CN117922040A - 一种半导体生产加工用设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体生产加工用设备，属于半导体焊接技术领域，包括支撑杆以及转动杆，支撑杆与转动杆交叉设置，支撑杆的顶端设置有储存仓，所述转动杆位于上方的一端、支撑杆与储存仓之间均设置有一组挡块；通过转动杆与支撑杆相互配合有利于对待焊接的管件进行定位和支撑，从而提高其焊接时的精确度，并且转动杆在转动的一周的过程中能够完成管件的上料与下料，从而使得整个焊接的过程中连续性更佳，此外，待焊接的管件在下滑的过程中，利用转动杆一端的挡块有利于对其进行限位，从而避免已焊接的管件下滑速度过快，有利于对管件进行保护，避免管件的焊接位置受到影响。

Description

一种半导体生产加工用设备

技术领域

本发明涉及半导体焊接技术领域，特别涉及一种半导体生产加工用设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，不锈钢半导体的PFA洁净级管是半导体工艺中常见的管道材料，不锈钢半导体的PFA洁净级管通常需要焊接设备进行焊接加工。

中国专利CN213351308U公开了一种半导体元件加工用焊接设备，包括底架、机架、焊接机构、定位套、双轴电机、转轴、主动轮、从动轮、同步带、夹持机构、固定架和定位机构，所述底架的顶部固定连接有机架，所述机架的中部安装有焊接机构，且机架两侧的底部活动装配有定位套，所述双轴电机固定安装在机架顶端的中部，且双轴电机两端的输出轴上固定连接有转轴，所述转轴的端部固定套装有主动轮，所述定位套的外壁上固定装配有从动轮。该半导体元件加工用焊接设备，通过双轴电机驱动夹持有两个待焊接管件的定位套同步旋转，配合焊接机构，可对两个待焊接管之间进行连续焊接，焊接效果好、效率高。

上述装置通过设置两个定位套对管件进行定位，从而便于管件的焊接，但是在实际使用过程中，当两个管件焊接为一个整体后不便于从定位套内移出，使得整体的操作难度上升，此外，上述结构在上下料的过程中衔接地不够紧密，使得整体操作的流畅性不足，综上所述，上述装置仍有改进之处。

因此，有必要提供一种半导体生产加工用设备解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体生产加工用设备，以解决上述背景技术中提出的现有装置通过设置的；两个定位套对管件进行定位，从而便于管件的焊接，但是在实际使用过程中，当两个管件焊接为一个整体后不便于从定位套内移出，使得整体的操作难度上升的问题。

基于上述思路，本发明提供如下技术方案：一种半导体生产加工用设备，包括支撑杆以及转动杆，支撑杆与转动杆交叉设置，支撑杆的顶端设置有储存仓，所述转动杆位于上方的一端、支撑杆与储存仓之间均设置有一组挡块，每组挡块的数量设置为两个且两挡块之间设置有竖杆，竖杆与挡块之间固定设置有连接板；

所述支撑杆上设置有与竖杆相配合的驱动组件，且转动杆与挡块之间通过限位组件相连接，当转动杆带动挡块转动至支撑杆的顶部时，通过驱动组件能够带动挡块向着储存仓的方向移动，当转动杆的另一端转动至储存仓底端时，所述转动杆通过限位组件与挡块相连接，使得储存仓底端的挡块能够随着转动杆一同旋转，且当挡块与储存仓相错开时，储存仓内未焊接的管件能够滑落至支撑杆与转动杆之间。

作为本发明进一步的方案：所述支撑杆的数量设置为两个，且两支撑杆之间形成导向通道，所述导向通道与竖杆相配合，所述转动杆位于支撑杆的外侧。

作为本发明进一步的方案：所述限位组件包括弹性设置于转动杆端部的卡块，所述挡块的两侧面均开设有与卡块相配合的卡槽，所述卡块与卡槽的横截面均设置为T型，所述卡槽内部一侧弹性设置有凸块，所述凸块的外侧面设置为斜面。

