CN1177226C - 可换式探针夹持器和测量探头 - Google Patents

Abstract

一种用于相联的小电容探头的可换式探针夹持器，有盖内形成连续多个腔室的帽盖。第一腔室用于装入探头的管状外壳，第二腔室用于装入探头基片超出外壳的那一部分，第三腔室用于装入第一弹性压缩件和具有针体和头部的第一导电探针。头部布置在第三腔室内并与第一弹性压缩件接触，针体通过通孔延伸其一端超出帽盖前端。从帽盖后端伸出的连接臂可固定在外壳的外侧面上。可换式探针夹持器亦可以设置成可夹持具有两个伸出于帽盖外的导电探针头的差动探针。

Description

可换式探针夹持器和测量探头

本申请要求具有2000年5月31日提交的美国临时申请No.60/208,945中所提出的权益。

本发明总的来说涉及测量探针，更明确地说，涉及与示波器、逻辑分析仪这类测试设备配套使用的宽频带高频率测量探头的可换式探针夹持器。

在美国专利5,061,892中介绍了一种典型的测量探针，用于从测试设备中获取兆赫范围的电信号。这种探针的探头带有一个内部装有基片的导电空心管。基片具有可防止测试设备电负载的无源和/或有源电路。空心管的末端内装有一个绝缘塞以及一个与此塞同轴布置的它在两个方向上超出绝缘塞的探针。探针超过空心管的那一部分通过弹簧作用的电触点与基片电气连接，更换已损坏或断裂的探针可以通过同时更换绝缘塞和相联的探针。这种型式的探针设备有它的缺点，由于探针和弹簧作用的电触点的电容而造成探针的带宽受到限制。在高频时，需要采取措施把探针的电容降低到最小。

用于探测3千兆赫至4千兆赫范围的信号的高频测量探针，要求高输入电阻值和低输入电容。一般来说，这些型式的探针具有用于低电路负载的有源场效应晶体管(FET)输入以及具有4千兆赫或更高的频带宽度。这种探针的一个例子是P6217有源场效应晶体管探针，由美国俄勒冈州比弗顿市Tektronix公司和现在的专利申请受让人制造和销售。

图1是P6217探针10的纵剖视图，显示探针各元件的内部结构。探针10有一导电管状外壳12，基片14布置其中。基片稍许偏离管状外壳的中心，使基片的上表面处于外壳的中心。基片14的末端做成锥形为探针夹持器16提供空隙，基片末端还稍许超出管状外壳约0.025英寸。无源和有源电气元件18，FET晶体管、电阻、电容器以及类似的元件被安装在基片上。一个金箔触点20在基片14前端延伸由此形成基片14和探针22之间的电气连接。探针夹持器16由绝缘材料如塑料或类似材料制成并固定在外壳12的末端内。夹持器16有一个带有锥形末端26的腔室24，可装入基片14超出外壳12末端的那一部分。在夹持器16中央形成的锥形末端26有通到夹持器16前端面的一个通孔28。探针22有一头部30和针体32。针体32装入夹持器16，头部分30位于锥形部分26内，针体32穿过通孔28并将其顶部伸出夹持器16的前端。在锥形末端内，有一个弹性合成橡胶件34装在探针头部30和夹持器之间，由此在头部30与基片前端的金箔触点20之间形成压力。管状外壳12的大部分套有一个绝缘套36，使外壳12与使用者电绝缘。

图1所示的探针其主要缺点是探针22不能更换。图2显示固定在管状外壳12内夹持器16的结构。夹持器16有一外法兰38，当把夹持器16插入外壳时，此外法兰即紧靠在管状外壳12上。从外法兰38伸出一圆形支撑件40，装入管状外壳12内。由于基片14在外壳12内的位置，支撑构件40的下部被除去给夹持器16留出空隙。为了夹持器16能在两个位置插入外壳12，支撑构件40的上部亦被除去。这就降低了支撑构件40的强度。为了增加支撑构件40的强度，把圆形内表面加厚形成相对的两个几乎成半月形的有两个平行面44的支撑构件42。支撑构件40的这种形状要求夹持器16在管状外壳12内要精确找正。平行面44需要与基片14的顶面成直角定位。如果把平行面44固定在非竖直位置上，会引起支撑构件40碰撞基片14以致造成不可修复的损坏。夹持器16在管状外壳12内进行精确的找正需要使用用户不可能有的显微镜和专用夹具。这种探测器上的探针断裂后不可更换，对客户来说，这种3,000美元价位的探测器花费太大。

