CN117702056A - 显示屏的蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种显示屏的蒸镀设备，涉及显示屏技术领域，显示屏的蒸镀设备包括恒温壳体、蒸镀组件和保温组件，恒温壳体具有内腔，蒸镀组件和保温组件均位于内腔；蒸镀组件包括蒸镀容器、加热件和喷嘴件，蒸镀容器具有蒸发腔，蒸发腔被构造为盛放蒸镀材料，喷嘴件连接于蒸镀容器，且喷嘴件的一端连通于蒸发腔，另一端连通于恒温壳体的外部，加热件围设于蒸镀容器的周向外侧；保温组件包括至少两个第一保温板，第一保温板围设于蒸镀容器的周向外侧，且位于加热件和恒温壳体的周向内壁之间，至少两个第一保温板沿蒸镀容器的壁厚方向间隔设置。本申请的显示屏的蒸镀设备较节能，且提高了显示屏的生产良率。

Description

显示屏的蒸镀设备

技术领域

本申请涉及显示屏技术领域，尤其涉及一种显示屏的蒸镀设备。

背景技术

OLED显示面板具有宽视角、响应快、颜色饱和度高等特点，已经被广泛应用于显示器。

目前OLED生产中主要采用真空镀膜工艺进行生产，采用的设备为蒸发源系统，主要包括装载不同材料用的多个坩埚、用于材料喷发的喷嘴、加热装置以及冷却装置，当温度到达坩埚内部装载的材料的气化温度时，坩埚内的材料随之气化，颗粒自由运动附着在目标基板，形成薄膜，完成膜层的蒸镀作业。

然而，随着生产时间的延长，坩埚内部的材料减少，其内部压力也会减小，材料喷发的速率就会减慢，如果不加以干涉，镀膜的效率会降低，但是不同材料所对应的工艺温度也不同，有些材料加热温度过高容易导致本体裂解，会致使膜层功能改变降低良率，而有些材料需要加热至较高的温度才能气化喷发，如果大幅度地提高加热装置的加热温度，会导致不耐高温的材料裂解，从而降低OLED的良率，且加热装置也比较耗能。

发明内容

基于此，本申请提供了一种显示屏的蒸镀设备，可以在不调节加热件的情况下，维持或提高内腔和喷嘴件的温度，进而维持或提高蒸镀材料蒸发速率，不仅较节能，且提高了显示屏的生产良率。

本申请提供一种显示屏的蒸镀设备，包括恒温壳体、蒸镀组件和保温组件，恒温壳体具有内腔，蒸镀组件和保温组件均位于内腔；

蒸镀组件包括蒸镀容器、加热件和喷嘴件，蒸镀容器具有蒸发腔，蒸发腔被构造为盛放蒸镀材料，喷嘴件连接于蒸镀容器，且喷嘴件的一端连通于蒸发腔，另一端连通于恒温壳体的外部，加热件围设于蒸镀容器的周向外侧；

保温组件包括至少两个第一保温板，第一保温板围设于蒸镀容器的周向外侧，且位于加热件和恒温壳体的周向内壁之间，至少两个第一保温板沿蒸镀容器的壁厚方向间隔设置。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，相邻的两个第一保温板之间形成保温腔，保温腔为真空腔体。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，保温腔连通于内腔，且内腔的内外两侧通过喷嘴件相互连通。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，第一保温板朝向蒸镀容器的一面具有第一反射面，各个第一反射面的表面粗糙度不同。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，靠近蒸镀容器的第一反射面的表面粗糙度大于靠近恒温壳体的第一反射面的表面粗糙度；

或者，靠近蒸镀容器的第一反射面的表面粗糙度小于靠近恒温壳体的第一反射面的表面粗糙度。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，保温组件还包括第二保温板，第二保温板设置于蒸镀容器的外底壁和恒温壳体的内底壁之间，第二保温板朝向蒸镀容器的一面具有第二反射面，蒸镀容器位于第一保温板和第二保温板围设形成的保温空间内。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，第二保温板具有贯穿自身相对两面的多个通孔，多个通孔在第二保温板上分散设置。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，蒸镀容器在第一保温板的板面上的投影位于第一保温板的边缘范围内；

