膜腔体设有与其内部连通且相对设置的进气口和出气口，所述进气口的进气方向和所述出气口的出气方向垂直于所述镀膜腔体进料口至所述镀膜腔体出料口的方向，所述镀膜传输机构用于带动工件自所述镀膜腔体进料口向所述镀膜腔体出料口方向移动。

12.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜腔体的外表面设置有雾化器组件，所述雾化器组件包括雾化器、及与所述雾化器的出口连接的弯头，所述弯头的另一端与所述镀膜腔体连接，所述弯头内的底壁设置有用于沉积镀膜材料的沉积槽。