对测量探针来说，需要的是一种可换式探针夹持器和相联的探头。探针夹持器应能容易更换，不需要专用工具、夹具或显微镜。夹持器以及相联的探头的结构应能把探针的电容降低到最小程度，使能成为一种宽频带高频率测量探测器。

因此，本发明是一种用于测量探头的可换式探针夹持器。这种探针夹持器包括一个帽盖和从帽盖后端伸出的连接臂，连接臂可以固定在探头管状外壳的外侧。帽盖后端有一个在里面形成的第一腔室，其大小加工成可接纳管状外壳前端的一部分。从第一腔室延伸出第二腔室，其大小可接纳基片超出外壳前端的那一部分。在帽盖内，从第二腔室至帽盖前端至少形成一个第一通孔。各连接臂可包括一个状如凸块或孔的锁定件。圆形的凸块在连接臂的内则面上形成，每个凸块有一个从连接臂的表面开始延伸到凸块顶面的斜面。探针夹持器的结构还可以设置一个第二通孔，它从第二腔室开始直至帽盖前端并与第一通孔相邻。在帽盖内还可以形成至少一个从第二腔室开始延伸的第一探针腔室，其大小可以接纳第一弹性压缩件。从探针腔室至帽盖前端形成第一通孔。帽盖内还可以形成一个第二探针腔室，它与第一探针腔室相邻，亦是从第二腔室开始延伸。从第二探针腔室至帽盖前端形成第二通孔。此探针腔室的大小可以接纳第二弹性压缩件。弹性压缩件最好是不导电的合成橡胶件。第一导电探针具有针体和头部，针体位于帽盖内，头部与第一弹性压缩件相接触，针体穿过第一通孔其端部超出帽盖前端。第二导电探针的形状与第一探针相同，它在帽盖内定位时使头部与第二弹性压缩件相接触，而针体则穿过第二通孔其端部伸出帽盖前端。

装有可换式探针夹持器的高频测量探头具有一个带有前端和后端的细长的管状外壳。基片布置在外壳内部并有一部分超出外壳前端。基片超出外壳前端的那一部分至少有一个在前表面上的第一导电触点。探针夹持器有一个带有前和后端的帽盖。帽盖的后端内部形成第一腔室，其大小可以接纳外壳前端的一部分。从第一腔室延伸出第二腔室，其大小可以接纳基片超出外壳前端的那一部分。至少一个第一探针腔室从第二腔室延伸并形成从探针腔室至帽盖前端的通孔。至少一个第一弹性压缩件布置在第一探针腔室内。至少一个具有针体和头部的第一导电探针位于帽盖内并使头部与第一弹性压缩件相接触，而针体则穿过通孔其端部超出帽盖前端，探针的头部与基片上的第一导电触点形成电接触。夹持器包括从帽盖后端伸出并能固定在外壳外表面上的连接臂。

探头还可以包括一锁定结构，有至少一个第一凸起件和一个能够接纳凸起件的带孔件。凸起件和带孔件之一在各连接臂上形成，而凸起件和带孔件中的另一个则形成在细长的管状外壳的两个相对侧面上。凸起件最好呈圆形并有基底和顶面，从基底到顶面延伸一个斜面。管状外壳最好呈长方形并在长方形管状外壳的相对两侧设有凹槽。锁定结构具有在各连接臂上形成的凸起件和带孔件之一，而另一凸起件和带孔件则形成在细长的管状外壳的每个凹槽内。

探头还可能包括一个第二探针腔室，它从第二腔室开始延伸并被布置在与第一探针腔室相邻的位置，从第二探针腔室至帽盖前端形成一通孔。第二弹性压缩件布置在第二探针腔室内，第二导电探针具有针体和一个头部，在帽盖内定位时要使头部与第二弹性压缩件相接触，针体穿过第二通孔其端部超出帽盖前端。相关的弹性压缩件最好用不导电的合成橡胶制造。

