CN117737680A - 一种石英晶片镀膜的装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种石英晶片镀膜的装置，属于真空镀膜技术领域，为了解决任一镀膜架上的部件直接卡死，导致整体镀膜设备停止运转的问题，发明包括泵箱和固定安装在泵箱底面上的若干支腿，真空镀膜箱体内腔中固定安装有驱动组件，驱动组件的两侧输出末端分别固定连接有传动组件A，驱动组件的两侧分别固定安装有传动组件B，传动组件A输出端的外周外壁上均套设晶片放置组件，传动组件A的输出末端均固定连接有警报组件，本发明当驱动组件其中一侧的晶片放置组件卡住时，会自行切断动力传输，并且不影响另一侧晶片放置组件正常运转，对另一侧晶片放置组件上的石英晶片进行正常的镀膜，同时，带动微型发电机运转，为警示灯供电。

Description

一种石英晶片镀膜的装置

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种石英晶片镀膜的装置。

背景技术

石英晶片是石英经过熔炼切割后得到的，石英晶片的SiO₂含量可达99.99%以上，在石英晶片的加工过程中，会通过专业的镀膜设备在石英晶片的表面进行镀膜，用于提升石英晶片的透光率以及其他性能，可通过真空镀膜、磁控溅射镀膜和电子枪加热蒸发镀膜等多种镀膜方式对石英晶片进行镀膜。

公开号为CN114908327B的文献中提出了一种石英晶片生产加工用镀膜装置及其使用方法，包括电镀室内壁两侧均转动安装有镀膜架，镀膜架之间固定连接有多个承载盘，承载盘四边均滑动连接有承托爪，位于同一边的承托爪之间转动连接有中间转杆，中间转杆为伸缩杆且中部与承载盘的侧壁转动连接，承载盘内设有用于驱动位于承载盘底部的承托爪同步向中间聚拢或四散的同步驱动件，镀膜架和电镀室的侧壁之间设有驱动承载盘转动时带动同步驱动件运转的换向组件；本发明放置而不是夹持或其他的方式，不会对晶片造成损伤，能最大限度保证镀膜效果和晶片的安全，实现了不开门的双面镀膜，避免了再次翻面的抽真空过程，提升了生产效率和节约了资源。

上述现有技术公开的石英晶片生产加工用镀膜装置，存在的缺陷如下，上述现有技术公开的石英晶片生产加工用镀膜装置，在工作过程中是通过纯机械联动进行传动，并且环环相扣，且相邻的镀膜架是固定连接在一起的，并且是同轴转动，只要其中一个镀膜架上的部件发生卡死现象，就会导致整体镀膜设备停止运转，此时，打开设备进行维修，会使得没有镀膜完成的石英晶片受损或者被污染，造成原料上的浪费。

针对以上问题，提出了一种石英晶片镀膜的装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种石英晶片镀膜的装置，采用本装置进行工作，从而解决了上述背景中任一镀膜架上的部件发生问题，会导致机械传动不顺畅，造成石英晶片镀膜不均匀的现象以及镀膜架上的部件直接卡死，导致整体镀膜设备停止运转的现象，打开设备进行维修，使得没有镀膜完成的石英晶片受损或者被污染，造成原料上的浪费的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种石英晶片镀膜的装置，包括泵箱和固定安装在泵箱底面上的若干支腿，泵箱的一侧设置有控制器，控制器的底面上也设置有若干支腿，泵箱的顶面上固定安装有真空镀膜箱体，所述真空镀膜箱体内腔中固定安装有驱动组件，驱动组件的两侧输出末端分别固定连接有传动组件A，驱动组件的两侧分别固定安装有传动组件B，且传动组件A均贯穿转动设置在传动组件B上，传动组件A输出端的外周外壁上均套设晶片放置组件传动组件A的输出末端均固定连接有警报组件；