和/或，蒸镀容器在第二保温板的板面的投影位于第二保温板的边缘范围内。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，第一保温板和第二保温板的至少一者为金属板。

在一种可能的实现方式中，本申请提供的显示屏的蒸镀设备，恒温壳体包括箱体和保温盖板，保温盖板盖接于箱体，保温盖板面向蒸镀容器的一面具有第三反射面，且保温盖板具有避让口，以使喷嘴件经避让口伸出至保温盖板外。

本申请提供的显示屏的蒸镀设备包括恒温壳体、蒸镀组件和保温组件，蒸镀容器包括蒸发腔，蒸镀组件包括蒸镀容器、喷嘴件和加热件，保温组件包括第一保温板。通过设置恒温壳体用于形成稳定且高效的蒸镀温度环境，通过设置蒸发腔用于盛放蒸镀材料，以使蒸镀材料在蒸发腔内受热蒸发，通过设置喷嘴件用于将汽化的蒸镀材料喷向基板，通过设置加热件用于加热蒸发腔内的蒸镀材料，以使蒸镀材料受热汽化，通过在蒸镀容器的外周间隔设置至少两个第一保温板用于依次反射热量，以使得随着蒸镀工作推进，无需调节加热件，即可维持或提高蒸发腔的加热温度，从而提高加热件的热量利用率，以使得显示屏的蒸镀设备较节能。

除了上面所描述的本申请实施例解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本申请提供的显示屏的蒸镀设备所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的显示屏的蒸镀设备的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的显示屏的蒸镀设备的内部结构示意图；

图3为图2中A处局部放大图；

图4为本申请实施例提供的显示屏的蒸镀设备的内部结构侧视图；

图5为图4中B处局部放大图；

图6为本申请实施例提供的显示屏的蒸镀设备中保温组件的结构示意图；

图7为图6中C处局部放大图。

附图标记说明：

100-恒温壳体；110-箱体；120-保温盖板；200-蒸镀容器；210蒸发腔；300-喷嘴件；400-加热件；500-保温组件；510-第一保温板；511-保温腔；512-第一反射面；520-第二保温板；521-第二反射面；522-通孔。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请的优选实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。下面结合附图对本申请的实施例进行详细说明。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应作广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或者两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”（如果存在）是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

此外，术语“包括”和“具有”以及两者的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或显示器不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或显示器固有的其它步骤或单元。

目前OLED生产中主要采用真空镀膜工艺进行生产，采用的设备为蒸发源系统，主要包括装载不同材料用的多个坩埚、用于材料喷发的喷嘴、加热装置以及冷却装置，当温度到达坩埚内部装载的材料的气化温度时，坩埚内的材料随之气化，颗粒自由运动附着在目标基板，形成薄膜，完成膜层的蒸镀作业。

然而，随着生产时间的延长，坩埚内部的材料减少，其内部压力也会减小，材料喷发的速率就会减慢，如果不加以干涉，镀膜的效率会降低，但是不同材料所对应的工艺温度也不同，有些材料加热温度过高容易导致本体裂解，会致使膜层功能改变，进而降低OLED的良率，而有些材料需要加热至较高的温度才能气化喷发，如果大幅度地提高加热装置的加热温度，会导致不耐高温的材料裂解，从而降低OLED的良率，且加热装置也比较耗能。

鉴于上述问题，本申请提供了一种显示屏的蒸镀设备，可以在不调节加热件的情况下，通过在蒸镀容器的外周设置多个第一保温板，来维持或提高蒸发腔和喷嘴件的温度，进而维持或提高蒸镀材料的蒸发速率，从而提高显示屏的生产良率，以及使得显示屏的蒸镀设备较节能。

以下结合附图1至附图7对本申请实施例提供的显示屏的蒸镀设备的具体实施方式进行详细说明。

参照图1至图4所示，本申请提供一种显示屏的蒸镀设备包括恒温壳体100、蒸镀组件和保温组件500，蒸镀组件包括蒸镀容器200、喷嘴件300和加热件400，蒸镀容器200具有蒸发腔210，蒸发腔210被构造为盛放蒸镀材料，蒸镀容器200和加热件400均设置于恒温壳体100内，加热件400围设于蒸镀容器200的周向外侧，并被构造为加热蒸镀材料，喷嘴件300的一端连通于蒸发腔210，另一端连通于恒温壳体100的外部。