作为本发明进一步的方案：所述驱动组件包括设置于支撑杆处的驱动带，所述驱动带的外侧固定连接有推块。

作为本发明进一步的方案：所述连接板的底部以及顶部均弹性设置有第二磁铁，所述第二磁铁与凸块之间设置固定连接有拉绳，所述支撑杆的顶面靠近底端的位置处固定嵌设有与第二磁铁相配合的第一磁铁，所述第一磁铁与第二磁铁相对的一面具有不同的磁极。

作为本发明进一步的方案：所述储存仓底面靠近底端位置处固定连接有挡板，所述挡板的外侧面与储存仓的底部端面相平行。

作为本发明进一步的方案：所述挡板的两侧均设置有侧板，侧板的内侧面开设有限位槽，限位槽倾斜设置，且侧板上位于限位槽的两端分别开设有导入槽以及导出槽，所述导入槽与支撑杆相平行，所述导出槽与支撑杆处于相互垂直的状态，所述挡块的外侧面上固定连接有限位块，所述限位块与导入槽、限位槽以及导出槽滑动配合。

作为本发明进一步的方案：所述卡槽内部侧壁上开设有凹槽，所述凸块滑动设置于凹槽内，且凹槽内设置有与凸块相连接的第一弹簧。

作为本发明进一步的方案：所述转动杆的端面处开设有滑槽，所述卡块一端滑动设置于滑槽内，且滑槽内设置有第二弹簧，第二弹簧的两端分别与卡块以及滑槽相对的一面相连接。

作为本发明进一步的方案：所述储存仓的底端弹性设置有压框。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：此装置转动杆与支撑杆相互配合有利于对待焊接的管件进行定位和支撑，从而提高其焊接时的精确度，并且转动杆在转动的一周的过程中能够完成管件的上料与下料，从而使得整个焊接的过程中连续性更佳，此外，待焊接的管件在下滑的过程中，利用转动杆一端的挡块有利于对其进行限位，从而避免已焊接的管件下滑速度过快，有利于对管件进行保护，避免管件的焊接位置受到影响。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明的支撑杆与转动杆结构示意图；

图3是本发明的挡板结构示意图；

图4是本发明的挡块与挡板配合示意图；

图5是本发明的挡块、竖杆以及连接板结构示意图；

图6是本发明的凸块、第二磁铁以及拉绳结构示意图；

图7是本发明图3的A处放大结构示意图；

图8是本发明的驱动带以及推块结构示意图；

图9是本发明的条形槽结构示意图；

图10是本发明的管件位于支撑杆与转动杆之间的结构示意图；

图11是本发明的转动杆与卡块连接结构示意图；

图12是本发明的转动杆结构示意图；

图13是本发明的限位槽结构示意图；

图14是本发明的压框结构示意图；

图15是本发明的主视图。

图中：1、储存仓；2、压盘；3、固定框；4、支撑杆；5、基座；6、转动杆；7、压框；8、滑杆；9、支撑弹簧；10、条形槽；11、限位槽；1101、导入槽；1102、导出槽；12、卡块；13、驱动齿轮；14、从动齿轮；15、侧板；16、挡板；17、挡块；18、驱动带；19、卡槽；20、凸块；21、斜面；22、挡条；23、竖杆；24、连接板；25、限位块；26、第一磁铁；27、拉绳；28、第二磁铁；29、限位弹簧；30、推块；31、凸条；32、转盘；33、竖轴；34、管件；35、立板；36、焊接头。

具体实施方式

如图1所示，一种半导体生产加工用设备，包括用于对半导体的管件34进行支撑的支撑杆4以及转动杆6，所述支撑杆4与转动杆6在焊接作业下为交叉状态，从而有利于对管件34进行定位和支撑，能够提高焊接时的精确性；