所述传动组件A包括连接轴和设置在连接轴一侧的传动轴，且连接轴和传动轴通过卡接轴进行卡接，同时传动轴卡接晶片放置组件上，传动轴的外周外壁上螺纹连接有动力衔接组件，动力衔接组件的一端与卡接轴相连接，传动轴的输出末端固定连接有转轴，转轴与警报组件进行固定连接，且贯穿设置在晶片放置组件上。

进一步地，驱动组件包括固定安装在真空镀膜箱体内腔底面上的支撑架和固定安装在支撑架顶面上的双轴电机，且双轴电机两侧的输出末端均固定连接有连接轴，传动组件B的一端固定设置在支撑架的顶面上。

进一步地，连接轴包括固定连接在双轴电机两侧输出末端上的连接轴主体和分别固定套设在连接轴主体外周外壁上的若干连接块，动力衔接组件上靠近连接轴主体的一端，均穿插滑动设置在连接块的内腔中。

进一步地，卡接轴包括卡接在连接轴主体和传动轴内腔中的连接套筒和活动设置在连接套筒内腔中的卡接件，连接套筒的内腔内壁上固定安装有限位柱，且卡接件活动套设在限位柱的外周外壁上，连接套筒一端的内腔内壁上还固定设置有固定块，且固定块和卡接件的一端通过弹簧A进行弹性连接，在卡接件的两端部均固定安装有卡柱。

进一步地，动力衔接组件包括螺纹连接在传动轴外周外壁上的螺纹套筒和内嵌滑动安装在螺纹套筒一侧外壁上的衔接块，且衔接块还内嵌滑动设置在传动轴上，螺纹套筒的外周外壁上固定安装有若干传动杆，传动杆远离螺纹套筒的一端均穿插滑动设置在连接块的内腔中，衔接块和卡接轴之间通过固定柱进行固定连接，衔接块的另一端侧面上固定连接有卡接柱，卡接柱与转轴进行卡接；

转轴包括转轴主体和开设在转轴主体一端部的卡接槽，且卡接柱能够卡接在卡接槽的内腔中，转轴主体的另一端部固定连接有警报组件。

进一步地，传动轴包括卡接在晶片放置组件上的传动轴主体和固定安装在传动轴主体内腔中的限位挤压块，传动轴主体上开设有若干长滑槽，长滑槽的内腔中均滑动设置有衔接块，传动轴主体外周外壁上的螺纹部位螺纹连接有螺纹套筒，传动轴主体的内腔内壁上还分别开设有卡接孔A和卡接孔B，卡接孔A用于和卡接件实现卡接效果，卡接孔B是用于和晶片放置组件实现卡接效果。

进一步地，传动组件B包括固定安装在支撑架顶面上的斜切空心管和内嵌滑动安装在斜切空心管切面上的长杆，斜切空心管的内腔中贯穿转动设置有连接轴，长杆上距离斜切空心管远的一端部固定安装有齿条，齿条的两侧均与齿轮啮合连接，齿轮均转动设置在晶片放置组件上，齿条滑动安装在限位块上，齿条和限位块之间通过弹簧B进行弹性连接。

进一步地，晶片放置组件包括框架和活动设置在框架上的若干承托组件，转轴主体贯穿转动设置在框架上。

进一步地，框架包括框架主体和开设在框架主体上的活动腔，活动腔的内腔内壁上滑动设置有弹性卡接块，弹性卡接块的卡接端卡接在卡接孔B的内腔中，活动腔的内腔内壁和弹性卡接块通过弹簧C进行弹性连接。

进一步地，警报组件包括固定安装在真空镀膜箱体侧壁上的若干支撑块和固定安装在支撑块上的微型发电机，微型发电机与转轴主体之间进行固定连接，支撑块上还固定安装有警示灯，且警示灯和微型发电机之间进行电性连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：当驱动组件其中一侧的晶片放置组件卡住时，会自行切断连接轴和卡接轴之间的动力传输，并且不影响另一侧晶片放置组件正常运转，对另一侧晶片放置组件上的石英晶片进行正常的镀膜，避免了一个部件出现问题，整体设备罢工的状况，减少了原料的浪费的状况，同时带动微型发电机运转，为警示灯供电，达到警示操作人员的目的，且只需通过驱动组件作为动力源即可实现，不需要额外加装检测装置和编写程序，在一定程度上节约了资金。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的内部零部件立体结构示意图；