当结合所附的权利要求和附图进行阅读时，本发明的目的，优点以及新颖性等特点都可从下面的详细介绍中清楚了解。

图1是现有技术中的装有不可更换探针的高频测量探测器的纵剖视图；

图2现有技术水平高频测量探针中的探针夹持器端面透视图；

图3是依照本发明的探针夹持器第一实施例；

图4是依照本发明的差动探针夹持器的第二实施例；

图5是依照本发明的探针夹持器以及相连探头的分解透视图；

图6是依照本发明的高频测量探头以及探针夹持器沿A-A线的纵剖视图。

参阅图3，所示的是测量探针用的可换式探针夹持器50的第一实施例。探针夹持器50有一帽盖52和超出于帽盖52后端的连接臂54。夹持器50连接于测量探针的探头(未示出)，探头包括一块布置在管状外壳内的基片。基片的一部分超出管状外壳的前端。帽盖52有一后区段56，它呈长方形并从四面逐渐变小至前端的前区段58。帽盖52的后端具有在其内部形成的第一腔室60，它的大小能接纳管状外壳前端的一部分。从第一腔室延伸出第二腔室62，它的大小能接纳基片超出于管状外壳前端的那一部分。从第二腔室62开始至帽盖52前端形成通孔64。

在此优选实施例中，连接臂54从帽盖52的相对两则伸出并在臂的内侧面68上带有锁定构件66。锁定构件66最好是圆形凸块并具有布置在连接臂上的基底70和顶面72。在锁定构件66上设有一个斜面74，它从凸块的基底70伸展到凸块顶面72。或采取另一种形式，锁定构件66可以是在两条相对连接臂54上形成的孔。锁定构件66把探针夹持器50可靠地连接到探头的管状外壳上。探针夹持器的结构亦可以不设锁定构件66。在这样的实施例中，探针夹持器是通过一个可拆卸的封套固定到管状外壳上的，这个封套包覆了管状壳体和连接臂。

参阅图4，所示的是用于测量探针的可换式探针夹持器80的第二和最佳实施例的后视图。图4与图3中相同的元件标有同样的标号。探针夹持器80有一帽盖52和伸出于帽盖52后部的连接臂54。帽盖52的后端有一个在其内部形成的第一腔室60，它的大小能接纳管状外壳前端的一部分。从第一腔室60延伸出第二腔室62，它的大小能接纳基片超出管状外壳前端的那一部分。从第二腔室62延伸的是两个探针腔室82、84。在这个最佳实施例中有两个探针腔室，这样可以对测试设备进行差动探测。也可以只有一个探针腔室，如图3实施例所示的探针夹持器的型式。探针腔室82和84呈圆锥形，它在第二腔室界面处有较大的第一直径，在通孔界面有较小的直径。通孔86、88从探针腔室82、84至帽盖52的前端形成。锁定构件66可以在连接臂54的上面形成，也可以在臂内形成，如前面图2所描述的那样。另一方案是，探针夹持器80的结构可以如先前介绍的那样不带锁定构件66。帽盖52还可以在它的顶面设置一个凹面90，用于固定一块标牌和(或)覆盖材料，把用于接近管状外壳内基片的位于探针夹持器上的孔口50、80覆盖住。

图3和图4的探针夹持器50、80用绝缘材料制成的，如像聚碳酸酯、塑料或类似的材料。在这个最佳实施例中，帽盖52的优选总宽度是0.300英寸，优选高度0.190英寸，优选长度0.350英寸。连接臂54的优选长度为0.276英寸。第一腔室60的优选宽度是0.255英寸，优选高度0.130英寸，优选深度0.165英寸。第二腔室62的优选宽度是0.208英寸，优选高度0.070英寸，优选深度0.100英寸。探针腔室82、84在第二腔室界面的优选第一直径是0.058英寸，在通孔界面的优选第二直径是0.052英寸，优选深度是0.025英寸。通孔64、86、88的优选直径是0.019英寸，优选长度是0.060英寸。通孔86、88的优选中心距是0.100英寸。以上尺寸是示例性的，也可以采用别的尺寸，但不能脱离本发明的范围。此外，以上介绍的探针夹持器50、80都是长方形，但是其它形状，诸如圆形、正方形以及其它形状也可用来制作本发明的探针夹持器。在采用这些不同的形状时，最好亦要改变探头管状外壳的形状，使之匹配探针夹持器的形状。

