CN117810237A - 固态摄像装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够提高相位差检测用像素的相位差检测特性的固态摄像装置。固态摄像装置包括：第一摄像用像素，接收第一光束；相位差检测像素，与所述第一摄像用像素相邻，且接收被光瞳分割的光束；第一摄像用微透镜，从所述第一摄像用像素的上方突出配置于所述相位差检测用像素的上方，并将所述第一光束聚光于所述第一摄像用像素；以及相位差检测用微透镜，配置于所述相位差检测用像素的上方，占据比所述第一摄像用微透镜所占的面积小的面积，与所述第一摄像用微透镜相连，且将所述被光瞳分割的光束聚光于所述相位差检测用像素。

Description

固态摄像装置

技术领域

本公开涉及一种固态摄像装置。

背景技术

日本特开2014-89432号公报公开了一种固态摄像装置。在该固态摄像装置中，第一微透镜向摄像用像素聚集光。另外，第二微透镜向相位差检测用像素聚集光。第二微透镜的焦距比第一微透镜的焦距短。第一微透镜的焦点位置位于光电二极管的受光面上。第二微透镜的焦点位置远离光电二极管的受光面而位于遮光膜(段落0020、0065及0066)。

发明内容

在日本特开2014-89432号公报所公开的固态摄像装置中，向相位差检测用像素聚集光的第二微透镜的焦距比向摄像用像素中聚集光的第一微透镜的焦距短。

因此，第二微透镜的曲率半径有可能为相位差检测用像素的对角尺寸的1/2以下。因此，有可能在相位差检测用像素上形成未配置微透镜的区域。未配置微透镜的区域成为叠加在由相位差检测用像素输出的相位差检测信号上的噪声的原因，使相位差检测用像素的相位差检测特性劣化。

本公开的一方式是鉴于这些问题而完成的。本发明的一个方面的目的在于，提供一种例如能够提高相位差检测用像素的相位差检测特性的固态摄像装置。

本公开的一方式的固态摄像装置包括：第一摄像用像素，接收第一光束；相位差检测像素，与所述第一摄像用像素相邻，且接收被光瞳分割的光束；第一摄像用微透镜，从所述第一摄像用像素的上方突出配置于所述相位差检测用像素的上方，并将所述第一光束聚光于所述第一摄像用像素；以及相位差检测用微透镜，配置于所述相位差检测用像素的上方，占据比所述第一摄像用微透镜所占的面积小的面积，与所述第一摄像用微透镜相连，且将所述被光瞳分割的光束聚光于所述相位差检测用像素。

附图说明

图1是示意性地图示第一实施方式的固态摄像装置的俯视图。

图2是示意性地图示图1所描绘的切割线a-a’的位置处的第一实施方式的固态摄像装置的剖面的剖面图。

图3是示意性地图示图1所描绘的切割线b-b’的位置处的第一实施方式的固态摄像装置的剖面的剖面图。

图4是示意性地图示第一实施方式的固态摄像装置的该固态摄像装置所具备的左眼像素的周边的剖面图。

图5是示意性地图示第一实施方式的固态摄像装置的该固态摄像装置所具备的右眼像素的周边的剖面图。

图6是示出理想的相位差检测特性的曲线图。

图7是示出第一实施方式的固态摄像装置的相位差检测特性的模拟结果的曲线图。

图8是示意性地图示入射光入射到第一实施方式的固态摄像装置的状态的剖面图。

图9是示意性地图示第一参考例的固态摄像装置的俯视图。

图10是示意性地图示图9所描绘的切割线a-a’的位置处的第一参考例的固态摄像装置的剖面的剖面图。

图11是示意性地图示图9所描绘的切割线b-b’的位置处的第一参考例的固态摄像装置的剖面的剖面图。

图12是示意性地图示第二参考例的固态摄像装置的俯视图。

图13是示意性地图示图12所描绘的切割线a-a’的位置处的第二参考例的固态摄像装置的剖面的剖面图。

图14是示意性地图示图12所描绘的切割线b-b’的位置处的第二参考例的固态摄像装置的剖面的剖面图。

图15是示意性地图示入射光入射到第二参考例的固态摄像装置的状态的剖面图。

图16是示出第二参考例的固态摄像装置的相位差检测特性的模拟结果的曲线图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本公开的实施方式。另外，对于附图，对相同或等同的要素赋予相同的附图标记，并省略重复的说明。