如图2所示，支撑杆4设置为两个，且两支撑杆4之间形成导向通道，所述转动杆6位于支撑杆4的外侧，所述支撑杆4的顶端设置有储存管件34的储存仓1，如图10所示，焊接状态下，转动杆6位于上方的一端、支撑杆4与储存仓1之间均设置有挡块17，通过在储存仓1的底端设置挡块17有利于对储存仓1内的管件34进行限位，避免储存仓1内的管件34滑落，而在转动杆6位于上方的一端设置挡块17，使得转动杆6在转动至与支撑杆4相平行的过程中，利用挡块17能够对下滑的且已焊接的管件34进行限位，使得已焊接的管件34能够缓慢地向下滑落，从而能够对焊接处进行保护。

如图5-6所示，挡块17设置为多个，且相邻两个为一组，此处优先地设置有四个挡块17，即设置有两组挡块17，相邻两挡块17之间设置有竖杆23，所述竖杆23与导向通道相配合，即竖杆23能够在两支撑杆4之间滑动，所述竖杆23与挡块17之间固定设置有连接板24；

所述支撑杆4上设置有与竖杆23相配合的驱动组件，而转动杆6与挡块17之间通过限位组件相连接，具体地，如图10所示，当通过外部焊接头36对两管件34进行焊接时，两组挡块17分别置于储存仓1的底端以及转动杆6位于上方的一端，当焊接完成之后，驱动转动杆6旋转，转动杆6旋转过程中，已焊接的管件34会顺着支撑杆4向下滑动，而通过转动杆6一端的挡块17能够对其进行限位，从而使得已焊接的管件34能够稳定向下滑动，当转动杆6带动挡块17转动至支撑杆4的顶部时，通过驱动组件能够带动挡块17向着储存仓1的方向移动，而当转动杆6的另一端转动至储存仓1底端的挡块17处时，所述转动杆6通过限位组件与挡块17相连接，使得储存仓1底端的挡块17能够随着转动杆6一同旋转，此时储存仓1内未焊接的管件34则会滑落至支撑杆4与转动杆6之间进行焊接准备，而通过驱动组件带动挡块17移动至储存仓1底端有利于对储存仓1内的管件34进行限位，避免其掉落，同时也可也以避免对正在焊接的管件34造成影响。

如图2-10、12-15所示，所述限位组件包括设置于转动杆6端部的卡块12，所述卡块12与转动杆6弹性连接，所述挡块17的两侧面均开设有与卡块12相配合的卡槽19，所述卡块12与卡槽19的横截面均设置为T型，所述卡槽19内部一侧弹性设置有凸块20，所述凸块20的外侧面设置为斜面21，当转动杆6转动至挡块17处时，转动杆6一端的卡块12能够进入至卡槽19内且与凸块20上的斜面21相挤压，当卡块12越过凸块20时，所述卡块12则被限定于卡槽19内，使得卡块12与挡块17之间相互连接，之后随着转动杆6的转动能够将挡块17从储存仓1的底端移开。

所述驱动组件包括设置于支撑杆4处的驱动带18，驱动带18的外侧固定连接有推块30，当转动杆6带动一组卡块12转动至支撑杆4处时，所述竖杆23能够置于两支撑杆4之间，此时驱动带18在转动的过程中能够同步带动推块30移动，利用推块30对竖杆23的作用力能够带动挡块17沿着支撑杆4向着储存仓1的方向移动。

所述连接板24的底部以及顶部均弹性设置有第二磁铁28，而第二磁铁28与凸块20之间设置固定连接有拉绳27，所述拉绳27穿过挡块17以及连接板24并与两者滑动配合，所述支撑杆4的顶面靠近底端的位置处固定嵌设有与第二磁铁28相配合的第一磁铁26，所述第一磁铁26与第二磁铁28相对的一面具有不同的磁极。

所述储存仓1底面靠近底端位置处固定连接有挡板16，所述挡板16的外侧面与储存仓1的底部端面相平行，当挡块17被推块30推动至储存仓1底部时，所述挡块17能够与支撑杆4相错开并位于推块30与挡板16之间。