保温组件500包括第一保温板510，第一保温板510围设于蒸镀容器200的周向外侧，第一保温板510位于加热件400和恒温壳体100的周向内壁之间，至少两个第一保温板510沿蒸镀容器200的壁厚方向间隔设置。

在本申请中，恒温壳体100为显示屏的蒸镀设备外层的保温结构，恒温壳体100具有内腔，用于容置蒸镀容器200、加热件400和保温组件500等，在显示屏的蒸镀设备进行蒸镀工作时，恒温壳体100的外部环境需要形成真空，以实现蒸镀的真空环境，且恒温壳体100设有换热循环管道，换热循环管道内流通有换热介质，可将恒温壳体100内部的温度维持在所需的温度，进而提供稳定且高效的蒸镀温度环境。

蒸镀容器200具有蒸发腔210，在进行蒸镀工作前，蒸镀材料被盛放在蒸发腔210内，在进行蒸镀工作时，加热件400用于加热以产生热量，并辐射至蒸镀容器200，以加热蒸发腔210内的蒸镀材料，蒸发腔210内的蒸镀材料受热蒸发后，通过连通于蒸发腔210的喷嘴件300喷向位于恒温壳体100外的基板上，进而形成膜层。

需要说明的是，显示屏的蒸镀设备可以包括多个蒸镀容器200，恒温壳体100可以设有多个相互连通的内腔，蒸镀容器200一一对应设置于内腔中，在进行蒸镀工作时，多个蒸镀容器200的蒸发腔210中可以盛放相同的或者不同的蒸镀材料。

应当理解的是，随着蒸镀工艺进程的推进，加热件400不断加热，喷嘴件300的内部压强增加，蒸发腔210内的蒸镀材料受热汽化，并会增大蒸发腔210内部的压力，由于蒸发腔210内部和蒸发腔210外部具有压力差，继而驱动蒸镀材料通过喷嘴件300喷向基板，以附着在基板表面形成膜层，随着生产时间的延长，蒸发腔210内的蒸镀材料减少，蒸发腔210内部压力会减小，蒸镀材料喷发的速率就会减慢，如果不加以干涉，蒸镀的效率会降低，相关技术中通过提高加热件400的加热功率来实现，但这会导致一个问题，由于不同的蒸镀材料所需的汽化温度不同，因此，如果一味地提高加热件400的加热温度，会导致汽化温度较低的蒸镀材料受到高温而发生裂解，且提高加热件400的加热温度也需要消耗较多的能源，不利于节能。

因此，本申请实施例中，可以通过保温组件500来维持或提高蒸发腔210内的温度，如此，汽化温度较低的蒸镀材料随着蒸镀工艺进程的推进，无需通过提高加热件400的加热温度来维持蒸发腔210内的加热温度，从而可以避免蒸镀材料因加热件400的加热温度过高而发生裂解，保温组件500可以在不提高加热件400的加热温度的前提下，使蒸发腔210内的温度维持或提高。

或者，通过保温组件500来提高蒸发腔210的蓄热能力，以使汽化温度较高的蒸镀材料在加热件400的功率一定的情况下，而提高加热件400的加热温度，进而使蒸发腔210内的温度能尽快达到蒸镀材料的汽化温度，从而加快蒸镀工艺的进程以及节省部分电能。

具体的，保温组件500可以包括至少两个第一保温板510，两个第一保温板510或者两个以上的第一保温板510沿蒸镀容器200的壁厚方向间隔围设在蒸镀容器200的外侧，且第一保温板510设置在加热件400的外侧，用于反射加热件400产生的热量。