1.第一实施方式

1.1固态摄像装置

图1是示意性地图示第一实施方式的固态摄像装置的俯视图。图2是示意性地图示图1所描绘的切割线a-a’的位置处的第一实施方式的固态摄像装置的剖面的剖面图。图3是示意性地图示图1所描绘的切割线b-b’的位置处的第一实施方式的固态摄像装置的剖面的剖面图。切割线a-a’是沿固态摄像装置的对边方向延伸的切割线。因此，图2是对边方向的剖面图。切割线b-b’是在固态摄像装置的对角方向上延伸的切割线。因此，图3是对角方向的剖面图。

图1、图2和图3所示的第一实施方式的固态摄像装置1进行摄像，输出与被摄体像对应的摄像信号。另外，固态摄像装置1进行相位差检测，输出与散焦方向及散焦量对应的相位差检测信号。输出的相位差检测信号用于基于像面相位差方式的自动调焦。

如图1、图2及图3所示，固态摄像装置1包括多个像素11、遮光膜12、平坦化膜13及多个微透镜14。

各像素11具有正方形状的平面形状。多个像素11排列成矩阵状。多个像素11配置在接收形成被摄体像的光的受光区域。各像素11具有受光面11S。各像素11对由受光面11S接收到的光进行光电转换，输出电信号。由此，各像素11输出与由受光面11S接收到的光的强度对应的电信号。

遮光膜12具有格子状的形状。遮光膜12覆盖相邻的像素11的受光面11S的边界附近。遮光膜12遮挡形成被摄体像的光。由此，遮光膜12抑制形成被摄体像的光在该边界附近被接收。

平坦化膜13与遮光膜12重叠配置在多个像素11的受光面11S上。平坦化膜13填补由遮光膜12形成的凹凸从而提供平坦面13S。平坦化膜13使形成被摄体像的光透射。

多个微透镜14配置在平坦面13S上。多个微透镜14隔着平坦化膜13分别配置在多个像素11上。配置在各像素11上的微透镜14使光聚集于各像素11的受光面11S。

1.2摄像用像素、相位差检测用像素、摄像用微透镜及相位差检测用微透镜

多个像素11包括第一摄像用像素21、第二摄像用像素22和相位差检测用像素23。

第一摄像用像素21、第二摄像用像素22以及相位差检测用像素23配置在相同的受光区域。第一摄像用像素21在相位差检测用像素23的对边方向上与相位差检测用像素23相邻。第二摄像用像素22在相位差检测用像素23的对角方向上与相位差检测用像素23相邻。

多个微透镜14包括第一摄像用微透镜31、第二摄像用微透镜32以及相位差检测用微透镜33。

第一摄像用微透镜31对应于第一摄像用像素21，且配置在第一摄像用像素21上方。第二摄像用微透镜32对应于第二摄像用像素22，且配置在第二摄像用像素22上方。相位差检测用微透镜33对应于相位差检测用像素23，且配置在相位差检测用像素23上方。

第一摄像用微透镜31使第一光束聚光于第一摄像用像素21。第一摄像用像素21接收被聚光的第一光束，输出与接收到的第一光束对应的电信号。第一光束由第一摄像用像素21的受光面11S接收。由第一摄像用像素21输出的电信号构成摄像信号。第二摄像用微透镜32使第二光束聚光到第二摄像用像素22。第二摄像用像素22接收被聚光的第二光束，输出与接收到的第二光束对应的电信号。第二光束由第二摄像用像素22的受光面11S接收。由第二摄像用像素22输出的电信号构成摄像信号。相位差检测用微透镜33将被光瞳分割后的光束(以下称为“光瞳分割光束”)聚光到相位差检测用像素23。相位差检测用像素23接收被聚光的光瞳分割光束，输出与接收到的光瞳分割光束对应的电信号。被聚光的光瞳分割光束由相位差检测用像素23的受光面11S接收。由相位差检测用像素23输出的电信号构成相位差检测信号。