实际使用过程中，当两管件34焊接完成后，带动转动杆6旋转，转动杆6旋转至与支撑杆4平行状态的过程中，已焊接的管件34会顺着支撑杆4向下滑动，而通过转动杆6一端的挡块17有利于对下滑的管件34进行限位，从而使得管件34能够更加稳定地下滑动，避免管件34因为撞击等因素而对焊接处造成影响，当转动杆6转动至与支撑杆4相平行的状态时，工作人员可以取出已焊接的管件34，而当连接杆位于支撑杆4的顶部时，通过第一磁铁26与第二磁铁28之间的吸力可以带动连接板24内的第二磁铁28向下移动，第二磁铁28通过拉绳27可以对凸块20进行牵引，从而使得凸块20收纳至挡块17内而与转动杆6端部的卡块12相错开，之后，随着转动杆6的旋转，转动杆6一端的卡块12能够从挡块17上的卡槽19内移出，从而使得转动杆6与挡块17之间脱离连接；

与此同时，在转动杆6转动至与支撑杆4相平行状态的过程中，转动杆6顶端的卡块12将会移动至储存仓1底端的挡块17处，当转动杆6继续转动时，其一端的卡块12将会滑动至挡块17的卡槽19内并与凸块20上的斜面21相接触，当卡块12越过凸块20后，所述卡块12则被限定于卡槽19内的两个凸块20之间，随着转动杆6的转动，利用凸块20能够带动挡块17同步移动，从而将挡块17从储存仓1的底端移开，此时储存仓1内的管件34能够向下滑动并最终置于支撑杆4与转动杆6之间，当转动管转动180°后停止旋转，此时待焊接的管件34则稳定置于支撑杆4与转动管之间，而驱动带18通过其外侧的推块30也逐渐带动挡块17移动至储存仓1的底端，如图10所示，当挡块17随着驱动带18移动至储存仓1的底端时，所述挡块17位于推块30与挡板16之间并且能够对储存仓 1内的管件34进行限位，避免管件34滑落，重复上述操作，有利于对管件34的上料和下料，并且上料与下料的之间能够更好的衔接，从而提高焊接的效率，并且已焊接的管件34在滑落的过程中更加稳定，有利于对其进行保护。

实际使用时，驱动电机可以通过工作人员进行控制，除此之外，还可以在挡板16上安装一开关，开关与驱动电机电性连接，当推块30推动挡块17移动至挡板16处并与其相接触时，所述挡块17能够与开关相按压，从而停止驱动电机的运行，当挡块17离开挡板16后，驱动电机可以再次运行，当然，驱动电机与开关的电路连接为电气领域中成熟的技术手段，在此不做赘述。

综上所述，此装置转动杆6与支撑杆4相互配合有利于对待焊接的管件34进行定位和支撑，从而提高其焊接时的精确度，并且转动杆6在转动的一周的过程中能够完成管件34的上料与下料，从而使得整个焊接的过程中连续性更佳，此外，待焊接的管件34在下滑的过程中，利用转动杆6一端的挡块17有利于对其进行限位，从而避免已焊接的管件34下滑速度过快，有利于对管件34进行保护，避免管件34的焊接位置受到影响。

所述支撑杆4上靠近中间的位置处开设有环状的储存槽，而驱动带18则转动设置于储存槽内，如图8所示，支撑杆4上还开设有与储存槽相连通的圆形槽，圆形槽处转动设置有转盘32，所述储存槽内远离转盘32的一端设置有竖轴33，竖轴33与支撑杆4转动配合，所述驱动带18套设于竖轴33以及转盘32的外侧，具体地，转盘32以及竖轴33的外侧均一体成型有多个凸条31，凸条31呈环形阵列分布，而驱动带18的内壁上则开设有与凸条31相配合的条形槽10，所述凸条31与条形槽10之间能够相互啮合，从而使得转盘32在转动的过程中能够带动驱动带18旋转，所述驱动带18可以采用钢带或者橡胶等材料制作。