为了便于说明，以两个第一保温板510为例进行举例说明，两个第一保温板510包括内侧的第一保温板510和外侧的第一保温板510，当加热件400通电加热时，加热件400产生的部分热量穿透蒸镀容器200的周壁辐射至蒸发腔210内，加热件400产生的部分热量被内侧的第一保温板510反射至蒸镀容器200，进而穿透蒸镀容器200的周壁辐射至蒸发腔210内，未被内侧的第一保温板510反射的热量会穿透内侧的第一保温板510，继续向外辐射，进入内侧的第一保温板510和外侧的第一保温板510之间的空间，之后部分热量会被外侧的第一保温板510反射回来，并穿透内侧的第一保温板510和蒸镀容器200的周壁辐射至蒸发腔210内，这样，当随着蒸镀工艺进程的推进，可通过蒸镀容器200周向外侧的多个第一保温板510来反射热量，进而维持或提高蒸发腔210内的温度，而无需对加热件400的功率进行调节。

在蒸镀汽化温度较低的蒸镀材料时，可通过设置保温能力较次的第一保温板510，例如，可通过设置表面较粗造的第一保温板510，或者采用保温性能较次的第一保温板510。这样，较少的热量被反射至蒸发腔210，进而可以使蒸发腔210内的温度提高幅度较小，继而使得恒温壳体100内部的压力增大，以推进蒸镀工艺进程，如此可以防止因提高加热件400的加热温度，继而导致蒸发腔210内的温度过高而导致的蒸镀材料裂解。

在蒸镀汽化温度较高的蒸镀材料时，可通过设置保温能力较好的第一保温板510，例如，可通过设置表面较光滑的第一保温板510，或者采用保温性能较好的第一保温板510。这样，较多的热量被反射，进而聚集在蒸发腔210内，进而可以大幅提高蒸发腔210内的温度，如此可以使得汽化温度较高的蒸镀材料尽快达到所需的温度，以加快蒸镀工艺进程，且还可以使得加热件400的能源消耗较少。

本申请实施例提供的显示屏的蒸镀设备包括恒温壳体100、蒸镀容器200、喷嘴件300、加热件400和保温组件500，蒸镀容器200包括蒸发腔210，保温组件500包括第一保温板510。通过设置恒温壳体100用于形成稳定且高效的蒸镀温度环境，通过设置蒸发腔210用于盛放蒸镀材料，以使蒸镀材料在蒸发腔210内受热蒸发，通过设置喷嘴件300用于将汽化的蒸镀材料喷向基板，通过设置加热件400用于加热蒸发腔210内的蒸镀材料，以使蒸镀材料受热汽化，通过在蒸镀容器200的外周间隔设置至少两个第一保温板510用于依次反射热量，以使得随着蒸镀工作推进，无需调节加热件400，即可维持或提高蒸发腔210的加热温度，从而提高加热件400的热量利用率，以使得显示屏的蒸镀设备较节能。

参照图3-图5所示，在一种可能实现方式中，相邻的两个第一保温板510之间形成真空的保温腔511。

应当理解的是，热量在非真空环境中的传播速度较快，而在真空环境中的传播速度较慢，如此，将相邻的第一保温板510之间的空间设置为真空的保温腔511，可以减缓热量往外层的第一保温板510外侧传播的速度，进而降低热量的散失，从而使得热量聚集在内层的第一保温板510内侧，以辐射至蒸发腔210。

其中，保温腔511可以在加工制造时形成真空腔体，或者，在一些实施方式中，保温腔511连通于内腔，且内腔的内外两侧通过喷嘴件300相互连通。需要说明的是，本申请实施例的显示屏的蒸镀设备需要在真空环境下使用，也就是说，恒温壳体100需要设置在真空装置的真空室内，在开始蒸镀作业时，首先要利用真空装置的抽气泵等抽气设备使真空室内形成真空环境，由于空气可以通过喷嘴件300在内腔的内部和内腔的外部之间流动，如此自然可以使得内腔也形成真空腔体，且保温腔511连通于内腔，空气可以在保温腔511和内腔之间流动，故而可以同时使保温腔511形成真空腔体，在保温腔511形成真空腔体后，可以降低保温腔511内的热量与保温腔511外的热量进行对流。