多个像素11和多个微透镜14可以具有与图1、图2和图3所示的形状和配置不同的形状和配置。

1.3各微透镜的曲率

在以下的说明中，各微透镜14的曲率是包含各微透镜14的光轴的剖面中的各微透镜14的入射面的曲率。

各微透镜14具有以各微透镜14的光轴为旋转对称轴的旋转对称性。因此，各微透镜14的包含光轴的剖面中的各微透镜14的曲率无论剖面方向如何，都是固定的。因此，对于各微透镜14的曲率而言，无论剖面方向是周向的哪个方向，都是固定的。由此，能够使各微透镜14的聚光能力最大化。

1.4摄像用微透镜以及相位差检测用微透镜的优化

在以下说明中，入射到各像素11的入射光的入射角θ是入射光的入射方向与各像素11的受光面11S的法线所成的角。

对第一摄像用像素21和第二摄像用像素22的要求以及对相位差检测用像素23的要求是互不相同。因此，第一摄像用微透镜31和第二摄像用微透镜32的优化以及相位差检测用微透镜33的优化互不相同。

对第一摄像用像素21及第二摄像用像素22要求的是，第一摄像用像素21及第二摄像用像素22具有高灵敏度以及良好的斜入射特性。因此，第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32以使第一摄像用像素21及第二摄像用像素22具有高灵敏度及良好的斜入射特性的方式被优化。第一摄像用像素21及第二摄像用像素22具有良好斜入射特性是指，第一摄像用像素21及第二摄像用像素22具有稳定的灵敏度的入射角θ的范围广。

因此，第一摄像用微透镜31和第二摄像用微透镜32分别在第一摄像用像素21和第二摄像用像素22的比受光面11S更靠里侧的光电转换区域具有焦点。这样做是由于以下理由。

在从第一摄像用微透镜31到第一摄像用像素21的受光面11S的距离变长的情况下，第一摄像用像素21的斜入射特性恶化。这是因为，具有大于0°的入射角θ的入射光的受光位置从第一摄像用像素21的受光面11S向与第一摄像用像素21相邻的像素11的受光面11S偏离，该入射光不会入射到第一摄像用像素21的受光面11S的可能性变高。例如，在无视由第一摄像用微透镜31引起的折射的情况下，该距离从1μm延长至2μm时，具有30°的入射角θ的入射光的受光位置从第一摄像用像素21的受光面11S朝向与第一摄像用像素21相邻的像素11的受光面11S偏离约0.6μm，该入射光不会入射到第一摄像用像素21的受光面11S的可能性变高。这与从第二摄像用微透镜32到第二摄像用像素22的受光面11S的距离变长的情况相同。但是，由于第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32分别在第一摄像用像素21及第二摄像用像素22的受光面11S的更靠里侧具有焦点，由此，可以使第一摄像用微透镜31和第二摄像用微透镜32分别接近第一摄像用像素21和第二摄像用像素22的受光面11S。由此，能够使由第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32聚光的入射光分别无损地由第一摄像用像素21及第二摄像用像素22的受光面11S接收。此外，第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32在第一摄像用像素21和第二摄像用像素22的受光面11S上不具有焦点，这不会有特别的问题。

与此相对，对相位差检测用像素23要求的是，相位差检测用像素23具有良好的相位差检测特性。因此，相位差检测用微透镜33以使相位差检测用像素23具有良好的相位差检测特性的方式被优化。相位差检测用像素23具有良好相位差检测特性是指，由于入射角θ在超过特定的入射角而变化的情况下，相位差检测用像素23的灵敏度大幅变化。特定的入射角例如为0°。

因此，相位差检测用微透镜33在相位差检测用像素23的受光面11S上具有焦点。相位差检测用微透镜33在如图2所示的包括相位差检测用微透镜33的光轴且与相位差检测用像素23的对边方向平行的剖面、以及如图3所示的包括相位差检测用微透镜33的光轴且与相位差检测用像素23的对角方向平行的剖面的任一个中，在相位差检测用像素23的受光面11S上均具有焦点。

从相位差检测用微透镜33到相位差检测用像素23的受光面11S的距离与从第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32到第一摄像用像素21及第二摄像用像素22的受光面11S的距离相同。在此基础上，相位差检测用微透镜33在相位差检测用像素23的受光面11S上具有焦点。另外，第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32分别在第一摄像用像素21及第二摄像用像素22的受光面11S的更靠里侧具有焦点。由此，相位差检测用微透镜33具有比第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32的焦距短的焦距。