图3为本发明的图2的A处放大图；

图4为本发明的驱动组件、传动组件A和警报组件的连接关系示意图；

图5为本发明的整体剖面示意图；

图6为本发明的图5的B处放大图；

图7为本发明的内部零部件连接关系示意图；

图8为本发明的图7的D处放大图；

图9为本发明的图5的C处放大图；

图10为本发明的内部零部件侧视图；

图11为本发明的图10的E处放大图。

图中：1、泵箱；2、支腿；3、控制器；4、真空镀膜箱体；5、驱动组件；51、支撑架；52、双轴电机；6、传动组件A；61、连接轴；611、连接轴主体；612、连接块；62、卡接轴；621、连接套筒；622、卡接件；623、弹簧A；624、固定块；625、限位柱；626、卡柱；63、动力衔接组件；631、螺纹套筒；632、衔接块；633、传动杆；634、固定柱；635、卡接柱；64、传动轴；641、传动轴主体；642、限位挤压块；643、长滑槽；644、卡接孔A；645、卡接孔B；65、转轴；651、转轴主体；652、卡接槽；7、传动组件B；71、斜切空心管；72、长杆；73、齿条；74、齿轮；75、限位块；76、弹簧B；8、晶片放置组件；81、框架；811、框架主体；812、活动腔；813、弹性卡接块；814、弹簧C；82、承托组件；9、警报组件；91、支撑块；92、微型发电机；93、警示灯。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为了解决镀膜设备除出现故障时其余部分不能正常运转，以及造成原料浪费的技术问题，如图1-图11所示，提供以下优选技术方案：

一种石英晶片镀膜的装置，包括泵箱1和固定安装在泵箱1底面上的若干支腿2，泵箱1的一侧设置有控制器3，控制器3的底面上也设置有若干支腿2，支腿2的设置，使得泵箱1和控制器3能够平稳地放在地面上，并且距离地面留有一定间隙，便于后期的搬运和调整位置，泵箱1的顶面上固定安装有真空镀膜箱体4，真空镀膜箱体4的内部设置有许多镀膜相关的零部件，真空镀膜箱体4对这些零部件起到保护的作用，使得这些零部件不会轻易受到外界的损伤，在一定程度上延长了设备的使用寿命，真空镀膜箱体4内腔中固定安装有驱动组件5，驱动组件5的主要作用是提供动力输出，在镀膜的时候带着石英晶片转动，使得石英晶片镀膜较为均匀。

驱动组件5的两侧输出末端分别固定连接有传动组件A6，驱动组件5的两侧分别固定安装有传动组件B7，且传动组件A6均贯穿转动设置在传动组件B7上，传动组件A6输出端的外周外壁上均套设晶片放置组件8，驱动组件5通过带动传动组件A6和传动组件B7转动，进而带动放置有石英晶片的晶片放置组件8转动，有利于石英晶片镀膜均匀，传动组件A6的输出末端均固定连接有警报组件9，当一侧的晶片放置组件8出现故障卡住时，在传动组件A6的作用下使得驱动组件5与晶片放置组件8动力传输中断，并将动力传输切换至警报组件9上，带动警报组件9运转，实现对工作人员警示的作用，同时驱动组件5则会带着另一侧的晶片放置组件8正常运转，直至将此次镀膜结束再停止机器进行维修，这样的设置，降低了原料的浪费。

驱动组件5包括固定安装在真空镀膜箱体4内腔底面上的支撑架51和固定安装在支撑架51顶面上的双轴电机52，支撑架51的设置，不仅对双轴电机52起到支撑的作用，还为晶片放置组件8的转动预留了空间，防止晶片放置组件8转动时撞击到真空镀膜箱体4内腔内壁上，从而造成设备和石英晶片的损坏，且双轴电机52两侧的输出末端均固定连接有连接轴61，用于实现双轴电机52同时带动两侧的晶片放置组件8进行转动，传动组件B7的一端固定设置在支撑架51的顶面上。