如图5所示，实际使用时可以在挡块17靠近竖杆23的一侧铰接有挡条22，挡条22与挡块17可以通过合页或者铰链相连接，且铰接的位置位于挡条22的底部一侧，使得挡条22相对于挡块17只能向内转动，通过设置此结构，当挡块17位于支撑杆4底部时，可以避免挡块17与支撑杆4之间相互脱离。

所述挡板16的两侧均设置有侧板15，侧板15的内侧面开设有限位槽11，限位槽11倾斜设置，且侧板15上位于限位槽11的两端分别开设有导入槽1101以及导出槽1102，所述导入槽1101、导出槽1102均与限位槽11相连通，所述导入槽1101与支撑杆4相平行，而导出槽1102则与支撑杆4处于相互垂直的状态，所述导出槽1102以及导入槽1101的内径要大于限位槽11的内径；

所述挡块17的外侧面上固定连接有限位块25，所述限位块25与导入槽1101、限位槽11以及导出槽1102滑动配合。

实际使用时，当推块30带动挡块17向上移动至侧板15处时，挡块17外侧的限位块25能够顺着导入槽1101进入至限位槽11内，由于限位槽11倾斜设置，因此，在限位块25沿着限位槽11滑动至导出槽1102内部的过程中，所述挡块17能够向着储存仓1中心的方向移动，从而使得挡块17能够进一步伸出对管件34进行限位，有利于提高其对管件34限位的稳定性。

如图1所示，在转动杆6的外侧设置有压盘2，所述压盘2的外侧设置有固定框3，具体地，固定框3内安装有旋转电机，旋转电机的输出轴穿过固定框3并与压盘2相连接，以此来带动压盘2转动，且旋转电机的输出轴与固定框3之间设置有轴承，在固定框3的外侧设置有液压杆，液压杆的伸缩端与固定框3固定连接，实际使用时，当两管件34分别置于两组支撑杆4与转动杆6之间时，利用液压杆带动固定框3向着管件34的方向移动，从而使得两管件34能够相互压紧，同时，通过旋转电机带动压盘2转动，有利于带动两管件34转动，从而便于对两管件34的接口处进行焊接。

在固定框3的底端设置有底座，固定框3相对于底座能够滑动，而液压杆则固定设置于底座上。

两所述支撑杆4的底端固定连接有基座5，所述基座5固定连接于地面上。

所述转盘32的底部端面固定连接有转轴，转轴穿过支撑杆4并与其转动配合，且支撑杆4的底部固定安装有驱动电机，驱动电机的输出轴与转轴传动连接，以此来带动转盘32转动。

所述转动杆6可以设置为如图12所示的结构，其整体呈U型设置且两端向外延伸，通过此结构有利于避免挡块17在沿着支撑杆4向上移动时与转动杆6相干涉。

所述转动杆6的外侧设置有支架，且转动杆6的外侧面靠近中心位置处固定连接有圆轴，圆轴穿过支架并与其转动连接，且支架上通过固定板固定安装有电机，电机的输出端连接有驱动轴，而驱动轴的外侧固定套设有驱动齿轮13，所述圆轴穿过支架的一端固定套设有与驱动齿轮13相啮合的从动齿轮14，以此来带动转动杆6旋转。

所述储存仓1的底部固定连接有立板35，上述侧板15与立板35固定连接。

如图6所示，在卡槽19内部侧壁上开设有凹槽，所述凸块20滑动设置于凹槽内，且凹槽内设置有第一弹簧，第一弹簧的两端分别与凸块20以及凹槽相对的一面固定连接，以此来实现凸块20与挡块17之间的弹性连接。

所述连接板24的顶部以及底部均开设有槽口，所述第二磁铁28滑动设置于槽口内，且槽口内设置有限位弹簧29，限位弹簧29的两端分别与第二磁铁28以及槽口相对的一面固定连接，所述拉绳27的一端置于凹槽内且与凸块20的端面固定连接，而拉绳27的另一端则置于槽口内且与第二磁铁28靠近限位弹簧29的一侧固定连接，当然，实际使用时，槽口的内部靠近端部处可以向内延伸形成一凸起，从而避免第二磁铁28移出槽口。