1.5摄像用微透镜与相位差检测用微透镜之间的间隙的抑制

为了使相位差检测用微透镜33的焦距比第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32的焦距短，期望相位差检测用微透镜33的曲率比第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32的曲率小。而且，在相位差检测用微透镜33的曲率比第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32的曲率小的情况下，在俯视观察下，相位差检测用微透镜33的直径比相位差检测用像素23的对边尺寸及对角尺寸小，且比第一摄像用微透镜31和第二摄像用微透镜32的直径小。因此，在俯视观察下，相位差检测用微透镜33所占的面积比相位差检测用像素23所占的面积小，且比第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32所占的面积小。因此，在相位差检测用像素23的外周部上形成有未配置相位差检测用微透镜33的区域。

在所形成的区域配置有第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32的外周部。因此，在俯视观察下，第一摄像用微透镜31从第一摄像用像素21的上方突出配置在相位差检测用像素23的外周部上方。另外，在俯视观察下，第二摄像用微透镜32从第二摄像用像素22的上方突出配置在相位差检测用像素23的外周部上方。由此，能够抑制在相位差检测用像素23上方的区域形成未配置微透镜的无效区域。另外，第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32能够将入射到相位差检测用像素23的外周部上方的区域的光分别聚光到第一摄像用像素21及第二摄像用像素22。

并且，在俯视观察下，第一摄像用微透镜31与相位差检测用微透镜33相连。由此，能够进一步抑制在第一摄像用微透镜31与相位差检测用微透镜33之间形成在相位差检测用像素23上方的区域中未配置微透镜的无效区域。并且，第一摄像用微透镜31能够通过第一摄像用像素21有效地对入射到相位差检测用像素23的外周部上方的区域的光进行聚光。

这样，在固态摄像装置1中，对第一摄像用微透镜31和第二摄像用微透镜32赋予与相位差检测用微透镜33的曲率半径不同的曲率半径。并且，对第一摄像用微透镜31以及第二摄像用微透镜32赋予与相位差检测用微透镜33的平面形状不同的平面形状，抑制第一摄像用微透镜31以及第二摄像用微透镜32与相位差检测用微透镜33之间形成间隙。由此，能够提高相位差检测用像素23的相位差检测特性。

另外，在固态摄像装置1中，对第一摄像用微透镜31和第二摄像用微透镜32赋予与相位差检测用微透镜33的高度相同的高度。由此，能够抑制形成有多个微透镜14之后的工艺受到影响。

1.6相邻的微透镜的边界

如图3所示，固态摄像装置1具备在相位差检测用像素23的对角方向上彼此相邻的两个摄像用像素43及44。另外，固态摄像装置1包括分别配置在两个摄像用像素43及44上的两个摄像用微透镜53及54。两个摄像用像素43及44也可以包含第一摄像用像素21或第二摄像用像素22。两个摄像用微透镜53和54也可以包含第一摄像用微透镜31或第二摄像用微透镜32。

两个摄像用微透镜53和54分别使第三光束和第四光束聚光于两个摄像用像素43和44。两个摄像用像素43及44分别接收所聚光的第三光束及第四光束。

通过使相位差检测用微透镜33的直径小，由此相位差检测用微透镜33和第二摄像用微透镜32的边界处的相位差检测用微透镜33和第二摄像用微透镜32的高度h2低于两个摄像用微透镜53和54的边界处的两个摄像用微透镜53和54的高度h3。此处，高度h2是从相位差检测用像素23及第二摄像用像素22的受光面11S到相位差检测用微透镜33及第二摄像用微透镜32的入射面的距离。另外，高度h3是从两个摄像用像素43及44的受光面11S到两个摄像用微透镜53及54的入射面的距离。

1.7光瞳分割

图4是示意性地图示第一实施方式的固态摄像装置的该固态摄像装置所具备的左眼像素的周边的剖面图。图5是示意性地图示第一实施方式的固态摄像装置的该固态摄像装置所具备的右眼像素的周边的剖面图。