传动组件A6包括连接轴61和设置在连接轴61一侧的传动轴64，且连接轴61和传动轴64通过卡接轴62进行卡接，同时传动轴64卡接晶片放置组件8上，经过卡接设置，就形成了整个动力传输的结构，能够对驱动组件5上的动力进行传输，进而带动晶片放置组件8进行转动，传动轴64的外周外壁上螺纹连接有动力衔接组件63，动力衔接组件63的一端与卡接轴62相连接，传动轴64的输出末端固定连接有转轴65，转轴65与警报组件9进行固定连接，且贯穿设置在晶片放置组件8上，当晶片放置组件8出现故障卡住时，在驱动组件5的扭力作用下，使得卡接轴62和连接轴61失去卡接关系，此时，动力衔接组件63依然跟随驱动组件5转动，在螺纹作用下，动力衔接组件63会带着卡接轴62向着远离驱动组件5收缩，将卡接轴62从连接轴61的内腔中抽出，避免磨损，当动力衔接组件63收缩至一定程度时，会使得传动轴64失去与晶片放置组件8的卡接关系，同时触发了传动轴64和转轴65卡接关系，进而带动警报组件9运转，起到对操作人员起到警示的作用。

连接轴61包括固定连接在双轴电机52两侧输出末端上的连接轴主体611和分别固定套设在连接轴主体611外周外壁上的若干连接块612，动力衔接组件63上靠近连接轴主体611的一端，均穿插滑动设置在连接块612的内腔中，连接轴主体611的主要作用是对双轴电机52上的动力进行传输，便于后续带动晶片放置组件8转动，有利于石英晶片镀膜均匀，连接轴主体611上的连接块612也起到动力传输的作用，是将双轴电机52上的动力传输至动力衔接组件63上。

卡接轴62包括卡接在连接轴主体611和传动轴64内腔中的连接套筒621和活动设置在连接套筒621内腔中的卡接件622，连接套筒621的内腔内壁上固定安装有限位柱625，且卡接件622活动套设在限位柱625的外周外壁上，连接套筒621一端的内腔内壁上还固定设置有固定块624，且固定块624和卡接件622的一端通过弹簧A623进行弹性连接，在弹簧A623的弹力作用下，卡柱626均伸出至连接套筒621外部，同时卡接在连接轴主体611和传动轴64内腔中，卡柱626的插入端均为弧形结构，当双轴电机52转动时产生的力达到一定值时，有利于卡柱626缩回连接套筒621的内腔中，若晶片放置组件8出现故障卡住时，双轴电机52继续转动，此时产生的扭力，会使得卡柱626缩回连接套筒621的内腔中，从而解除卡接轴62与连接轴主体611的卡接关系，不再进行动力传输。

动力衔接组件63包括螺纹连接在传动轴64外周外壁上的螺纹套筒631和内嵌滑动安装在螺纹套筒631一侧外壁上的衔接块632，且衔接块632还内嵌滑动设置在传动轴64上，螺纹套筒631的外周外壁上固定安装有若干传动杆633，传动杆633远离螺纹套筒631的一端均穿插滑动设置在连接块612的内腔中，衔接块632和卡接轴62之间通过固定柱634进行固定连接，衔接块632的另一端侧面上固定连接有卡接柱635，卡接柱635与转轴65进行卡接，当晶片放置组件8卡住时，卡接轴62和连接轴主体611解除卡接关系，双轴电机52通过连接块612和传动杆633，带动螺纹套筒631转动时，螺纹套筒631通过衔接块632和固定柱634带动卡接轴62向远离双轴电机52的方向缩进，将卡接轴62从连接轴主体611内腔中抽出，降低磨损，同时，螺纹套筒631带动卡接柱635向前推进与转轴65进行卡接，进而带动转轴65进行转动。