参阅图5，所示的是图4探针夹持器80以及相联的宽频带高频率测量探头100的分解透视图。探头100有一长方形导电管状外壳102，在外壳的前端相对的两个侧面上设有凹槽104。基片106安装在承载件108上，承载件具有第一平面区110和第二平面区112，在第一平面区上安装了基片106，第二平面区设有向上伸出的舌片部分114可用于接纳传输电缆(未示出)。传输电缆把从测试设备获得的一个信号输送给测量仪(诸如示波仪、逻辑分析仪或类似仪器)。在把基片插入管状外壳102之前先把电中性的内部对正夹具116固定到基片106上。对正夹具116能使基片106在管状外壳102中安装定位时它的一部分超出于外壳前端。在此优选实施例中，基片106约有0.10英寸伸出于管状外壳102的前端。这样布置基片106可以降低探头100的探针电容。在管状外壳102的顶面有一个舌片118，向下弯折可使之与承载件108上的舌片114相接合，以此把承载件锁定在管状外壳102内并且可以为传输电缆消除机械应变。一个可拆卸的绝缘套120套在管状外壳102上。

探针夹持器80接纳弹性压缩构件122、124，它们由不导电的合成橡胶、不导电的弹性材料或类似的材料制成，装入各自的探针腔室82、84内就位。导电的第一和第二探针126、128布置在夹持器80内就位，每个探针有针体130、132以及头部134、136。把探针126、128插入夹持器80时每个探针的针体130、132置于帽盖52的第一和第二通孔86、88内，其端部超出帽盖52前端。弹性压缩件122、124被探针头部134、136限定在各自的探针腔室82、84内。探针夹持器80通过夹持器的连接臂54与外壳102的凹槽相接合固定在管状外壳102上。在此优选实施例中，探头100有包括凸块138和孔140的锁定结构。凹槽104的末端具有在它内部形成的孔140，此孔可卡入在连接臂54内侧面形成的凸块138。凹槽104的末端也可以有形成于内部的凸块，可与在连接臂54中形成的孔相接合。探头100中还可以取消锁定结构，可以采用封套120把探针夹持器80固定在管状外壳102上。图上还显示出探针夹持器80具有至少一个在它上面形成的第一孔142。此孔142的作用是，通过与管状外壳102连接在一起的探针夹持器80，可以经此孔进入基片106，对基片106上的各个元件进行微调，使测量探针达到最佳性能。

参阅图6，这是依照本发明探针夹持器80和相联探头100沿A-A线的纵剖视图。可拆卸的绝缘封套120包封着导电的管状外壳102的绝大部分并超过外壳的后端延伸，这是为了消除连接于外壳内基片106的传输电缆(未示出)的机械应变。承载件108具有向上伸出的舌片114和一块装有基片106的平面110。基片106通过承载件108末端以及还通过管状外壳102的前端延伸。对正夹具116把基片在外壳内精确定位和固定。基片106具有一个布置在基片106前端面152上的金箔触点150以及安装在基片106顶面上的各个无源和有源电气元件154。探针夹持器80安装在测头100的前端，安装时管状外壳102的一部分放置在夹持器80的第一腔室60内，夹持器的末端顶靠着可拆卸封套120。基片106伸入第二腔室62内并与探针126的头部136相接合。弹性压缩构件122放置在探针腔室82内，它在探针头部136上施加正偏置压力，从而在基片106前端的金箔触点150与探针凸出部分136之间形成有源电接触。探针126的针体132通过夹持器80帽盖52中的通孔86延伸并暴露于帽盖52的前端外面。

已损坏的探针124、126可以更换，方法是把绝缘封套120往后滑动，与探针夹持器80脱开，使固定在沿管状外壳102相对两侧的连接臂54露出。将两个连接臂往两旁分开使锁定结构的凸块138与孔140脱开。把探针夹持器80沿着与外壳中心线平行的方向滑动从管状外壳102脱开，由此拆下夹持器。一个装有完好的探针的新探针夹持器通过把两个连接臂54与管状外壳102相对两侧上的凹槽104对准并把夹持器80朝外壳滑动推入从而装上管状外管102。在基片106进入第二腔室62之前先把管状外壳102与第一腔室60接合，这样可以把基片106碰撞第一和第二腔室60和62之间界面的潜在损坏降至最小程度。当夹持器80沿着管状外壳102滑动时，基片106的露出部分即逐渐进入第二腔室62并与探针凸出部分134、136相接触。夹持器80的继续移动即对弹性压缩件124、126进行压缩，从而在基片106与探针126、128之间产生偏移接触。当弹性压缩件122、124被压缩时，锁定结构的凸块138和孔140即互相接合，从而把探针夹持器80固定到探头100上。把封套120重新套上外壳102并与夹持器80的后端面相靠。