作为使相位差检测用像素23接收光瞳分割后的光束的方式，存在利用遮光膜12对相位差检测用像素23的受光面11S的一部分进行遮光的方式。根据该方式，如图4所图示，在相位差检测用像素23的受光面11S的右侧被遮光膜12遮光、相位差检测用像素23的受光面11S的左侧被有效化的情况下，相位差检测用像素23成为左眼像素。另一方面，如图5所图示，在相位差检测用像素23的受光面11S的左侧被遮光膜12遮光、相位差检测用像素23的受光面11S的右侧被有效化的情况下，相位差检测用像素23成为右眼像素。

图6是示出理想的相位差检测特性的曲线图。图7是示出第一实施方式的固态摄像装置的相位差检测特性的模拟结果的曲线图。在这些图表中，横轴取朝向左眼像素及右眼像素的各像素的光线的入射角(光线入射角)θ，纵轴取各像素的灵敏度。灵敏度以最大值为100％的方式被标准化。图8是示意性地图示入射光入射到第一实施方式的固态摄像装置的状态的剖面图。

如图6所示，理想的相位差检测特性是如下相位差检测特性：在光线入射角θ小于0°的入射角的范围内，右眼像素的灵敏度相对于左眼像素的灵敏度之比更高，在光线入射角θ大于0°的入射角的范围内，左眼像素的灵敏度相对于右眼像素的灵敏度之比更高。为了得到期望的相位差检测特性，期待在前者的范围中使左眼像素的灵敏度接近于0％、在后者的范围中使右眼像素的灵敏度接近于0％。

如图7所示，固态摄像装置1具有与图6所示的理想的相位差检测特性接近的相位差检测特性。固态摄像装置1具有这样的相位差检测特性的原因在于，如图8所示，能够抑制在第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32与相位差检测用像素23之间形成间隙，从而能够抑制入射光61经由所形成的间隙入射到相位差检测用像素23。关于这一点，通过比较下述的第二参考例和第一实施方式将更加明确。

1.8参考例与第一实施方式的比较

图9是示意性地图示第一参考例的固态摄像装置的俯视图。图10是示意性地图示图9所描绘的切割线a-a’的位置处的第一参考例的固态摄像装置的剖面的剖面图。图11是示意性地图示图9所描绘的切割线b-b’的位置处的第一参考例的固态摄像装置的剖面的剖面图。

在图9、图10和图11所示的第一参考例的固态摄像装置8中，对第一摄像用微透镜31和第二摄像用微透镜32赋予与相位差检测用微透镜33的高度h1相同的高度h1，且赋予与相位差检测用微透镜33的形状相同的形状。因此，在固态摄像装置8中，不能独立地进行第一摄像用像素21和第二摄像用像素22的优化以及相位差检测用像素23的优化。因此，不能兼顾对第一摄像用像素21和第二摄像用像素22的要求以及对相位差检测用像素23的要求。

图12是示意性地图示第二参考例的固态摄像装置的俯视图。图13是示意性地图示图12所描绘的切割线a-a’的位置处的第二参考例的固态摄像装置的剖面的剖面图。图14是示意性地图示图12所描绘的切割线b-b’的位置处的第二参考例的固态摄像装置的剖面的剖面图。图15是示意性地图示入射光入射到第二参考例的固态摄像装置的状态的剖面图。

在图12、图13和图14所示的第二参考例的固态摄像装置9中，对第一摄像用微透镜31和第二摄像用微透镜32赋予与相位差检测用微透镜33的形状不同的形状。因此，在固态摄像装置9中，能够独立地进行第一摄像用像素21和第二摄像用像素22的优化以及相位差检测用像素23的优化。因此，能够兼顾对第一摄像用像素21和第二摄像用像素22的要求以及对相位差检测用像素23的要求。

但是，在第二参考例的固态摄像装置9中，第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32仅配置在第一摄像用像素21及第二摄像用像素22的上方。因此，在第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32与相位差检测用微透镜33之间形成较大的间隙。因此，如图15所示，入射光61的一部分62经由形成的大的间隙入射到相位差检测用像素23。因此，入射光61的一部分62成为叠加在相位差检测信号上的噪声的原因，从而妨碍在光线入射角θ小于0°的入射角的范围内使左眼像素的灵敏度接近0％，在光线入射角θ大于0°的入射角的范围内使右眼像素的灵敏度接近0％。