转轴65包括转轴主体651和开设在转轴主体651一端部的卡接槽652，且卡接柱635能够卡接在卡接槽652的内腔中，转轴主体651的另一端部固定连接有警报组件9，当晶片放置组件8出现故障卡住时，连接轴61通过带动动力衔接组件63转动，将卡接柱635推进至卡接槽652的内腔中，带动转轴主体651转动，进而带动警报组件9运转，实现对操作人员的警示作用。

传动轴64包括卡接在晶片放置组件8上的传动轴主体641和固定安装在传动轴主体641内腔中的限位挤压块642，传动轴主体641上开设有若干长滑槽643，长滑槽643的内腔中均滑动设置有衔接块632，传动轴主体641外周外壁上的螺纹部位螺纹连接有螺纹套筒631，传动轴主体641的内腔内壁上还分别开设有卡接孔A644和卡接孔B645，卡接孔A644用于和卡接件622实现卡接效果，卡接孔B645是用于和晶片放置组件8实现卡接效果，当晶片放置组件8卡住时，在双轴电机52的扭力作用下，卡接轴62上的卡接件622会向内缩进，同时在双轴电机52旋转的惯性作用下，卡接件622会卡进限位挤压块642的凹槽中，持续对卡接轴62实现挤压效果，进而就使得卡接在卡接孔A644内腔中的卡接件622向内缩进，就使得连接轴主体611和卡接轴62解除卡接关系，中断动力传输，并且卡接在卡接孔A644内腔中的卡接件622的一端向内缩进所需要的扭力要小于卡接在连接轴主体611内腔中的一端。

传动组件B7包括固定安装在支撑架51顶面上的斜切空心管71和内嵌滑动安装在斜切空心管71切面上的长杆72，斜切空心管71的内腔中贯穿转动设置有连接轴61，长杆72上距离斜切空心管71远的一端部固定安装有齿条73，齿条73的两侧均与齿轮74啮合连接，齿轮74均转动设置在晶片放置组件8上，齿条73滑动安装在限位块75上，齿条73和限位块75之间通过弹簧B76进行弹性连接，当连接轴61带动晶片放置组件8进行转动时，同时，晶片放置组件8上的齿条73、齿轮74、限位块75和弹簧B76也会随着晶片放置组件8进行转动，由于斜切空心管71的切面具有一定角度，齿条73带动长杆72转动的时候，长杆72会在斜切空心管71上滑动，实现齿条73的往复运动，通过齿轮74带动晶片放置组件8内部的传动机构运转，进而实现对晶片放置组件8在转动过程中对石英晶片的限位放置作用，使得石英晶片在转动的过程中不会出现脱落的现象，具体的限位放置原理，可参考公开号为CN114908327B的文献，在此，不进行过多赘述。

晶片放置组件8包括框架81和活动设置在框架81上的若干承托组件82，转轴主体651贯穿转动设置在框架81上，框架81的设置，主要作用是对承托组件82起到支撑的作用，同时，还对框架81内腔中的零部件起到保护的作用，延长设备的使用寿命。

框架81包括框架主体811和开设在框架主体811上的活动腔812，活动腔812的内腔内壁上滑动设置有弹性卡接块813，弹性卡接块813的卡接端卡接在卡接孔B645的内腔中，活动腔812的内腔内壁和弹性卡接块813通过弹簧C814进行弹性连接，当晶片放置组件8卡住时，双轴电机52通过连接轴61和卡接轴62带动螺纹套筒631向着靠近晶片放置组件8的方向进行转动，当螺纹套筒631转动至一定距离时，会将弹性卡接块813向外侧顶开，使得弹性卡接块813的卡接端从卡接孔B645的内腔中抽出，进而使得传动轴64和晶片放置组件8解除卡接关系，切断动力传输。