对可换式探针夹持器和相联的高频率探头已作了介绍。探针夹持器有一个帽盖和从帽盖后端伸出的连接臂。探针夹持器通过两个连接臂在探头的外侧定位而被安装到探头上。探头具有一个细长的导电管状外壳，在它的里面装有基片。基片的前端超出外壳前端并在它的前端面上形成电触点。帽盖的后端里面形成第一腔室用于接纳管状外壳前端的一部分。从第一腔室延伸出第二腔室，用于接纳基片伸出于管状外壳的那一部分。帽盖内的第二腔室至帽盖前端形成一个通孔用于接纳探针。探针具有针体和与针体相连的头部。针体穿过通孔其端部露出帽盖前端。弹性压缩件被布置在探针凸出部分与通孔之间，使之在凸出部分与基片上的触点之间产生压缩偏压。夹持器还可能包括带有凸块件和带孔件的锁定结构。凸块件和带孔件之一布置在各连接臂上，而另一个凸块构件和孔眼构件中之一则布置在管状外壳的两个相对侧面上。最好在管状外壳的两个相对侧面上设置凹槽，用于装入连接臂。探针夹持器还可能包括一个探针腔室，用于装入弹性压缩件。帽盖中的通孔从探针腔室延伸至帽盖前端。探针夹持器的结构还可以配置两个探针进行差动探测。为此，在与第一通孔相邻处设置第二通孔，在此通孔内放置第二探针。一个第二弹性压缩件与第二探针配装，第二探针腔室可以在帽盖内形成。

对专业人员来说，以上介绍的本发明实施例的一些细节部分，在不脱离本发明基本原理的情况下显然可以做许多改正。因此，本发明的范围只能由以下的权利要求来确定。

Claims (25)

1.一种用于测量探头的可换式探针夹持器，其中，所述夹持器接纳至少一个第一导电探针和一个装在探针上的第一弹性压缩件，所述弹性压缩件在所述夹持器内定位时要使所述弹性压缩件能偏压所述夹持器探针，并且所述探针的一部分伸出所述夹持器，所述探头有布置在带有前端的管状外壳内的基片，所述基片的一部分超过所述外壳前端，所述可换式探针夹持器包括：

一个具有前端和后端的帽盖，所述帽盖的后端内形成第一腔室，其大小加工成可以接纳一部分外壳前端，从第一腔室延伸出第二腔室，其大小加工成可以接纳基片超过外壳前端的那一部分，从第二腔室至帽盖前端形成至少一个第一通孔；以及

从所述帽盖后端伸出的连接臂，可以固定在管状外壳的外侧面上。

2.根据权利要求1所述的可换式探针夹持器，其特征在于各连接臂包括一个锁定件。

3.根据权利要求2所述的可换式探针夹持器，其特征在于所述锁定件包括在所述连接臂内侧表面上形成的凸块。

4.根据权利要求3中所述的可换式探针夹持器，其特征在于所述凸块呈圆形，每一凸块有一个从连接臂表面开始延伸到凸块顶面的斜面。

5.根据权利要求2中所述的可换式探针夹持器，其特征在于所述锁定件包括在所述连接臂内形成的孔。

6.根据权利要求1中所述的可换式探针夹持器，还包括从所述第二腔室到帽盖前端形成的第二通孔，布置在与所述第一通孔相邻处。

7.根据权利要求1中所述的可换式探针夹持器，还包括至少一个从第二腔室延伸的第一探针腔室，其大小加工成可以接纳第一弹性压缩件，第一通孔从探针腔室至帽盖前端形成。

8.根据权利要求7中所述的可换式探针夹持器，还包括一个布置在与第一探针腔室相邻的第二探针腔室，它从第二腔室开始延伸，其大小加工成可以接纳第二弹性压缩件，从第二探针腔室至帽盖前端形成第二通孔。

9.用于测量探头的可换式探针夹持器，在探头的带有前端的管状外壳内布置了基片，所述基片的一部分伸出超过外壳的前端，所述夹持器包括：

一个具有前端和后端的帽盖，所述帽盖的后端内形成一个第一腔室，它接纳外壳前端的一部分，从所述第一腔室延伸出第二腔室，它接纳基片超过外壳前端的那一部分，所述帽盖还具有至少一个从所述第二腔室延伸的第一探针腔室，从所述探针腔室至所述帽盖前端形成通孔；