如图11所示，所述转动杆6的端面处开设有滑槽，所述卡块12一端滑动设置于滑槽内，且滑槽内设置有第二弹簧，第二弹簧的两端分别与卡块12以及滑槽相对的一面固定连接。

如图14所示，实际使用时，可以在储存仓1的底端弹性设置一压框7，具体地，压框7外侧固定连接有第一凸台，而储存仓1的外侧面则固定设置有第二凸台，所述第一凸台上固定连接有滑杆8，所述滑杆8穿过第二凸台并与其滑动连接，所述滑杆8外侧套设有支撑弹簧9，支撑弹簧9两端分别与第一凸台以及第二凸台固定连接，当转动杆6带动挡块17从储存仓1底端移开时，挡块17与压框7接触并挤压，通过此结构可以避免挡块17从储存仓1底端移开时与其干涉。

Claims (7)

1.一种半导体生产加工用设备，包括支撑杆以及转动杆，支撑杆与转动杆交叉设置，支撑杆的顶端设置有储存仓，其特征在于：所述转动杆位于上方的一端、支撑杆与储存仓之间均设置有一组挡块，每组挡块的数量设置为两个且两挡块之间设置有竖杆，竖杆与挡块之间固定设置有连接板；

所述支撑杆上设置有与竖杆相配合的驱动组件，且转动杆与挡块之间通过限位组件相连接，当转动杆带动挡块转动至支撑杆的顶部时，通过驱动组件能够带动挡块向着储存仓的方向移动，当转动杆的另一端转动至储存仓底端时，所述转动杆通过限位组件与挡块相连接，使得储存仓底端的挡块能够随着转动杆一同旋转，且当挡块与储存仓相错开时，储存仓内未焊接的管件能够滑落至支撑杆与转动杆之间；

所述支撑杆的数量设置为两个，且两支撑杆之间形成导向通道，所述导向通道与竖杆相配合，所述转动杆位于支撑杆的外侧；

所述限位组件包括弹性设置于转动杆端部的卡块，所述挡块的两侧面均开设有与卡块相配合的卡槽，所述卡块与卡槽的横截面均设置为T型，所述卡槽内部一侧弹性设置有凸块，所述凸块的外侧面设置为斜面；

所述驱动组件包括设置于支撑杆处的驱动带，所述驱动带的外侧固定连接有推块。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用设备，其特征在于：所述连接板的底部以及顶部均弹性设置有第二磁铁，所述第二磁铁与凸块之间设置固定连接有拉绳，所述支撑杆的顶面靠近底端的位置处固定嵌设有与第二磁铁相配合的第一磁铁，所述第一磁铁与第二磁铁相对的一面具有不同的磁极。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用设备，其特征在于：所述储存仓底面靠近底端位置处固定连接有挡板，所述挡板的外侧面与储存仓的底部端面相平行。

4.根据权利要求3所述的一种半导体生产加工用设备，其特征在于：所述挡板的两侧均设置有侧板，侧板的内侧面开设有限位槽，限位槽倾斜设置，且侧板上位于限位槽的两端分别开设有导入槽以及导出槽，所述导入槽与支撑杆相平行，所述导出槽与支撑杆处于相互垂直的状态，所述挡块的外侧面上固定连接有限位块，所述限位块与导入槽、限位槽以及导出槽滑动配合。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用设备，其特征在于：所述卡槽内部侧壁上开设有凹槽，所述凸块滑动设置于凹槽内，且凹槽内设置有与凸块相连接的第一弹簧。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用设备，其特征在于：所述转动杆的端面处开设有滑槽，所述卡块一端滑动设置于滑槽内，且滑槽内设置有第二弹簧，第二弹簧的两端分别与卡块以及滑槽相对的一面相连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用设备，其特征在于：所述储存仓的底端弹性设置有压框。