图16是示出第二参考例的固态摄像装置的相位差检测特性的模拟结果的曲线图。在该曲线图中，横轴取光线朝向左眼像素及右眼像素的各像素的入射角(光线入射角)θ，纵轴取各像素的灵敏度。灵敏度以最大值为100％的方式被标准化。

如图16所示，在第二参考例固态摄像装置9中，在光线入射角θ小于0°的入射角的范围内，左眼像素的灵敏度上升到约40％，在光线入射角θ大于0°的入射角的范围内，右眼像素的灵敏度上升到约40％。因此，第二参考例的固态摄像装置9不具有与图6所示的理想的相位差检测特性接近的相位差检测特性。固态摄像装置9不具有这样相位差检测特性的原因在于，在第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32与相位差检测用微透镜33间形成有大的间隙，入射光61的一部分62经由所形成的大的间隙入射到相位差检测用像素23。

与此相对，如图7所示，在第一实施方式的固态摄像装置1中，在光线入射角θ小于0°的入射角的范围内，左眼像素的灵敏度降低到约10％，在光线入射角θ大于0°的入射角的范围内，右眼像素的灵敏度降低到约10％。因此，第一实施方式的固态摄像装置1具有与图6所示的理想的相位差检测特性接近的相位差检测特性。固态摄像装置1具有这样的相位差检测特性的原因在于，抑制在第一摄像用微透镜31及第二摄像用微透镜32与相位差检测用微透镜33之间形成间隙，从而抑制入射光61经由该间隙入射到相位差检测用像素23。

本发明不限于上述实施方式，可以用上述实施方式所示的构成基本相同的构成、实现相同作用效果的构成、或者可以实现相同目的的构成替换。

Claims (7)

1.一种固态摄像装置，其特征在于，包括：

第一摄像用像素，接收第一光束；

相位差检测像素，与所述第一摄像用像素相邻，且接收被光瞳分割的光束；

第一摄像用微透镜，从所述第一摄像用像素的上方突出配置于所述相位差检测用像素的上方，并将所述第一光束聚光于所述第一摄像用像素；以及

相位差检测用微透镜，配置于所述相位差检测用像素的上方，占据比所述第一摄像用微透镜所占的面积小的面积，与所述第一摄像用微透镜相连，且将所述被光瞳分割的光束聚光于所述相位差检测用像素。

2.如权利要求1所述的固态摄像装置，其特征在于，

所述相位差检测用微透镜具有比所述第一摄像用微透镜的焦距短的焦距。

3.如权利要求1或2所述的固态摄像装置，其特征在于，

所述相位差检测用微透镜的包含光轴的剖面上的所述相位差检测用微透镜的入射面的曲率是固定的，而与剖面方向无关。

4.如权利要求1或2所述的固态摄像装置，其特征在于，包括：

第二摄像用像素，在所述相位差检测用像素的对角方向上与所述相位差检测用像素相邻，接收第二光束；

第二摄像用微透镜，将所述第二光束聚光于所述第二摄像用像素；

两个摄像用像素，在所述对角方向上相互相邻，并分别接收第三光束及第四光束；以及

两个摄像用微透镜，分别配置在所述两个摄像用像素上，并将所述第三光束及所述第四光束聚光于所述两个摄像用像素，

所述相位差检测用微透镜及所述第二摄像用微透镜的边界处的所述相位差检测用微透镜及所述第二摄像用微透镜的高度比所述两个摄像用微透镜的边界处的所述两个摄像用微透镜的高度低。

5.如权利要求1或2所述的固态摄像装置，其特征在于，

所述相位差检测用像素具有接收所述被光瞳分割的光束的受光面，

所述相位差检测用微透镜在所述受光面具有焦点。

6.如权利要求5所述的固态摄像装置，其特征在于，

所述相位差检测用微透镜在包含所述相位差检测用微透镜的光轴且与所述相位差检测用像素的对边方向平行的剖面以及包含所述光轴且与所述相位差检测用像素的对角方向平行的剖面中，在所述受光面具有焦点。

7.如权利要求1或2所述的固态摄像装置，其特征在于，

所述第一摄像用像素具有接收所述第一光束的受光面，

所述第一摄像用微透镜在比接收所述第一光束的受光面靠里侧处具有焦点。