当晶片放置组件8出现故障卡住时，此时，在驱动组件5的扭力作用下，卡接轴62和连接轴61会解除卡接关系，切断动力输出，同时，驱动组件5继续带动动力衔接组件63向着靠近晶片放置组件8移动，并带动卡接轴62同步移动，将卡接轴62从连接轴61的内腔中抽出，上述的设置，当驱动组件5其中一侧的晶片放置组件8卡住时，会自行切断连接轴61和卡接轴62之间的动力传输，并且不影响另一侧晶片放置组件8正常运转，对另一侧晶片放置组件8上的石英晶片进行正常地镀膜，直至镀膜结束再对设备进行维修，减少了原料的浪费，避免了一个部件出现问题，整体设备罢工的状况。

动力衔接组件63在移动的过程中，会带着卡接轴62从连接轴61的内腔中抽出，这样的设置，能够降低卡接轴62从连接轴61之间的磨损程度，在一定程度上延长了零部件的使用寿命。

为了解决设备出现故障时，能够及时发出警报警示操作人员，以及不需要额外加装检测装置的技术问题，如图2、图7、图10和图4-5所示，提供以下优选技术方案：

警报组件9包括固定安装在真空镀膜箱体4侧壁上的若干支撑块91和固定安装在支撑块91上的微型发电机92，微型发电机92与转轴主体651之间进行固定连接，支撑块91上还固定安装有警示灯93，且警示灯93和微型发电机92之间进行电性连接，转轴主体651转动时会带动微型发电机92运转，微型发电机92产生的电能会通过导线传输至警示灯93上，使得警示灯93进行工作，起到对操作人员警示的作用。

当晶片放置组件8出现故障卡住时，在解除卡接轴62和连接轴61的卡接关系时，动力衔接组件63会向靠着晶片放置组件8的方向移动，当移动到一定位置时，会将弹性卡接块813向外侧顶出，使得弹性卡接块813卡接端从卡接孔B645的内腔中抽出，解除了传动轴64和晶片放置组件8的卡接关系，切断动力传输，同时完成卡接柱635和卡接槽652的卡接关系，进而带动转轴主体651进行转动，转轴主体651会带动微型发电机92运转，产生的电能通过导线传输至警示灯93上，使得警示灯93开始工作，通过上述的设置，当设备出现故障卡住时，能够自动的切断故障端的动力传输，同时带动微型发电机92运转，为警示灯93供电，达到警示操作人员的目的，上述的设置，只需通过驱动组件5作为动力源即可实现，不需要额外加装检测装置和编写程序，在一定程度上节约了资金。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种石英晶片镀膜的装置，包括泵箱（1）和固定安装在泵箱（1）底面上的若干支腿（2），泵箱（1）的一侧设置有控制器（3），控制器（3）的底面上也设置有若干支腿（2），泵箱（1）的顶面上固定安装有真空镀膜箱体（4），其特征在于：所述真空镀膜箱体（4）内腔中固定安装有驱动组件（5），驱动组件（5）的两侧输出末端分别固定连接有传动组件A（6），驱动组件（5）的两侧分别固定安装有传动组件B（7），且传动组件A（6）均贯穿转动设置在传动组件B（7）上，传动组件A（6）输出端的外周外壁上均套设晶片放置组件（8）传动组件A（6）的输出末端均固定连接有警报组件（9）；

所述传动组件A（6）包括连接轴（61）和设置在连接轴（61）一侧的传动轴（64），且连接轴（61）和传动轴（64）通过卡接轴（62）进行卡接，同时传动轴（64）卡接晶片放置组件（8）上，传动轴（64）的外周外壁上螺纹连接有动力衔接组件（63），动力衔接组件（63）的一端与卡接轴（62）相连接，传动轴（64）的输出末端固定连接有转轴（65），转轴（65）与警报组件（9）进行固定连接，且贯穿设置在晶片放置组件（8）上。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：驱动组件（5）包括固定安装在真空镀膜箱体（4）内腔底面上的支撑架（51）和固定安装在支撑架（51）顶面上的双轴电机（52），且双轴电机（52）两侧的输出末端均固定连接有连接轴（61），传动组件B（7）的一端固定设置在支撑架（51）的顶面上。