例如，保温腔511朝向喷嘴件300的一端可以敞口设置，和/或，保温腔511背离喷嘴件300的一端可以敞口设置，以使保温腔511连通于内腔。

参照图3-图5所示，在一些实施方式中，第一保温板510朝向蒸镀容器200的一面具有第一反射面512，各个第一反射面512的表面粗糙度不同。

在上述设置方式中，可以根据不同汽化温度的蒸镀材料来设置第一反射面512的表面粗造度，进而使得第一保温板510具有不同的热反射率。可以理解的是，对比不同表面粗糙度的第一反射面512，当热量接触到较粗糙的第一反射面512和较光滑的第一反射面512，较粗糙的第一反射面512的热反射率较低，而较光滑的第一反射面512的热反射率较高，也就是说，当热量接触到较粗糙的第一反射面512时，被第一反射面512反射回至蒸发腔210的热量较少，而当热量接触到较光滑的第一反射面512时，被第一反射面512反射回至蒸发腔210的热量较多。这样，就可以根据蒸镀材料的不同进行灵活调整。

在一些实施例中，靠近蒸镀容器200的第一反射面512的表面粗糙度大于靠近恒温壳体100的第一反射面512的表面粗糙度。

或者，在另一些实施例中，靠近蒸镀容器200的第一反射面512的表面粗糙度小于靠近恒温壳体100的第一反射面512的表面粗糙度。

也就是说，当蒸镀材料的汽化温度较低时，沿第一保温板510的设置方向，由内至外，第一反射面512的表面粗糙度逐渐减小，以使得内层的第一反射面512的热反射率较低，而外层的第一反射面512的热反射率较高，进而使得蒸发腔210的温度维持在所需的汽化温度。

当蒸镀材料的汽化温度较高时，沿第一保温板510的设置方向，由内至外，第一反射面512的表面粗糙度逐渐增大，以使得内层的第一反射面512的热反射率较高，更多的热量被反射回至蒸发腔210，而外层的第一反射面512的热反射率较低，进而有效提高蒸发腔210内的加热温度。

又或者，在一些实施例中，为了进一步提高第一反射面512的热反射率，可将各个第一反射面512全部设置为镜面的第一反射面512。

需要说明的是，当表面粗糙度Ra不大于1.6时，就认为该表面为镜面，同理，当表面粗糙度Ra高于1.6时，则认为该表面为非镜面。

参照图3-图5所示，在一种可能实现方式中，保温组件500还包括第二保温板520，第二保温板520设置于蒸镀容器200的外底壁和恒温壳体100的内底壁之间，第二保温板520朝向蒸镀容器200的一面具有第二反射面521，蒸镀容器200位于第一保温板510和第二保温板520围设形成的保温空间内。

如此，第一保温板510和第二保温板520可共同形成一个半包围的保温空间，以从侧部和底部将热量反射至蒸发腔210，进而维持或提高蒸发腔210的加热温度。

其中，第二反射面521可以设置为镜面，或者设置为粗糙的表面。

参照图3、图4、图6与图7所示，为了维持热平衡，在一种可能实现方式中，第二保温板520具有贯穿自身相对两面的通孔522，多个通孔522分散设置于第二保温板520。

如此，当蒸镀容器200底部的热量过多时，热量可通过通孔522从第二保温板520面向蒸镀容器200的一面朝向第二保温板520背离蒸镀容器200的一面转移，最后通过恒温壳体100向外部转移，进而使得第二保温板520相对两面的温度较平衡，从而防止过多的热量聚集在蒸镀容器200的底部，而造成蒸发腔210受热不均匀。

在一些实施例中，蒸镀容器200在第一保温板510的投影位于第一保温板510的边缘范围内，并且，蒸镀容器200在第二保温板520的投影位于第二保温板520的边缘范围内。

在另一些实施例中，蒸镀容器200在第一保温板510的投影位于第一保温板510的边缘范围内，或者，蒸镀容器200在第二保温板520的投影位于第二保温板520的边缘范围内。

也就是说，第一保温板510应该覆盖蒸镀容器200的侧面，第二保温板520应该覆盖蒸镀容器200的底面，进而使得第一保温板510和第二保温板520能够全面反射热量，从而提高保温组件500的保温效果。