至少一个第一弹性压缩件，布置在所述第一探针腔室内；

至少一个第一导电探针，所述探针具有针体和与针体相连的头部，所述探针在帽盖内的位置要使所述头部与所述第一弹性压缩件相接触，所述针体穿过所述通孔其端部延伸超过所述帽盖前端；以及

从所述帽盖后端伸出的连接臂，可以固定在外壳的外侧面上。

10.根据权利要求9中所述的可换式探针夹持器，其特征在于各连接臂包括锁定件。

11.根据权利要求10中所述的可换式探针夹持器，其特征在于锁定件包括在连接臂内侧表面上形成的凸块。

12.根据权利要求11中所述的可换式探针夹持器，其特征在于凸块呈圆形，每一凸块有一个从连接臂表面开始延伸到凸块顶面的斜面。

13.根据权利要求10中所述的可换式探针夹持器，其特征在于所述锁定件包括在连接臂内形成的孔。

14.根据权利要求9中所述的可换式探针夹持器，其特征在于弹性压缩件是不导电的合成橡胶件。

15.根据权利要求9中所述的可换式探针夹持器，还包括：

从所述第二腔室延伸的第二探针腔室，布置在与所述第一探针腔室相邻处从所述第二探针腔室至所述帽盖前端形成一通孔。

一布置在所述第二探针腔室内的第二弹性压缩件；

一导电的第二探针，它具有针体和与针体相连的头部，在帽盖内的定位要使所述头部与所述第二弹性构件相接触，所述针体穿过第二通孔延伸，其端部延伸超过所述帽盖前端。

16.一个高频测量探头，包括：

一具有前端和后端的细长的管状外壳；

一块具有前面的基片，在其前端面上布置了至少一个第一导电触点，所述基片被布置在外壳内，包括前端面在内的一部分伸出外壳前端；

一个探针夹持器，它有带前端和后端的帽盖，所述帽盖的后端内形成第一腔室，用于接纳外壳前端的一部分，从所述第一腔室延伸的第二腔室用于接纳基片伸出于外壳前端的那一部分，至少一个第一探针腔室从所述第二腔室延伸，从探针腔室至帽盖前端形成一通孔；

至少一个第一弹性压缩件，它布置在所述第一探针腔室内；

至少一个导电探针，具有针体和与针体相连成的头部，在所述帽盖内的定位要使所述头部与第一弹性压缩构件相接触，所述针体穿过通孔延伸其端部伸出所述帽盖前端，所述探针的头部与基片上的第一导电触点形成电接触；以及

从所述帽盖后端伸出的连接臂，能固定在管状外壳的外侧面上。

17.根据权利要求16中所述的高频测量探头，还包括一个具有至少一个第一凸块件和一个能接纳所述凸块件的带孔件的锁定结构。

18.根据权利要求17中所述的高频测量探头，其特征在于所述凸块件和带孔件之一形成在各连接臂上，而所述凸块件和带孔件中的另一个则形成在细长的管状外壳两个相对的侧面上。

19.根据权利要求17中所述的高频测量探头，其特征在于所述凸块呈圆形并有一基底和顶面以及一个从所述基底延伸到所述顶面的斜面。

20.根据权利要求16中所述的高频测量探头，其特征在于所述外壳还包括一个长方形管状壳体，在所述长方形管状壳体的两个相对侧面上形成有凹槽。

21.根据权利要求20中所述的高频测量探头，还包括一个锁定结构，所述锁定结构具有至少一个第一凸块件和一个能容纳所述凸块件的带孔件。

22.根据权利要求21中所述的高频测量探头，其特征在于所述凸块件和带孔件之一形成在各连接臂上，而凸块件和带孔件中的另一个则形成在细长的管状外壳的各凹槽内。

23.根据权利要求21中所述的高频测量探头，其特征在于所述凸块件呈圆形并有一基底和顶面，每个所述凸块构件都有一个从基底延伸到顶面的斜面。

24.根据权利要求16中所述的高频测量探头，其特征在于所述弹性压缩件是不导电的合成橡胶件。

25.根据权利要求16中所述的高频测量探头，还包括：

一从第二腔室延伸的第二探针腔室，布置在与所述第一探针腔室相邻处，从所述第二探针腔室至所述帽盖前端形成一通孔；

一布置在第二探针腔室内的第二弹性压缩构件；

一个导电的第二探针，具有针体和与针体相连的头部，在所述帽盖内的定位要使所述头部与第二弹性压缩件相接触，所述针体穿过第二通孔延伸其端部伸出所述帽盖前端。

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