3.根据权利要求2所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：连接轴（61）包括固定连接在双轴电机（52）两侧输出末端上的连接轴主体（611）和分别固定套设在连接轴主体（611）外周外壁上的若干连接块（612），动力衔接组件（63）上靠近连接轴主体（611）的一端，均穿插滑动设置在连接块（612）的内腔中。

4.根据权利要求3所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：卡接轴（62）包括卡接在连接轴主体（611）和传动轴（64）内腔中的连接套筒（621）和活动设置在连接套筒（621）内腔中的卡接件（622），连接套筒（621）的内腔内壁上固定安装有限位柱（625），且卡接件（622）活动套设在限位柱（625）的外周外壁上，连接套筒（621）一端的内腔内壁上还固定设置有固定块（624），且固定块（624）和卡接件（622）的一端通过弹簧A（623）进行弹性连接，在卡接件（622）的两端部均固定安装有卡柱（626）。

5.根据权利要求3所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：动力衔接组件（63）包括螺纹连接在传动轴（64）外周外壁上的螺纹套筒（631）和内嵌滑动安装在螺纹套筒（631）一侧外壁上的衔接块（632），且衔接块（632）还内嵌滑动设置在传动轴（64）上，螺纹套筒（631）的外周外壁上固定安装有若干传动杆（633），传动杆（633）远离螺纹套筒（631）的一端均穿插滑动设置在连接块（612）的内腔中，衔接块（632）和卡接轴（62）之间通过固定柱（634）进行固定连接，衔接块（632）的另一端侧面上固定连接有卡接柱（635），卡接柱（635）与转轴（65）进行卡接；

转轴（65）包括转轴主体（651）和开设在转轴主体（651）一端部的卡接槽（652），且卡接柱（635）能够卡接在卡接槽（652）的内腔中，转轴主体（651）的另一端不固定连接有警报组件（9）。

6.根据权利要求5所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：传动轴（64）包括卡接在晶片放置组件（8）上的传动轴主体（641）和固定安装在传动轴主体（641）内腔中的限位挤压块（642），传动轴主体（641）上开设有若干长滑槽（643），长滑槽（643）的内腔中均滑动设置有衔接块（632），传动轴主体（641）外周外壁上的螺纹部位螺纹连接有螺纹套筒（631），传动轴主体（641）的内腔内壁上还分别开设有卡接孔A（644）和卡接孔B（645），卡接孔A（644）用于和卡接件（622）实现卡接效果，卡接孔B（645）是用于和晶片放置组件（8）实现卡接效果。

7.根据权利要求2所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：传动组件B（7）包括固定安装在支撑架（51）顶面上的斜切空心管（71）和内嵌滑动安装在斜切空心管（71）切面上的长杆（72），斜切空心管（71）的内腔中贯穿转动设置有连接轴（61），长杆（72）上距离斜切空心管（71）远的一端部固定安装有齿条（73），齿条（73）的两侧均与齿轮（74）啮合连接，齿轮（74）均转动设置在晶片放置组件（8）上，齿条（73）滑动安装在限位块（75）上，齿条（73）和限位块（75）之间通过弹簧B（76）进行弹性连接。

8.根据权利要求5所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：晶片放置组件（8）包括框架（81）和活动设置在框架（81）上的若干承托组件（82），转轴主体（651）贯穿转动设置在框架（81）上。

9.根据权利要求8所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：框架（81）包括框架主体（811）和开设在框架主体（811）上的活动腔（812），活动腔（812）的内腔内壁上滑动设置有弹性卡接块（813），弹性卡接块（813）的卡接端卡接在卡接孔B（645）的内腔中，活动腔（812）的内腔内壁和弹性卡接块（813）通过弹簧C（814）进行弹性连接。

10.根据权利要求5所述的一种石英晶片镀膜的装置，其特征在于：警报组件（9）包括固定安装在真空镀膜箱体（4）侧壁上的若干支撑块（91）和固定安装在支撑块（91）上的微型发电机（92），微型发电机（92）与转轴主体（651）之间进行固定连接，支撑块（91）上还固定安装有警示灯（93），且警示灯（93）和微型发电机（92）之间进行电性连接。