在一种可能实现方式中，第一保温板510和第二保温板520的至少一者为金属板。也就是说，第一保温板510可以采用金属板制成，第二保温板520也可以采用金属板制成，如此，相对于非金属板，金属板具有较好的加工性能和保温性能。

在具体实现，金属板为不锈钢板。不锈钢板具有良好的保温性能，且通过对不锈钢板表面进行不同程度的抛光处理，可以使得不锈钢板表面具有不同的表面粗糙度，进而便于根据蒸镀材料的汽化温度形成具有不同表面粗糙度的第一保温板510。

参照图3、图4所示，在一些实施方式中，恒温壳体100包括箱体110和保温盖板120，保温盖板120盖接于箱体110，保温盖板120面向蒸镀容器200的一面具有第三反射面，且保温盖板120具有避让口，以使喷嘴件300经避让口伸出至保温盖板120外。

如此设置，箱体110和保温盖板120可以共同形成稳定且高效的蒸镀温度环境，且当热量辐射至保温盖板120时，至少部分热量可以通过第三反射面被反射回至蒸发腔210，进而与保温组件500协同，从而维持或提高蒸发腔210的加热温度。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种显示屏的蒸镀设备，其特征在于，包括恒温壳体、蒸镀组件和保温组件，所述恒温壳体具有内腔，所述蒸镀组件和所述保温组件均位于所述内腔；

所述蒸镀组件包括蒸镀容器、加热件和喷嘴件，所述蒸镀容器具有蒸发腔，所述蒸发腔被构造为盛放蒸镀材料，所述喷嘴件连接于所述蒸镀容器，且所述喷嘴件的一端连通于所述蒸发腔，另一端连通于所述恒温壳体的外部，所述加热件围设于所述蒸镀容器的周向外侧；

所述保温组件包括至少两个第一保温板，所述第一保温板围设于所述蒸镀容器的周向外侧，且位于所述加热件和所述恒温壳体的周向内壁之间，至少两个第一保温板沿所述蒸镀容器的壁厚方向间隔设置；

所述第一保温板朝向所述蒸镀容器的一面具有第一反射面，靠近所述蒸镀容器的所述第一反射面的表面粗糙度大于靠近所述恒温壳体的所述第一反射面的表面粗糙度；

或者，靠近所述蒸镀容器的所述第一反射面的表面粗糙度小于靠近所述恒温壳体的所述第一反射面的表面粗糙度。

2.根据权利要求1所述的显示屏的蒸镀设备，其特征在于，相邻的两个所述第一保温板之间形成保温腔，所述保温腔为真空腔体。

3.根据权利要求2所述的显示屏的蒸镀设备，其特征在于，所述保温腔连通于所述内腔，且所述内腔的内外两侧通过所述喷嘴件相互连通。

4.根据权利要求1-3任一项所述的显示屏的蒸镀设备，其特征在于，所述保温组件还包括第二保温板，所述第二保温板设置于所述蒸镀容器的外底壁和所述恒温壳体的内底壁之间，所述第二保温板朝向所述蒸镀容器的一面具有第二反射面，所述蒸镀容器位于所述第一保温板和所述第二保温板围设形成的保温空间内。

5.根据权利要求4所述的显示屏的蒸镀设备，其特征在于，所述第二保温板具有贯穿自身相对两面的至少两个通孔，至少两个所述通孔在所述第二保温板上分散设置。

6.根据权利要求5所述的显示屏的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀容器在所述第一保温板的板面上的投影位于所述第一保温板的边缘范围内；

和/或，所述蒸镀容器在所述第二保温板的板面的投影位于所述第二保温板的边缘范围内。

7.根据权利要求4所述的显示屏的蒸镀设备，其特征在于，所述第一保温板和所述第二保温板的至少一者为金属板。

8.根据权利要求4所述的显示屏的蒸镀设备，其特征在于，所述恒温壳体包括箱体和保温盖板，所述保温盖板盖接于所述箱体，所述保温盖板面向所述蒸镀容器的一面具有第三反射面，且所述保温盖板具有避让口，以使所述喷嘴件经所述避让口伸出至所述保温盖板外。